JPS6397992A - カラ−薄膜el表示パネル - Google Patents
カラ−薄膜el表示パネルInfo
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- JPS6397992A JPS6397992A JP61244703A JP24470386A JPS6397992A JP S6397992 A JPS6397992 A JP S6397992A JP 61244703 A JP61244703 A JP 61244703A JP 24470386 A JP24470386 A JP 24470386A JP S6397992 A JPS6397992 A JP S6397992A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 24
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000005132 Calcium sulfide based phosphorescent agent Substances 0.000 description 2
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 2
- 101100348958 Caenorhabditis elegans smf-3 gene Proteins 0.000 description 1
- 241000238631 Hexapoda Species 0.000 description 1
- 229910005091 Si3N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021175 SmF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004299 TbF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008903 TmF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- LKNRQYTYDPPUOX-UHFFFAOYSA-K trifluoroterbium Chemical compound F[Tb](F)F LKNRQYTYDPPUOX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はカラー表示の薄膜EL表示パネルに関する。
薄膜EL表示素子の代表的な素子構造である交流駆動の
2重絶縁型薄膜BL表示素子の断面図を第3図に示す。
2重絶縁型薄膜BL表示素子の断面図を第3図に示す。
ガラス等の基板1上に透明電極2、第1絶縁体層31発
光層4.第2絶縁体層5、背面電極6を積層した構造で
ある。第1.第2絶縁体層3,5はY2O3,Si3N
4.Ta205.BaTiO3等の透明な誘電体膜で形
成される。また発光層4はZnS等を母体として、Mn
等の発光中心を添加したものが使用されている。これら
の絶縁体層や発光層はスパッタリング、真空蒸着、MO
CVD、原子層エピタキシャル法(ALE法)等の成膜
手段で形成され、素子の構成膜全体の厚さも2ミクロン
以下と非常に薄いものである。
光層4.第2絶縁体層5、背面電極6を積層した構造で
ある。第1.第2絶縁体層3,5はY2O3,Si3N
4.Ta205.BaTiO3等の透明な誘電体膜で形
成される。また発光層4はZnS等を母体として、Mn
等の発光中心を添加したものが使用されている。これら
の絶縁体層や発光層はスパッタリング、真空蒸着、MO
CVD、原子層エピタキシャル法(ALE法)等の成膜
手段で形成され、素子の構成膜全体の厚さも2ミクロン
以下と非常に薄いものである。
この薄膜EL表示素子の両電極間に高電圧を印加するこ
とにより、電界加速された熱電子が発光中心を衝突励起
し、電場発光するものである。第3図に示した多層薄膜
構造において、電極2と電極6とを互いに直交する多数
のス1〜ライブ状に形成することにより、ドツトマトリ
クス表示の薄膜ELパネルが得られる。
とにより、電界加速された熱電子が発光中心を衝突励起
し、電場発光するものである。第3図に示した多層薄膜
構造において、電極2と電極6とを互いに直交する多数
のス1〜ライブ状に形成することにより、ドツトマトリ
クス表示の薄膜ELパネルが得られる。
薄膜ELパネルは現在のところ7.nS:Meを発光層
とする黄橙色の惟色表示のものが実用化されている。黄
橙色以外にも発光層の材料を変えることにより、その材
料個有の発光色を得ることができる。例えば、緑色表示
にはZnS:TbF3及びCaS:Ce、赤色表示には
7.nS:SmF3及びCaS:Euかつ青色表示には
2nS:TmF3及びSrS:Ceがそれぞれ知られて
おり、フルカラー化が期待されている。
とする黄橙色の惟色表示のものが実用化されている。黄
橙色以外にも発光層の材料を変えることにより、その材
料個有の発光色を得ることができる。例えば、緑色表示
にはZnS:TbF3及びCaS:Ce、赤色表示には
7.nS:SmF3及びCaS:Euかつ青色表示には
2nS:TmF3及びSrS:Ceがそれぞれ知られて
おり、フルカラー化が期待されている。
フルカラーの薄膜EL表示パネルは赤(R)、緑(G)
及び青(B)の各々の発光色を呈する発光層を有する素
子を平面的に配置したり、積層配置することにより実現
されるが、現在のところ3原色についてすべて十分な輝
度が実現されてはいない。特に、青色は低輝度であり、
フルカラーの薄膜E L、表示パネルの実現に障害とな
っている。
及び青(B)の各々の発光色を呈する発光層を有する素
子を平面的に配置したり、積層配置することにより実現
されるが、現在のところ3原色についてすべて十分な輝
度が実現されてはいない。特に、青色は低輝度であり、
フルカラーの薄膜E L、表示パネルの実現に障害とな
っている。
近年、SrS:Ce系の発光層が開発され大幅に輝度が
向上した。しかし、この材料では長波長側にも発光成分
があるために青色としては色純度が悪く、青緑色に近い
ためにフルカラーの表示装置とじては狭い色範囲しか再
現できない。
向上した。しかし、この材料では長波長側にも発光成分
があるために青色としては色純度が悪く、青緑色に近い
ためにフルカラーの表示装置とじては狭い色範囲しか再
現できない。
そこで色純度を改善するために長波長側の光を遮断する
カラーフィルターを併用することが検討されている。例
えば、第4図に示すように、各色の発光素子R1〜R4
,Gl〜G3.Bl〜B3が平面的に分割形成されてい
るカラー表示パネルにおいて、ガラス基板51を介して
反対面に目合せして(iLJなカラーフィルター52を
配置する構成がある。この場合、カラーフィルター52
の微細なパターン化にともなう問題と共に、ガラス基板
51の厚さのために視角により色ずれを生じる問題があ
る。勿論、カラーフィルター52を薄膜EL素子部に直
接接して形成することも可能であるが、この場合は耐熱
性の非常に薄いフィルターが要求されたり、絶縁破壊が
伝播型になりパネルを損なう問題が発生したりする。
カラーフィルターを併用することが検討されている。例
えば、第4図に示すように、各色の発光素子R1〜R4
,Gl〜G3.Bl〜B3が平面的に分割形成されてい
るカラー表示パネルにおいて、ガラス基板51を介して
反対面に目合せして(iLJなカラーフィルター52を
配置する構成がある。この場合、カラーフィルター52
の微細なパターン化にともなう問題と共に、ガラス基板
51の厚さのために視角により色ずれを生じる問題があ
る。勿論、カラーフィルター52を薄膜EL素子部に直
接接して形成することも可能であるが、この場合は耐熱
性の非常に薄いフィルターが要求されたり、絶縁破壊が
伝播型になりパネルを損なう問題が発生したりする。
また、薄膜EL素子の透明性を利用して各発光色の素子
を積層することにより、カラー薄1摸EL表示パネルが
実現できる。積層型カラー薄膜E L表示パネルにカラ
ーフィルターを配置した一例を第5図に示す。この場合
、積層される薄膜EL素子B1〜B4.R,1〜R4,
Gl〜G4の間にカラーフィルター62を設置する必要
があり、やはり素子作成時の高い温度に耐える耐熱性や
絶縁破壊が伝播型になり易い問題がある。
を積層することにより、カラー薄1摸EL表示パネルが
実現できる。積層型カラー薄膜E L表示パネルにカラ
ーフィルターを配置した一例を第5図に示す。この場合
、積層される薄膜EL素子B1〜B4.R,1〜R4,
Gl〜G4の間にカラーフィルター62を設置する必要
があり、やはり素子作成時の高い温度に耐える耐熱性や
絶縁破壊が伝播型になり易い問題がある。
上述のように、カラーフィルターら併用して実用的なカ
ラー薄膜EL表示パネルを構成するためには多々の困難
がある。
ラー薄膜EL表示パネルを構成するためには多々の困難
がある。
本発明のカラー薄膜EL表示パネルは、第1発光色を呈
する薄膜EL素子及び第2発光色を呈する薄膜EL素子
を形成した第1の基板と第3発光色を呈する薄膜EL素
子を形成した第2の基板とを備え、前記第1の基板と前
記第2の基板とを前記薄膜EL素子が形成された面を内
側にして対向させ、かつ前記第1の基板と前記第2の基
板との間にカラーフィルターを配置した構成である。
する薄膜EL素子及び第2発光色を呈する薄膜EL素子
を形成した第1の基板と第3発光色を呈する薄膜EL素
子を形成した第2の基板とを備え、前記第1の基板と前
記第2の基板とを前記薄膜EL素子が形成された面を内
側にして対向させ、かつ前記第1の基板と前記第2の基
板との間にカラーフィルターを配置した構成である。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第1の実施例を示す第1図を参照すると、ガラス基板2
1にITO膜からなる電極22をスI・ライブ状にパタ
ーン化して形成した後、絶縁体層23としてTa205
とSiNxの積層膜を成膜する。次に、緑色の発光層2
4としてZnS:Tb、F膜及び赤色の発光層25とし
てCaS:Eu膜をストライプ状に分割して形成した後
、絶縁体層26としてSiNxとY2O3の積層膜を形
成する。更に、電極22と直交するようにストライブ状
に電極27をIT(]摸により形成する6一方、ガラス
基板28に電極29としてTal摸をストライブ状に形
成した後、絶縁体層30を絶縁体層23と同様に成膜し
た後、青色の発光層31をSrS:Ce、Ce膜を成膜
し、絶縁体層32を絶縁体層26と同様に形成する。次
に、電極33としてITO膜を電極29と直交するよう
にストライプ状に形成する。このようにして構成された
第1及び第2のガラス基板21.28を薄膜Eし素子形
成側を内側として対向させ、両基板間に着色しな高分子
フィルムからなるシーI・状の青色のカラーフィルター
34を挟入して張り合わせることによりカラー薄膜EL
表示パネルが得られる。なお、カラーフィルター34と
しては、透明高分子フィルムあるいは薄いガラス板に顔
料等を蒸着したものを使用することもできる。
1にITO膜からなる電極22をスI・ライブ状にパタ
ーン化して形成した後、絶縁体層23としてTa205
とSiNxの積層膜を成膜する。次に、緑色の発光層2
4としてZnS:Tb、F膜及び赤色の発光層25とし
てCaS:Eu膜をストライプ状に分割して形成した後
、絶縁体層26としてSiNxとY2O3の積層膜を形
成する。更に、電極22と直交するようにストライブ状
に電極27をIT(]摸により形成する6一方、ガラス
基板28に電極29としてTal摸をストライブ状に形
成した後、絶縁体層30を絶縁体層23と同様に成膜し
た後、青色の発光層31をSrS:Ce、Ce膜を成膜
し、絶縁体層32を絶縁体層26と同様に形成する。次
に、電極33としてITO膜を電極29と直交するよう
にストライプ状に形成する。このようにして構成された
第1及び第2のガラス基板21.28を薄膜Eし素子形
成側を内側として対向させ、両基板間に着色しな高分子
フィルムからなるシーI・状の青色のカラーフィルター
34を挟入して張り合わせることによりカラー薄膜EL
表示パネルが得られる。なお、カラーフィルター34と
しては、透明高分子フィルムあるいは薄いガラス板に顔
料等を蒸着したものを使用することもできる。
次に、第2の実施例を示す第2図を参照すると、ガラス
基板35に形成された青色発光の薄膜EL素子81〜B
4は上記第1の実施例と同一構成であるが、ガラス基板
36には透明電極、絶縁体層、赤色発光層、絶縁体層、
透明電極、絶縁体層、緑色発光層、絶縁体層、透明電極
を順次積層形成した2色の積層型薄膜EL素子R1〜R
4。
基板35に形成された青色発光の薄膜EL素子81〜B
4は上記第1の実施例と同一構成であるが、ガラス基板
36には透明電極、絶縁体層、赤色発光層、絶縁体層、
透明電極、絶縁体層、緑色発光層、絶縁体層、透明電極
を順次積層形成した2色の積層型薄膜EL素子R1〜R
4。
G1− G・1が形成されている。これらの基板35.
36を素子が形成されている面を内側として対向させ、
間に20ミクロン径の微小なガラス球37と着色された
染料からなる液状のカラーフィルター38とを封入する
ことによりカラー薄膜EL表示パネルが得られる。この
ように染料をカラーフィルターとして用いることにより
、色純度を改善できる。なお、液状のカラーフィルター
38としては、有機染料の他にオイルと染料との混合物
及びオイル中に微細な顔料を分散させたものを使用して
もよい。スペーサとしてガラス球37は基板間隔により
カラーフィルター38の着色量が変化することを防止す
る。
36を素子が形成されている面を内側として対向させ、
間に20ミクロン径の微小なガラス球37と着色された
染料からなる液状のカラーフィルター38とを封入する
ことによりカラー薄膜EL表示パネルが得られる。この
ように染料をカラーフィルターとして用いることにより
、色純度を改善できる。なお、液状のカラーフィルター
38としては、有機染料の他にオイルと染料との混合物
及びオイル中に微細な顔料を分散させたものを使用して
もよい。スペーサとしてガラス球37は基板間隔により
カラーフィルター38の着色量が変化することを防止す
る。
上述した本発明の第1及び第2の実施例は3原色のフル
カラー表示を目的としたものであるが、第1及び第2の
基板がそれぞれ1色のみの薄膜EL素子を形成した多色
用のパネルにおいても上述したカラーフィルターの中間
配置構成は有効である。
カラー表示を目的としたものであるが、第1及び第2の
基板がそれぞれ1色のみの薄膜EL素子を形成した多色
用のパネルにおいても上述したカラーフィルターの中間
配置構成は有効である。
以上説明したように本発明によれば、高い表示品質のカ
ラー表示を行なうことができ、かつ従来の表示パネルに
比較して製造が容易であると共に信頼性の向上を図れる
。
ラー表示を行なうことができ、かつ従来の表示パネルに
比較して製造が容易であると共に信頼性の向上を図れる
。
第1図及び第2図は本発明の第1及び第2の実施例を示
す構成図、第3図は2重絶縁型薄膜EL素子の構成を示
す図、第4図及び第5図は従来のカラー薄1iEL表示
パネルの構成図である。 21.28,35.36・・・ガラス基板、37・・・
ガラス球、34.38・・・カラーフィルター。 24 20 24 2f 24 2.r単I N 牛λ 図 蟲3 回 第4 ■ 第3 図
す構成図、第3図は2重絶縁型薄膜EL素子の構成を示
す図、第4図及び第5図は従来のカラー薄1iEL表示
パネルの構成図である。 21.28,35.36・・・ガラス基板、37・・・
ガラス球、34.38・・・カラーフィルター。 24 20 24 2f 24 2.r単I N 牛λ 図 蟲3 回 第4 ■ 第3 図
Claims (1)
- 第1発光色を呈する薄膜EL素子及び第2発光色を呈す
る薄膜EL素子を形成した第1の基板と第3発光色を呈
する薄膜EL素子を形成した第2の基板とを備え、前記
第1の基板と前記第2の基板とを前記薄膜EL素子が形
成された面を内側にして対向させ、かつ前記第1の基板
と前記第2の基板との間にカラーフィルターを配置した
ことを特徴とするカラー薄膜EL表示パネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61244703A JPS6397992A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | カラ−薄膜el表示パネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61244703A JPS6397992A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | カラ−薄膜el表示パネル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6397992A true JPS6397992A (ja) | 1988-04-28 |
Family
ID=17122670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61244703A Pending JPS6397992A (ja) | 1986-10-14 | 1986-10-14 | カラ−薄膜el表示パネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6397992A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011023359A (ja) * | 2010-09-07 | 2011-02-03 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置 |
US8368298B2 (en) | 2005-04-19 | 2013-02-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device with multiple OLEDS |
-
1986
- 1986-10-14 JP JP61244703A patent/JPS6397992A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8368298B2 (en) | 2005-04-19 | 2013-02-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device with multiple OLEDS |
JP2011023359A (ja) * | 2010-09-07 | 2011-02-03 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置 |
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