JPS6379665U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6379665U JPS6379665U JP17507286U JP17507286U JPS6379665U JP S6379665 U JPS6379665 U JP S6379665U JP 17507286 U JP17507286 U JP 17507286U JP 17507286 U JP17507286 U JP 17507286U JP S6379665 U JPS6379665 U JP S6379665U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- gas
- tube
- outlet
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 claims description 3
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 2
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 claims 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図、第２図及び第３図は本考案の第１、第
２及び第３の実施例を示す構成図である。 １……レーザ管、２……放電電極対、３……光
学窓、４……レーザガスの出口、５……レーザガ
スの入口、６……レーザガス循環器、７……モレ
キユラシーブトラツプ、８……モレキユラシーブ
、９……網、１０……銅パイプ、１１……仕切り
板、１２……液体窒素溜、１３……液体窒素、１
４……温度センサ、１５……ヒータ、１６……温
度検知部、１７……ヒーター電流コントロール部
、１８……温度コントローラ、１９……管路、２
１……ダストフイルター、２２……ハロゲンガス
の入口、２３……ハロゲンガス微量添加装置、２
４……ハロゲンガスボンベ。
２及び第３の実施例を示す構成図である。 １……レーザ管、２……放電電極対、３……光
学窓、４……レーザガスの出口、５……レーザガ
スの入口、６……レーザガス循環器、７……モレ
キユラシーブトラツプ、８……モレキユラシーブ
、９……網、１０……銅パイプ、１１……仕切り
板、１２……液体窒素溜、１３……液体窒素、１
４……温度センサ、１５……ヒータ、１６……温
度検知部、１７……ヒーター電流コントロール部
、１８……温度コントローラ、１９……管路、２
１……ダストフイルター、２２……ハロゲンガス
の入口、２３……ハロゲンガス微量添加装置、２
４……ハロゲンガスボンベ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ハロゲンガスを含むレーザガスの入口及び出口
を有し、かつレーザ光の誘導放出を可能にする放
電を行なう放電電極対を備えるレーザ管と； 前記レーザ管のレーザガスの出口と、レーザガ
スを循環させる循環器と、人工ゼオライトを充填
したモレキユラシーブトラツプと、前記レーザ管
のレーザガスの入口とを直列に接続する管路と； 前記人工ゼオライトを室温以下―１９６℃以上
に冷却する冷却部と； から構成されることを特徴とするエキシマレーザ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17507286U JPS6379665U (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17507286U JPS6379665U (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6379665U true JPS6379665U (ja) | 1988-05-26 |
Family
ID=31114051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17507286U Pending JPS6379665U (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6379665U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6274430A (ja) * | 1985-09-28 | 1987-04-06 | Central Glass Co Ltd | 希ガスハライドエキシマ−レ−ザ−ガスの精製法 |
| JPS62279824A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-04 | Central Glass Co Ltd | 希ガスハライドエキシマ−レ−ザ−ガスの精製法 |
-
1986
- 1986-11-13 JP JP17507286U patent/JPS6379665U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6274430A (ja) * | 1985-09-28 | 1987-04-06 | Central Glass Co Ltd | 希ガスハライドエキシマ−レ−ザ−ガスの精製法 |
| JPS62279824A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-04 | Central Glass Co Ltd | 希ガスハライドエキシマ−レ−ザ−ガスの精製法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE60137924D1 (de) | Selektive sorption und desorption von gasen mit elektrisch beheiztem aktivkohletuchfilterelement | |
| DE59408012D1 (de) | Elektrische Vorrichtung zum Verdunsten von Wirkstoffen | |
| CA2181676A1 (en) | Improved cell and circuit for monitoring photochemical reactions | |
| FR2733354B1 (fr) | Appareil de soudage de connexions interieures comportant un moyen de dissipation de chaleur, et procede de soudage utilisant cet appareil | |
| JPS6379665U (ja) | ||
| DE3861951D1 (de) | Waermeaustauscher mit rippenrohrbuendel und gehaeuse. | |
| ATE14625T1 (de) | Wassererhitzer. | |
| JPS5596551A (en) | Discharging lamp with pre-heater | |
| IT1211071B (it) | Metodo per il controllo degli inquinanti dei gas di scarico nella rigenerazione di catalizzatori in particelle. | |
| JPS588219A (ja) | 排気ガス中の微粒子捕集浄化装置 | |
| ATE19301T1 (de) | Waermetauscher, verfahren zur herstellung desselben und gastrockner mit einem solchen waermetauscher. | |
| JP3073375B2 (ja) | 排気ガス浄化装置 | |
| IT1255046B (it) | Ossidazione in fase gassosa a temperatura controllata | |
| JPS57450A (en) | Heat collector utilizing reflecting light | |
| IT1070488B (it) | Perfezionamenti negli scambiatori di calore tra fluidi particolarmente per l utilizzazione dei gas di scarico di motori termici | |
| IT8820868V0 (it) | Camera di raccolta dei gas di scarico per caldaie di riscaldamento. | |
| JPH0273756U (ja) | ||
| SU1187771A1 (ru) | Устройство дл обогрева и ультрафиолетового облучени животных | |
| SU1156718A1 (ru) | Фильтровальный элемент дл очистки высокотемпературных газов | |
| IT1196909B (it) | Dispositivo per l'utilizzazione del calore dei fumi di scarico negli impianti di riscaldamento | |
| DE59708065D1 (de) | Vorrichtung zur Rückgewinnung von Wärme aus Rauchgas, und Verfahren zur Herstellung derselben | |
| JPS60139253U (ja) | 還元気化水銀分析装置 | |
| SE9302211L (sv) | Värmeväxlare | |
| JPS62193548U (ja) | ||
| JPS63136216U (ja) |