JPS6378445A - 2次電子検出器 - Google Patents
2次電子検出器Info
- Publication number
- JPS6378445A JPS6378445A JP22085086A JP22085086A JPS6378445A JP S6378445 A JPS6378445 A JP S6378445A JP 22085086 A JP22085086 A JP 22085086A JP 22085086 A JP22085086 A JP 22085086A JP S6378445 A JPS6378445 A JP S6378445A
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- Japan
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- scintillator
- ring
- face
- detection means
- secondary electron
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 20
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 17
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
本発明は2次電子検出器に係り、電子ビーム装置等で試
料に照射した電子ビームによって生ずる2次電子をシン
チレータと電子増倍管等からなる2次電子の検出手段で
検出する際に、複数の検出手段のシンチレータに供給す
る高電圧をリング状電極で一括して供給する様にして、
検出手段の点検、交換を容易にしたものである。
料に照射した電子ビームによって生ずる2次電子をシン
チレータと電子増倍管等からなる2次電子の検出手段で
検出する際に、複数の検出手段のシンチレータに供給す
る高電圧をリング状電極で一括して供給する様にして、
検出手段の点検、交換を容易にしたものである。
本発明は2次電子検出器に係り、特に複数の2次電子を
検出する検出手段を電子ビームが照射される試料面と平
行する面内に配設して、定量測定を行なう、電子ビーム
装置等に用いる2次電子検出器に関する。
検出する検出手段を電子ビームが照射される試料面と平
行する面内に配設して、定量測定を行なう、電子ビーム
装置等に用いる2次電子検出器に関する。
電子ビーム装置では試料に照射した電子ビーノ、によっ
て発生する2次電子を検出するときに用いる2次電子検
出器の交換点検がしばしば行なわれる。この様な交換点
検の容易な2次電子検出器が要望されていた。
て発生する2次電子を検出するときに用いる2次電子検
出器の交換点検がしばしば行なわれる。この様な交換点
検の容易な2次電子検出器が要望されていた。
電子ビーム装=、例えば電子ビームテスタ、或いは測長
電子凹微鏡等の定量測定を行う様なものでは試料に電子
ビームを照射し、試料から放出された2次電子を2次電
子検出器で検出していた。
電子凹微鏡等の定量測定を行う様なものでは試料に電子
ビームを照射し、試料から放出された2次電子を2次電
子検出器で検出していた。
この場合に1つの2次電子検出器を用いていたが、最近
では第6図に示す様に複数の2次電子検出器2a〜2d
を電子ビーム装置のチェンバー1内に気富に配置し、試
料から放射された2次電子3をシンチレータ4に加えて
ライトバイブロを通じて光電子増倍管7で増倍させて、
電気信号に変換していた。
では第6図に示す様に複数の2次電子検出器2a〜2d
を電子ビーム装置のチェンバー1内に気富に配置し、試
料から放射された2次電子3をシンチレータ4に加えて
ライトバイブロを通じて光電子増倍管7で増倍させて、
電気信号に変換していた。
2次電子を検出するための2次電子検出器2a〜2dの
構成としては円筒状のコレクタ電極5の底部に穿たれた
透孔11を通じて、この透孔11に対向配置したシンチ
レータ4に2次電子が入射される。2次電子3を受は入
れるシンチレータ1橿8はシンチレータ4の外周に設け
られ、この電極に10Kv程度の高電圧を印加するため
に接続されたワイヤ10は1つの高圧導入端子9に接続
されている。
構成としては円筒状のコレクタ電極5の底部に穿たれた
透孔11を通じて、この透孔11に対向配置したシンチ
レータ4に2次電子が入射される。2次電子3を受は入
れるシンチレータ1橿8はシンチレータ4の外周に設け
られ、この電極に10Kv程度の高電圧を印加するため
に接続されたワイヤ10は1つの高圧導入端子9に接続
されている。
シンチレータ4の対向する透孔11とは反対面にライト
バイブロを対接し、シンチレータ4に入射させた2次電
子を受けとり発光して、この光信号をライトバイブロを
通じて光電子増倍管7で光を増倍して電気信号が取り出
される。普通、コレクタ電極5には一200〜500V
程度の電圧が加えられている。
バイブロを対接し、シンチレータ4に入射させた2次電
子を受けとり発光して、この光信号をライトバイブロを
通じて光電子増倍管7で光を増倍して電気信号が取り出
される。普通、コレクタ電極5には一200〜500V
程度の電圧が加えられている。
上記従来構成による2次電子検出器ではチェンバー1内
は真空になされているが、この工学容器内で高圧を供給
するためのワイヤ10を複数本引き回すためワイヤが多
く、且つ長くなる。又、2次電子検出器2a〜2dの特
にシンチレータ等を交換する際には、コレクタ重視5内
に押入されているシンチレータ電極8からワイヤ10を
外さなければならない。しかし、狭いチェンバー1内で
複数の2次電子検出器のワイヤ10を外すことは大変煩
雑である。これらは交換だけでなく点検等についても言
えることである。
は真空になされているが、この工学容器内で高圧を供給
するためのワイヤ10を複数本引き回すためワイヤが多
く、且つ長くなる。又、2次電子検出器2a〜2dの特
にシンチレータ等を交換する際には、コレクタ重視5内
に押入されているシンチレータ電極8からワイヤ10を
外さなければならない。しかし、狭いチェンバー1内で
複数の2次電子検出器のワイヤ10を外すことは大変煩
雑である。これらは交換だけでなく点検等についても言
えることである。
又、コレクタ電極5がシンチレータ電極8やシンチレー
タ4を覆っているためにシンチレータ4の交換、点検は
益々煩られしくなる欠点があった。
タ4を覆っているためにシンチレータ4の交換、点検は
益々煩られしくなる欠点があった。
本発明は叙上の欠点に鑑みなされたもので、その目的と
するところは極めて簡単に保安、点検や交換が可能な2
次電子検出器を提供しようとするものである。
するところは極めて簡単に保安、点検や交換が可能な2
次電子検出器を提供しようとするものである。
本発明の2次電子検出器は第1図に示す様にシンチレー
タ電極8の働きをするシンチレータキャンプ23を有す
るシンチレータ4と対向配置したライトバイブロの反対
面に光電子増倍管7を有する2次電子を検出する複数の
検出手段123〜12dを、円筒状の中心部に電子ビー
ム15が通過する円筒状コレクタ電極14の円筒部に穿
った透孔16に対向させて、シンチレータキャンプ23
に印加する高電圧(10Kv)をリング13を通じて与
えるようにし、シンチレータ4等の交換を容易にしたも
のである。
タ電極8の働きをするシンチレータキャンプ23を有す
るシンチレータ4と対向配置したライトバイブロの反対
面に光電子増倍管7を有する2次電子を検出する複数の
検出手段123〜12dを、円筒状の中心部に電子ビー
ム15が通過する円筒状コレクタ電極14の円筒部に穿
った透孔16に対向させて、シンチレータキャンプ23
に印加する高電圧(10Kv)をリング13を通じて与
えるようにし、シンチレータ4等の交換を容易にしたも
のである。
本発明の2次電子検出器はチェンバー1に穿った透孔1
a〜ld(第2図)に本発明の複数の検出手段12a〜
12dを挿入し、チェンバー内で共通のリング13を溝
17内に落し込むと共にスプリング等で押圧するだけで
高圧供給のワイヤ10とすることにより、シンチレータ
の保守が簡単になる。
a〜ld(第2図)に本発明の複数の検出手段12a〜
12dを挿入し、チェンバー内で共通のリング13を溝
17内に落し込むと共にスプリング等で押圧するだけで
高圧供給のワイヤ10とすることにより、シンチレータ
の保守が簡単になる。
以下、本発明の2次電子検出器を第1図乃至第5図(a
l、 (bl、 (C)について詳記する。
l、 (bl、 (C)について詳記する。
本発明の電子ビーム装置は図示しないが電子銃から放出
された電子ビームは真空のチェンバー1内を通って最終
段では対物レンズを形成する対物レンズ用コイル18で
試料19上に集束される。
された電子ビームは真空のチェンバー1内を通って最終
段では対物レンズを形成する対物レンズ用コイル18で
試料19上に集束される。
電子ビーム照射によって試料19から放出された2次電
子3は本発明の円筒状コレクタ電極(フォーカシング
グリッド)14に形成した透孔16を通じて検出手段1
2a〜12dのシンチレータ4に入射される。
子3は本発明の円筒状コレクタ電極(フォーカシング
グリッド)14に形成した透孔16を通じて検出手段1
2a〜12dのシンチレータ4に入射される。
上述の円筒状コレクタ電極14は第4図に示す様に全屈
等の円筒部22に複数(本発明では4(固)の透孔16
が穿たれ、これらは互いに円筒部22の外周面に互に対
向して穿たれる。円筒部22の一方はフランジ部20で
塞がれ、このフランジ部20の中央に電子ビーム15を
通過させるための透孔21が穿たれている。この透孔2
1は電子ビーム15が通過し得る程度の小さな孔でもよ
い。
等の円筒部22に複数(本発明では4(固)の透孔16
が穿たれ、これらは互いに円筒部22の外周面に互に対
向して穿たれる。円筒部22の一方はフランジ部20で
塞がれ、このフランジ部20の中央に電子ビーム15を
通過させるための透孔21が穿たれている。この透孔2
1は電子ビーム15が通過し得る程度の小さな孔でもよ
い。
この様にするとシンチレータ4に達する上方からの不用
な2次電子を吸収出来る。このコレクク電極には一20
0V〜500V程度の電圧を印加する。
な2次電子を吸収出来る。このコレクク電極には一20
0V〜500V程度の電圧を印加する。
この円筒状コレクタ電極14と対向配置された複数の検
出手段12a〜12dの構成は第3図に示す様に成され
ている。叩ちシンチレータ4は2次電子3が入射すると
、これを光に変換して、ライトバイブロを通じて電子増
倍管7 (第1図参照)に矢印Bで示す様に伝える。
出手段12a〜12dの構成は第3図に示す様に成され
ている。叩ちシンチレータ4は2次電子3が入射すると
、これを光に変換して、ライトバイブロを通じて電子増
倍管7 (第1図参照)に矢印Bで示す様に伝える。
このために、シンチレータ4は光電面と反対側でライト
バイブロと対接され、ライトバイブロの先端外周に設け
た雄螺子部26にシンチレータキャップ23の内周に設
けた雌螺子部25を螺合させて、シンチレータ4をライ
トバイブロの端面に対接させる。
バイブロと対接され、ライトバイブロの先端外周に設け
た雄螺子部26にシンチレータキャップ23の内周に設
けた雌螺子部25を螺合させて、シンチレータ4をライ
トバイブロの端面に対接させる。
シンチレータキャップ23はシンチレータ電極8となる
ものでU字状の全屈キャップで構成され、前面の蓋部2
3aには開口部24が穿たれ、円筒状コレクタ電極14
の透孔16とシンチレータキャップ23の開口部24を
通過した2次電子3がシンチレータ4に入射される。
ものでU字状の全屈キャップで構成され、前面の蓋部2
3aには開口部24が穿たれ、円筒状コレクタ電極14
の透孔16とシンチレータキャップ23の開口部24を
通過した2次電子3がシンチレータ4に入射される。
更に第3図には示さないが第1図に示す様にライトバイ
ブロの途中にはフランジ27が嵌着され、ライトバイブ
ロの端面ば電子増倍管7に接し、適当なケーシング28
によって電子増倍管7やフランジ27が覆われている。
ブロの途中にはフランジ27が嵌着され、ライトバイブ
ロの端面ば電子増倍管7に接し、適当なケーシング28
によって電子増倍管7やフランジ27が覆われている。
電子鏡筒を構成するチェンバー1には円周4等分位置に
透孔1a〜1dが穿たれ、その鏡筒内に円盤状の絶縁部
材29が固定され、中心部には円筒状コレクタ電極14
の円筒部22が挿入出来る中心孔31が穿たれ、円盤状
の絶縁部材29の厚み方向の翼中位置に円周4等分位置
に外周から中心孔31に向って雪道する4つの貫通孔3
0が穿たれこの宙通孔30は鏡筒に穿った透孔1a〜1
d位置と一致する。
透孔1a〜1dが穿たれ、その鏡筒内に円盤状の絶縁部
材29が固定され、中心部には円筒状コレクタ電極14
の円筒部22が挿入出来る中心孔31が穿たれ、円盤状
の絶縁部材29の厚み方向の翼中位置に円周4等分位置
に外周から中心孔31に向って雪道する4つの貫通孔3
0が穿たれこの宙通孔30は鏡筒に穿った透孔1a〜1
d位置と一致する。
上述した検出手段12a〜12dの先端を透孔1a〜1
dと貫通孔30に挿通させる。尚32は透孔1a〜1d
に配したOリングでチェンバー1と検出手段間の気密保
持がなされる。フランジ27は検出手段と一体化されて
いるのでチェンバー1の外壁に螺子33で固定すること
でチェンバーと一体化される。絶縁部材29には円筒状
の溝17がリング13と同径で形成され、満17内にリ
ング13が挿入される。少なくとも4つのシンチレータ
故障・7ブ23と接する部分の溝17の深さはシンチレ
ータキャップ23外周面迄達している。溝17の深さを
一様にシンチレータキャップ23に達する迄切り込む様
にすればリング13のシンチレータキャップ23と接す
る面(底面)に第5図(a)に示す様な凸部34を設け
る必要がなく第5図(b)に示す様な底面が平らなリン
グ13を用いることが出来る。この場合、リング13の
下面の一部を第5図(C)にその断面を示す如く、テー
バ面35にすることにより高電圧導入端子9との接合を
容易にすることができる。リング13はチェンバー1に
気密な状態で取り付けられた高電圧導入端子9と接続さ
れ、更にリング13は図示しないスプリング等を介して
溝17内でシンチレータキャップ23に押圧されて電気
的に接続されている。またリング13自身のバネ性を利
用すればスプリングは不要となる。
dと貫通孔30に挿通させる。尚32は透孔1a〜1d
に配したOリングでチェンバー1と検出手段間の気密保
持がなされる。フランジ27は検出手段と一体化されて
いるのでチェンバー1の外壁に螺子33で固定すること
でチェンバーと一体化される。絶縁部材29には円筒状
の溝17がリング13と同径で形成され、満17内にリ
ング13が挿入される。少なくとも4つのシンチレータ
故障・7ブ23と接する部分の溝17の深さはシンチレ
ータキャップ23外周面迄達している。溝17の深さを
一様にシンチレータキャップ23に達する迄切り込む様
にすればリング13のシンチレータキャップ23と接す
る面(底面)に第5図(a)に示す様な凸部34を設け
る必要がなく第5図(b)に示す様な底面が平らなリン
グ13を用いることが出来る。この場合、リング13の
下面の一部を第5図(C)にその断面を示す如く、テー
バ面35にすることにより高電圧導入端子9との接合を
容易にすることができる。リング13はチェンバー1に
気密な状態で取り付けられた高電圧導入端子9と接続さ
れ、更にリング13は図示しないスプリング等を介して
溝17内でシンチレータキャップ23に押圧されて電気
的に接続されている。またリング13自身のバネ性を利
用すればスプリングは不要となる。
本発明の2次電子検出器は、上述の様に構成されている
ので点検、交換時には溝内からリングを取り出し、検出
手段をチェンバーに穿った透孔から引き出すだけでよく
、極めて簡単にシンチレータ等を交換することが可能と
なった。
ので点検、交換時には溝内からリングを取り出し、検出
手段をチェンバーに穿った透孔から引き出すだけでよく
、極めて簡単にシンチレータ等を交換することが可能と
なった。
本発明は上述の様に構成し、動作するのでシンチレータ
故障、或いは検出手段の点検等にはリングを外すだけで
検出手段を簡単に引き出すことが出来、長いワイヤをチ
ェンバー内に引き回す必要がない等の多(の特徴を有す
る。
故障、或いは検出手段の点検等にはリングを外すだけで
検出手段を簡単に引き出すことが出来、長いワイヤをチ
ェンバー内に引き回す必要がない等の多(の特徴を有す
る。
第1図は本発明の2次電子検出装置の平面図、第2図は
第1図のA−A ’断面矢視図、第3図は本発明に用い
る2次電子検出手段の一部拡大側断面図、 第4図は本発明に用いるコレクタ電極の斜視図゛、第5
図(al、 (blは本発明に用いるリングの外観を示
す斜視図、 第5図(C1は本発明のリングの断面図、第6図は従来
の2次電子検出器の平面図である。 1・・・チェンバー、 28〜2d・・・2次電子検出器、 4・・・シンチレータ、 5・・・コレクタ電極、 6・・・ライトパイプ、 7・・・光電子増倍管、 8・・・シンチレータ電極、 9・・・高電圧導入端子、 10・・・ワイヤ、 12a〜12d・・・検出手段、 13・・・リング、 14・・・円筒状コレクタ電極、 16・・・透孔、 17・・・溝、 23・・・シンチレータ電極・ノブ、 29・・・絶縁部材。
第1図のA−A ’断面矢視図、第3図は本発明に用い
る2次電子検出手段の一部拡大側断面図、 第4図は本発明に用いるコレクタ電極の斜視図゛、第5
図(al、 (blは本発明に用いるリングの外観を示
す斜視図、 第5図(C1は本発明のリングの断面図、第6図は従来
の2次電子検出器の平面図である。 1・・・チェンバー、 28〜2d・・・2次電子検出器、 4・・・シンチレータ、 5・・・コレクタ電極、 6・・・ライトパイプ、 7・・・光電子増倍管、 8・・・シンチレータ電極、 9・・・高電圧導入端子、 10・・・ワイヤ、 12a〜12d・・・検出手段、 13・・・リング、 14・・・円筒状コレクタ電極、 16・・・透孔、 17・・・溝、 23・・・シンチレータ電極・ノブ、 29・・・絶縁部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 シンチレータ電極を有するシンチレータ(4)と対向配
置したライトパイプの反対面に光電子増倍管(7)を有
する2次電子を検出する検出手段と、 複数の該検出手段を共通の円筒状コレクタの開口部に対
向配置し、 上記複数の検出手段のシンチレータ電極に供給する高電
圧をリング状電極で一体に供給してなることを特徴とす
る2次電子検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22085086A JPS6378445A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | 2次電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22085086A JPS6378445A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | 2次電子検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6378445A true JPS6378445A (ja) | 1988-04-08 |
JPH0551136B2 JPH0551136B2 (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=16757519
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22085086A Granted JPS6378445A (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | 2次電子検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6378445A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002184340A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-06-28 | Schlumberger Technol Inc | 二次電子検出用の小型高効率シンチレーション検出器 |
-
1986
- 1986-09-20 JP JP22085086A patent/JPS6378445A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002184340A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-06-28 | Schlumberger Technol Inc | 二次電子検出用の小型高効率シンチレーション検出器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0551136B2 (ja) | 1993-07-30 |
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