JPS6379665U - - Google Patents
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- JPS6379665U JPS6379665U JP17507286U JP17507286U JPS6379665U JP S6379665 U JPS6379665 U JP S6379665U JP 17507286 U JP17507286 U JP 17507286U JP 17507286 U JP17507286 U JP 17507286U JP S6379665 U JPS6379665 U JP S6379665U
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- JP
- Japan
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- laser
- gas
- tube
- outlet
- inlet
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- Pending
Links
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 2
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 claims 1
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第1図、第2図及び第3図は本考案の第1、第
2及び第3の実施例を示す構成図である。 1……レーザ管、2……放電電極対、3……光
学窓、4……レーザガスの出口、5……レーザガ
スの入口、6……レーザガス循環器、7……モレ
キユラシーブトラツプ、8……モレキユラシーブ
、9……網、10……銅パイプ、11……仕切り
板、12……液体窒素溜、13……液体窒素、1
4……温度センサ、15……ヒータ、16……温
度検知部、17……ヒーター電流コントロール部
、18……温度コントローラ、19……管路、2
1……ダストフイルター、22……ハロゲンガス
の入口、23……ハロゲンガス微量添加装置、2
4……ハロゲンガスボンベ。
2及び第3の実施例を示す構成図である。 1……レーザ管、2……放電電極対、3……光
学窓、4……レーザガスの出口、5……レーザガ
スの入口、6……レーザガス循環器、7……モレ
キユラシーブトラツプ、8……モレキユラシーブ
、9……網、10……銅パイプ、11……仕切り
板、12……液体窒素溜、13……液体窒素、1
4……温度センサ、15……ヒータ、16……温
度検知部、17……ヒーター電流コントロール部
、18……温度コントローラ、19……管路、2
1……ダストフイルター、22……ハロゲンガス
の入口、23……ハロゲンガス微量添加装置、2
4……ハロゲンガスボンベ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ハロゲンガスを含むレーザガスの入口及び出口
を有し、かつレーザ光の誘導放出を可能にする放
電を行なう放電電極対を備えるレーザ管と; 前記レーザ管のレーザガスの出口と、レーザガ
スを循環させる循環器と、人工ゼオライトを充填
したモレキユラシーブトラツプと、前記レーザ管
のレーザガスの入口とを直列に接続する管路と; 前記人工ゼオライトを室温以下―196℃以上
に冷却する冷却部と; から構成されることを特徴とするエキシマレーザ
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17507286U JPS6379665U (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17507286U JPS6379665U (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6379665U true JPS6379665U (ja) | 1988-05-26 |
Family
ID=31114051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17507286U Pending JPS6379665U (ja) | 1986-11-13 | 1986-11-13 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6379665U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6274430A (ja) * | 1985-09-28 | 1987-04-06 | Central Glass Co Ltd | 希ガスハライドエキシマ−レ−ザ−ガスの精製法 |
JPS62279824A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-04 | Central Glass Co Ltd | 希ガスハライドエキシマ−レ−ザ−ガスの精製法 |
-
1986
- 1986-11-13 JP JP17507286U patent/JPS6379665U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6274430A (ja) * | 1985-09-28 | 1987-04-06 | Central Glass Co Ltd | 希ガスハライドエキシマ−レ−ザ−ガスの精製法 |
JPS62279824A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-04 | Central Glass Co Ltd | 希ガスハライドエキシマ−レ−ザ−ガスの精製法 |
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