JPS6179928A - クリ−ンル−ム用カ−テン装置 - Google Patents
クリ−ンル−ム用カ−テン装置Info
- Publication number
- JPS6179928A JPS6179928A JP20146784A JP20146784A JPS6179928A JP S6179928 A JPS6179928 A JP S6179928A JP 20146784 A JP20146784 A JP 20146784A JP 20146784 A JP20146784 A JP 20146784A JP S6179928 A JPS6179928 A JP S6179928A
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- JP
- Japan
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- curtain
- room
- ceiling
- clean
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- Curtains And Furnishings For Windows Or Doors (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、室内に超清浄度レベルのクリーンルームを
形成するカーテン装置に関する。
形成するカーテン装置に関する。
従来、クリーンルームなどの室内に、更に高い清浄度レ
ベルを有する特別クリーンルームとして設けられるもの
に1例えば、クリーンブースと称する機器があり、第7
図はその移動型を、また、第8図は懸垂型をそれぞれ示
したものである。
ベルを有する特別クリーンルームとして設けられるもの
に1例えば、クリーンブースと称する機器があり、第7
図はその移動型を、また、第8図は懸垂型をそれぞれ示
したものである。
移動型クリーンブースは、複数本の支柱21により立方
体を形成した枠組22の天井板23上面に、プレフィル
タ24を具備したファン25及び超高性能HEPAフィ
ルタ26とからなる超清浄空気供給装置Uを設置し、前
記枠組22の四周を床面F近くまでビニールカーテン2
γで囲って形成した特別室28内へ前記フィルタ26か
ら超清浄空気を流下させるダクンプロー形式の簡易クリ
ーンルームである。
体を形成した枠組22の天井板23上面に、プレフィル
タ24を具備したファン25及び超高性能HEPAフィ
ルタ26とからなる超清浄空気供給装置Uを設置し、前
記枠組22の四周を床面F近くまでビニールカーテン2
γで囲って形成した特別室28内へ前記フィルタ26か
ら超清浄空気を流下させるダクンプロー形式の簡易クリ
ーンルームである。
そして、枠組22の一側面においてのみ前記カーテン2
7の端部を上下方向に開閉可能に重ね合わせて取り付け
、出入口29としである。更に、出入口29のある側面
以外の側面においては、支柱21の下部を横桁30で連
結して補強し、また、各支柱21の下端面にストッパ付
きキャスタ31を装着してクリーンブースの移動を可能
としている。なお、32は、天井板23の下面に付設し
た照明灯、33は、出入口29のある一方の支柱21に
取り付けてファン25を操作するスイッチボックスであ
る。
7の端部を上下方向に開閉可能に重ね合わせて取り付け
、出入口29としである。更に、出入口29のある側面
以外の側面においては、支柱21の下部を横桁30で連
結して補強し、また、各支柱21の下端面にストッパ付
きキャスタ31を装着してクリーンブースの移動を可能
としている。なお、32は、天井板23の下面に付設し
た照明灯、33は、出入口29のある一方の支柱21に
取り付けてファン25を操作するスイッチボックスであ
る。
懸垂型クリーンブースは、必要部分のみを室の天井(図
外)から吊設する形式のもので、超高性能HEPAフィ
ルタ26を内設した立方体状のボックス34の一方の側
面にプレフィルタ24付きファン25を付設し、前記ボ
ックス340周縁からビニールカーテン27を床面近く
まで垂設して特別室28を形成し、移動型のものとほぼ
同様に。
外)から吊設する形式のもので、超高性能HEPAフィ
ルタ26を内設した立方体状のボックス34の一方の側
面にプレフィルタ24付きファン25を付設し、前記ボ
ックス340周縁からビニールカーテン27を床面近く
まで垂設して特別室28を形成し、移動型のものとほぼ
同様に。
−側面において前記カーテン27の両端部を重ね合わし
て出入口29としたものである。
て出入口29としたものである。
しかしながら、このような従来のクリーンブースにあっ
ては、出入口が垂れ下がりシートの重な抄合う形式であ
るため、内部の超清浄空気が出入口の全長から漏れるた
め空気量を多く供給しなければならず効率が悪いばかり
か、ときによってはビニールカーテンがばたついて粉塵
を発生したり微妙な雰囲気をこわすこともあり、また、
不使用時にはクリーンルーム内の邪魔物になるという問
題点がある。また、ファンなど超清浄空気供給装置がク
リーンルームの天井下にあるため、該供給装置による粉
塵や騒音がクリーンルーム内の環境に悪影響を及ぼすこ
とがあり、また、クリーンブース内の天井も低くなると
いう難点がある。
ては、出入口が垂れ下がりシートの重な抄合う形式であ
るため、内部の超清浄空気が出入口の全長から漏れるた
め空気量を多く供給しなければならず効率が悪いばかり
か、ときによってはビニールカーテンがばたついて粉塵
を発生したり微妙な雰囲気をこわすこともあり、また、
不使用時にはクリーンルーム内の邪魔物になるという問
題点がある。また、ファンなど超清浄空気供給装置がク
リーンルームの天井下にあるため、該供給装置による粉
塵や騒音がクリーンルーム内の環境に悪影響を及ぼすこ
とがあり、また、クリーンブース内の天井も低くなると
いう難点がある。
この発明は、叙上の問題点に着目してなされたもので、
クリーンルームの天井裏にビニールカーテンを巻回した
回転ドラムを排気可能なケースに内設し、天井面に穿設
したカーテン用スリットの両端において、天井と床面と
を結ぶように立設したガイドバーのガイド溝を案内させ
て前記カーテンを垂下するカーテン装置を提供し、これ
らの問題点を解決したものである。
クリーンルームの天井裏にビニールカーテンを巻回した
回転ドラムを排気可能なケースに内設し、天井面に穿設
したカーテン用スリットの両端において、天井と床面と
を結ぶように立設したガイドバーのガイド溝を案内させ
て前記カーテンを垂下するカーテン装置を提供し、これ
らの問題点を解決したものである。
カーテン装置を室内所要箇所に連設し、超清浄度レベル
用の特別クリーンルーム、又はクリーントンネルを前記
カーテンを床面近くまで垂下して区画した後、天井裏に
設置した超清浄空気供給装置から超清浄空気層流を外部
よりもやや高めの圧力をもって流下させれば、内部空気
は、カーテンの重錘下方から徐々に外部へ流出し1区画
内を超清浄度レベルに維持する。
用の特別クリーンルーム、又はクリーントンネルを前記
カーテンを床面近くまで垂下して区画した後、天井裏に
設置した超清浄空気供給装置から超清浄空気層流を外部
よりもやや高めの圧力をもって流下させれば、内部空気
は、カーテンの重錘下方から徐々に外部へ流出し1区画
内を超清浄度レベルに維持する。
また、特別クリーンルームやクリーントンネルの不要時
には、垂下したカーテンを回転ドラムに巻き上げて収納
し、かつ、ガイドバーを撤去することにより、室内を通
常使用状態に復旧させることができる。また、カーテン
の昇降に伴い発生する粉塵は、ケースからの排気により
除去する。
には、垂下したカーテンを回転ドラムに巻き上げて収納
し、かつ、ガイドバーを撤去することにより、室内を通
常使用状態に復旧させることができる。また、カーテン
の昇降に伴い発生する粉塵は、ケースからの排気により
除去する。
以下、この発明の一実施例として特別クリーンルームに
つき、第1図ないし第5図に基づいて説明する。
つき、第1図ないし第5図に基づいて説明する。
まず、構成を述べる。
カーテン装置1は、グー121回転ドラム3゜カーテン
4.ガイドバー5及び付属品6から主要構成されている
。
4.ガイドバー5及び付属品6から主要構成されている
。
ケース2は、クリーンルームRの天井C裏に設置される
横長の立方体をした本体2hの底外面片方に、カーテン
4を通過させるカーテン用スリット2gを設けた案内部
2qを突設したもので、該案内部2qの下端部が天井C
面に穿設された長孔Caに嵌め込まれ、天井C下面に突
出している。
横長の立方体をした本体2hの底外面片方に、カーテン
4を通過させるカーテン用スリット2gを設けた案内部
2qを突設したもので、該案内部2qの下端部が天井C
面に穿設された長孔Caに嵌め込まれ、天井C下面に突
出している。
また、前記案内部2qと反対の側面はぼ中央に吸込みダ
ク)2dが取り付けられ、ケース2内の空気は、第4図
Iに示すように排気ファン7によって室外へ排気される
か、あるいは、同図「のようにボリュームダンパー8を
介して空気供給装置の吸入ダクト(図示省略)へ排気さ
れる。なお、9は、キャブタイヤケーブル10を導入す
るよう装着された配管である。また、カーテン用スリツ
)2sのケース2の底面相当位置にカーテン4の内外両
面から挾むように、バイブ状のパツキン11.11が付
設されている。(第5図参照)回転ドラム3は、前記ケ
ース2の本体2hの両端面に固定されたンヤフ)3aに
回転可能に取り付けられ、かつ、内蔵した複数段減速型
のモータプーリー3mを一体的に結合したものである。
ク)2dが取り付けられ、ケース2内の空気は、第4図
Iに示すように排気ファン7によって室外へ排気される
か、あるいは、同図「のようにボリュームダンパー8を
介して空気供給装置の吸入ダクト(図示省略)へ排気さ
れる。なお、9は、キャブタイヤケーブル10を導入す
るよう装着された配管である。また、カーテン用スリツ
)2sのケース2の底面相当位置にカーテン4の内外両
面から挾むように、バイブ状のパツキン11.11が付
設されている。(第5図参照)回転ドラム3は、前記ケ
ース2の本体2hの両端面に固定されたンヤフ)3aに
回転可能に取り付けられ、かつ、内蔵した複数段減速型
のモータプーリー3mを一体的に結合したものである。
カーテン4は、滞電防止処理を施された透明なビニール
カーテンで、下辺全長にわたり長尺の重錘4wが付設さ
れており、一方、上辺は回転ドラム3に固着され巻回さ
れる。なお1巻回されたカーテン4の厚でによって動作
する。ケース2に固定の上限用リミットスイッチ12u
、下限用リミットスイッチ12dにより垂れ下がりの高
さを規制される。(第5図参照) ガイドバー5は、前記案内部2qのカーテン用のスリン
)2gの両端部と床面Fとの間に1両者を結んで立設さ
れるもので、頂部5tは、案内部2qの端部に所望の差
込み構造により着脱可能に取り付けられ、底面5bに螺
着された押上げ固定金具13のねじ戻しによって床面F
から押し上げられて前記頂部5tを案内部2qに圧着し
固定される。
カーテンで、下辺全長にわたり長尺の重錘4wが付設さ
れており、一方、上辺は回転ドラム3に固着され巻回さ
れる。なお1巻回されたカーテン4の厚でによって動作
する。ケース2に固定の上限用リミットスイッチ12u
、下限用リミットスイッチ12dにより垂れ下がりの高
さを規制される。(第5図参照) ガイドバー5は、前記案内部2qのカーテン用のスリン
)2gの両端部と床面Fとの間に1両者を結んで立設さ
れるもので、頂部5tは、案内部2qの端部に所望の差
込み構造により着脱可能に取り付けられ、底面5bに螺
着された押上げ固定金具13のねじ戻しによって床面F
から押し上げられて前記頂部5tを案内部2qに圧着し
固定される。
なお、押上げ固定金具13は、着脱可能な回転用てこ棒
14を嵌入するてこ用孔13aを外周側面に複数個刻設
した本体13hの中央上面に、ガイドバー5底面5bに
螺入するねじ部13nを立設し、中央下面につば13t
を有する脚部13kを形成して台座13dに回転可能に
載置されたもので1脚部13には、台座13dの側面上
部に螺入された複数個の止ねじ13gによりつば13t
を制せられて台座13dからの離脱を阻止されている。
14を嵌入するてこ用孔13aを外周側面に複数個刻設
した本体13hの中央上面に、ガイドバー5底面5bに
螺入するねじ部13nを立設し、中央下面につば13t
を有する脚部13kを形成して台座13dに回転可能に
載置されたもので1脚部13には、台座13dの側面上
部に螺入された複数個の止ねじ13gによりつば13t
を制せられて台座13dからの離脱を阻止されている。
(第5図参照)
また、ガイドバー5の側面に、前記案内部2qのカーテ
ン用スリット28端部に合わせて、カーテン4の重錘4
Wを案内するガイド溝5mが、全長にわたって刻設しで
ある。
ン用スリット28端部に合わせて、カーテン4の重錘4
Wを案内するガイド溝5mが、全長にわたって刻設しで
ある。
付属品6としては、上端をケース2の配管9へ導かれ、
また、天井Cを貫通してクリーンルームR内へ吊り下げ
られたキャブタイヤケーブル10の下端に、回転ドラム
3の回転を操作する押ボタンスイッチボックス15が取
り付けられている。
また、天井Cを貫通してクリーンルームR内へ吊り下げ
られたキャブタイヤケーブル10の下端に、回転ドラム
3の回転を操作する押ボタンスイッチボックス15が取
り付けられている。
なお、16は、天井Cに設けられた点検口である。
次に1作用を述べる。
最初に、クリーンルームR内に特別室として超清浄度レ
ベルの特別クリーンルームSを形成するには、所望の位
置に前記カーテン装置1複数台を方形状に配設しておき
、カーテン4を床面F近くまで垂下して特別室を区画す
る。この際、前記スイッチボックス15を操作して回転
ドラム3を矢印Aの方向へ回転すると、カーテン4は重
錘4wの重量によって引き出され、該重錘4wがその両
端部を両側のガイドバー5.5のガイド溝5m。
ベルの特別クリーンルームSを形成するには、所望の位
置に前記カーテン装置1複数台を方形状に配設しておき
、カーテン4を床面F近くまで垂下して特別室を区画す
る。この際、前記スイッチボックス15を操作して回転
ドラム3を矢印Aの方向へ回転すると、カーテン4は重
錘4wの重量によって引き出され、該重錘4wがその両
端部を両側のガイドバー5.5のガイド溝5m。
5mに案内されて下降し、所定の高さに到達したところ
で下限リミットスイッチ12dの動作により停止する。
で下限リミットスイッチ12dの動作により停止する。
上記動作を各カーテン装置1に行なわせ、各ガイドバー
5相互の間にカーテン4を展張することにより特別室を
作成した後、天井C裏の複数個のケース2に囲まれた箇
所に設置した超清浄空気供給装置U、つまり、ファン及
び超高性能HEPAフィルタ(図示省略)により、超清
浄度レベルの空気層流を外部のクリーンルームRよりも
やや高めの風圧をもって流下させ、特別クリーンルーム
Sとする。なお、該ルームS内の超清浄空気は、展張さ
れたカーテン4の重錘4wと床面Fとの間から外部へ排
出する。また、前記ルームSへの出入は、所望のカーテ
ン4を適当に上昇させて行う。
5相互の間にカーテン4を展張することにより特別室を
作成した後、天井C裏の複数個のケース2に囲まれた箇
所に設置した超清浄空気供給装置U、つまり、ファン及
び超高性能HEPAフィルタ(図示省略)により、超清
浄度レベルの空気層流を外部のクリーンルームRよりも
やや高めの風圧をもって流下させ、特別クリーンルーム
Sとする。なお、該ルームS内の超清浄空気は、展張さ
れたカーテン4の重錘4wと床面Fとの間から外部へ排
出する。また、前記ルームSへの出入は、所望のカーテ
ン4を適当に上昇させて行う。
特別クリーンルームSの不使用時には、前記スイッチボ
ックス15を操作して回転ドラム3を、矢印Aの逆方向
へ回転させるとカーテン4は巻き上げられ、重錘4Wが
パツキン11.11に達した位置で、上限リミットスイ
ッチ12uが動作して回転ドラム3を停止させるため、
カーテン4は天井C裏に完全に収納されたこととなる。
ックス15を操作して回転ドラム3を、矢印Aの逆方向
へ回転させるとカーテン4は巻き上げられ、重錘4Wが
パツキン11.11に達した位置で、上限リミットスイ
ッチ12uが動作して回転ドラム3を停止させるため、
カーテン4は天井C裏に完全に収納されたこととなる。
そこで、押し上げ固定金具13のてこ用孔13aに回転
用てこ棒14を嵌入し、該てこ棒14の操作によりねじ
部13nをガイドバー5に螺入させると、該ガイドバー
5は下降し頂部5tが案内部2qから離脱するので、前
記固定金具13と一体的に結合したままのガイドバー5
を撤去する。
用てこ棒14を嵌入し、該てこ棒14の操作によりねじ
部13nをガイドバー5に螺入させると、該ガイドバー
5は下降し頂部5tが案内部2qから離脱するので、前
記固定金具13と一体的に結合したままのガイドバー5
を撤去する。
なお、クリーンルームRの側壁を利用して三方。
又は、三方をカーテン装置1により仕切り、特別クリー
ンルームSを形成することもできる。
ンルームSを形成することもできる。
次に、他の実施例としてクリーントンネルTを形成する
場合は、第6図に示すように、仕切り位置17の天井C
裏にケース2を連設するようにしてカーテン装置1を設
置し、前記実施例で述べたと同様に、カーテン4を垂下
してクリーントンネルTを区画する。
場合は、第6図に示すように、仕切り位置17の天井C
裏にケース2を連設するようにしてカーテン装置1を設
置し、前記実施例で述べたと同様に、カーテン4を垂下
してクリーントンネルTを区画する。
なお、特別クリーンルームSやクリーントンネルTを長
期設定するような場合においては、カーテン装置1の回
転ドラム3を電動式とせず、モータプーリー3mを排し
てチェーン、又はハンドル等による公知の手動手段を用
い、カーテン4の昇降を行う形式にしてもよい。
期設定するような場合においては、カーテン装置1の回
転ドラム3を電動式とせず、モータプーリー3mを排し
てチェーン、又はハンドル等による公知の手動手段を用
い、カーテン4の昇降を行う形式にしてもよい。
また、このカーテン装置1により特別クリーンルームS
やクリーントンネルTを形成するのは。
やクリーントンネルTを形成するのは。
クリーンルームR内のみに限らず、通常の室内に設定し
てよいことは、申すまでもない。
てよいことは、申すまでもない。
以上説明してきたように、この発明は、室の天井裏にカ
ーテンを巻回した回転ドラムを内蔵し。
ーテンを巻回した回転ドラムを内蔵し。
かつ、排気可能なケースを配設し、天井に設けた案内部
のカーテン用スリットの両端部に、床面との間に取外し
可能なガイドバーを立設し、該ガイドバーのガイド溝に
沿ってカーテンを垂下することにより、超清浄度レベル
の特別クリーンルームやクリーントンネルを形成するこ
とのできるカーテン装置を提供したため、仕切りとなる
カーテンは、各ルームの側面においてばたつくことがな
く、しかも下辺からのみ排気して上部からの漏気がない
ので、特別室内の超清浄度レベルの雰囲気を極めて安定
した状態を維持することが効率よ〈実施でき、更に、カ
ーテンの昇降に伴ないケース内に発生する粉塵も吸込み
ダクトから排除するので、特別室内へ粉塵を落下させる
こともない。
のカーテン用スリットの両端部に、床面との間に取外し
可能なガイドバーを立設し、該ガイドバーのガイド溝に
沿ってカーテンを垂下することにより、超清浄度レベル
の特別クリーンルームやクリーントンネルを形成するこ
とのできるカーテン装置を提供したため、仕切りとなる
カーテンは、各ルームの側面においてばたつくことがな
く、しかも下辺からのみ排気して上部からの漏気がない
ので、特別室内の超清浄度レベルの雰囲気を極めて安定
した状態を維持することが効率よ〈実施でき、更に、カ
ーテンの昇降に伴ないケース内に発生する粉塵も吸込み
ダクトから排除するので、特別室内へ粉塵を落下させる
こともない。
更に、出入口は、特別室の使用目的によって随所に自由
に選択できるので、極めて便利である。
に選択できるので、極めて便利である。
更にまた、超清浄度レベルの空気供給装置は。
天井裏に設置するので、特別室の天井が低くならず室内
のスペースを大きくできるため、有効な活用を図り得る
ばかりか、前記空気供給装置による粉塵や騒音の悪影響
を、特別室を設定したクリーンルームや通常の室に与え
ることがないなど、数数の効果を有している。
のスペースを大きくできるため、有効な活用を図り得る
ばかりか、前記空気供給装置による粉塵や騒音の悪影響
を、特別室を設定したクリーンルームや通常の室に与え
ることがないなど、数数の効果を有している。
第1図は、−この発明の一実施例の一部断面正面図、第
2図は、同じく平面図、第3図は、第2図のト」線断面
図、第4図は、ケースの排気機構を示す説明平面図で、
同図1は、排気ファンを用いる場合の図、同図■は、ボ
リュームダンパーを用いる場合の図、第5図は、カーテ
ン装置の要部拡大縦断面図、第6図は、この発明の他の
実施例を示す透視図、第7図は、従来の移動型クリーン
ブースの図で、同図■は正面図、同図1は側面図、第8
図は、従来の懸垂型クリーンブースの図で。 同図1は正面図、同図1は側面図である。 1・・・・・・・・・カーテン装置 2・・・・・・・・・ケース 2S・・・・・・カーテン用スリット 3・・・・・・・・・回転ドラム 4・・・・・・・・−カーテン 4w・・・・・・重錘 5・・・・・・・・・ガイ ドパ− 5m・・・・・・ガイド溝 C・・・・・・・・・天井 F・・・・・・・・・床面 S・−・・・・・・・特別クリーンルームT・・・・・
・・・・クリーントンネル篤1図 第2図 第3図 第4図
2図は、同じく平面図、第3図は、第2図のト」線断面
図、第4図は、ケースの排気機構を示す説明平面図で、
同図1は、排気ファンを用いる場合の図、同図■は、ボ
リュームダンパーを用いる場合の図、第5図は、カーテ
ン装置の要部拡大縦断面図、第6図は、この発明の他の
実施例を示す透視図、第7図は、従来の移動型クリーン
ブースの図で、同図■は正面図、同図1は側面図、第8
図は、従来の懸垂型クリーンブースの図で。 同図1は正面図、同図1は側面図である。 1・・・・・・・・・カーテン装置 2・・・・・・・・・ケース 2S・・・・・・カーテン用スリット 3・・・・・・・・・回転ドラム 4・・・・・・・・−カーテン 4w・・・・・・重錘 5・・・・・・・・・ガイ ドパ− 5m・・・・・・ガイド溝 C・・・・・・・・・天井 F・・・・・・・・・床面 S・−・・・・・・・特別クリーンルームT・・・・・
・・・・クリーントンネル篤1図 第2図 第3図 第4図
Claims (1)
- 天井裏に設置した排気可能なケースに回転ドラムを内設
し、該回転ドラムに巻回したカーテンの下辺全長にわた
り取り付けた重錘の両端部を、天井面に設けたカーテン
用スリットの両端部において天井と床面との間を結ぶガ
イドバーのガイド溝に案内させて垂下可能に構成し、順
次に隣接して配設することにより超清浄度レベル用のク
リーンルームを形成できるようにしたことを特徴とする
クリーンルーム用カーテン装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20146784A JPS6179928A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | クリ−ンル−ム用カ−テン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20146784A JPS6179928A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | クリ−ンル−ム用カ−テン装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6179928A true JPS6179928A (ja) | 1986-04-23 |
JPH0373784B2 JPH0373784B2 (ja) | 1991-11-22 |
Family
ID=16441567
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20146784A Granted JPS6179928A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | クリ−ンル−ム用カ−テン装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6179928A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS637727U (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-19 | ||
JPS6370037A (ja) * | 1986-09-08 | 1988-03-30 | Kajima Corp | クリ−ンル−ム |
JP2010101545A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 感染防止クリーンブース |
CN110937139A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-03-31 | 哈尔滨工业大学 | 一种气浮支撑二维被动平移重力卸载装置 |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20146784A patent/JPS6179928A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS637727U (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-19 | ||
JPS6370037A (ja) * | 1986-09-08 | 1988-03-30 | Kajima Corp | クリ−ンル−ム |
JP2010101545A (ja) * | 2008-10-23 | 2010-05-06 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 感染防止クリーンブース |
CN110937139A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-03-31 | 哈尔滨工业大学 | 一种气浮支撑二维被动平移重力卸载装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0373784B2 (ja) | 1991-11-22 |
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