JPS6378445A - ２次電子検出器 - Google Patents
２次電子検出器Info
- Publication number
- JPS6378445A JPS6378445A JP22085086A JP22085086A JPS6378445A JP S6378445 A JPS6378445 A JP S6378445A JP 22085086 A JP22085086 A JP 22085086A JP 22085086 A JP22085086 A JP 22085086A JP S6378445 A JPS6378445 A JP S6378445A
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- Japan
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- scintillator
- ring
- face
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- secondary electron
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 20
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 17
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
本発明は２次電子検出器に係り、電子ビーム装置等で試
料に照射した電子ビームによって生ずる２次電子をシン
チレータと電子増倍管等からなる２次電子の検出手段で
検出する際に、複数の検出手段のシンチレータに供給す
る高電圧をリング状電極で一括して供給する様にして、
検出手段の点検、交換を容易にしたものである。
料に照射した電子ビームによって生ずる２次電子をシン
チレータと電子増倍管等からなる２次電子の検出手段で
検出する際に、複数の検出手段のシンチレータに供給す
る高電圧をリング状電極で一括して供給する様にして、
検出手段の点検、交換を容易にしたものである。
本発明は２次電子検出器に係り、特に複数の２次電子を
検出する検出手段を電子ビームが照射される試料面と平
行する面内に配設して、定量測定を行なう、電子ビーム
装置等に用いる２次電子検出器に関する。
検出する検出手段を電子ビームが照射される試料面と平
行する面内に配設して、定量測定を行なう、電子ビーム
装置等に用いる２次電子検出器に関する。
電子ビーム装置では試料に照射した電子ビーノ、によっ
て発生する２次電子を検出するときに用いる２次電子検
出器の交換点検がしばしば行なわれる。この様な交換点
検の容易な２次電子検出器が要望されていた。
て発生する２次電子を検出するときに用いる２次電子検
出器の交換点検がしばしば行なわれる。この様な交換点
検の容易な２次電子検出器が要望されていた。
電子ビーム装＝、例えば電子ビームテスタ、或いは測長
電子凹微鏡等の定量測定を行う様なものでは試料に電子
ビームを照射し、試料から放出された２次電子を２次電
子検出器で検出していた。
電子凹微鏡等の定量測定を行う様なものでは試料に電子
ビームを照射し、試料から放出された２次電子を２次電
子検出器で検出していた。
この場合に１つの２次電子検出器を用いていたが、最近
では第６図に示す様に複数の２次電子検出器２ａ〜２ｄ
を電子ビーム装置のチェンバー１内に気富に配置し、試
料から放射された２次電子３をシンチレータ４に加えて
ライトバイブロを通じて光電子増倍管７で増倍させて、
電気信号に変換していた。
では第６図に示す様に複数の２次電子検出器２ａ〜２ｄ
を電子ビーム装置のチェンバー１内に気富に配置し、試
料から放射された２次電子３をシンチレータ４に加えて
ライトバイブロを通じて光電子増倍管７で増倍させて、
電気信号に変換していた。
２次電子を検出するための２次電子検出器２ａ〜２ｄの
構成としては円筒状のコレクタ電極５の底部に穿たれた
透孔１１を通じて、この透孔１１に対向配置したシンチ
レータ４に２次電子が入射される。２次電子３を受は入
れるシンチレータ１橿８はシンチレータ４の外周に設け
られ、この電極に１０Ｋｖ程度の高電圧を印加するため
に接続されたワイヤ１０は１つの高圧導入端子９に接続
されている。
構成としては円筒状のコレクタ電極５の底部に穿たれた
透孔１１を通じて、この透孔１１に対向配置したシンチ
レータ４に２次電子が入射される。２次電子３を受は入
れるシンチレータ１橿８はシンチレータ４の外周に設け
られ、この電極に１０Ｋｖ程度の高電圧を印加するため
に接続されたワイヤ１０は１つの高圧導入端子９に接続
されている。
シンチレータ４の対向する透孔１１とは反対面にライト
バイブロを対接し、シンチレータ４に入射させた２次電
子を受けとり発光して、この光信号をライトバイブロを
通じて光電子増倍管７で光を増倍して電気信号が取り出
される。普通、コレクタ電極５には一２００〜５００Ｖ
程度の電圧が加えられている。
バイブロを対接し、シンチレータ４に入射させた２次電
子を受けとり発光して、この光信号をライトバイブロを
通じて光電子増倍管７で光を増倍して電気信号が取り出
される。普通、コレクタ電極５には一２００〜５００Ｖ
程度の電圧が加えられている。
上記従来構成による２次電子検出器ではチェンバー１内
は真空になされているが、この工学容器内で高圧を供給
するためのワイヤ１０を複数本引き回すためワイヤが多
く、且つ長くなる。又、２次電子検出器２ａ〜２ｄの特
にシンチレータ等を交換する際には、コレクタ重視５内
に押入されているシンチレータ電極８からワイヤ１０を
外さなければならない。しかし、狭いチェンバー１内で
複数の２次電子検出器のワイヤ１０を外すことは大変煩
雑である。これらは交換だけでなく点検等についても言
えることである。
は真空になされているが、この工学容器内で高圧を供給
するためのワイヤ１０を複数本引き回すためワイヤが多
く、且つ長くなる。又、２次電子検出器２ａ〜２ｄの特
にシンチレータ等を交換する際には、コレクタ重視５内
に押入されているシンチレータ電極８からワイヤ１０を
外さなければならない。しかし、狭いチェンバー１内で
複数の２次電子検出器のワイヤ１０を外すことは大変煩
雑である。これらは交換だけでなく点検等についても言
えることである。
又、コレクタ電極５がシンチレータ電極８やシンチレー
タ４を覆っているためにシンチレータ４の交換、点検は
益々煩られしくなる欠点があった。
タ４を覆っているためにシンチレータ４の交換、点検は
益々煩られしくなる欠点があった。
本発明は叙上の欠点に鑑みなされたもので、その目的と
するところは極めて簡単に保安、点検や交換が可能な２
次電子検出器を提供しようとするものである。
するところは極めて簡単に保安、点検や交換が可能な２
次電子検出器を提供しようとするものである。
本発明の２次電子検出器は第１図に示す様にシンチレー
タ電極８の働きをするシンチレータキャンプ２３を有す
るシンチレータ４と対向配置したライトバイブロの反対
面に光電子増倍管７を有する２次電子を検出する複数の
検出手段１２３〜１２ｄを、円筒状の中心部に電子ビー
ム１５が通過する円筒状コレクタ電極１４の円筒部に穿
った透孔１６に対向させて、シンチレータキャンプ２３
に印加する高電圧（１０Ｋｖ）をリング１３を通じて与
えるようにし、シンチレータ４等の交換を容易にしたも
のである。
タ電極８の働きをするシンチレータキャンプ２３を有す
るシンチレータ４と対向配置したライトバイブロの反対
面に光電子増倍管７を有する２次電子を検出する複数の
検出手段１２３〜１２ｄを、円筒状の中心部に電子ビー
ム１５が通過する円筒状コレクタ電極１４の円筒部に穿
った透孔１６に対向させて、シンチレータキャンプ２３
に印加する高電圧（１０Ｋｖ）をリング１３を通じて与
えるようにし、シンチレータ４等の交換を容易にしたも
のである。
本発明の２次電子検出器はチェンバー１に穿った透孔１
ａ〜ｌｄ（第２図）に本発明の複数の検出手段１２ａ〜
１２ｄを挿入し、チェンバー内で共通のリング１３を溝
１７内に落し込むと共にスプリング等で押圧するだけで
高圧供給のワイヤ１０とすることにより、シンチレータ
の保守が簡単になる。
ａ〜ｌｄ（第２図）に本発明の複数の検出手段１２ａ〜
１２ｄを挿入し、チェンバー内で共通のリング１３を溝
１７内に落し込むと共にスプリング等で押圧するだけで
高圧供給のワイヤ１０とすることにより、シンチレータ
の保守が簡単になる。
以下、本発明の２次電子検出器を第１図乃至第５図（ａ
ｌ、 （ｂｌ、 （Ｃ）について詳記する。
ｌ、 （ｂｌ、 （Ｃ）について詳記する。
本発明の電子ビーム装置は図示しないが電子銃から放出
された電子ビームは真空のチェンバー１内を通って最終
段では対物レンズを形成する対物レンズ用コイル１８で
試料１９上に集束される。
された電子ビームは真空のチェンバー１内を通って最終
段では対物レンズを形成する対物レンズ用コイル１８で
試料１９上に集束される。
電子ビーム照射によって試料１９から放出された２次電
子３は本発明の円筒状コレクタ電極（フォーカシング
グリッド）１４に形成した透孔１６を通じて検出手段１
２ａ〜１２ｄのシンチレータ４に入射される。
子３は本発明の円筒状コレクタ電極（フォーカシング
グリッド）１４に形成した透孔１６を通じて検出手段１
２ａ〜１２ｄのシンチレータ４に入射される。
上述の円筒状コレクタ電極１４は第４図に示す様に全屈
等の円筒部２２に複数（本発明では４（固）の透孔１６
が穿たれ、これらは互いに円筒部２２の外周面に互に対
向して穿たれる。円筒部２２の一方はフランジ部２０で
塞がれ、このフランジ部２０の中央に電子ビーム１５を
通過させるための透孔２１が穿たれている。この透孔２
１は電子ビーム１５が通過し得る程度の小さな孔でもよ
い。
等の円筒部２２に複数（本発明では４（固）の透孔１６
が穿たれ、これらは互いに円筒部２２の外周面に互に対
向して穿たれる。円筒部２２の一方はフランジ部２０で
塞がれ、このフランジ部２０の中央に電子ビーム１５を
通過させるための透孔２１が穿たれている。この透孔２
１は電子ビーム１５が通過し得る程度の小さな孔でもよ
い。
この様にするとシンチレータ４に達する上方からの不用
な２次電子を吸収出来る。このコレクク電極には一２０
０Ｖ〜５００Ｖ程度の電圧を印加する。
な２次電子を吸収出来る。このコレクク電極には一２０
０Ｖ〜５００Ｖ程度の電圧を印加する。
この円筒状コレクタ電極１４と対向配置された複数の検
出手段１２ａ〜１２ｄの構成は第３図に示す様に成され
ている。叩ちシンチレータ４は２次電子３が入射すると
、これを光に変換して、ライトバイブロを通じて電子増
倍管７ （第１図参照）に矢印Ｂで示す様に伝える。
出手段１２ａ〜１２ｄの構成は第３図に示す様に成され
ている。叩ちシンチレータ４は２次電子３が入射すると
、これを光に変換して、ライトバイブロを通じて電子増
倍管７ （第１図参照）に矢印Ｂで示す様に伝える。
このために、シンチレータ４は光電面と反対側でライト
バイブロと対接され、ライトバイブロの先端外周に設け
た雄螺子部２６にシンチレータキャップ２３の内周に設
けた雌螺子部２５を螺合させて、シンチレータ４をライ
トバイブロの端面に対接させる。
バイブロと対接され、ライトバイブロの先端外周に設け
た雄螺子部２６にシンチレータキャップ２３の内周に設
けた雌螺子部２５を螺合させて、シンチレータ４をライ
トバイブロの端面に対接させる。
シンチレータキャップ２３はシンチレータ電極８となる
ものでＵ字状の全屈キャップで構成され、前面の蓋部２
３ａには開口部２４が穿たれ、円筒状コレクタ電極１４
の透孔１６とシンチレータキャップ２３の開口部２４を
通過した２次電子３がシンチレータ４に入射される。
ものでＵ字状の全屈キャップで構成され、前面の蓋部２
３ａには開口部２４が穿たれ、円筒状コレクタ電極１４
の透孔１６とシンチレータキャップ２３の開口部２４を
通過した２次電子３がシンチレータ４に入射される。
更に第３図には示さないが第１図に示す様にライトバイ
ブロの途中にはフランジ２７が嵌着され、ライトバイブ
ロの端面ば電子増倍管７に接し、適当なケーシング２８
によって電子増倍管７やフランジ２７が覆われている。
ブロの途中にはフランジ２７が嵌着され、ライトバイブ
ロの端面ば電子増倍管７に接し、適当なケーシング２８
によって電子増倍管７やフランジ２７が覆われている。
電子鏡筒を構成するチェンバー１には円周４等分位置に
透孔１ａ〜１ｄが穿たれ、その鏡筒内に円盤状の絶縁部
材２９が固定され、中心部には円筒状コレクタ電極１４
の円筒部２２が挿入出来る中心孔３１が穿たれ、円盤状
の絶縁部材２９の厚み方向の翼中位置に円周４等分位置
に外周から中心孔３１に向って雪道する４つの貫通孔３
０が穿たれこの宙通孔３０は鏡筒に穿った透孔１ａ〜１
ｄ位置と一致する。
透孔１ａ〜１ｄが穿たれ、その鏡筒内に円盤状の絶縁部
材２９が固定され、中心部には円筒状コレクタ電極１４
の円筒部２２が挿入出来る中心孔３１が穿たれ、円盤状
の絶縁部材２９の厚み方向の翼中位置に円周４等分位置
に外周から中心孔３１に向って雪道する４つの貫通孔３
０が穿たれこの宙通孔３０は鏡筒に穿った透孔１ａ〜１
ｄ位置と一致する。
上述した検出手段１２ａ〜１２ｄの先端を透孔１ａ〜１
ｄと貫通孔３０に挿通させる。尚３２は透孔１ａ〜１ｄ
に配したＯリングでチェンバー１と検出手段間の気密保
持がなされる。フランジ２７は検出手段と一体化されて
いるのでチェンバー１の外壁に螺子３３で固定すること
でチェンバーと一体化される。絶縁部材２９には円筒状
の溝１７がリング１３と同径で形成され、満１７内にリ
ング１３が挿入される。少なくとも４つのシンチレータ
故障・７ブ２３と接する部分の溝１７の深さはシンチレ
ータキャップ２３外周面迄達している。溝１７の深さを
一様にシンチレータキャップ２３に達する迄切り込む様
にすればリング１３のシンチレータキャップ２３と接す
る面（底面）に第５図（ａ）に示す様な凸部３４を設け
る必要がなく第５図（ｂ）に示す様な底面が平らなリン
グ１３を用いることが出来る。この場合、リング１３の
下面の一部を第５図（Ｃ）にその断面を示す如く、テー
バ面３５にすることにより高電圧導入端子９との接合を
容易にすることができる。リング１３はチェンバー１に
気密な状態で取り付けられた高電圧導入端子９と接続さ
れ、更にリング１３は図示しないスプリング等を介して
溝１７内でシンチレータキャップ２３に押圧されて電気
的に接続されている。またリング１３自身のバネ性を利
用すればスプリングは不要となる。
ｄと貫通孔３０に挿通させる。尚３２は透孔１ａ〜１ｄ
に配したＯリングでチェンバー１と検出手段間の気密保
持がなされる。フランジ２７は検出手段と一体化されて
いるのでチェンバー１の外壁に螺子３３で固定すること
でチェンバーと一体化される。絶縁部材２９には円筒状
の溝１７がリング１３と同径で形成され、満１７内にリ
ング１３が挿入される。少なくとも４つのシンチレータ
故障・７ブ２３と接する部分の溝１７の深さはシンチレ
ータキャップ２３外周面迄達している。溝１７の深さを
一様にシンチレータキャップ２３に達する迄切り込む様
にすればリング１３のシンチレータキャップ２３と接す
る面（底面）に第５図（ａ）に示す様な凸部３４を設け
る必要がなく第５図（ｂ）に示す様な底面が平らなリン
グ１３を用いることが出来る。この場合、リング１３の
下面の一部を第５図（Ｃ）にその断面を示す如く、テー
バ面３５にすることにより高電圧導入端子９との接合を
容易にすることができる。リング１３はチェンバー１に
気密な状態で取り付けられた高電圧導入端子９と接続さ
れ、更にリング１３は図示しないスプリング等を介して
溝１７内でシンチレータキャップ２３に押圧されて電気
的に接続されている。またリング１３自身のバネ性を利
用すればスプリングは不要となる。
本発明の２次電子検出器は、上述の様に構成されている
ので点検、交換時には溝内からリングを取り出し、検出
手段をチェンバーに穿った透孔から引き出すだけでよく
、極めて簡単にシンチレータ等を交換することが可能と
なった。
ので点検、交換時には溝内からリングを取り出し、検出
手段をチェンバーに穿った透孔から引き出すだけでよく
、極めて簡単にシンチレータ等を交換することが可能と
なった。
本発明は上述の様に構成し、動作するのでシンチレータ
故障、或いは検出手段の点検等にはリングを外すだけで
検出手段を簡単に引き出すことが出来、長いワイヤをチ
ェンバー内に引き回す必要がない等の多（の特徴を有す
る。
故障、或いは検出手段の点検等にはリングを外すだけで
検出手段を簡単に引き出すことが出来、長いワイヤをチ
ェンバー内に引き回す必要がない等の多（の特徴を有す
る。
第１図は本発明の２次電子検出装置の平面図、第２図は
第１図のＡ−Ａ ’断面矢視図、第３図は本発明に用い
る２次電子検出手段の一部拡大側断面図、 第４図は本発明に用いるコレクタ電極の斜視図゛、第５
図（ａｌ、 （ｂｌは本発明に用いるリングの外観を示
す斜視図、 第５図（Ｃ１は本発明のリングの断面図、第６図は従来
の２次電子検出器の平面図である。 １・・・チェンバー、 ２８〜２ｄ・・・２次電子検出器、 ４・・・シンチレータ、 ５・・・コレクタ電極、 ６・・・ライトパイプ、 ７・・・光電子増倍管、 ８・・・シンチレータ電極、 ９・・・高電圧導入端子、 １０・・・ワイヤ、 １２ａ〜１２ｄ・・・検出手段、 １３・・・リング、 １４・・・円筒状コレクタ電極、 １６・・・透孔、 １７・・・溝、 ２３・・・シンチレータ電極・ノブ、 ２９・・・絶縁部材。
第１図のＡ−Ａ ’断面矢視図、第３図は本発明に用い
る２次電子検出手段の一部拡大側断面図、 第４図は本発明に用いるコレクタ電極の斜視図゛、第５
図（ａｌ、 （ｂｌは本発明に用いるリングの外観を示
す斜視図、 第５図（Ｃ１は本発明のリングの断面図、第６図は従来
の２次電子検出器の平面図である。 １・・・チェンバー、 ２８〜２ｄ・・・２次電子検出器、 ４・・・シンチレータ、 ５・・・コレクタ電極、 ６・・・ライトパイプ、 ７・・・光電子増倍管、 ８・・・シンチレータ電極、 ９・・・高電圧導入端子、 １０・・・ワイヤ、 １２ａ〜１２ｄ・・・検出手段、 １３・・・リング、 １４・・・円筒状コレクタ電極、 １６・・・透孔、 １７・・・溝、 ２３・・・シンチレータ電極・ノブ、 ２９・・・絶縁部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 シンチレータ電極を有するシンチレータ（４）と対向配
置したライトパイプの反対面に光電子増倍管（７）を有
する２次電子を検出する検出手段と、 複数の該検出手段を共通の円筒状コレクタの開口部に対
向配置し、 上記複数の検出手段のシンチレータ電極に供給する高電
圧をリング状電極で一体に供給してなることを特徴とす
る２次電子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22085086A JPS6378445A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | ２次電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22085086A JPS6378445A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | ２次電子検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6378445A true JPS6378445A (ja) | 1988-04-08 |
| JPH0551136B2 JPH0551136B2 (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=16757519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22085086A Granted JPS6378445A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | ２次電子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6378445A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002184340A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-06-28 | Schlumberger Technol Inc | 二次電子検出用の小型高効率シンチレーション検出器 |
-
1986
- 1986-09-20 JP JP22085086A patent/JPS6378445A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002184340A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-06-28 | Schlumberger Technol Inc | 二次電子検出用の小型高効率シンチレーション検出器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0551136B2 (ja) | 1993-07-30 |
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