JP6984228B2 - 露光装置、露光装置の調整方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
前記基板の表面の左右の互いに異なる位置に各々独立して光を照射して、前記基板の表面の一端から他端に亘る帯状の照射領域を形成する複数の光照射部と、
前記基板の表面全体が露光されるように、前記照射領域に対して前記載置部を前後に相対的に移動させる載置部用移動機構と、
前記照射領域の長さ方向における照度分布を検出するために、当該照射領域を一端部と他端部との間で移動して光を受光する受光部と、
を備え、
前記受光部は、前記基板が移動する移動路を移動する導光部材を備え、
前記導光部材によって導光される光の照度を検出するための照度検出部が設けられ、
前記導光部材は、前記照度検出部に導光される光の強度を減衰させるための減衰部を備えていることを特徴とする露光装置。
本発明の他の露光装置は、基板を載置するための載置部と、
前記基板の表面の左右の互いに異なる位置に各々独立して光を照射して、前記基板の表面の一端から他端に亘る帯状の照射領域を形成する複数の光照射部と、
前記基板の表面全体が露光されるように、前記照射領域に対して前記載置部を前後に相対的に移動させる載置部用移動機構と、
前記照射領域の長さ方向における照度分布を検出するために、当該照射領域を一端部と他端部との間で移動して光を受光する受光部と、
を備え、
前記複数の光照射部とは別個に、前記基板への光照射を行わない監視用光照射部が設けられ、
前記照度検出部は、前記複数の光照射部及び前記監視用光照射部のうちの一方から照射される光を選択的に受光し、
前記調整部は、前記監視用光照射部から前記照度検出部に照射された光の照度に基づいて、前記基板を露光するときの各光照射部から出力される光量を一括で調整することを特徴とする。
複数の光照射部により、前記基板の表面の左右の互いに異なる位置に各々独立して光を照射して、前記基板の表面の一端から他端に亘る帯状の照射領域を形成する工程と、
載置部用移動機構により、前記基板の表面全体が露光されるように、前記照射領域に対して前記載置部を前後に相対的に移動させる工程と、
前記照射領域の長さ方向における照度分布を検出するために、受光部を当該照射領域の一端部と他端部との間で移動させて、光を受光させる工程と、
前記照度分布に基づいて、前記光照射部の光の照射量を調整する工程と、
を備え、
前記受光部は、前記基板が移動する移動路を移動する導光部材を備え、
前記導光部材は、前記照度検出部に導光される光の強度を減衰させるための減衰部を備え、
前記導光部材によって導光される光の照度を照度検出部により検出する工程を備えることを特徴とする。
本発明の他の露光装置の調整方法は、基板を載置部に載置する工程と、
複数の光照射部により、前記基板の表面の左右の互いに異なる位置に各々独立して光を照射して、前記基板の表面の一端から他端に亘る帯状の照射領域を形成する工程と、
載置部用移動機構により、前記基板の表面全体が露光されるように、前記照射領域に対して前記載置部を前後に相対的に移動させる工程と、
前記照射領域の長さ方向における照度分布を検出するために、受光部を当該照射領域の一端部と他端部との間で移動させて、光を受光させる工程と、
前記照度分布に基づいて、前記光照射部の光の照射量を調整する工程と、
を備え、
前記複数の光照射部、及び前記複数の光照射部とは別個に設けられて前記基板への光照射を行わない監視用光照射部のうちの一方から照射される光を選択的に前記照度検出部により受光する工程と、
前記監視用光照射部から前記照度検出部に照射された光の照度に基づいて、前記基板を露光するときの各光照射部から出力される光量を一括で調整する工程と、
を備えることを特徴とする。
前記コンピュータプログラムは、上記の露光装置の調整方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
本発明が適用された塗布、現像装置1について、平面図、概略縦断側面図である図1、図2を参照しながら説明する。塗布、現像装置1は、キャリアブロックD1と、処理ブロックD2と、インターフェイスブロックD3と、を水平に直線状に接続することで構成されている。便宜上、これらのブロックD1〜D3の配列方向をY方向、Y方向に直交する水平方向をX方向とする。インターフェイスブロックD3には露光装置D4が接続されている。キャリアブロックD1は、例えば直径が300mmの円形の基板であるウエハWを格納するキャリアCが載置される載置部11を備えている。図中12は開閉部、図中13は介してキャリアCと処理ブロックD2との間でウエハWを搬送するための移載機構である。
第2の実施形態の一括露光モジュール61について、第1の実施形態の一括露光モジュール3との差異点を中心に、縦断側面図である図16及び縦断背面図である図17を参照して説明する。この一括露光モジュール61においては検出部5が導光部51を備えておらず、ケース体41の下方には当該導光部51の代わりに照度センサ52が、アーム56の一端に支持されて設けられている。アーム56の他端は光源ユニット40のケース体41内へと伸び、移動機構58に接続されている。この移動機構58によって、照度センサ52は、第1の実施形態の導光部51と同様に左右方向に移動することができ、照度の調整が行われるときには照射領域30の各分割位置に位置し、ウエハWの露光が行われるときには照射領域30の外側の待機位置にて待機することができる。このように照度センサ52が照射領域30に位置するので、この一括露光モジュール61においては紫外光が可視光に変換されずに、照度センサ52に照射される。図17は、当該待機位置に位置する状態の照度センサ52を示している。
第3の実施形態の一括露光モジュール62について、縦断側面図である図18及び横断平面図である図19を参照して、第2の実施形態の一括露光モジュール61との差異点を中心に説明する。この一括露光モジュール62における検出部5は、回転機構34から後方へ水平に伸びるアーム63と、アーム63の先端部に設けられるセンサ用移動機構64と、センサ用移動機構64に設けられる照度センサ52とにより構成される。つまり、この一括露光モジュール62では、照度センサ52は載置部用移動機構36によって、ウエハWの載置台33と共に前後方向に移動する。また、照度センサ52は、センサ用移動機構64によって左右に水平に移動する。照度センサ52の上面は、第2の実施形態と同様にウエハWの表面と同じ高さに設けられている。この一括露光モジュール62においても、一括露光モジュール61と同様に、照度センサ52が照射領域30の長さ方向の一端から他端へと移動することによって、上記のキャリブレーションが行われる。
第4の実施形態の一括露光モジュール66について、縦断側面図である図20及び縦断背面図である図21を参照して、第1の実施形態の一括露光モジュール3との差異点を中心に説明する。この一括露光モジュール66においては、セル4−1〜4−89における設定供給電流値が、キャリブレーションとは異なる手法で補正される。一括露光モジュール66では、一括露光モジュール3よりもLED群47を構成するセル4が1つ多く設けられており、従って、支持基板45には4×90の行列状にLED46が設けられている。この1つ多く設けられたセル4を、セル4−0と記載する場合が有る。セル4−0についても、セル4−1〜セル4―89と同様に固有の設定供給電流値が設定されており、当該設定供給電流値の電流が供給されることで、一括露光モジュール66の稼働中は常時、下方に光を照射する。
第5の実施形態の一括露光モジュール71について、第4の実施形態の一括露光モジュール66との差異点を中心に、縦断側面図である図22と、縦断背面図である図23とを参照して説明する。この一括露光モジュール71は、上記のフィードバック補正及びキャリブレーションの両方を行うことができるように構成されている。この一括露光モジュール71には、上記の反射部材67、レンズ68及び照度センサ52を支持する支持部材72が設けられている。この一括露光モジュール71では、レンズ68は前後方向においてセル4と同じ位置に、上方のセル4から照射された光を下方に向けて集光するように設けられており、反射部材67はそのように集光された光を後方の照度センサ52に向けて反射する。
第6の実施形態の一括露光モジュール73について、縦断側面図である図24、図25及び縦断背面図である図26を参照して、第1の実施形態の一括露光モジュール3との差異点を中心に説明する。この一括露光モジュール73では、一括露光モジュール3と同様に、フィードバック補正は行われず、キャリブレーションが行われる。一括露光モジュール73には、検出部5として照度センサ52及びセンサ用移動機構58が設けられている。照度センサ52は、受光面が後方に向かうように設けられ、センサ用移動機構58によって左右に水平に移動する。
第7の実施形態の一括露光モジュール81について、縦断側面図である図27、図28を参照して、第6の実施形態の一括露光モジュール71との差異点を中心に説明する。一括露光モジュール81では、ケース体41内において露光用開口部43よりも後方側にLED群47が配置され、LED群47は前方に向けて紫外光を照射する。このLED群47の前方には、上記のレンズ74が設けられている。レンズ74の前方側には光を全反射させる反射部材として、ミラー76が設けられている。このミラー76は、当該ミラー76の位置を変更するための回転機構77に接続されている。回転機構77によりミラー76は、左右方向に伸びる水平軸まわりに回転移動することができ、レンズ74から照射された光の光路上の反射位置と、当該光路から外れた非反射位置との間で移動する。図27はミラー76が反射位置に位置する状態を、図28はミラー76が非反射位置に位置する状態を夫々示している。なお、図27、図28における一点鎖線はLED群47から照射されて形成される光路を示している。
続いて、第8の実施形態である一括露光モジュール9について、第1の実施形態の一括露光モジュール3との差異点を中心に、図29の縦断側面図及び図30の縦断背面図を参照しながら説明する。この一括露光モジュール9は、一括露光モジュール3と同様にキャリブレーションを行うことができるように構成されている。この一括露光モジュール9における照度分布検出部5は、照度センサ52と、アーム56と、移動機構58と、導光部材である石英ロッド91と、を備えている。アーム56は上下方向に伸長しており、当該アーム56の一端は光源ユニット40のケース体41内にて移動機構58に接続されている。アーム56の他端は、ケース体41の下方において照度センサ52を照射領域30よりも前方側に位置するように支持している。この照度センサ52は、照度を検出するために光を受光する受光面が左右方向に向かうように支持されている。そして、この受光面に石英ロッド91の一端部が重なるように設けられており、石英ロッド91の他端部は後方側へ延伸されている。
10 制御部
3 一括露光モジュール
30 照射領域
33 載置部
36 載置部用移動機構
4 セル
40 光源ユニット
46 LED
47 LED群
5 照度分布検出部
51 導光部
52 照度センサ
Claims (15)
- 基板を載置するための載置部と、
前記基板の表面の左右の互いに異なる位置に各々独立して光を照射して、前記基板の表面の一端から他端に亘る帯状の照射領域を形成する複数の光照射部と、
前記基板の表面全体が露光されるように、前記照射領域に対して前記載置部を前後に相対的に移動させる載置部用移動機構と、
前記照射領域の長さ方向における照度分布を検出するために、当該照射領域を一端部と他端部との間で移動して光を受光する受光部と、
を備え、
前記受光部は、前記基板が移動する移動路を移動する導光部材を備え、
前記導光部材によって導光される光の照度を検出するための照度検出部が設けられ、
前記導光部材は、前記照度検出部に導光される光の強度を減衰させるための減衰部を備えていることを特徴とする露光装置。 - 前記導光部材は石英ロッドによって構成され、
当該石英ロッドにおける光が入射する入射面及び光が出射される出射面のうちの少なくとも一方は、前記減衰部を構成するすりガラスであることを特徴とする請求項1記載の露光装置。 - 基板を載置するための載置部と、
前記基板の表面の左右の互いに異なる位置に各々独立して光を照射して、前記基板の表面の一端から他端に亘る帯状の照射領域を形成する複数の光照射部と、
前記基板の表面全体が露光されるように、前記照射領域に対して前記載置部を前後に相対的に移動させる載置部用移動機構と、
前記照射領域の長さ方向における照度分布を検出するために、当該照射領域を一端部と他端部との間で移動して光を受光する受光部と、
を備え、
前記複数の光照射部とは別個に、前記基板への光照射を行わない監視用光照射部が設けられ、
前記照度検出部は、前記複数の光照射部及び前記監視用光照射部のうちの一方から照射される光を選択的に受光し、
前記調整部は、前記監視用光照射部から前記照度検出部に照射された光の照度に基づいて、前記基板を露光するときの各光照射部から出力される光量を一括で調整することを特徴とする露光装置。 - 前記受光部により検出された照度分布に基づいて、前記基板を露光するときの各光照射部から出力される光量を調整するための調整部が設けられることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の露光装置。
- 前記受光部は、前記載置部用移動機構によって前記基板が移動する移動路を移動することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の露光装置。
- 前記受光部は、前記基板が移動する移動路を移動し、受光した光の波長のスペクトルを変換する波長変換部を備え、
前記波長変換部にて波長スペクトルが変換された光が導光され、当該波長変換部における照度を検出するための照度検出部が設けられることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の露光装置。 - 前記受光部は、前記光照射部から前記波長変換部へ照射される光の一部を遮光するために、開口部が形成された遮光部を備えることを特徴とする請求項6記載の露光装置。
- 前記開口部は前記左右が短手方向となるスリット状に形成されていることを特徴とする請求項7記載の露光装置。
- 前記基板を露光するときと、前記照度検出部に光を照射するときとで、
前記各光照射部による光の照射方向が変更されるように光照射部を移動させる光照射部用の移動機構が設けられることを特徴とする1ないし8のいずれか一つに記載の露光装置。 - 前記各光照射部により照射された光を反射する反射部材と、
当該反射部材の位置を変更する位置変更機構と、が設けられ、
前記基板を露光するときと、前記照度検出部に光を照射するときとで、前記反射部材が異なる位置に位置することを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一つに記載の露光装置。 - 前記基板においては、パターンマスクを用いてパターン露光が行われたレジスト膜が、表面に形成されていることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか一つに記載の露光装置。
- 基板を載置部に載置する工程と、
複数の光照射部により、前記基板の表面の左右の互いに異なる位置に各々独立して光を照射して、前記基板の表面の一端から他端に亘る帯状の照射領域を形成する工程と、
載置部用移動機構により、前記基板の表面全体が露光されるように、前記照射領域に対して前記載置部を前後に相対的に移動させる工程と、
前記照射領域の長さ方向における照度分布を検出するために、受光部を当該照射領域の一端部と他端部との間で移動させて、光を受光させる工程と、
前記照度分布に基づいて、前記光照射部の光の照射量を調整する工程と、
を備え、
前記受光部は、前記基板が移動する移動路を移動する導光部材を備え、
前記導光部材は、前記照度検出部に導光される光の強度を減衰させるための減衰部を備え、
前記導光部材によって導光される光の照度を照度検出部により検出する工程を備えることを特徴とする露光装置の調整方法。 - 基板を載置部に載置する工程と、
複数の光照射部により、前記基板の表面の左右の互いに異なる位置に各々独立して光を照射して、前記基板の表面の一端から他端に亘る帯状の照射領域を形成する工程と、
載置部用移動機構により、前記基板の表面全体が露光されるように、前記照射領域に対して前記載置部を前後に相対的に移動させる工程と、
前記照射領域の長さ方向における照度分布を検出するために、受光部を当該照射領域の一端部と他端部との間で移動させて、光を受光させる工程と、
前記照度分布に基づいて、前記光照射部の光の照射量を調整する工程と、
を備え、
前記複数の光照射部、及び前記複数の光照射部とは別個に設けられて前記基板への光照射を行わない監視用光照射部のうちの一方から照射される光を選択的に前記照度検出部により受光する工程と、
前記監視用光照射部から前記照度検出部に照射された光の照度に基づいて、前記基板を露光するときの各光照射部から出力される光量を一括で調整する工程と、
を備えることを特徴とする露光装置の調整方法。 - 前記受光部を備える冶具を、前記基板が載置されていない前記載置部に載置する工程を含み、
前記受光部に光を受光させる工程は、前記冶具を載置した載置部を回転させる工程及び当該載置部を前記照射領域に対して前後に相対的に移動させる工程を含むことを特徴とする請求項12または13記載の露光装置の調整方法。 - 基板を露光するための露光装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項12ないし14のいずれか一つに記載の露光装置の調整方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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