JPS6343101A - 透過型回折格子の製造方法 - Google Patents
透過型回折格子の製造方法Info
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- JPS6343101A JPS6343101A JP61187094A JP18709486A JPS6343101A JP S6343101 A JPS6343101 A JP S6343101A JP 61187094 A JP61187094 A JP 61187094A JP 18709486 A JP18709486 A JP 18709486A JP S6343101 A JPS6343101 A JP S6343101A
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Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は回折格子、殊V/:各種光学機器又は光デイス
ク装置のピックアップに用いられる透過型1−ul回折
格子関する1゜ (従来技術) 微細加工技術の発達によって、各種光学機器に使用され
る回折格子の製造方法も基板上に付着した金属又は誘電
体にエツチングを施してグ: レーティングを形成す
るのが一般的シでなってき念。
ク装置のピックアップに用いられる透過型1−ul回折
格子関する1゜ (従来技術) 微細加工技術の発達によって、各種光学機器に使用され
る回折格子の製造方法も基板上に付着した金属又は誘電
体にエツチングを施してグ: レーティングを形成す
るのが一般的シでなってき念。
しかしながら、上述したような手法による回折格子、殊
に透過型のものは、一般に安価な般用ガラスを基板とし
その表面KsiOzのような誘電体物質によってグレー
ティングを形成するものであるが、ガラスとSiO2と
のエツチング速度がほぼ等しいこともあって例えばリフ
トオフエツチング方式のような複雑な製造工程を必要と
する念め高価であるという欠陥があった。
に透過型のものは、一般に安価な般用ガラスを基板とし
その表面KsiOzのような誘電体物質によってグレー
ティングを形成するものであるが、ガラスとSiO2と
のエツチング速度がほぼ等しいこともあって例えばリフ
トオフエツチング方式のような複雑な製造工程を必要と
する念め高価であるという欠陥があった。
(発明の目的)
本発明は上述したような従来の回折格子の欠陥を除去す
るためKなされたものであって、材: 料を適切に選
択することによって極めて簡単安価に製造することので
きる透過型回折格子を提供することを目的とする。
るためKなされたものであって、材: 料を適切に選
択することによって極めて簡単安価に製造することので
きる透過型回折格子を提供することを目的とする。
(発明のv1要)
上述した目的を達成するため本発明の回折格子はグレー
ティングを形成する材料である5i02のような誘電体
物質のエツチング速度が水晶等のそれりで比べて愼めて
大きいことを利用しこのような材料を組み合わせること
によって簡単なエツチング工程を用いて実現するもので
ある。
ティングを形成する材料である5i02のような誘電体
物質のエツチング速度が水晶等のそれりで比べて愼めて
大きいことを利用しこのような材料を組み合わせること
によって簡単なエツチング工程を用いて実現するもので
ある。
(実施例)
以下本発明を図示した実施例に基づき詳細に説明する。
実施例の説明に先立って本発明の理解を助けるため従来
の回折格子の製造工程について簡単に説明する。
の回折格子の製造工程について簡単に説明する。
第2図は従来の透過型回折格子の製造工程を説明する図
であって、安価な般用ガラスを基板1としくatその一
表面に例えばAg2を全面蒸着しくblこれをエツチン
グして所定の金属グレーテろとともfその裏面に反射防
止用のコーティ/主体とするエツチング液にてエツチン
グを行なこのように複雑な工程を必要とする理由はグレ
ーティングを構成する8 i02をとかすのに適したフ
ッ酸系のエツチング液を用いれば基板も同時に犯される
からである。
であって、安価な般用ガラスを基板1としくatその一
表面に例えばAg2を全面蒸着しくblこれをエツチン
グして所定の金属グレーテろとともfその裏面に反射防
止用のコーティ/主体とするエツチング液にてエツチン
グを行なこのように複雑な工程を必要とする理由はグレ
ーティングを構成する8 i02をとかすのに適したフ
ッ酸系のエツチング液を用いれば基板も同時に犯される
からである。
従って単純なエツチング工程を利用することができず高
価になること前述の通りである。
価になること前述の通りである。
この問題を解決するため本発明の回折格子は第1図に示
すような材料および工程によって製造する。
すような材料および工程によって製造する。
まず基板として水晶5を用い(alその一表面に5iO
z3 を全面蒸着しくblさらにその裏面に反射防止用
のコーティング4を施しtc)これをフッ酸系のエツチ
ング液にてエツチングを行ない8102による所望のグ
レーティングを形成する。
z3 を全面蒸着しくblさらにその裏面に反射防止用
のコーティング4を施しtc)これをフッ酸系のエツチ
ング液にてエツチングを行ない8102による所望のグ
レーティングを形成する。
水晶基板5は5i023に比べてフッ酸系エツチング液
によろエツチング速度がはるかに(約1/10) 遅
いので8:02 Kよるグレーティング形成が完了する
までの間に実質的にエツチング液 。
によろエツチング速度がはるかに(約1/10) 遅
いので8:02 Kよるグレーティング形成が完了する
までの間に実質的にエツチング液 。
に犯されることがなく良好な回折格子を得ることができ
る。
る。
以上水晶と8 i02との組み合わせによる回折格子に
ついてのみ説明したが本発明はこれに限定されるもので
はなく基板材料のエツチング速度がグレーティング材料
のそれよりも大巾に遅い組み合わせであって、基板およ
びグレーティングの材質が光を透過するものであれば各
種の材質を使用することが可能である。例えば基板とし
ては水晶の他合成石英又は人造サファイア等が、グレー
ティング材料としてはS io*の他T iOz又はA
I 203等が適当でありこれらを設計条件に応じて適
宜組み合わせればよい。
ついてのみ説明したが本発明はこれに限定されるもので
はなく基板材料のエツチング速度がグレーティング材料
のそれよりも大巾に遅い組み合わせであって、基板およ
びグレーティングの材質が光を透過するものであれば各
種の材質を使用することが可能である。例えば基板とし
ては水晶の他合成石英又は人造サファイア等が、グレー
ティング材料としてはS io*の他T iOz又はA
I 203等が適当でありこれらを設計条件に応じて適
宜組み合わせればよい。
(発明の効果)
本発明は以上説明したように構成するものであるから製
造工程が極めて簡単になり従って価格も低くなるので各
S光学機器、殊に光ディス減に著しい効果を発揮する。
造工程が極めて簡単になり従って価格も低くなるので各
S光学機器、殊に光ディス減に著しい効果を発揮する。
第1図(al乃至(d)は本発明の回折格子の製造工程
を説明する図、第2図(al乃至telは従来の回折格
子の製造工程を説明する図である。 1及び5・・・・・・・・・透明基板。 3・・・・・・・・・グレーティング。
を説明する図、第2図(al乃至telは従来の回折格
子の製造工程を説明する図である。 1及び5・・・・・・・・・透明基板。 3・・・・・・・・・グレーティング。
Claims (3)
- (1)特定のエッチングに対するエッチング速度が所定
の無機誘電体物質に対するそれよりも大幅に遅い性質を
有する透明基板表面に前記無機誘電体物質にてグレーテ
ィングを形成したことを特徴とする透過型回折格子。 - (2)前記透明基板が水晶、合成石英或は人造サファイ
アであることを特徴とする特許請求の範囲(1)記載の
透過型回折格子。 - (3)前記無機誘電体物質がSiO_2、TiO_2或
はAl_2O_3であることを特徴とする特許請求の範
囲(1)記載の透過型回折格子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61187094A JP2742683B2 (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | 透過型回折格子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61187094A JP2742683B2 (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | 透過型回折格子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6343101A true JPS6343101A (ja) | 1988-02-24 |
JP2742683B2 JP2742683B2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=16200000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61187094A Expired - Lifetime JP2742683B2 (ja) | 1986-08-08 | 1986-08-08 | 透過型回折格子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2742683B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0212106A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-17 | Nec Corp | 複屈折回折格子型偏光子 |
US5029988A (en) * | 1988-06-29 | 1991-07-09 | Nec Corporation | Birefringence diffraction grating type polarizer |
JPH03293623A (ja) * | 1989-12-29 | 1991-12-25 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 回析格子を有する光学素子 |
JPH0749419A (ja) * | 1993-01-28 | 1995-02-21 | Gold Star Co Ltd | ホログラム光学素子の製造方法 |
EP0921418A2 (en) * | 1997-12-03 | 1999-06-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffractive optical element and optical system having the same |
JP2002169010A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Minolta Co Ltd | 回折光学素子 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5538657B2 (ja) * | 1972-09-27 | 1980-10-06 | ||
JPS56137634A (en) * | 1980-03-29 | 1981-10-27 | Rikagaku Kenkyusho | Pattern forming |
JPS59198407A (ja) * | 1983-04-26 | 1984-11-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 回折格子付き光導波膜の製造方法 |
JPS59210403A (ja) * | 1983-05-13 | 1984-11-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 回折格子の作製法 |
JPS61137101A (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-24 | Pioneer Electronic Corp | マイクロフレネルレンズの製造方法 |
-
1986
- 1986-08-08 JP JP61187094A patent/JP2742683B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5538657B2 (ja) * | 1972-09-27 | 1980-10-06 | ||
JPS56137634A (en) * | 1980-03-29 | 1981-10-27 | Rikagaku Kenkyusho | Pattern forming |
JPS59198407A (ja) * | 1983-04-26 | 1984-11-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 回折格子付き光導波膜の製造方法 |
JPS59210403A (ja) * | 1983-05-13 | 1984-11-29 | Dainippon Printing Co Ltd | 回折格子の作製法 |
JPS61137101A (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-24 | Pioneer Electronic Corp | マイクロフレネルレンズの製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0212106A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-17 | Nec Corp | 複屈折回折格子型偏光子 |
US5029988A (en) * | 1988-06-29 | 1991-07-09 | Nec Corporation | Birefringence diffraction grating type polarizer |
JPH03293623A (ja) * | 1989-12-29 | 1991-12-25 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 回析格子を有する光学素子 |
JPH0749419A (ja) * | 1993-01-28 | 1995-02-21 | Gold Star Co Ltd | ホログラム光学素子の製造方法 |
EP0921418A2 (en) * | 1997-12-03 | 1999-06-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffractive optical element and optical system having the same |
EP0921418A3 (en) * | 1997-12-03 | 1999-06-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Diffractive optical element and optical system having the same |
JP2002169010A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Minolta Co Ltd | 回折光学素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2742683B2 (ja) | 1998-04-22 |
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