JPS6370037A - クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPS6370037A JPS6370037A JP21127786A JP21127786A JPS6370037A JP S6370037 A JPS6370037 A JP S6370037A JP 21127786 A JP21127786 A JP 21127786A JP 21127786 A JP21127786 A JP 21127786A JP S6370037 A JPS6370037 A JP S6370037A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- room
- ceiling
- filter
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 abstract description 6
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は１部分的にクリーン化することのできる天井チ
ャンバー方式のクリーンルームに関する。
ャンバー方式のクリーンルームに関する。
（従来の技術及びその問題点）
天川全面から給気し床前面へ還気する全面重置層流方式
である天井チャンバー方式のクリーンルームは、高度の
清浄状ｉムか得られ、又生産レイアウト、生産方式土岐
も自由度か高い。ところか生産設備投資計画１−１或い
は生産計画１−の理由からクリーンルーム内全部をクリ
ーン化する必要かない場合もある。この様な場合には不
必要なりリーン空間を作ることから余分なランニンクコ
ストか掛ることになる。そこて層流の面風速を小さく、
つまりＸ 猜を少なくしてランニンクコストを押えるこ
とが考えられるか、クリーン度を確保する為には所定の
面風速か必要なのてチャンバー方式においてはぞの方法
は困難である。又多大な費用を掛け、クリーン度を監視
しなから面風速の制御を行う方法もあるか、不必要なり
リーン空間を作ってしまうという問題の解決には至らな
い。
である天井チャンバー方式のクリーンルームは、高度の
清浄状ｉムか得られ、又生産レイアウト、生産方式土岐
も自由度か高い。ところか生産設備投資計画１−１或い
は生産計画１−の理由からクリーンルーム内全部をクリ
ーン化する必要かない場合もある。この様な場合には不
必要なりリーン空間を作ることから余分なランニンクコ
ストか掛ることになる。そこて層流の面風速を小さく、
つまりＸ 猜を少なくしてランニンクコストを押えるこ
とが考えられるか、クリーン度を確保する為には所定の
面風速か必要なのてチャンバー方式においてはぞの方法
は困難である。又多大な費用を掛け、クリーン度を監視
しなから面風速の制御を行う方法もあるか、不必要なり
リーン空間を作ってしまうという問題の解決には至らな
い。
（問題点を解決するための手段）
本発明はＬ記開題点を解決すべく、必要な部分だけをク
リーン化することのできる天井チャンバー方式のクリー
ンルームを提供するものである。
リーン化することのできる天井チャンバー方式のクリー
ンルームを提供するものである。
即ち、天井チャンバー方式のクリーンルームの室部なり
リーン部分と非クリーン部分に分ける。
リーン部分と非クリーン部分に分ける。
そしてクリーン部分の天井には、フィルターを設置して
給気を流通させ、非クリーン部分の天井には被覆状のフ
ィルターを設置して給気の流通を遮断する。更に室部の
クリーン部分と非クリーン部分とを空気遮断幕にて気密
に間仕切るものである。
給気を流通させ、非クリーン部分の天井には被覆状のフ
ィルターを設置して給気の流通を遮断する。更に室部の
クリーン部分と非クリーン部分とを空気遮断幕にて気密
に間仕切るものである。
上記構成により、クリーンルームの室部はクリーン部分
のみクリーン化されることになる。
のみクリーン化されることになる。
（実施例）
以下図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。
第１１’４は本発明によるクリーンルームの概略断面図
、第２図は第１図の天井の概略平面図である。
、第２図は第１図の天井の概略平面図である。
先ずクリーンルームの構成を説明する。
即ち、このクリーンルームは天井チャンバー方式である
のて、最コ一部に給気ＳＡを取入れる天井ブレナムＰ、
その下に作業空間である室部Ｒ１更にそのドに還気ＲＡ
を流通させる床下部ＵＦか形成されている。そして天井
ブレナムＰと室部Ｒを仕切る天井Ｃは、第２図の機略平
面図に示す様に、フレーム部材１１．１１・・・を基盤
目状に組合わせて形成されたフィルターフレームｌとそ
の一目ごとに設置された高性能フィルター（ＨＥＰＡフ
ィルター）２．２・・・より形成されている。又、室部
Ｒと床下部ＯＦを仕切る床Ｆは、通気する床グレーチン
グ（床格子）３と、その下側に設けられ通気を遮断する
風量調整用シャッター４より形成されている。
のて、最コ一部に給気ＳＡを取入れる天井ブレナムＰ、
その下に作業空間である室部Ｒ１更にそのドに還気ＲＡ
を流通させる床下部ＵＦか形成されている。そして天井
ブレナムＰと室部Ｒを仕切る天井Ｃは、第２図の機略平
面図に示す様に、フレーム部材１１．１１・・・を基盤
目状に組合わせて形成されたフィルターフレームｌとそ
の一目ごとに設置された高性能フィルター（ＨＥＰＡフ
ィルター）２．２・・・より形成されている。又、室部
Ｒと床下部ＯＦを仕切る床Ｆは、通気する床グレーチン
グ（床格子）３と、その下側に設けられ通気を遮断する
風量調整用シャッター４より形成されている。
更にＬ記構成を詳細に説Ｉｌｌする。即ち第２図に示し
たフィルターフレームｌのフレーム部材＋１ａを境とし
て、その左側をクリーン部分ＣＲ１右側を非クリーン部
分ＵＲにする。そしてクリーン部分ＣＲに設置する高性
能フィルター２ａ、 ２ａ・・・はメーカー出荷時の禿
生シート５，５・・・か剥がされている。又、非クリー
ン部分ＵＲに設置する高性能フィルター２ｂ、２ｂ・・
・は、被覆状、例えば養生シート５，５・・・を天井プ
レナムＰ側だけ貼付した状態にしである。又適当な位置
には、高性能フィルター２ｂの代わりに青板６，６−・
・を設置する。
たフィルターフレームｌのフレーム部材＋１ａを境とし
て、その左側をクリーン部分ＣＲ１右側を非クリーン部
分ＵＲにする。そしてクリーン部分ＣＲに設置する高性
能フィルター２ａ、 ２ａ・・・はメーカー出荷時の禿
生シート５，５・・・か剥がされている。又、非クリー
ン部分ＵＲに設置する高性能フィルター２ｂ、２ｂ・・
・は、被覆状、例えば養生シート５，５・・・を天井プ
レナムＰ側だけ貼付した状態にしである。又適当な位置
には、高性能フィルター２ｂの代わりに青板６，６−・
・を設置する。
−力室部Ｒには、第１図に示す様にフレーム部材＋１ａ
と床グレーチング３及び壁面（図示せず）にかけて空気
遮断幕として帯電防止ビニール７を気密且つ着脱可イ駈
に取付け、クリーン部分ＣＲと非クリーン部分ＵＲを気
密に間仕切る。更に非クリーン部分ＵＲは、床グレーチ
ング３の下側に設けられた風量：調整用シャッター４を
閉じた状態にする。
と床グレーチング３及び壁面（図示せず）にかけて空気
遮断幕として帯電防止ビニール７を気密且つ着脱可イ駈
に取付け、クリーン部分ＣＲと非クリーン部分ＵＲを気
密に間仕切る。更に非クリーン部分ＵＲは、床グレーチ
ング３の下側に設けられた風量：調整用シャッター４を
閉じた状態にする。
１−記構成により、クリーン部分ＣＲには通常の天井チ
ャンバー方式のクリーンルームと同様、天井ブレナムＰ
に取入れた給気ＳＡか高性能フィルター２８を通って流
入し、そし゛（床クレーチング３を通って床下部ＯＦへ
還気ＲＡとなって抜け、よってクリーン部分ＣＲはクリ
ーン化される。
ャンバー方式のクリーンルームと同様、天井ブレナムＰ
に取入れた給気ＳＡか高性能フィルター２８を通って流
入し、そし゛（床クレーチング３を通って床下部ＯＦへ
還気ＲＡとなって抜け、よってクリーン部分ＣＲはクリ
ーン化される。
一方弁クリーン部分ＵＲは、品性ｆａフィルター２ｂが
被覆された、つまり養生シート５を貼付したままの状態
である為給気の流通は遮断されてクリーン化されない。
被覆された、つまり養生シート５を貼付したままの状態
である為給気の流通は遮断されてクリーン化されない。
尚非クリーン部分ＯＲの高枕１１フィルター２ｂの養生
シート５をすべて貼付したままとし、非クリーン部分Ｕ
Ｒに全く給気を入れないとクリーン部分ＣＲより室圧か
小さくなり帯電防止ビニール７が非クリーン部分ＯＲの
方へ撓んてしまう。そこで非クリーン部分ＵＲの適当な
数の品性箋フィルター２Ｃは養生シート５を剥がして給
気が通るよ ′うにしておくと共に風匿ｊｌ！！ｌ整用
シャッター４を閉じた状態にすることにより、非クリー
ン部分ＵＲの室圧をｌ−げて帯電防止ビニール７の撓み
を小さくすることもてきる。
シート５をすべて貼付したままとし、非クリーン部分Ｕ
Ｒに全く給気を入れないとクリーン部分ＣＲより室圧か
小さくなり帯電防止ビニール７が非クリーン部分ＯＲの
方へ撓んてしまう。そこで非クリーン部分ＵＲの適当な
数の品性箋フィルター２Ｃは養生シート５を剥がして給
気が通るよ ′うにしておくと共に風匿ｊｌ！！ｌ整用
シャッター４を閉じた状態にすることにより、非クリー
ン部分ＵＲの室圧をｌ−げて帯電防止ビニール７の撓み
を小さくすることもてきる。
将来、非クリーン部分ＵＲをクリーン部分ＣＲとするに
は、盲板６を外し、その開口から高性能フィルター２ｂ
の養生シート５を剥がした後、盲板６の代わりに養生シ
ートを剥かした高枕俺フィルターを設置する。更に帯電
防止ビニール７を撤去し風量調整用シャッター４を開放
する。そしてクリーン部分ＣＲの面積に応じた風量を１
１多るよう空調機（図示せず）の走力を増大すればよい
。
は、盲板６を外し、その開口から高性能フィルター２ｂ
の養生シート５を剥がした後、盲板６の代わりに養生シ
ートを剥かした高枕俺フィルターを設置する。更に帯電
防止ビニール７を撤去し風量調整用シャッター４を開放
する。そしてクリーン部分ＣＲの面積に応じた風量を１
１多るよう空調機（図示せず）の走力を増大すればよい
。
（効果）
以−ヒ述べた様に、本発明のクリーンルームによれば、
不必要にクリーン空間を作らないことからクリーン化に
必要な風￥が低減され、結果としてランニングコストを
低減させることかてきる、と同時に省エネルギーに大き
な効果を奏する。
不必要にクリーン空間を作らないことからクリーン化に
必要な風￥が低減され、結果としてランニングコストを
低減させることかてきる、と同時に省エネルギーに大き
な効果を奏する。
又、設備投資計画上、現在は、利点の多い天井チャンバ
ー方式のクリーンルームの全面積をクリーン化する走力
のある空調機を設けることかてきない場合ても、設備可
能な空：ＪＪ機の走力に応じた面積のみを部分的にクリ
ーン化し、将来的にクリーン化面積を拡張することか１
濠てあり実用上人きな効果がある。
ー方式のクリーンルームの全面積をクリーン化する走力
のある空調機を設けることかてきない場合ても、設備可
能な空：ＪＪ機の走力に応じた面積のみを部分的にクリ
ーン化し、将来的にクリーン化面積を拡張することか１
濠てあり実用上人きな効果がある。
更にその拡張作業を、クリーンルームな稼動させたまま
、しかも汚染することなく行うことかてきる。
、しかも汚染することなく行うことかてきる。
第１１Ａは、未発ＩＩによるクリーンルームの機略断面
図、 第２１′Ａは、第１１′Ａの天井の実路上面図である。 ｌ・・・フィルターフレーム。 １１、ｌｌａ・・・フレーム部材。 ２ 、２ａ、２ｂ、２ｃ・・・高枕衡フィルター。 ３・・・床クレーチンク。 ４・・・風量調整用シャッター、５・・・養生シート。 ６・・・盲板、 ７・・・帯電防止ビニール。 Ｐ・・・天井プレナム、 Ｒ・・・室部。 ＣＲ・・・クリーン部分、ＵＲ・・・非クリーン部分。 特許出顧大 鹿島建設株式会社 代理人 弁理士 船 橋國 則 第１図 ＼＼１１、＼−＼＼Ｎ＼、
図、 第２１′Ａは、第１１′Ａの天井の実路上面図である。 ｌ・・・フィルターフレーム。 １１、ｌｌａ・・・フレーム部材。 ２ 、２ａ、２ｂ、２ｃ・・・高枕衡フィルター。 ３・・・床クレーチンク。 ４・・・風量調整用シャッター、５・・・養生シート。 ６・・・盲板、 ７・・・帯電防止ビニール。 Ｐ・・・天井プレナム、 Ｒ・・・室部。 ＣＲ・・・クリーン部分、ＵＲ・・・非クリーン部分。 特許出顧大 鹿島建設株式会社 代理人 弁理士 船 橋國 則 第１図 ＼＼１１、＼−＼＼Ｎ＼、
Claims (2)
- （１）天井プレナムに取入れた給気を天井に設けたフィ
ルターを通して室部に流通させる天井チャンバー方式の
クリーンルームであって、前記室部をクリーン部分と非
クリー部分とに分け、前記クリーン部分の天井にはフィ
ルターを設置して給気を流通させ、前記非クリーン部分
の天井には被覆状のフィルターを設置して給気の流通を
遮断するとともに室部のクリーン部分と非クリーン部分
とを空気遮断幕にて気密に間仕切り、前記クリーン部分
のみをクリーン化することを特徴とするクリーンルーム
。 - （２）前記被覆状のフィルターは天井プレナム側に貼付
された養生シートにて被覆されたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21127786A JPS6370037A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21127786A JPS6370037A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | クリ−ンル−ム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6370037A true JPS6370037A (ja) | 1988-03-30 |
Family
ID=16603259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21127786A Pending JPS6370037A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6370037A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002040926A1 (en) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | A/S L. Hammerich & Co. | System and method of climate control in a room, a ceiling for this purpose and a method of installation of such system |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6179928A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-23 | Sanki Eng Co Ltd | クリ−ンル−ム用カ−テン装置 |
-
1986
- 1986-09-08 JP JP21127786A patent/JPS6370037A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6179928A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-23 | Sanki Eng Co Ltd | クリ−ンル−ム用カ−テン装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002040926A1 (en) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | A/S L. Hammerich & Co. | System and method of climate control in a room, a ceiling for this purpose and a method of installation of such system |
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