JPH067557Y2 - ２次電子検出器 - Google Patents
２次電子検出器Info
- Publication number
- JPH067557Y2 JPH067557Y2 JP1986143449U JP14344986U JPH067557Y2 JP H067557 Y2 JPH067557 Y2 JP H067557Y2 JP 1986143449 U JP1986143449 U JP 1986143449U JP 14344986 U JP14344986 U JP 14344986U JP H067557 Y2 JPH067557 Y2 JP H067557Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scintillator
- secondary electron
- collector electrode
- electron detector
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔考案の概要〕 本考案の２次電子検出器はシンチレータと電子増倍管等
からなる複数個の検出手段を電子ビームと直交する面内
に配したものにおいて、複数の検出手段を共通の円筒状
コレクタ電極に穿った開口部に対向配置して検出手段の
シンチレータ電極に加える高電圧で生ずる電界分布の歪
をなくし、２次電子検出器の小型化を計るようにしたも
のである。
からなる複数個の検出手段を電子ビームと直交する面内
に配したものにおいて、複数の検出手段を共通の円筒状
コレクタ電極に穿った開口部に対向配置して検出手段の
シンチレータ電極に加える高電圧で生ずる電界分布の歪
をなくし、２次電子検出器の小型化を計るようにしたも
のである。
本考案は２次電子検出器に係り、特に複数の２次電子を
検出する検出手段を電子ビームが照射される試料面と平
行面に配設して電子ビームテスタ、或は測長電子顕微鏡
等の様に定量測定を行なう、電子ビーム装置に用いる２
次電子検出器に関する。
検出する検出手段を電子ビームが照射される試料面と平
行面に配設して電子ビームテスタ、或は測長電子顕微鏡
等の様に定量測定を行なう、電子ビーム装置に用いる２
次電子検出器に関する。
この様な電子ビーム装置では試料に照射する電子ビーム
によって２次電子を放出させ、この２次電子を２次電子
検出器で検知して、定量測長を行うが、この際に放出さ
れる２次電子の放出方向変動に影響されない２次電子検
出器が要望されていた。
によって２次電子を放出させ、この２次電子を２次電子
検出器で検知して、定量測長を行うが、この際に放出さ
れる２次電子の放出方向変動に影響されない２次電子検
出器が要望されていた。
電子ビーム装置に用いられる２次電子検出器として第６
図に示す様なEverhart-Thornleyタイプ（同軸円筒２電
極構造）のものが知られている。この２次電子検出器１
は円筒状のコレクタ電極２を有し、円筒状の有底部には
透孔９が穿たれ、コレクタ電極２には−500〜500Ｖ範囲
内の電圧が印加される。
図に示す様なEverhart-Thornleyタイプ（同軸円筒２電
極構造）のものが知られている。この２次電子検出器１
は円筒状のコレクタ電極２を有し、円筒状の有底部には
透孔９が穿たれ、コレクタ電極２には−500〜500Ｖ範囲
内の電圧が印加される。
円筒状のコレクタ電極２内には透孔９と対向してシンチ
レータ５と、このシンチレータ５に電圧を供給するシン
チレータ電極３を有し、このシンチレータ電極３には10
KV程度の電圧が供給されている。４はシンチレータに対
向配置されたライトパイプで、このライトパイプのシン
チレータが配されている面とは反対側には図示しないが
フォトマル等の電子増倍管が配されている。６は電子ビ
ーム装置の図示しない真空チャンバ内の電子ビームを示
し、試料７に照射され、試料７からは電子ビーム６の照
射によって２次電子８が放出され、２次電子検出器のコ
レクタ電極２の透孔９を介して２次電子８がシンチレー
タ５に与えられる。
レータ５と、このシンチレータ５に電圧を供給するシン
チレータ電極３を有し、このシンチレータ電極３には10
KV程度の電圧が供給されている。４はシンチレータに対
向配置されたライトパイプで、このライトパイプのシン
チレータが配されている面とは反対側には図示しないが
フォトマル等の電子増倍管が配されている。６は電子ビ
ーム装置の図示しない真空チャンバ内の電子ビームを示
し、試料７に照射され、試料７からは電子ビーム６の照
射によって２次電子８が放出され、２次電子検出器のコ
レクタ電極２の透孔９を介して２次電子８がシンチレー
タ５に与えられる。
この様な同軸円筒２電極構造の２次電子検出器は第７図
に示す様に平面図でみて十字型に例えば、４個配置さ
れ、電子ビーム６の照射部から放出した２次電子８が試
料７から４つのシンチレータ５に与えられる様になされ
ている。
に示す様に平面図でみて十字型に例えば、４個配置さ
れ、電子ビーム６の照射部から放出した２次電子８が試
料７から４つのシンチレータ５に与えられる様になされ
ている。
上述の従来構成によるとシンチレータ電極３に高電圧の
10KV程度の電圧が加えられているために２次電子検出器
１、１の互いに隣り合う境界面では図の様に電界分布１
０が乱された部分１０ａを生じ、この部分の電位は高く
なるために、４つの２次電子検出器をあり近づけて配置
することが出来ず、実際には電子ビーム６の照射位置を
中心として80mmφの直径位置にコレクタ電極２の有底部
の透孔９が配されていて、２次電子検出器の特性向上及
び装置の小型化をさまたげていた。
10KV程度の電圧が加えられているために２次電子検出器
１、１の互いに隣り合う境界面では図の様に電界分布１
０が乱された部分１０ａを生じ、この部分の電位は高く
なるために、４つの２次電子検出器をあり近づけて配置
することが出来ず、実際には電子ビーム６の照射位置を
中心として80mmφの直径位置にコレクタ電極２の有底部
の透孔９が配されていて、２次電子検出器の特性向上及
び装置の小型化をさまたげていた。
本考案の目的は、シンチレータ電極３を有するシンチレ
ータ５と、該シンチレータ５と光電子増倍管の間に配置
されたライトパイプ４とからなる複数の検出手段と、円
筒壁に複数の開口部が穿設され、該開口部に前記複数の
検出手段が電子ビームの照射される面と平行に対向配置
される円筒状コレクタ電極とを備え、前記開口部近傍に
おいて集中電界となる軸対称性電界が形成されることを
特徴とする２次電子検出器により達成される。
ータ５と、該シンチレータ５と光電子増倍管の間に配置
されたライトパイプ４とからなる複数の検出手段と、円
筒壁に複数の開口部が穿設され、該開口部に前記複数の
検出手段が電子ビームの照射される面と平行に対向配置
される円筒状コレクタ電極とを備え、前記開口部近傍に
おいて集中電界となる軸対称性電界が形成されることを
特徴とする２次電子検出器により達成される。
本考案の２次電子検出器は複数の検出手段を共通のコレ
クタ電極に対向配置させたために、試料面に照射する電
子ビームを中心に画いた直径外周に、例えば、複数の検
出手段を十字状に配置して上述の直径を極めて小さく構
成させても、コレクタ電極やシンチレータ電極に加える
電圧の影響を受けない２次電子検出器が得られる。
クタ電極に対向配置させたために、試料面に照射する電
子ビームを中心に画いた直径外周に、例えば、複数の検
出手段を十字状に配置して上述の直径を極めて小さく構
成させても、コレクタ電極やシンチレータ電極に加える
電圧の影響を受けない２次電子検出器が得られる。
以下、本考案の２次電子検出器の１実施例を第１図〜第
３図を参照しながら詳記する。
３図を参照しながら詳記する。
第１図は本考案の２次電子検出器の要部模式図、第２図
は第１図に示す円筒状コレクタ電極の斜視図、第３図は
本考案の２次電子検出器の電界分布を示す平面図であ
る。第１図に於いて、第６図及び第７図と対応部分には
同一符号を付して重複説明を省略するが、第６図で示し
た円筒状の有底部に透孔９を穿ったコレクタ電極１１は
本考案ではシンチレータ５、シンチレータ電極３、ライ
トパイプ４、図示しない光電子倍増管からなる個々の
（図では４個）検出手段１５には覆せられていないで、
第２図に示す様な円筒状部１３とこの円筒状部１３の一
側端に形成したフランジ部１４からなり、円筒状部１３
には本例では４つの開口部１２が穿たれた円筒状コレク
タ電極１１からなり、検出手段１５はこの円筒状コレク
タ電極１１の円筒状部１３に穿った開口部１２と対向す
る位置に適当な方法で保持されている。円筒状コレクタ
電極１１の中心位置に電子ビーム装置の電子ビーム６が
照射される様に配置される。
は第１図に示す円筒状コレクタ電極の斜視図、第３図は
本考案の２次電子検出器の電界分布を示す平面図であ
る。第１図に於いて、第６図及び第７図と対応部分には
同一符号を付して重複説明を省略するが、第６図で示し
た円筒状の有底部に透孔９を穿ったコレクタ電極１１は
本考案ではシンチレータ５、シンチレータ電極３、ライ
トパイプ４、図示しない光電子倍増管からなる個々の
（図では４個）検出手段１５には覆せられていないで、
第２図に示す様な円筒状部１３とこの円筒状部１３の一
側端に形成したフランジ部１４からなり、円筒状部１３
には本例では４つの開口部１２が穿たれた円筒状コレク
タ電極１１からなり、検出手段１５はこの円筒状コレク
タ電極１１の円筒状部１３に穿った開口部１２と対向す
る位置に適当な方法で保持されている。円筒状コレクタ
電極１１の中心位置に電子ビーム装置の電子ビーム６が
照射される様に配置される。
試料７から放出された２次電子８は第１図及び第３図に
示す様に円筒状コレクタ電極１１に穿った４つの開口部
１２…を通して検出手段１５を構成するシンチレータ５
に入射されこの部分に集中電界１７が形成される。本考
案では第３図に示される様に対向配置された検出手段１
５、１５…の電子ビーム軸に対する軸対称性が向上し、
互いに隣り合う部分の電界１６は０電界となり、電界の
軸非対称性は非常に小さくなる。その結果、コレクタ電
極１１並にシンチレータ５を電子ビーム軸に近づけるこ
とが出来る様になったために小型化され、円筒状コレク
タ電極１１の円筒部直径を30mmφとすることが出来た。
そのため検出効率は向上した。コレクタ電極１１への印
加電圧は−50〜−200Ｖの負の電圧とした場合に最も効
率が高く、不要な散乱２次電子も有効に除去された。
示す様に円筒状コレクタ電極１１に穿った４つの開口部
１２…を通して検出手段１５を構成するシンチレータ５
に入射されこの部分に集中電界１７が形成される。本考
案では第３図に示される様に対向配置された検出手段１
５、１５…の電子ビーム軸に対する軸対称性が向上し、
互いに隣り合う部分の電界１６は０電界となり、電界の
軸非対称性は非常に小さくなる。その結果、コレクタ電
極１１並にシンチレータ５を電子ビーム軸に近づけるこ
とが出来る様になったために小型化され、円筒状コレク
タ電極１１の円筒部直径を30mmφとすることが出来た。
そのため検出効率は向上した。コレクタ電極１１への印
加電圧は−50〜−200Ｖの負の電圧とした場合に最も効
率が高く、不要な散乱２次電子も有効に除去された。
第４図及び第５図は上方からの不要な２次電子の散乱を
防止するための他の実施例を示すものであり、第４図は
２次電子検出器の模式図、第５図はコレクタ電極の斜視
図である。第４図及び第５図で第１図及び第２図との対
応部分には同一符号を付してあり、重複説明は省略する
が第２図で示す円筒状コレクタ電極１１に上部フランジ
２０を円筒状部１３に嵌め合せ、この上部フランジ部２
０の中心位置に電子ビーム６の通過する透孔１９が穿た
れている。この様な構成のコレクタ電極によれば上方か
らの不要な散乱電子を極めて有効に除去出来る。
防止するための他の実施例を示すものであり、第４図は
２次電子検出器の模式図、第５図はコレクタ電極の斜視
図である。第４図及び第５図で第１図及び第２図との対
応部分には同一符号を付してあり、重複説明は省略する
が第２図で示す円筒状コレクタ電極１１に上部フランジ
２０を円筒状部１３に嵌め合せ、この上部フランジ部２
０の中心位置に電子ビーム６の通過する透孔１９が穿た
れている。この様な構成のコレクタ電極によれば上方か
らの不要な散乱電子を極めて有効に除去出来る。
本考案は以上に述べたコレクタ電極に限らず種々の変形
が可能であり、本考案の要旨を変更しない範囲で複数の
検出手段に共通のコレクタ電極を作ることが出来る。
が可能であり、本考案の要旨を変更しない範囲で複数の
検出手段に共通のコレクタ電極を作ることが出来る。
本考案は以上の如く構成させたのでコレクタ電極とシン
チレータ電極を電子ビーム軸に近づけることが出来て、
２次電子検出効率を高めることが出来るだけでなく、小
型化が可能となり、電界の軸非対称性（電子ビーム軸に
対し）が改善された。
チレータ電極を電子ビーム軸に近づけることが出来て、
２次電子検出効率を高めることが出来るだけでなく、小
型化が可能となり、電界の軸非対称性（電子ビーム軸に
対し）が改善された。
第１図は本考案の２次電子検出器の模式的な側断面図、 第２図は本考案の２次電子検出器に用いるコレクタ電極
の斜視図、 第３図は本考案の円筒状コレクタ電極を上からみた電界
分布を示す模式図、 第４図は本考案の２次電子検出器の他の実施例を示す模
式的な側断面図、 第５図は第４図に用いるコレクタ電極の斜視図、 第６図は従来の２次電子検出器の模式的側断面図、 第７図は第６図の平面図で電界を示す模式図である。 １……２次電子検出器、 ２……コレクタ電極、 ３……シンチレータ電極、 ４……ライトパイプ、 ５……シンチレータ、 ６……電子ビーム、 ８……２次電子、 １０……電界分布、 １１……円筒状コレクタ電極、 １２……開口部、 １３……円筒状部、 １４……フランジ部、 １５……検出手段、 １６……隣り合う部分の電界、 ２０……上部フランジ。
の斜視図、 第３図は本考案の円筒状コレクタ電極を上からみた電界
分布を示す模式図、 第４図は本考案の２次電子検出器の他の実施例を示す模
式的な側断面図、 第５図は第４図に用いるコレクタ電極の斜視図、 第６図は従来の２次電子検出器の模式的側断面図、 第７図は第６図の平面図で電界を示す模式図である。 １……２次電子検出器、 ２……コレクタ電極、 ３……シンチレータ電極、 ４……ライトパイプ、 ５……シンチレータ、 ６……電子ビーム、 ８……２次電子、 １０……電界分布、 １１……円筒状コレクタ電極、 １２……開口部、 １３……円筒状部、 １４……フランジ部、 １５……検出手段、 １６……隣り合う部分の電界、 ２０……上部フランジ。
フロントページの続き (72)考案者 大窪 和生 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)考案者 後藤 善朗 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 実開 昭58−148867（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】シンチレータ電極（３）を有するシンチレ
ータ（５）と、該シンチレータ（５）と光電子増倍管の
間に配置されたライトパイプ（４）とからなる複数の検
出手段と、 円筒壁に複数の開口部が穿設され、該開口部に前記複数
の検出手段が電子ビームの照射される面と平行に対向配
置される円筒状コレクタ電極とを備え、 前記開口部近傍において集中電界となる軸対称性電界が
形成されることを特徴とする２次電子検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986143449U JPH067557Y2 (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | ２次電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986143449U JPH067557Y2 (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | ２次電子検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350442U JPS6350442U (ja) | 1988-04-05 |
| JPH067557Y2 true JPH067557Y2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=31053141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986143449U Expired - Lifetime JPH067557Y2 (ja) | 1986-09-20 | 1986-09-20 | ２次電子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067557Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008257914A (ja) * | 2007-04-02 | 2008-10-23 | Jeol Ltd | ビーム装置 |
| JP4958313B2 (ja) * | 2008-10-17 | 2012-06-20 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 走査型電子顕微鏡およびその使用方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58148867U (ja) * | 1982-03-30 | 1983-10-06 | 株式会社島津製作所 | ２次電子検出装置 |
-
1986
- 1986-09-20 JP JP1986143449U patent/JPH067557Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6350442U (ja) | 1988-04-05 |
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