JP2001020946A - 動圧軸受装置 - Google Patents

動圧軸受装置

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JP2001020946A
JP2001020946A JP11191314A JP19131499A JP2001020946A JP 2001020946 A JP2001020946 A JP 2001020946A JP 11191314 A JP11191314 A JP 11191314A JP 19131499 A JP19131499 A JP 19131499A JP 2001020946 A JP2001020946 A JP 2001020946A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 動圧軸受装置のスラスト軸受部の隙間を、量
産的に精度を良くする手段を提供する。 【解決手段】 本発明の動圧軸受装置では、従来の軸受
スリーブに設けた段差構造を無くし、軸受スリーブ10
のスラスト軸受面への研削加工や研磨加工等の仕上げ加
工を可能にし、さらに、スラスト軸受部の隙間を管理す
るために、研削加工や研磨加工等の仕上げ加工が可能な
スラストスペーサ30を使用することにより量産的にも
隙間精度の管理を可能にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばハードディ
スクドライブやポリゴンミラー等の回転部の軸受に用い
られる動圧軸受装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ハードディスクドライブやポリゴンミラ
ー等に用いられるスピンドルモーターの分野に於いて、
高速、高容量化の要求から、高速で高精度のスピンドル
モーターが必要とされ、これに伴い動圧軸受構造を採用
したスピンドルモーターが種々提案されている。その中
でも、軸体に1枚のスラスト板を設け、軸体と軸体に対
向する軸受スリーブの一方を固定し、一方を回転自在に
したタイプは比較的構造が簡単で小型化が容易であるた
め、種々の改良型が提案されている。このようなタイプ
では以下に述べるように、軸受スリーブが軸体とラジア
ル方向の軸受部を形成すると共に、スラスト板との対向
面を設けてスラスト方向の軸受部も構成し、更にスラス
ト板の隙間を管理する構造のタイプが多い。
【0003】特開平9−182367号公報では、軸受
スリーブが、軸体とラジアル方向の軸受部を形成すると
同時に、スラスト板に対向する面を有してスラスト軸受
部を形成し、更にスラスト軸受部の隙間を管理する段差
を有する構造となっている。また、軸受スリーブを基台
に固定し、軸体を回転自在な構造としている。その他
に、特開平9−298860号公報では、軸受スリーブ
がラジアル軸受、スラスト軸受部、スラスト軸受部の隙
間を管理する段差を有する構造であり、軸体を固定し軸
受スリーブを回転自在の構造としている。
【0004】図4は、従来の動圧軸受装置140を組み
込んだモーター150を示す断面図であり、図5はその
部分拡大図である。モーターハウジング120に軸受ス
リーブ103が固定され、軸受スリーブ103の下端は
スラスト受板105が固定され、軸体101の保持体を
構成している。軸体101の下端にスラスト板102が
固定されており、軸受スリーブ103及びスラスト受板
105に対して回転自在に支持される。ここでは、軸体
101の外周面107と軸受スリーブ103の内周面1
06がラジアル軸受部を構成し、軸体101の外周面1
07と軸受スリーブ103の内周面106の少なくとも
一方に動圧発生溝が形成されている。
【0005】更に、スラスト板102の上面108に対
向する軸受スリーブ103の面110及びスラスト板1
02の下面109に対向するスラスト受板105の軸受
面114とがスラスト軸受部を構成し、スラスト板10
2の上面108と下面109には動圧発生溝が形成され
ている。また、固定部と回転部の隙間には潤滑流体が隙
間の開放口115付近まで充填されている。以上の構造
の動圧軸受装置を回転させる為に、軸体101にはハブ
125を設け、ハブ125にはローターマグネット12
6を設け、モーターハウジング120にはステーター1
21を設けている。前記構成において、軸体101とス
ラスト板102及びハブ125の固定、モーターハウジ
ング120と軸受スリーブ103、スラスト受板10
5、ステータ121との固定は、隙間嵌め、接着、スポ
ット溶接等から適宜選択または組み合わせて行われてい
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図4及び図5に示す従
来の動圧軸受装置に於いて、動圧を発生する為には、ラ
ジアル軸受部及びスラスト軸受部の隙間は一般に5μm
付近に管理する必要がある。さらに、量産的に製品のバ
ラツキを管理するためには各製品の軸受部の隙間が1μ
m〜2μm程度のバラツキ精度で管理される必要があ
る。ラジアル軸受部の隙間は、軸体101の外径と軸受
スリーブ103の内周面106の内径との差だけでな
く、実際には、軸体101の外周面107の表面粗さ、
真円度及び円筒度と、軸受スリーブ103の内周面10
6の表面粗さ、真円度及び円筒度等の精度を含めて管理
される。軸体101の外周面107及び軸受スリーブ1
03の内周面106は旋盤等の切削加工の他、研削加工
や研磨加工による仕上げ加工をすることも可能である
為、量産的にも精度を管理し易い部分である。
【0007】もう一方のスラスト軸受部の隙間について
も、軸受スリーブ103の段差112とスラスト板10
5の厚み113の差だけでなく、実際には、スラスト板
102の上面108及び下面109の平面度と、スラス
ト受板105の軸受面114の平面度、及び軸受スリー
ブ103の面110、面111の平面度等の精度を含め
て管理される。その中で、スラスト板102の厚み11
3、その上面108、その下面109、及びスラスト受
板105の軸受面114は切削加工の他、必要に応じて
研削加工や研磨加工での面仕上げ加工により、部品の精
度を得ることは可能である。
【0008】しかしながら、軸受スリーブ103の面1
10は面仕上げ加工が難しい構造となっている為、旋盤
等の切削加工の精度に依存し、研削加工面や研磨加工面
の平面度には到底及ばない。よって、段差112の加工
精度も旋盤等の切削加工の精度に依存し、その量産的な
部品加工精度は5μm程度が限界である。このような精
度の軸受スリーブを用いて動圧軸受装置を組み立てた場
合、スラスト軸受部の隙間の製品ばらつきは、段差11
2の精度に面110の平面度も影響して、5μm以上に
なってしまった。よって、量産的にスラスト軸受部の隙
間を、製品ばらつきで1μm〜2μmに管理ことは非常
に困難である。
【0009】本発明は前記課題を解決するためのもので
あり、その目的とするところは、量産的にスラスト軸受
部の隙間の精度が得られる構造の動圧軸受装置を提供す
ることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の動圧軸受装置で
は上記目的を達成するために、従来の軸受スリーブに設
けた段差構造を無くし、スラストスペーサを使用するこ
とにより軸受スリーブのスラスト軸受面の研削加工や研
磨加工等の仕上げ加工を可能にし、量産的にもスラスト
軸受部の隙間精度の管理を可能にする。その構成とし
て、下記記載の構成を採用する。
【0011】本発明の請求項1記載の動圧軸受装置で
は、ハウジングの内周に円筒状の内周部を有する軸受ス
リーブを固定し、または、ハウジングに円筒状の外周部
を有する軸体を固定し、該軸体の外周には円筒状内周部
を有する軸受スリーブを回転自在に嵌合し、該軸受スリ
ーブの内周には円筒状外周部を有する軸体を回転自在に
嵌合し、該軸体の一部には軸体の外周部の径よりも大な
る外径のスラスト板を設けてなる動圧軸受装置に於い
て、前記スラスト板を前記軸受スリーブとスラスト受板
でスラストスペーサを介して対向に嵌合したことを特徴
とする。
【0012】本発明の請求項2記載の動圧軸受装置で
は、請求項1に記載の動圧軸受装置において、前記スラ
ストスペーサにセラミックスを用いたことを特徴とす
る。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、図1、図
2及び図3を用いて説明する。図1は本発明の第1の実
施の形態の動圧軸受装置7及び、それを組み込んだモー
ター8の断面図であり、図2はその部分拡大図である。
モーターハウジング45内周46に、円筒状の内周面1
1を有する軸受スリーブ10が固定されている。軸受ス
リーブ10の内周面11には円筒状外周面2を有する軸
体1が回転自在に嵌合されており、隙間3を形成してい
る。軸受スリーブ10の内周面11もしくは軸体1の外
周面2の少なくとも一方に動圧発生溝パターンを設ける
ことにより軸受スリーブ10の内周面11と軸体の1の
外周面2の間でラジアル軸受を形成している。
【0014】また、軸体1の下部4には軸体1の外周面
2の径よりも大なる外径のスラスト板20を設けてい
る。スラスト板20を軸体1にスラストスペーサ30を
介して軸受スリーブ10とスラスト受板25に対向する
ように嵌合し、スラスト板20を回転自在にする為のス
ラスト軸受部の隙間を形成している。また、スラスト板
20の上面21と軸受スリーブ10の下面12の少なく
とも一方と、スラスト板20の下面22とスラスト受板
25の上面26の少なくとも一方に動圧発生溝パターン
を設けることにより、スラスト板20と軸受スリーブ1
0、スラスト受板25との間にスラスト軸受部を形成し
ている。
【0015】さらに、ラジアル軸受部及びスラスト軸受
部には潤滑流体が封入されている。軸受スリーブ10の
上面13には、潤滑流体の飛散を防止するためのカバー
35を設け、そのカバー35の軸体1の近傍の部分36
には、ラビリンスシール構造や磁性流体シール構造を形
成することも可能である。また、モーターの回転機構に
ついては、先に図4を用いて説明した従来技術の一般的
な構成であるので、ここでは説明を省略する。
【0016】次に、軸受部の隙間管理について説明す
る。ラジアル軸受部の隙間管理は従来と同様であるので
省略し、ここでは、本発明の特徴であるスラスト軸受部
の隙間管理について説明する。スラスト軸受部の隙間
は、スラスト板20の厚み23とスラストスペーサ30
の厚み33との差だけでなく、実際には、スラスト板2
0の上面21と下面22との平行度及びそれぞれの平面
度、スラスト受板25の上面26の平面度、及び軸受ス
リーブ10の下面12の平面度、スラストスペーサ30
の上面31と下面32との平行度及びそれぞれの平面度
等の精度を含めて管理される。
【0017】従来と同様に、スラスト板20の厚み2
3、その上面21、その下面22、及びスラスト受板2
5の上面26は切削加工の他、必要に応じて研削加工や
研磨加工での面仕上げ加工により、部品の精度を得るこ
とが可能であるが、さらに、本発明では、従来の軸受ス
リーブに設けた段差構造を無くし、隙間管理の為にスラ
ストスペーサ30を設けたことにより、軸受スリーブ1
0の下面12、スラストスペーサ30の上面31と下面
32に対しても研削加工や研磨加工での面仕上げ加工が
可能である。よって、スラスト軸受部の隙間の管理に関
わるすべての部材表面に面仕上げ加工が可能な構造とな
っている。
【0018】動圧軸受装置7を構成する各部品には、金
属及び合金、セラミックス、ガラス、プラスチック等か
ら適宜選択して用いることが可能であるが、研削加工や
研磨加工によって寸法精度を得る部分には、加工時の弾
性変形が少なく、且つ加工中に発生する熱に対して寸法
変化の小さい材質が好ましく、その材料としてはセラミ
ックスやガラス等の脆性材料が挙げられる。その中で
も、強度が高いセラミックスを用いることはさらに好ま
しい。セラミックスの材質としては、アルミナ、ジルコ
ニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素等を用いることが可能で
ある。しかしながら、全ての部材にセラミックスを用い
ることはコストアップにつながる為、その中でも軸受ス
リーブ10及びスラストスペーサ30にセラミックスを
用いて面仕上げ加工を施せば、従来の軸受スリーブ10
3と比較して格段に寸法精度が向上する。
【0019】さらに、その中でも特に、スラストスペー
サ30にセラミックスを用いることは最も効果が大き
く、その厚み33の加工精度は、従来の軸受スリーブ1
03の段差112の切削加工精度と比較される部分であ
ることから明らかである。具体的には、段差112の切
削加工精度は量産的に5μmが限界であるが、セラミッ
クス製のスラストスペーサ30の上面31及び下面32
に研磨加工を行った場合は、その厚み33の寸法精度は
量産的にも1μm以下に管理可能である。
【0020】本発明の動圧軸受装置7を組み立て、スラ
スト軸受部の隙間の製品ばらつきを測定した。尚、スラ
スト軸受部の隙間とは、単にスラストスペーサ30の厚
み33とスラスト板20の厚み23の差ではなく、前述
の様に、スラスト軸受部の隙間を構成する部材の表面の
影響を受けるので、スラスト板が実際に上下に可動な範
囲をスラスト軸受部の隙間とした。その測定は、軸体1
に嵌合したスラスト板20をスラスト受板25の上面2
6に押しつけた場合と、軸受スリーブ10の下面12に
押しつけた場合との、軸体1の面6の高さの差を測定し
て求めた。スラスト軸受部の隙間の設計値は10.0μ
mとした。
【0021】はじめに、軸受スリーブ10,スラスト受
板25、スラスト板20、スラストスペーサ30にはス
テンレスを用いて、軸受スリーブ10の下面12、スラ
スト受板25の上面26、スラスト板20の上面21と
下面22、スラストスペーサ30の上面31と下面32
に研磨加工を行い、スラストスペーサ30の厚み33を
最大最小範囲で1μm以下で使用して、本発明の動圧軸
受装置7を20台組み立てた。スラスト軸受部の隙間を
測定したところ平均値10.5μm、標準偏差0.8μ
mであった。次に、スラストスペーサ30にセラミック
スを用いて、その厚み33の最大最小範囲を0.5μm
以下に管理して、本発明の動圧軸受装置7を20台組み
立てた。スラスト軸受部の隙間を測定したところ平均値
10.1μm、標準偏差0.3μmであった。
【0022】以上、本発明の第1の実施の形態より、軸
受スリーブ20とスラストスペーサ30とを組み合わせ
て用いる方が、従来構造の軸受スリーブ103よりも、
各部品の構造が単純化される為、軸受スリーブ10の下
面12、スラストスペーサ30の上面31、下面32へ
の研削加工や研摩加工といった面仕上げの加工が可能に
なり、スラスト軸受部の隙間の各製品のばらつきを格段
に小さくすることが可能となった。また、スラストスペ
ーサにセラミックスを用いて、スラストスペーサの厚み
精度を高めると、組立後のスラスト軸受部の隙間ばらつ
きも、より小さくすることが可能である。
【0023】図3は本発明の第2の実施の形態の動圧軸
受装置57及び、それを組み込んだモーター58の断面
図である。第1の実施の形態は軸が回転するタイプであ
り、第2の実施の形態は軸受スリーブが回転するタイプ
である。軸受スリーブの従来の段差構造を無くして、ス
ラストスペーサを用いた特徴は第1の実施の形態と同様
であり、スラスト軸受部の隙間のばらつき範囲は第1の
実施の形態と同様の精度が得られる為、以下は動圧軸受
装置57の構造のみを説明する。モーターハウジング9
5に、軸体50が固定されている。軸体50の外周には
隙間52を形成して、軸受スリーブ60が回転自在に嵌
合されており、軸受スリーブ60の外周にはハブ90が
固定されている。
【0024】さらに、軸体50にはその径よりも大なる
外径のスラスト板70を設けている。スラスト板70を
軸体50にスラストスペーサ80を介して軸受スリーブ
60とスラスト受板75に対向するように嵌合し、スラ
スト板70を回転自在にする為のスラスト軸受部の隙間
を形成している。軸受スリーブ60の内周面61もしく
は軸体50の外周面51の少なくとも一方に動圧発生溝
パターンを設けることにより軸受スリーブ60の内周面
61と軸体の50の外周面51の間でラジアル軸受部を
形成している。
【0025】また、スラスト板70の下面71と軸受ス
リーブ60の上面62の少なくとも一方と、スラスト板
70の上面72とスラスト受板75の下面76の少なく
とも一方に動圧発生溝パターンを設けることにより、ス
ラスト板70と軸受スリーブ60、スラスト受板75と
の間にスラスト軸受部を形成している。また、ラジアル
軸受部及びスラスト軸受部には潤滑流体が封入されてい
る。軸受スリーブ60の下面63には、潤滑流体の飛散
を防止するためのカバー85を設けている。モーターの
回転機構については、先に図4の用いて説明した従来技
術と同様にの一般的な構成を応用することが可能であ
る。
【0026】
【発明の効果】以上の実施の形態から明らかなように、
請求項1に記載の本発明の動圧軸受装置の構造によれ
ば、軸受スリーブとスラストスペーサの2部品を組み合
わせて用いる方が、従来構造のように段加工を必要とす
る軸受スリーブ1部品よりも、部品の構造が単純化さ
れ、研削加工や研磨加工といった面仕上げの加工が可能
になる為に部品の加工精度が向上し、スラスト軸受部の
隙間の製品のばらつきを小さく抑えることが可能となっ
た。
【0027】また、請求項2の本発明の動圧軸受装置に
よれば、加工時の弾性変形が少なく、加工中に発生する
熱に対して寸法変化の小さいセラミックスをスラストス
ペーサに用いることにより、スラストスペーサの加工精
度を更に向上させることが可能であると共に、スラスト
軸受部の隙間の製品ばらつきをさらに小さく抑えること
が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の動圧軸受装置を組み込んだモーターを
示す模式断面図。
【図2】本発明の動圧軸受装置を組み込んだモーターを
示す模式断面図の部分拡大図。
【図3】本発明の動圧軸受装置を組み込んだモーターを
示す模式断面図。
【図4】従来の動圧軸受装置を組み込んだモーターを示
す模式断面図。
【図5】従来の動圧軸受装置を組み込んだモーターを示
す模式断面図の部分拡大図。
【符号の説明】
1、50 軸体 2、51 外周面 3、52 隙間 4 下部 6 面 7、57 動圧軸受装置 8、58 モーター 10、60 軸受スリーブ 11、61 内周面 12、22、32、63、71、76 下面 13、21、26、31、62、72 上面 20、70 スラスト板 23、33 厚み 25、75 スラスト受板 30、80 スラストスペーサ 35、85 カバー 36 部分 45、95 モーターハウジング 46 内周 90 ハブ
フロントページの続き (72)発明者 柴 和男 東京都田無市本町6丁目1番12号 シチズ ン時計株式会社田無製造所内 (72)発明者 金澤 豊次 東京都田無市本町6丁目1番12号 シチズ ン時計株式会社田無製造所内 Fターム(参考) 3J011 BA04 DA01 KA04 QA01 SD01

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ハウジングの内周に円筒状の内周部を有
    する軸受スリーブを固定し、該軸受スリーブの内周には
    円筒状外周部を有する軸体を回転自在に嵌合し、また
    は、ハウジングに円筒状の外周部を有する軸体を固定
    し、該軸体の外周には円筒状内周部を有する軸受スリー
    ブを回転自在に嵌合し、該軸体の一部には軸体の外周部
    の径よりも大なる外径のスラスト板を設けてなる動圧軸
    受装置に於いて、前記スラスト板を前記軸受スリーブと
    スラスト受板でスラストスペーサを介して対向に嵌合し
    たことを特徴とする動圧軸受装置。
  2. 【請求項2】 前記スラストスペーサにセラミックスを
    用いたことを特徴とする請求項1記載の動圧軸受装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003036111A1 (fr) * 2001-10-24 2003-05-01 Sony Corporation Unite de roulement et moteur l'utilisant
JP2007211845A (ja) * 2006-02-08 2007-08-23 Crd Kk 流体軸受モータ
US7455456B2 (en) 2003-01-10 2008-11-25 Sony Corporation Bearing unit and rotation drive device using the same

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003036111A1 (fr) * 2001-10-24 2003-05-01 Sony Corporation Unite de roulement et moteur l'utilisant
US7029179B2 (en) 2001-10-24 2006-04-18 Sony Corporation Bearing unit, and motor using same
CN100339603C (zh) * 2001-10-24 2007-09-26 索尼公司 轴承装置及使用该轴承装置的马达
CN100458195C (zh) * 2001-10-24 2009-02-04 索尼公司 轴承装置及使用该轴承装置的马达
KR100927247B1 (ko) * 2001-10-24 2009-11-16 소니 가부시끼 가이샤 베어링유닛 및 이 베어링유닛을 이용한 모터
US7455456B2 (en) 2003-01-10 2008-11-25 Sony Corporation Bearing unit and rotation drive device using the same
US7510329B2 (en) 2003-01-10 2009-03-31 Sony Corporation Bearing unit and rotary drive using the same
JP2007211845A (ja) * 2006-02-08 2007-08-23 Crd Kk 流体軸受モータ

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