JPS6352307B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子部品の熱処理装置に関するもので
ある。

［従来技術］ 従来、例えば液晶表示パネル用の透明電極及び
配向膜等を基板に印刷した印刷基板のごとき板状
電子部品を多量に焼成・熱処理するには、該電子
部品の多数枚を耐熱性マガジンラツクに収納し
て、バツチ式熱風循環焼成炉内に定量するか、ま
たはチエーンコンベア式熱風循環焼成式炉内を移
送して、所定の温度により所定の時間加熱して所
要の熱処理を行うのが一般であつた。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記のような熱風循環式の焼成炉は、加熱効率
が良くないので焼成に比較的長時間を要すること
と、炉内の塵埃が熱風により拡散循環するために
印刷基板の表面に塵埃が付着して品質を害する等
の問題があつた。また、多数枚の印刷基板をマガ
ジンラツクに収納して熱風加熱を行うのは、均一
な温度分布を与え難く、特に大型基板を加熱対象
とした場合には、各基板相互間及び同一基板内均
熱特性が悪くなつて、性能のバラツキが大きくな
る欠点があつた。更に、コンベア式の連続焼成炉
の場合は、炉内搬送用のコンベアとコンベアガイ
ドの摺動摩擦により生ずる酸化スケールや鉄粉
が、印刷基板の面に付着して品質を害するという
問題があつた。

本発明の目的は、上記のような問題点を解決し
得る電子部品の熱処理装置を提供することにあ
る。

［問題点を解決するための手段］ 前記の問題点を解決するための本発明の構成
を、実施例に対応する第１図〜第３図を参照して
以下に説明する。

本願の第１の発明の熱処理装置は、下端部に被
処理物Ｐの送入口１３、上端側に送出口１４をそ
れぞれ有し内壁面に赤外線放射ヒータ３を備えた
縦長の炉体１を有し、 外周面の周方向の一方に長さ方向に所定の間隔
において径方向に突出する複数個の被処理物保持
用爪部４ａを有する固定回転棒４Ａが前記炉体１
の内部の所定の距離を隔てて対向する一方の側に
複数本、他方の側に少なくとも１本、それぞれ前
記爪部４ａが互いに向き合つて被処理物Ｐを保持
する位置と横を向く位置とを取り得るように回転
自在に立設され、 前記と同様の爪部５ａを有する複数本の移動回
転棒５Ａが前記炉体１内の両方の側に分れて前記
各固定回転棒４Ａに平行に並んで、前記爪部５ａ
が互いに向き合つて被処理物Ｐを保持する位置と
横を向く位置とを取り得るように回転自在で、且
つ被処理物Ｐを前記固定回転棒４Ａとの間に受け
渡ししながら縦方向に移送するように上・下方向
に移動自在に立設され、 前記移動回転棒５Ａの上下動及び回転動作に関
連させて前記相対向する固定回転棒４Ａの前記爪
部４ａが互いに向き合う位置と横を向く位置とに
前記固定回転棒４Ａを間欠的に回転させる固定回
転棒駆動機構６Ａが設けられ、 前記固定回転棒４Ａの回転動作に関連させて前
記相対向する移動回転棒５Ａの前記爪部５ａが互
いに向き合う位置と横を向く位置とに前記移動回
転棒５Ａを間欠的に回転且つ所定の距離だけ上・
下動させる移動回転棒駆動機構７Ａが設けられて
なるものである。

また、本願の第２の発明の熱処理装置は、炉体
１の下端側に被処理物の送入口１３，上端部に送
出口１４をそれぞれ設け内壁面に赤外線放射ヒー
タ３を設けて形成された第１の炉室１Ａと、炉体
１の上端側に連通部１Ｅを介して前記送出口１４
に連通する被処理物Ｐの送入口１５、下端側に送
出口１６をそれぞれ設け内壁面に赤外線放射ヒー
タ３を設けて形成された第２の炉室１Ｂとを有
し、 外周面の周方向の一方に長さ方向に所定の間隔
をおいて径方向に突出する複数個の被処理物保持
用爪部４ａを有する第１の固定回転棒４Ａが前記
第１の炉室１Ａ内の所定の距離を隔てて対向する
一方の側に複数本、他方の側に少なくとも１本、
それぞれ前記爪部４ａが互いに向き合つて被処理
物Ｐを保持する位置と横を向く位置とを取り得る
ように回転自在に立設され、 前記と同様の爪部４ｂを有する第２の固定回転
棒４Ｂが前記第２の炉室１Ｂ内の所定の距離を隔
てて対向する一方の側に複数本、他方の側に少な
くとも１本、それぞれ前記爪部４ｂが互いに向き
合つて被処理物Ｐを保持する位置と横を向く位置
とを取り得るように回転自在に立設され、 前記と同様の爪部５ａを有する複数本の第１の
移動回転棒５Ａが前記第１の炉室１Ａ内の両方の
側に分れて前記第１の各固定回転棒４Ａに平行に
並んで、前記爪部５ａが互いに向き合つて被処理
物Ｐを保持する位置と横を向く位置とを取り得る
ように回転自在で、且つ被処理物Ｐを前記第１の
固定回転棒４Ａとの間に受け渡ししながら縦方向
に移送するように上・下方向に移動自在に立設さ
れ、 前記と同様の爪部５ｂを有する複数本の第２の
移動回転棒５Ｂが前記第２の炉室１Ｂ内の両方の
側に分れて前記第２の各固定回転棒４Ｂに平行に
並んで、前記爪部５ｂが互いに向き合つて被処理
物Ｐを保持する位置と横を向く位置とを取り得る
ように回転自在で、且つ被処理物Ｐを前記第２の
固定回転棒４Ｂとの間に受け渡ししながら縦方向
に移送するように上・下方向に移動自在に立設さ
れ、 前記第１の移動回転棒５Ａの上・下動及び回転
動作に関連させて前記第１の相対向する固定回転
棒４Ａの前記爪部４Ｂが互いに向き合う位置と横
を向く位置とに前記第１の固定回転棒４Ａを間欠
的に回転させる第１の固定回転棒駆動気構６Ａが
設けられ、 前記第２の移動回転棒５Ｂの上・下動及び回転
動作に関連させて前記第２の相対向する固定回転
棒４Ｂの前記爪部４ｂが互いに向き合う位置と横
を向く位置とに前記第２の固定回転棒４Ｂを間欠
的に回転させる第２の固定回転棒駆動機構６Ｂが
設けられ、 前記第１の固定回転棒４Ａの回転動作に関連さ
せて前記第１の相対向する移動回転棒５Ａの前記
爪部５ａが互いに向き合う位置と横を向く位置と
に前記第１の移動回転棒５Ａを間欠的に回転且つ
所定の距離だけ上・下動させる第１の移動回転棒
駆動機構７Ａが設けられ、 前記第２の固定回転棒４Ｂの回転動作に関連さ
せて前記第２の相対向する移動回転棒５Ｂの前記
爪部５ｂが互いに向き合う位置と横を向く位置と
に前記第２の移動回転棒５Ｂを間欠的に回転且つ
所定の距離だけ上・下動させる第２の移動回転棒
駆動機構７Ｂが設けられ、 前記炉体１の側壁上部を横方向に出入自在に貫
通して被処理物Ｐを前記第１の炉室１Ａ上部から
前記連通部１Ｅを通して前記第２の炉室１Ｂ上部
に送る横送り部材１０及び該横送り部材１０の駆
動源からなる被処理物横送り機構１２が設けられ
てなるものである。

［発明の作用］ 本願の第１の発明の熱処理装置においては、相
対向する固定回転棒４Ａの爪部４ａが互いに向き
合つて被処理物を保持する位置と横を向く位置と
を取り得るように、固定回転棒４Ａを駆動機構６
Ａにより間欠的に回転させ、また、相対向する移
動回転棒５Ａの爪部５ａが互いに向き合つて被処
理物を保持する位置と横を向く位置とを取り得る
ように、移動回転棒５Ａを駆動機構７Ａにより固
定回転棒４Ａの回転に関連させて間欠的に回転さ
せるとともに所定の距離だけ上下動させることに
より、前記各回転棒４Ａ，５Ａの相対向する爪部
４ａ又は５ａ相互間に、被処理物として印刷基板
のごとき電子部品Ｐを受け渡ししながら炉内を縦
方向に移送して、赤外線放射ヒータ３により加熱
効率よく熱処理することができる。

上記のように、コンベア等を用いることなく被
処理物を移送して熱処理するので、コンベア式の
連続焼成炉のように、炉内搬送用コンベアとコン
ベアガイドの摺動摩擦により生ずる金属粉等が被
処理物に付着して品質を害するようなおそれがな
い。

また、本発明の熱処理装置は、電子部品Ｐを炉
内で連続的に移送して赤外線放射ヒータ３により
加熱するので、熱風循環式の加熱に比し、熱処理
作業が良好な温度分布と加熱効率をもつて容易に
行われる。

次に、本願の第２の発明の熱処理装置において
は、第１の炉室１Ａ内において、電子部品Ｐを前
記と同様にして下部から上部に移送して後、横送
り機構１２を動作させて電子部品Ｐを横送り部材
１０により第２の炉室１Ｂの上部に移送し、次い
で、炉室１Ｂ内を固定回転棒４Ｂと移動回転棒５
Ｂとによる前記と同様な移動作用により上部から
下部に移送して熱処理する。これにより、加熱経
路が長くなつて所要の熱処理が十分に行われる。
また、炉室１Ａ，１Ｂの上部側は相互に連通して
いて外気への流気口がないので、炉室に下部から
上部へ流気する煙突効果を生ずることがなく、各
炉室１Ａ，１Ｂ内の高さ方向の温度分布を容易に
均一にできて、電子部品Ｐを均一に加熱すること
ができる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面により詳細に説明
する。第１図は本発明の実施例の縦断正面図、第
２図は同実施例のＡ−Ａ線切断平面図をそれぞれ
示したものである。これらの図面において、１は
断熱材２を内装して架台２０の上に定値された縦
長の炉体、１Ｄはこの炉体の内部空間を、上、下
の連通部１Ｅを残して第１の炉室１Ａと第２の炉
室１Ｂに仕切るように炉内中央部に縦方向に設け
られた隔壁である。この隔壁１Ｄにも断熱材が内
装されており、中間部は空胴になつている。３は
炉体１の内面側及び隔壁１Ｄの外面側に略一様に
配設された赤外線放射ヒータ、４Ａ及び４Ｂはそ
れぞれ炉室１Ａ又は１Ｂ内の両側に２本ずつ相対
向するように所定の間隔で立設されて、それぞれ
の両端部が炉体１の頂壁及び底壁に回転自在に支
持されている第１及び第２の固定回転棒である。
５Ａ及び５Ｂはそれぞれ炉室１Ａ又は１Ｂ内で相
隣る２本の固定回転棒４Ａ又は４Ｂを間にしてそ
の両脇に、これらの固定回転棒と所定の間隔をお
いて平行に立設されて、それぞれの両端部が炉体
１の頂壁及び底壁に回転且つ上下動自在に支持さ
れている第１及び第２の移動回転棒である。

第３図は上記の固定回転棒４Ａ，４Ｂ及び移動
回転棒５Ａ，５Ｂの要部詳細を示したものであ
る。同図における４ａ，４ｂ及び５ａ，５ｂは、
それぞれ固定回転棒４Ａ，４Ｂ又は移動回転棒５
Ａ，５Ｂの外周面の周方向の一方に上下に所定の
等間隔をおいて同一方向に多数突設された被処理
物保持用の爪部である。これら爪部は、被処理物
塔載時の発塵を防ぐため、石英又はセラミツク材
により覆つてある。

第１図の６Ａ及び６Ｂはそれぞれ固定回転棒４
Ａ又は４Ｂを回転駆動する第１及び第２の固定回
転棒駆動機構、７Ａ及び７Ｂはそれぞれ移動回転
棒５Ａ又は５Ｂを回転駆動及び上下駆動する第１
及び第２の移動回転棒駆動機構である。これらの
駆動機構にはそれぞれエアーシリンダを用いてい
る。８は炉体１の頂部に配設されたエアーシリン
ダ、９はこのシリンダの連設棒、１０は水平方向
に所定の間隔で並ぶ２本の平行棒材からなつてい
て、各棒材が炉体１の側壁上部を横方向に出入自
在に貫通する横送り部材である。１１はこの横送
り部材１０と連設棒９とを所定の平行間隔を隔て
て各々の一端同士を連結する連結部材である。上
記のエアーシリンダ８乃至連結部材１１により被
処理物横送り機構１２が構成されている。

Ｐは炉内を搬送される多数の被処理物としての
電子部品、１３は電子部品Ｐを炉室１Ａ内に送入
する送入口、１４は炉室１Ａからの送出口、１５
は連通部１Ｅにより送出口１４に連通して電子部
品Ｐを炉室１Ｂ内に送入する送入口、１６は炉室
１Ｂ外に送出する送出口である。１７は送入口１
３の前方の架台２０の上に配設された被処理物搬
入機構、１８は送出口１６の後方の架台２０の上
に配設された搬出機構である。

次に、上記の構成になる本実施例の熱処理装置
の動作を説明する。本実施例では電子部品Ｐを印
刷基板とし、この印刷基板Ｐの印刷面を上にして
被処理物搬入機構１７の上に載せ、該搬入機構１
７によつて印刷基板Ｐを送入口１３を通して炉室
１Ａ内にある移動回転棒５Ａの最下段の爪部５ａ
の上方位置に送入する（第４図ステツプ１）。こ
の場合、各移動回転棒５Ａの爪部５ａの先端が互
いに向き合うように駆動機構７Ａにより移動回転
棒５Ａを回転させておく。次に、駆動機構７Ａに
より移動回転棒５Ａを上昇駆動して１ピツチ（１
ピツチは爪部５ａの上下間隔）上昇させる（第４
図ステツプ２）。これにより、印刷基板Ｐは最下
段の爪部５ａにより持ち上げられて保持されるこ
とになる。次に、駆動機構６Ａにより固定回転棒
４Ａの爪部４ａが互いに横を向くように固定回転
棒４を回転させる（第４図ステツプ３）。次に、
移動回転棒５Ａを1/3ピツチ上昇させる（ステツ
プ４）。次に、固定回転棒４Ａを回転させて爪部
４ａが向き合うようにする（ステツプ５）。次に、
移動回転棒５Ａを1/3ピツチ下降させることによ
り、印刷基板Ｐは移動回転棒５Ａの爪部５ａから
固定回転棒４Ａの最下段の爪部４ａに移し変えら
れる（ステツプ６）。次に、移動回転棒５Ａの爪
部５ａが横をを向くように、移動回転棒５Ａを駆
動する（ステツプ７）。次いで、移動回転棒５Ａ
を１ピツチ下降させる（ステツプ８）。そして、
爪部５ａが向き合うように、移動回転棒５Ａを駆
動する（ステツプ９）。

以上の動作を１サイクルの移送動作として、再
び前述のステツプ１の動作を開始する。かかる移
送動作の繰り返しにより印刷基板Ｐは炉室１Ａ内
を下部より次第に上部に移送されて、移動回転棒
５Ａの最上段の爪部５ａ上に至る。この移送過程
で、印刷基板Ｐは赤外線放射ヒータ３により連続
的に熱効率良く加熱される。

上記のようにして、印刷基板Ｐが最上段の爪部
５ａ上に達すると、被処理物横送り機構１２のシ
リンダ８が作動して、横送り部材１０を炉室１Ａ
内に所定の長さ進入させる。この後、移動回転棒
５Ａが1/3ピツチ下降して、印刷基板Ｐを横送り
部材１０の上に移し変える。次いで、シリンダ８
の駆動により、横送り部材１０が炉内に奥深く進
入し、印刷基板Ｐを載せた先端寄りの部分が炉室
１Ｂの上部に位置する。

この後、炉室１Ｂ内の移動回転棒５Ｂが１ピツ
チ上昇して基板Ｐが最上段の爪部５ｂ上に載せ変
えられ、横送り部材１０はシリンダ８の駆動によ
り原位置に復帰する。

上記のようにして、炉室１Ｂの上部に移送され
た印刷基板Ｐは、前記と同様な移動回転棒５Ｂと
固定回転棒４Ｂの協同動作により、炉室１Ｂ内を
上部から下部に向つて漸次移送されて、移動回転
棒５Ｂの最下段の爪部５ｂ上に至る。上記の炉室
１Ｂ内での移送経過で、印刷基板Ｐは赤外線放射
ヒータ３により炉室１Ａ内での加熱に引続き連続
的に加熱される。

炉室１Ｂ内における移動回転棒５Ｂの最下段の
爪部５ｂに達した基板Ｐは、送出口１６より炉室
１Ｂ内に出入する搬出機構１８に載せ変えられ、
該搬出機構１８により炉外に搬出されて所望の熱
処理が完了する。

上記の実施例の説明では、電子部品Ｐが印刷基
板で相対向する爪部相互間に保持し得る一定寸法
を持つ場合につき述べたが、電子部品Ｐの寸法が
不特定の場合は、一定寸法のトレイの上に該電子
部品Ｐを載せて、該トレイを前述と同じ方法によ
り炉内を移送して所要の熱処理を行えばよい。

なお、上記の実施例は、上部側で相互に連通す
る二つの炉室を並設した場合を述べたが、炉室を
単一にして被処理物横送り機構を省略してもよ
い。

［発明の効果］ 上記のように、本発明に係る電子部品の熱処理
装置によれば、固定回転棒及び移動回転棒の共同
動作により、各回転棒の相対向する爪部相互間に
被処理物を受け渡ししながら炉内を縦方向に移送
して、赤外線放射ヒータにより加熱するようにき
たので、ベルトコンベア式の連続焼成炉のよう
に、炉内搬送用コンベアとコンベアガイドの摺動
摩擦により生ずる酸化スケールや金属粉等が被処
理物に付着して品質を害するようなおそれが全く
ない。

また、熱風循環式の焼成炉のように、炉内の塵
埃が熱風により拡散循環して被処理物の表面に付
着して品質を害するようなおそれもなく、不純物
の発生が極めて少い清浄度の十分高い炉内環境で
良好な熱処理を行うことができる。

更に、本発明の熱処理装置によれば、被処理物
を炉内で連続的に移送して赤外線放射ヒータによ
り加熱するので、熱処理作業を良好な温度分布と
加熱効率をもつて極めて容易に行うことができ
る。

また、本発明の熱処理装置は、被処理物を炉内
縦方向に移送して熱処理するので、据付床面積を
節減することができる。

更に、本願の第２の発明によれば、下端側に被
処理物の送入口、上端側に送出口をそれぞれ有す
る第１の炉室と、上端側に前記送出口に連通する
被処理物の送入口、下端側に送出口をそれぞれ有
する第２の炉室とを並設して、前記のような移送
手段により被処理物を前記第１の炉室内の下部よ
り上部に移送してのち、該被処理物を横送り機構
により前記第２の炉室の上部に移送し、次いで第
２の炉室内を上部より下部に移送して熱処理する
ようにしたので、加熱経路を長くして所要の熱処
理を十分に行うことができる。また、上記の両炉
室の上部側は相互に連通していて外気への流気口
がないので、炉室に下部から上部へ流気する煙突
効果を生ずることがなく、各炉室内の高さ方向の
温度分布を容易に均一にできて、均一な熱処理を
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す縦断正面図、第
２図は第１図の実施例のＡ−Ａ線切断平面図、第
３図は同実施例における固定回転棒及び移動回転
棒の動作態様を示す要部斜視図、第４図は同実施
例における固定回転棒及び移動回転棒の動作態様
の概要を動作段階順に示す説明図である。 １……炉体、１Ａ，１Ｂ……炉室、１Ｅ……連
通部、３……赤外線放射ヒータ、４Ａ，４Ｂ……
固定回転棒、５Ａ，５Ｂ……移動回転棒、４ａ，
４ｂ，５ａ，５ｂ……被処理物保持用爪部、６
Ａ，６Ｂ……固定回転棒駆動機構、７Ａ，７Ｂ…
…移動回転棒駆動機構、１０……横送り部材、１
２……被処理物横送り機構、１３，１５……送入
口、１４，１６……送出口、Ｐ……被処理物とし
ての電子部品。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 下端側に被処理物の送入口、上端側に送出口
   をそれぞれ有し内壁面に赤外線放射ヒータを備え
   た縦長の炉体を有し、 外周面の周方向の一方に長さ方向に所定の間隔
   において径方向に突出する複数個の被処理物保持
   用爪部を有する固定回転棒が前記炉体の内部の所
   定の距離を隔てて対向する一方の側に複数本、他
   方の側に少なくとも１本、それぞれ前記爪部が互
   いに向き合つて被処理物を保持する位置と横を向
   く位置とを取り得るように回転自在に立設され、 前記と同様の爪部を有する複数本の移動回転棒
   が前記炉体内の両方の側に分れて前記各固定回転
   棒に平行に並んで、前記爪部が互いに向き合つて
   被処理物を保持する位置と横を向く位置とを取り
   得るように回転自在で、且つ被処理物を前記固定
   回転棒との間に受け渡ししながら縦方向に移送す
   るように上・下方向に移動自在に立設され、 前記移動回転棒の上・下動及び回転動作に関連
   させて前記相対向する固定回転棒の前記爪部が互
   いに向き合う位置と横を向く位置とに前記固定回
   転棒を間欠的に回転させる固定回転棒駆動機構が
   設けられ、 前記固定回転棒の回転動作に関連させて前記相
   対向する移動回転棒の前記爪部が互いに向き合う
   位置と横を向く位置とに前記移動回転棒を間欠的
   に回転且つ所定の距離だけ上・下動させる移動回
   転棒駆動機構が設けられてなる電子部品の熱処理
   装置。 ２ 炉体の下端側に被処理物の送入口、上端側に
   送出口をそれぞれ設け内壁面に赤外線放射ヒータ
   を設けて形成された第１の炉室と、炉体の上端側
   に連通部を介して前記送出口に連通する被処理物
   の送入口、下端側に送出口をそれぞれ設け内壁面
   に赤外線放射ヒータを設けて形成された第２の炉
   室とを有し、 外周面の周方向の一方に長さ方向に所定の間隔
   をおいて径方向に突出する複数個の被処理物保持
   用爪部を有する第１の固定回転棒が前記第１の炉
   室内の所定の距離を隔てて対向する一方の側に複
   数本、他方の側に少なくとも１本、それぞれ前記
   爪部が互いに向き合つて被処理物を保持する位置
   と横を向く位置とを取り得るように回転自在に立
   設され、 前記と同様の爪部を有する第２の固定回転棒が
   前記第２の炉室内の所定の距離を隔てて対向する
   一方の側に複数本、他方の側に少なくとも１本、
   それぞれ前記爪部が互いに向き合つて被処理物を
   保持する位置と横を向く位置とを取り得るように
   回転自在に立設され、 前記と同様の爪部を有する複数本の第１の移動
   回転棒が前記第１の炉室内の両方の側に分れて前
   記第１の各固定回転棒に平行に並んで、前記爪部
   が互いに向き合つて被処理物を保持する位置と横
   を向く位置とを取り得るように回転自在で、且つ
   被処理物を前記第１の固定回転棒との間に受け渡
   ししながら縦方向に移送するように上・下方向に
   移動自在に立設され、 前記と同様の爪部を有する複数本の第２の移動
   回転棒が前記第２の炉室内の両方の側に分れて前
   記第２の各固定回転棒に平行に並んで、前記爪部
   が互いに向き合つて被処理物を保持する位置と横
   を向く位置とを取り得るように回転自在で、且つ
   被処理物を前記第２の固定回転棒との間に受け渡
   ししながら縦方向に移送するように上・下方向に
   移動自在に立設され、 前記第１の移動回転棒の上・下動及び回転動作
   に関連させて前記第１の相対向する固定回転棒の
   前記爪部が互いに向き合う位置と横を向く位置と
   に前記第１の固定回転棒を間欠的に回転させる第
   １の固定回転棒駆動機構が設けられ、 前記第２の移動回転棒の上・下動及び回転動作
   に関連させて前記第２の相対向する固定回転棒の
   前記爪部が互いに向き合う位置と横を向く位置と
   に前記第２の固定回転棒を間欠的に回転させる第
   ２の固定回転駆動機能が設けられ、 前記第１の固定回転棒の回転動作に関連させて
   前記第１の相対向する移動回転棒の前記爪部が互
   いに向き合う位置と横を向く位置とに前記第１の
   移動回転棒を間欠的に回転且つ所定の距離だけ
   上・下動させる第１の移動回転棒駆動機構が設け
   られ、 前記第２の固定回転棒の回転動作に関連させて
   前記第２の相対向する移動回転棒の前記爪部が互
   いに向き合う位置と横を向く位置とに前記第２の
   移動回転棒を間欠的に回転且つ所定の距離だけ
   上・下動させる第２の移動回転棒駆動機構が設け
   られ、 前記炉体の側壁上部を横方向に出入自在に貫通
   して被処理物を前記第１の炉室上部から前記連通
   部を通して前記第２の炉室上部に送る横送り部材
   及び該横送り部材の駆動源からなる被処理物横送
   り機構が設けられてなる電子部品の熱処理装置。 ３ 前記第１及び第２の炉室は、単一の炉体の内
   部に縦方向に設けた隔壁の両側に形成され該隔壁
   の上端側に前記連通部が形成された特許請求の範
   囲第２項記載の電子部品の熱処理装置。 ４ 前記第１及び第２の炉室は、それぞれ別個の
   炉体により形成され該各炉体の上端側に前記連通
   部が形成された特許請求の範囲第２項記載の電子
   部品の熱処理装置。