JPS6179928A - クリ−ンル−ム用カ−テン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、室内に超清浄度レベルのクリーンルームを
形成するカーテン装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、クリーンルームなどの室内に、更に高い清浄度レ
ベルを有する特別クリーンルームとして設けられるもの
に１例えば、クリーンブースと称する機器があり、第７
図はその移動型を、また、第８図は懸垂型をそれぞれ示
したものである。

移動型クリーンブースは、複数本の支柱２１により立方
体を形成した枠組２２の天井板２３上面に、プレフィル
タ２４を具備したファン２５及び超高性能ＨＥＰＡフィ
ルタ２６とからなる超清浄空気供給装置Ｕを設置し、前
記枠組２２の四周を床面Ｆ近くまでビニールカーテン２
γで囲って形成した特別室２８内へ前記フィルタ２６か
ら超清浄空気を流下させるダクンプロー形式の簡易クリ
ーンルームである。

そして、枠組２２の一側面においてのみ前記カーテン２
７の端部を上下方向に開閉可能に重ね合わせて取り付け
、出入口２９としである。更に、出入口２９のある側面
以外の側面においては、支柱２１の下部を横桁３０で連
結して補強し、また、各支柱２１の下端面にストッパ付
きキャスタ３１を装着してクリーンブースの移動を可能
としている。なお、３２は、天井板２３の下面に付設し
た照明灯、３３は、出入口２９のある一方の支柱２１に
取り付けてファン２５を操作するスイッチボックスであ
る。

懸垂型クリーンブースは、必要部分のみを室の天井（図
外）から吊設する形式のもので、超高性能ＨＥＰＡフィ
ルタ２６を内設した立方体状のボックス３４の一方の側
面にプレフィルタ２４付きファン２５を付設し、前記ボ
ックス３４０周縁からビニールカーテン２７を床面近く
まで垂設して特別室２８を形成し、移動型のものとほぼ
同様に。

−側面において前記カーテン２７の両端部を重ね合わし
て出入口２９としたものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来のクリーンブースにあっ
ては、出入口が垂れ下がりシートの重な抄合う形式であ
るため、内部の超清浄空気が出入口の全長から漏れるた
め空気量を多く供給しなければならず効率が悪いばかり
か、ときによってはビニールカーテンがばたついて粉塵
を発生したり微妙な雰囲気をこわすこともあり、また、
不使用時にはクリーンルーム内の邪魔物になるという問
題点がある。また、ファンなど超清浄空気供給装置がク
リーンルームの天井下にあるため、該供給装置による粉
塵や騒音がクリーンルーム内の環境に悪影響を及ぼすこ
とがあり、また、クリーンブース内の天井も低くなると
いう難点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、叙上の問題点に着目してなされたもので、
クリーンルームの天井裏にビニールカーテンを巻回した
回転ドラムを排気可能なケースに内設し、天井面に穿設
したカーテン用スリットの両端において、天井と床面と
を結ぶように立設したガイドバーのガイド溝を案内させ
て前記カーテンを垂下するカーテン装置を提供し、これ
らの問題点を解決したものである。

〔作用〕

カーテン装置を室内所要箇所に連設し、超清浄度レベル
用の特別クリーンルーム、又はクリーントンネルを前記
カーテンを床面近くまで垂下して区画した後、天井裏に
設置した超清浄空気供給装置から超清浄空気層流を外部
よりもやや高めの圧力をもって流下させれば、内部空気
は、カーテンの重錘下方から徐々に外部へ流出し１区画
内を超清浄度レベルに維持する。

また、特別クリーンルームやクリーントンネルの不要時
には、垂下したカーテンを回転ドラムに巻き上げて収納
し、かつ、ガイドバーを撤去することにより、室内を通
常使用状態に復旧させることができる。また、カーテン
の昇降に伴い発生する粉塵は、ケースからの排気により
除去する。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例として特別クリーンルームに
つき、第１図ないし第５図に基づいて説明する。

まず、構成を述べる。

カーテン装置１は、グー１２１回転ドラム３゜カーテン
４．ガイドバー５及び付属品６から主要構成されている
。

ケース２は、クリーンルームＲの天井Ｃ裏に設置される
横長の立方体をした本体２ｈの底外面片方に、カーテン
４を通過させるカーテン用スリット２ｇを設けた案内部
２ｑを突設したもので、該案内部２ｑの下端部が天井Ｃ
面に穿設された長孔Ｃａに嵌め込まれ、天井Ｃ下面に突
出している。

また、前記案内部２ｑと反対の側面はぼ中央に吸込みダ
ク）２ｄが取り付けられ、ケース２内の空気は、第４図
Ｉに示すように排気ファン７によって室外へ排気される
か、あるいは、同図「のようにボリュームダンパー８を
介して空気供給装置の吸入ダクト（図示省略）へ排気さ
れる。なお、９は、キャブタイヤケーブル１０を導入す
るよう装着された配管である。また、カーテン用スリツ
）２ｓのケース２の底面相当位置にカーテン４の内外両
面から挾むように、バイブ状のパツキン１１．１１が付
設されている。（第５図参照）回転ドラム３は、前記ケ
ース２の本体２ｈの両端面に固定されたンヤフ）３ａに
回転可能に取り付けられ、かつ、内蔵した複数段減速型
のモータプーリー３ｍを一体的に結合したものである。

カーテン４は、滞電防止処理を施された透明なビニール
カーテンで、下辺全長にわたり長尺の重錘４ｗが付設さ
れており、一方、上辺は回転ドラム３に固着され巻回さ
れる。なお１巻回されたカーテン４の厚でによって動作
する。ケース２に固定の上限用リミットスイッチ１２ｕ
、下限用リミットスイッチ１２ｄにより垂れ下がりの高
さを規制される。（第５図参照） ガイドバー５は、前記案内部２ｑのカーテン用のスリン
）２ｇの両端部と床面Ｆとの間に１両者を結んで立設さ
れるもので、頂部５ｔは、案内部２ｑの端部に所望の差
込み構造により着脱可能に取り付けられ、底面５ｂに螺
着された押上げ固定金具１３のねじ戻しによって床面Ｆ
から押し上げられて前記頂部５ｔを案内部２ｑに圧着し
固定される。

なお、押上げ固定金具１３は、着脱可能な回転用てこ棒
１４を嵌入するてこ用孔１３ａを外周側面に複数個刻設
した本体１３ｈの中央上面に、ガイドバー５底面５ｂに
螺入するねじ部１３ｎを立設し、中央下面につば１３ｔ
を有する脚部１３ｋを形成して台座１３ｄに回転可能に
載置されたもので１脚部１３には、台座１３ｄの側面上
部に螺入された複数個の止ねじ１３ｇによりつば１３ｔ
を制せられて台座１３ｄからの離脱を阻止されている。

（第５図参照） また、ガイドバー５の側面に、前記案内部２ｑのカーテ
ン用スリット２８端部に合わせて、カーテン４の重錘４
Ｗを案内するガイド溝５ｍが、全長にわたって刻設しで
ある。

付属品６としては、上端をケース２の配管９へ導かれ、
また、天井Ｃを貫通してクリーンルームＲ内へ吊り下げ
られたキャブタイヤケーブル１０の下端に、回転ドラム
３の回転を操作する押ボタンスイッチボックス１５が取
り付けられている。

なお、１６は、天井Ｃに設けられた点検口である。

次に１作用を述べる。

最初に、クリーンルームＲ内に特別室として超清浄度レ
ベルの特別クリーンルームＳを形成するには、所望の位
置に前記カーテン装置１複数台を方形状に配設しておき
、カーテン４を床面Ｆ近くまで垂下して特別室を区画す
る。この際、前記スイッチボックス１５を操作して回転
ドラム３を矢印Ａの方向へ回転すると、カーテン４は重
錘４ｗの重量によって引き出され、該重錘４ｗがその両
端部を両側のガイドバー５．５のガイド溝５ｍ。

５ｍに案内されて下降し、所定の高さに到達したところ
で下限リミットスイッチ１２ｄの動作により停止する。

上記動作を各カーテン装置１に行なわせ、各ガイドバー
５相互の間にカーテン４を展張することにより特別室を
作成した後、天井Ｃ裏の複数個のケース２に囲まれた箇
所に設置した超清浄空気供給装置Ｕ、つまり、ファン及
び超高性能ＨＥＰＡフィルタ（図示省略）により、超清
浄度レベルの空気層流を外部のクリーンルームＲよりも
やや高めの風圧をもって流下させ、特別クリーンルーム
Ｓとする。なお、該ルームＳ内の超清浄空気は、展張さ
れたカーテン４の重錘４ｗと床面Ｆとの間から外部へ排
出する。また、前記ルームＳへの出入は、所望のカーテ
ン４を適当に上昇させて行う。

特別クリーンルームＳの不使用時には、前記スイッチボ
ックス１５を操作して回転ドラム３を、矢印Ａの逆方向
へ回転させるとカーテン４は巻き上げられ、重錘４Ｗが
パツキン１１．１１に達した位置で、上限リミットスイ
ッチ１２ｕが動作して回転ドラム３を停止させるため、
カーテン４は天井Ｃ裏に完全に収納されたこととなる。

そこで、押し上げ固定金具１３のてこ用孔１３ａに回転
用てこ棒１４を嵌入し、該てこ棒１４の操作によりねじ
部１３ｎをガイドバー５に螺入させると、該ガイドバー
５は下降し頂部５ｔが案内部２ｑから離脱するので、前
記固定金具１３と一体的に結合したままのガイドバー５
を撤去する。

なお、クリーンルームＲの側壁を利用して三方。

又は、三方をカーテン装置１により仕切り、特別クリー
ンルームＳを形成することもできる。

次に、他の実施例としてクリーントンネルＴを形成する
場合は、第６図に示すように、仕切り位置１７の天井Ｃ
裏にケース２を連設するようにしてカーテン装置１を設
置し、前記実施例で述べたと同様に、カーテン４を垂下
してクリーントンネルＴを区画する。

なお、特別クリーンルームＳやクリーントンネルＴを長
期設定するような場合においては、カーテン装置１の回
転ドラム３を電動式とせず、モータプーリー３ｍを排し
てチェーン、又はハンドル等による公知の手動手段を用
い、カーテン４の昇降を行う形式にしてもよい。

また、このカーテン装置１により特別クリーンルームＳ
やクリーントンネルＴを形成するのは。

クリーンルームＲ内のみに限らず、通常の室内に設定し
てよいことは、申すまでもない。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、この発明は、室の天井裏にカ
ーテンを巻回した回転ドラムを内蔵し。

かつ、排気可能なケースを配設し、天井に設けた案内部
のカーテン用スリットの両端部に、床面との間に取外し
可能なガイドバーを立設し、該ガイドバーのガイド溝に
沿ってカーテンを垂下することにより、超清浄度レベル
の特別クリーンルームやクリーントンネルを形成するこ
とのできるカーテン装置を提供したため、仕切りとなる
カーテンは、各ルームの側面においてばたつくことがな
く、しかも下辺からのみ排気して上部からの漏気がない
ので、特別室内の超清浄度レベルの雰囲気を極めて安定
した状態を維持することが効率よ〈実施でき、更に、カ
ーテンの昇降に伴ないケース内に発生する粉塵も吸込み
ダクトから排除するので、特別室内へ粉塵を落下させる
こともない。

更に、出入口は、特別室の使用目的によって随所に自由
に選択できるので、極めて便利である。

更にまた、超清浄度レベルの空気供給装置は。

天井裏に設置するので、特別室の天井が低くならず室内
のスペースを大きくできるため、有効な活用を図り得る
ばかりか、前記空気供給装置による粉塵や騒音の悪影響
を、特別室を設定したクリーンルームや通常の室に与え
ることがないなど、数数の効果を有している。

【図面の簡単な説明】

第１図は、−この発明の一実施例の一部断面正面図、第
２図は、同じく平面図、第３図は、第２図のト」線断面
図、第４図は、ケースの排気機構を示す説明平面図で、
同図１は、排気ファンを用いる場合の図、同図■は、ボ
リュームダンパーを用いる場合の図、第５図は、カーテ
ン装置の要部拡大縦断面図、第６図は、この発明の他の
実施例を示す透視図、第７図は、従来の移動型クリーン
ブースの図で、同図■は正面図、同図１は側面図、第８
図は、従来の懸垂型クリーンブースの図で。 同図１は正面図、同図１は側面図である。 １・・・・・・・・・カーテン装置 ２・・・・・・・・・ケース ２Ｓ・・・・・・カーテン用スリット ３・・・・・・・・・回転ドラム ４・・・・・・・・−カーテン ４ｗ・・・・・・重錘 ５・・・・・・・・・ガイ　ドパ− ５ｍ・・・・・・ガイド溝 Ｃ・・・・・・・・・天井 Ｆ・・・・・・・・・床面 Ｓ・−・・・・・・・特別クリーンルームＴ・・・・・
・・・・クリーントンネル篤１図 第２図 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 天井裏に設置した排気可能なケースに回転ドラムを内設
   し、該回転ドラムに巻回したカーテンの下辺全長にわた
   り取り付けた重錘の両端部を、天井面に設けたカーテン
   用スリットの両端部において天井と床面との間を結ぶガ
   イドバーのガイド溝に案内させて垂下可能に構成し、順
   次に隣接して配設することにより超清浄度レベル用のク
   リーンルームを形成できるようにしたことを特徴とする
   クリーンルーム用カーテン装置。