JPS6374565A - 超精密研磨用ガイドロ−ラ - Google Patents
超精密研磨用ガイドロ−ラInfo
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- JPS6374565A JPS6374565A JP61215963A JP21596386A JPS6374565A JP S6374565 A JPS6374565 A JP S6374565A JP 61215963 A JP61215963 A JP 61215963A JP 21596386 A JP21596386 A JP 21596386A JP S6374565 A JPS6374565 A JP S6374565A
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- JP
- Japan
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- rotor
- guide roller
- stator
- dynamic pressure
- circular plate
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- Granted
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- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B31/00—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor
- B24B31/10—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor involving other means for tumbling of work
- B24B31/108—Machines or devices designed for polishing or abrading surfaces on work by means of tumbling apparatus or other apparatus in which the work and/or the abrasive material is loose; Accessories therefor involving other means for tumbling of work involving a sectioned bowl, one part of which, e.g. its wall, is stationary and the other part of which is moved, e.g. rotated
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、M Pa砥粒によるラッピング、ボリシン
グ、メカノケミカルボリジング等の超精密研摩加工に関
する。
グ、メカノケミカルボリジング等の超精密研摩加工に関
する。
[従来の技術]
従来から、Vi離砥粒による超精密研磨例は第4図に示
すような修正輪型が使われている。この図において、ラ
ップ皿、ポリシャ等の回転可能な工具1上に環状の修正
輪3が配置され、その中に被加工物としての試料を工具
1側の面に接着した円盤状プレート5を収納する。修正
輪3は、工具1の外方からV字状に延長された2本のア
ーム7゜9の先端に回転可能に取付けられたガイドロー
ラ11.13にて支持されている。
すような修正輪型が使われている。この図において、ラ
ップ皿、ポリシャ等の回転可能な工具1上に環状の修正
輪3が配置され、その中に被加工物としての試料を工具
1側の面に接着した円盤状プレート5を収納する。修正
輪3は、工具1の外方からV字状に延長された2本のア
ーム7゜9の先端に回転可能に取付けられたガイドロー
ラ11.13にて支持されている。
そして、工具1が図中で反時計方向に回転づると、これ
につれて修正輪3は、工具1の外周側と内周側との周速
度の差によってガイドローラ11゜13に支持されつつ
図中で反時計方向に従動回転し、これと同時にプレート
5も試料と共に同方向に回転する。このようにして試料
は、それ自体回転しながら工具1の回転により研磨され
る。
につれて修正輪3は、工具1の外周側と内周側との周速
度の差によってガイドローラ11゜13に支持されつつ
図中で反時計方向に従動回転し、これと同時にプレート
5も試料と共に同方向に回転する。このようにして試料
は、それ自体回転しながら工具1の回転により研磨され
る。
一般に、上述の研磨により試ri面をより均一化して加
工するには、工具1とμ正+23ならびにブレート5の
各回転数をそれぞれ同一にするのが理想である。このた
め、従来では修正輪3を支持するガイドローラ11.1
3を玉軸受あるいはすべり軸受により回転支持して回転
抵抗を減少させている。
工するには、工具1とμ正+23ならびにブレート5の
各回転数をそれぞれ同一にするのが理想である。このた
め、従来では修正輪3を支持するガイドローラ11.1
3を玉軸受あるいはすべり軸受により回転支持して回転
抵抗を減少させている。
ところが、最近、超精密研磨加工の精度がより高度に要
求されているが、この精度に最も関係する要因の1つと
してガイドローラ11.13からの回転による振動があ
る。ラッピング、ポリシング?7研磨加工は定盤工具の
表面形状の転写を加工の原理としていることから考えて
も、試料に振動を与えることは超精密加工の精度を低下
させることは明らかである。第4図をみてもわかるよう
に、試料を支えているのはガイドローラ11.13であ
り、ガイドローラ11.13の回転により振動が発(L
すると、この振動が直接的に精度に影響を及ぼすことに
なる。
求されているが、この精度に最も関係する要因の1つと
してガイドローラ11.13からの回転による振動があ
る。ラッピング、ポリシング?7研磨加工は定盤工具の
表面形状の転写を加工の原理としていることから考えて
も、試料に振動を与えることは超精密加工の精度を低下
させることは明らかである。第4図をみてもわかるよう
に、試料を支えているのはガイドローラ11.13であ
り、ガイドローラ11.13の回転により振動が発(L
すると、この振動が直接的に精度に影響を及ぼすことに
なる。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、前述の玉軸受やすべり軸受によるガイド
ローラ11.13の支持では、ガイドローラ11.13
側からの軸受部のころがり若しくはすべりによる感動が
修正輪3およびプレート5を介して試料に伝播するため
、試料の加工面、特にその外周側にはチッピングが生じ
たり、クランクが深く入り加工歪が顕著に現われてしま
うという問題がある。
ローラ11.13の支持では、ガイドローラ11.13
側からの軸受部のころがり若しくはすべりによる感動が
修正輪3およびプレート5を介して試料に伝播するため
、試料の加工面、特にその外周側にはチッピングが生じ
たり、クランクが深く入り加工歪が顕著に現われてしま
うという問題がある。
この発明はこのような従来の問題点に着目してなされた
もので、回転振動を減少させた超精密研磨加工用ガイド
ローラの提供を目的どする。
もので、回転振動を減少させた超精密研磨加工用ガイド
ローラの提供を目的どする。
[問題点を解決するための手段コ
この目的を達成するためにこの発明は、研磨盤に対し従
動回転する修正輪が研磨盤上に配置され、この修正輪を
支持する超精密研磨用ガイドローラにおいて、支持部材
に固定支持されるシャフトと、シャフトに固定支持され
流体槽を構成するステータと、ステータに対し回転可能
で前記流体槽内に一部位が収納され且つ他の一部位が前
記修正輪に接触可能なロータとを有し、前記ステータと
ロータとの互いの対向面の何れか一方にステータとロー
タとの間に動圧を発生させるa)圧発生部を設ける構成
とした。
動回転する修正輪が研磨盤上に配置され、この修正輪を
支持する超精密研磨用ガイドローラにおいて、支持部材
に固定支持されるシャフトと、シャフトに固定支持され
流体槽を構成するステータと、ステータに対し回転可能
で前記流体槽内に一部位が収納され且つ他の一部位が前
記修正輪に接触可能なロータとを有し、前記ステータと
ロータとの互いの対向面の何れか一方にステータとロー
タとの間に動圧を発生させるa)圧発生部を設ける構成
とした。
[作用]
このような構成において、修正輪の回転に伴ってロータ
が回転すると、ステータの流体槽内の流体がステータと
ロータとの何れか一方の動圧発生部に引き込まれること
によりステータとロータとの間に動圧が発生する。この
ため、ステータとロータとは流体を介しての相対回転関
係となり、ロータの回転振動は極めて小さいものとなっ
て修正輪に与える振C」は微小なものとなる。この結果
、試料の超精密研磨加工が精度良く行なわれる。
が回転すると、ステータの流体槽内の流体がステータと
ロータとの何れか一方の動圧発生部に引き込まれること
によりステータとロータとの間に動圧が発生する。この
ため、ステータとロータとは流体を介しての相対回転関
係となり、ロータの回転振動は極めて小さいものとなっ
て修正輪に与える振C」は微小なものとなる。この結果
、試料の超精密研磨加工が精度良く行なわれる。
[実施例]
以下、図面に基づぎこの発明の一実施例を詳細に説明す
る。
る。
第1図は第4図のガイドローラ11.13に相当する部
位の拡大された断面図である。ガイドローラとしてのロ
ータ15を回転支持し図中で上部側先端にねじ部17a
が形成されたシャフト17の下部側にはステータ19が
固定支持されている。
位の拡大された断面図である。ガイドローラとしてのロ
ータ15を回転支持し図中で上部側先端にねじ部17a
が形成されたシャフト17の下部側にはステータ19が
固定支持されている。
ステータ1っは、シャフト17に固定支持される内側円
筒部21と、内側円筒部21との間で環状空間を形成す
る外側円筒部23と、内側円筒部21および外側円筒部
23の雨下端部をつなぐ底部円板25とから形成されて
いる。上記内側円筒部21、外側円筒部23および底部
円板25とにより囲まれた部位が環状の流体槽27とな
り、この流体槽27内に油28が満たされる。
筒部21と、内側円筒部21との間で環状空間を形成す
る外側円筒部23と、内側円筒部21および外側円筒部
23の雨下端部をつなぐ底部円板25とから形成されて
いる。上記内側円筒部21、外側円筒部23および底部
円板25とにより囲まれた部位が環状の流体槽27とな
り、この流体槽27内に油28が満たされる。
内側円筒部21の上部は外側円筒部23より若干上方に
突出しており、この突出部21aの外径は流体槽27の
内周壁を構成する内側円筒部21の外径より小さくなっ
ている。突出部21aの上端に当接した状態で、第4図
のアーム7.9に相当する支持部材としての支持板29
がシャフト17のねじ部17aに螺合し固定され、更に
支持板2つの上部側にはナツト31が螺合し支持板2つ
を固定している。
突出しており、この突出部21aの外径は流体槽27の
内周壁を構成する内側円筒部21の外径より小さくなっ
ている。突出部21aの上端に当接した状態で、第4図
のアーム7.9に相当する支持部材としての支持板29
がシャフト17のねじ部17aに螺合し固定され、更に
支持板2つの上部側にはナツト31が螺合し支持板2つ
を固定している。
前記ロータ15は、第4図に示したものと同様な図示し
ない研磨盤としてのラップ詔、ポリシャ等の工具上に配
置された修正輪に接触して回転するガイドローラ部33
と、流体槽27内に配冒されるロータ部35とから形成
されている。
ない研磨盤としてのラップ詔、ポリシャ等の工具上に配
置された修正輪に接触して回転するガイドローラ部33
と、流体槽27内に配冒されるロータ部35とから形成
されている。
ガイドローラ部33は、流体槽27の上部間口を覆う位
置にあって内周側端部が内周側円筒部21の突出部21
aに近接して配置された上部壁33aと、上部壁33a
の外周側端部から下方に延長された円筒部33bとから
なる。ロータ部35は、ガイドローラ33の上部壁33
a下面に固定され、外周側中央部に環状凹部35aが形
成されている。
置にあって内周側端部が内周側円筒部21の突出部21
aに近接して配置された上部壁33aと、上部壁33a
の外周側端部から下方に延長された円筒部33bとから
なる。ロータ部35は、ガイドローラ33の上部壁33
a下面に固定され、外周側中央部に環状凹部35aが形
成されている。
ステータ19の内側円筒部21と底部円板25とにそれ
ぞれ対向するロータ部35の内周壁35bと下面部35
0とには、ロータ15の回転によりこの各部35b、3
5cとステータ19との間に油が引き込まれて動圧を発
生させる動圧発生部37が形成されている。第2図はこ
の動圧発生部37を示すロータ部35の底面図である。
ぞれ対向するロータ部35の内周壁35bと下面部35
0とには、ロータ15の回転によりこの各部35b、3
5cとステータ19との間に油が引き込まれて動圧を発
生させる動圧発生部37が形成されている。第2図はこ
の動圧発生部37を示すロータ部35の底面図である。
下面部35Cの動圧発生部37は、第2図の■−■断面
図である第3図に示すように、内周端から外周端に向け
て径方向に向き且つ周方向に等間隔に設けられた複数の
凸部39を備えている。凸部39は、扇状の平面部39
aと、各凸部39共に平面部39aの第2図中で反時計
方向側に設けられ反時計方向に向うに従って平面部39
aより低くなるよう傾斜した帯状のテーバ部39bとを
有している。
図である第3図に示すように、内周端から外周端に向け
て径方向に向き且つ周方向に等間隔に設けられた複数の
凸部39を備えている。凸部39は、扇状の平面部39
aと、各凸部39共に平面部39aの第2図中で反時計
方向側に設けられ反時計方向に向うに従って平面部39
aより低くなるよう傾斜した帯状のテーバ部39bとを
有している。
内周壁35bの動圧発生部も上述した下面部35Cと同
様に周方向に複数の凸部が等分に設けられ、凸部には平
面部とテーバ部とが形成されている。
様に周方向に複数の凸部が等分に設けられ、凸部には平
面部とテーバ部とが形成されている。
下面部35c1内周を35b共に、凸部の分割数、ある
いはテーバ部の傾斜角度等は流体槽27内の油28の粘
度、ロータ15の回転数を考慮して適宜決定する。
いはテーバ部の傾斜角度等は流体槽27内の油28の粘
度、ロータ15の回転数を考慮して適宜決定する。
このような構成において、研磨盤の回転につれて修正輪
が回転すると、この修正輪に接触するロータ15が回転
する。ロータ15が回転すると、環状凹部35aの内の
油28が動圧発生部37が形成されたロータ部35とス
テータ19の底部円板25との間にまず引き込まれた後
、更にロータ部35とステータ19の内側円筒部21と
の間にも引き込まれ、この結果ロータ部35とステータ
19の底部円板25および内側円筒部21との間に動圧
が発生する。これにより、ロータ部35とステータ19
の底部円板25および内側円筒部21との間には、回転
時における固体間の接触がなくなり、両者は常に油によ
る薄い膜を介しての回転となるので、ロータ15の回転
による撮動は僅かなものとなり、超精密研磨加工がより
高度に精度よく実現できる。
が回転すると、この修正輪に接触するロータ15が回転
する。ロータ15が回転すると、環状凹部35aの内の
油28が動圧発生部37が形成されたロータ部35とス
テータ19の底部円板25との間にまず引き込まれた後
、更にロータ部35とステータ19の内側円筒部21と
の間にも引き込まれ、この結果ロータ部35とステータ
19の底部円板25および内側円筒部21との間に動圧
が発生する。これにより、ロータ部35とステータ19
の底部円板25および内側円筒部21との間には、回転
時における固体間の接触がなくなり、両者は常に油によ
る薄い膜を介しての回転となるので、ロータ15の回転
による撮動は僅かなものとなり、超精密研磨加工がより
高度に精度よく実現できる。
このようなガイドローラをラッピング加工に使用したと
ころ、従来みられた試料のチッピングが顕微鏡下でも全
く検出されることはなかった。またポリシング加工に適
用した場合にも従来に比べ平面精度や表面あらさが1〜
5割程度改善された。
ころ、従来みられた試料のチッピングが顕微鏡下でも全
く検出されることはなかった。またポリシング加工に適
用した場合にも従来に比べ平面精度や表面あらさが1〜
5割程度改善された。
なお、この発明は前述の実施例に限定されるものではな
い。例えば、流体槽27の中には油28に変えて水を入
れてもよく、またロータ15あるいはステータ19の相
互の回動部位に低摩擦係数の金属やプラスチックあるい
はドライベアリングを使用したり、あるいは油28の中
に固体潤滑剤としてMOS2やW 32等の粉末を微小
川添加すると回転がより滑かになる効果がある。
い。例えば、流体槽27の中には油28に変えて水を入
れてもよく、またロータ15あるいはステータ19の相
互の回動部位に低摩擦係数の金属やプラスチックあるい
はドライベアリングを使用したり、あるいは油28の中
に固体潤滑剤としてMOS2やW 32等の粉末を微小
川添加すると回転がより滑かになる効果がある。
また、動圧発生部はロータ15側に設けずにステータ1
9側に設けてもよい。更に動圧発生部は上記実施例では
底部円板25と内側円筒部2つとの双方に対向する部位
のロータ部35に設けたが、底部円板25側に対向する
部位のロータ部35のみに設けてもよい。これは勿論ス
テータ19側に動圧発生部を設けた場合も同様に底部円
板25側のみに動圧発生部を設けてもよい。このように
1ケ所にのみ動圧発生部を設けた場合は多少効果は低下
するので、この場合には相互の摺動部に前記した低摩擦
係数の金属等を用いた方がよい。
9側に設けてもよい。更に動圧発生部は上記実施例では
底部円板25と内側円筒部2つとの双方に対向する部位
のロータ部35に設けたが、底部円板25側に対向する
部位のロータ部35のみに設けてもよい。これは勿論ス
テータ19側に動圧発生部を設けた場合も同様に底部円
板25側のみに動圧発生部を設けてもよい。このように
1ケ所にのみ動圧発生部を設けた場合は多少効果は低下
するので、この場合には相互の摺動部に前記した低摩擦
係数の金属等を用いた方がよい。
[発明の効果]
以上のようにこの発明の超精密liI′l磨用ガイドロ
ーラによれば、豆いに対向する回転面間にUノ圧を発住
させるようにして、固体間の接触がな(薄い流体膜で支
えられながら回転するようにしたため、ガイドローラの
回転による振動が極めて微小なものとなり、修正輪J3
よび試料に与える振動も減少するので超精密rIJIF
!!i加工の精度がより高度に実現できる。
ーラによれば、豆いに対向する回転面間にUノ圧を発住
させるようにして、固体間の接触がな(薄い流体膜で支
えられながら回転するようにしたため、ガイドローラの
回転による振動が極めて微小なものとなり、修正輪J3
よび試料に与える振動も減少するので超精密rIJIF
!!i加工の精度がより高度に実現できる。
第1図はこの発明の一実施例のガイドローラの断面図、
第2図は第1図のローフ部の底面図、第3図は第2図の
■−■断面図、第4図は従来の修正輪型の研+ffiの
模式図である。 15・・・ロータ 17・・・シャフト1
つ・・・ステー々 27・・・流体槽2つ・・
・支持板(支持部材) 37・・・動圧発生部 代理人 弁理士 三 好 保 男15 トダ 17:ノ!フト 第1図
第2図は第1図のローフ部の底面図、第3図は第2図の
■−■断面図、第4図は従来の修正輪型の研+ffiの
模式図である。 15・・・ロータ 17・・・シャフト1
つ・・・ステー々 27・・・流体槽2つ・・
・支持板(支持部材) 37・・・動圧発生部 代理人 弁理士 三 好 保 男15 トダ 17:ノ!フト 第1図
Claims (1)
- 研磨盤に対し従動回転する修正輪が研磨盤上に配置され
、この修正輪を支持する超精密研磨用ガイドローラにお
いて、支持部材に固定支持されるシャフトと、シャフト
に固定支持され流体槽を構成するステータと、ステータ
に対し回転可能で前記流体槽内に一部位が収納され且つ
他の一部位が前記修正輪に接触可能なロータとを有し、
前記ステータとロータとの互いの対向面の何れか一方に
ステータとロータとの間に動圧を発生させる動圧発生部
を設けたことを特徴とする超精密研磨用ガイドローラ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61215963A JPH0665463B2 (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 超精密研磨用ガイドロ−ラ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61215963A JPH0665463B2 (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 超精密研磨用ガイドロ−ラ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6374565A true JPS6374565A (ja) | 1988-04-05 |
JPH0665463B2 JPH0665463B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=16681140
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61215963A Expired - Lifetime JPH0665463B2 (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 | 超精密研磨用ガイドロ−ラ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0665463B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04201177A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-22 | Hitachi Ltd | 研磨機 |
US8104740B2 (en) | 2005-01-07 | 2012-01-31 | Surpass Industry Co., Ltd. | Flow control device |
US8840082B2 (en) | 2010-12-17 | 2014-09-23 | Ckd Corporation | Fluid control valve |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP61215963A patent/JPH0665463B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04201177A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-22 | Hitachi Ltd | 研磨機 |
US8104740B2 (en) | 2005-01-07 | 2012-01-31 | Surpass Industry Co., Ltd. | Flow control device |
US8840082B2 (en) | 2010-12-17 | 2014-09-23 | Ckd Corporation | Fluid control valve |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0665463B2 (ja) | 1994-08-24 |
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