JPS6333604A - 相対変位測定装置 - Google Patents
相対変位測定装置Info
- Publication number
- JPS6333604A JPS6333604A JP62082179A JP8217987A JPS6333604A JP S6333604 A JPS6333604 A JP S6333604A JP 62082179 A JP62082179 A JP 62082179A JP 8217987 A JP8217987 A JP 8217987A JP S6333604 A JPS6333604 A JP S6333604A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- light
- relative
- image
- spatially periodic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 21
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 31
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000406668 Loxodonta cyclotis Species 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000009416 shuttering Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/363—Direction discrimination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は一平面に於ける自由度１の直線運動又は回転運
動に対応する態様での第二部材の第二部材に対する変位
を測定する装置に係り、より詳細には、度量衡的格子（
ｍｅｔｒｏｌｏｇｉｃａｌ ｇｒａｔｉｎｇ）を利用す
るこの種の装置に係る。
動に対応する態様での第二部材の第二部材に対する変位
を測定する装置に係り、より詳細には、度量衡的格子（
ｍｅｔｒｏｌｏｇｉｃａｌ ｇｒａｔｉｎｇ）を利用す
るこの種の装置に係る。
この種の種々の装置が工作機械の制御等の分野に使用さ
れている。従来のこの種の装置は、相対変位を測定すべ
き第一及び第二部材の夫々に対して固定位置に設けられ
た同−周波数又はほぼ同一周波数の一対の格子を有する
。この一対の格子のうらの−・方の格子は透過性であり
、他方の格子は透過性又は反射性である。一対の格子の
組合体は適当な光源で照射される。更に、二つの格子の
相対運動に応じて変化する格子の組合体による透過又は
反射光の変化に応答する手段が設けられている。
れている。従来のこの種の装置は、相対変位を測定すべ
き第一及び第二部材の夫々に対して固定位置に設けられ
た同−周波数又はほぼ同一周波数の一対の格子を有する
。この一対の格子のうらの−・方の格子は透過性であり
、他方の格子は透過性又は反射性である。一対の格子の
組合体は適当な光源で照射される。更に、二つの格子の
相対運動に応じて変化する格子の組合体による透過又は
反射光の変化に応答する手段が設けられている。
この従来の装置には設計上乃至使用上多くの問題がある
。特に高度にコリメートして格子系を照射する必要があ
り、格子間の間隔を非常に正確に維持する必要があり、
ときには格子間の間隔を非常に小さくする必要がある。
。特に高度にコリメートして格子系を照射する必要があ
り、格子間の間隔を非常に正確に維持する必要があり、
ときには格子間の間隔を非常に小さくする必要がある。
細かい格子を使用する場合、特にこれらの問題が避は難
い。一般には測定に必要な分解能を直接与える格子より
粗い格子が使用され、必要な精度乃至分解能の結果を得
るべく補間法が用いられるが、この補間自体が誤差の原
因になる虞れがある。
い。一般には測定に必要な分解能を直接与える格子より
粗い格子が使用され、必要な精度乃至分解能の結果を得
るべく補間法が用いられるが、この補間自体が誤差の原
因になる虞れがある。
本発明は前記した点に鑑みなされたものであり、その目
的とするところは、空間的に周期的な光学的物体（すな
わちコリメートされていない光を出す）に対する格子の
光学的結像特性を利用するという考え方に立脚して、前
記した問題点の少なくとも−・部を解決し得、補間法を
用いることなくしても所望の分解能を有する比較的簡単
で容易に製造され得る相対変位測定装置を提供すること
にある。
的とするところは、空間的に周期的な光学的物体（すな
わちコリメートされていない光を出す）に対する格子の
光学的結像特性を利用するという考え方に立脚して、前
記した問題点の少なくとも−・部を解決し得、補間法を
用いることなくしても所望の分解能を有する比較的簡単
で容易に製造され得る相対変位測定装置を提供すること
にある。
前記考え方に従う本発明の相対変位測定装置は、原理的
には、 一つの平面内での自由度１の運動に対応する様態での第
二部材に対する第二部材の相対変位を測定するための装
置であって、 相互に実質的に一様な間隔となるように夫々が第一及び
第二部材に対して固定位置に設けられており、前記運動
方向に空間的に周期的に線を有している第一及び第二の
格子と、 第二の格子をコリメートされていない光で照らす照射手
段と、光検出器手段とからなり、前記第一及び第二の格
子並びに前記照射手段は、第二の格子によって規定され
た空間的に周期的な光学的物体の、前記運動方向に空間
的に周期的であり且つ第一の格子から実質的に一様に離
開した実像が前記第一の格子によって形成されるように
、且つ 第一及び第二部材間に前記相対運動が生じた際、前記実
像が一つの平面内での自由度１の運動に応じて第二部材
に対して相対運動するように配置されており、 前記光検出器手段は、前記第二部材に対して固定位置に
設けられた前記運動方向に空間的に周期的な構造体を有
しており、前記実像を形成している光を受は取るべく構
成されており、且つ第一及び第二部材間に前記相対運動
が生じた際、前記構造体が前記像と相互作用して光検出
手段の出力が周期的に変！ＩＩするように構成されてい
る、相対変位測定装置からなる。
には、 一つの平面内での自由度１の運動に対応する様態での第
二部材に対する第二部材の相対変位を測定するための装
置であって、 相互に実質的に一様な間隔となるように夫々が第一及び
第二部材に対して固定位置に設けられており、前記運動
方向に空間的に周期的に線を有している第一及び第二の
格子と、 第二の格子をコリメートされていない光で照らす照射手
段と、光検出器手段とからなり、前記第一及び第二の格
子並びに前記照射手段は、第二の格子によって規定され
た空間的に周期的な光学的物体の、前記運動方向に空間
的に周期的であり且つ第一の格子から実質的に一様に離
開した実像が前記第一の格子によって形成されるように
、且つ 第一及び第二部材間に前記相対運動が生じた際、前記実
像が一つの平面内での自由度１の運動に応じて第二部材
に対して相対運動するように配置されており、 前記光検出器手段は、前記第二部材に対して固定位置に
設けられた前記運動方向に空間的に周期的な構造体を有
しており、前記実像を形成している光を受は取るべく構
成されており、且つ第一及び第二部材間に前記相対運動
が生じた際、前記構造体が前記像と相互作用して光検出
手段の出力が周期的に変！ＩＩするように構成されてい
る、相対変位測定装置からなる。
前記原理に基づく本発明は、実際上光の回折を無視し得
、光学的物体の影の実像を形成するような格子を用いる
ものであり、かかる本発明によれば前記目的は、 一つの平面内での自由度１の運動に対応する様態での第
二部材に対する第二部材の相対変位を測定するための装
置であって、 距離Ｕだけ一様に・離れて夫々が第一及び第二部材に対
して固定位置に設けられており、前記運動方向にそれぞ
れ周波数ｆ１及び「２ （ただしｒｌは実質的にｆ２の
２倍に等しい）で空間的に周期的に線を有している第一
及び第二の格子と、実質的にＵと等しい距離Ｖだけ第一
の格子から一様に離れたところに、ｆ３＝ｆ２で規定さ
れる周波数ｆ３で前記方向に空間的に周期的であり、第
一及び第二部材間に前記様態での運動が生じた際第二部
材に対して前記様態で動く、光学的物体としての第二の
格子の影の実作を第一の格子によって生ぜしめるべく、
ｆｌ及びｆ２とは比較にならない程高い周波数のコリメ
ートされていない光で第二の格子を照らす照射手段と、 第一及び第二部材間に相対運動が生じた際出力に周期的
変化を生ずるように、実質的にｆ３の周波数で空間的に
周期的であり第一・の格子から実質的に■離れて第二部
材に対して固定位置に設けられた構造体を有しており、
前記像に応答する光検出器手段とを有する相対変位測定
装置によってｊヱ成される。
、光学的物体の影の実像を形成するような格子を用いる
ものであり、かかる本発明によれば前記目的は、 一つの平面内での自由度１の運動に対応する様態での第
二部材に対する第二部材の相対変位を測定するための装
置であって、 距離Ｕだけ一様に・離れて夫々が第一及び第二部材に対
して固定位置に設けられており、前記運動方向にそれぞ
れ周波数ｆ１及び「２ （ただしｒｌは実質的にｆ２の
２倍に等しい）で空間的に周期的に線を有している第一
及び第二の格子と、実質的にＵと等しい距離Ｖだけ第一
の格子から一様に離れたところに、ｆ３＝ｆ２で規定さ
れる周波数ｆ３で前記方向に空間的に周期的であり、第
一及び第二部材間に前記様態での運動が生じた際第二部
材に対して前記様態で動く、光学的物体としての第二の
格子の影の実作を第一の格子によって生ぜしめるべく、
ｆｌ及びｆ２とは比較にならない程高い周波数のコリメ
ートされていない光で第二の格子を照らす照射手段と、 第一及び第二部材間に相対運動が生じた際出力に周期的
変化を生ずるように、実質的にｆ３の周波数で空間的に
周期的であり第一・の格子から実質的に■離れて第二部
材に対して固定位置に設けられた構造体を有しており、
前記像に応答する光検出器手段とを有する相対変位測定
装置によってｊヱ成される。
本明ａ吉中「光」という用語は可視光線並びに紫外線及
び赤外線を含むものとする。
び赤外線を含むものとする。
本発明の相対変位測定装置では、第二部材と第二部材と
の間の相対変位によって、象と第二部材との間により大
きな相対変位が生じる。
の間の相対変位によって、象と第二部材との間により大
きな相対変位が生じる。
一般に前記第一の格子、光学的物体を構成する前記第二
の格子、光検出器手段の周期的構造体はすべて前記所与
の平面に実質的に平行な平面内に位置するように配設さ
れる。
の格子、光検出器手段の周期的構造体はすべて前記所与
の平面に実質的に平行な平面内に位置するように配設さ
れる。
次に添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。
本発明の基本原理は概念的に最も単純な第１図の形に示
される。第１図に示す光学系において、ランプ１からの
光はレンズ２により集光され、三つの線形の透過格子３
，４．５を通過し、光電池６に達する。第二二の格子と
しての格子３及び第一の格子としての格子４は、相互に
距離」１隔てられた平行面内に夫々の線が平行になるよ
うに設けられている。第一の格子４は空間周波数ｆ１を
有し、第二の格子３は空間周波数ｔ２を有する。格子３
は格子４を散漫に照射する空間的に周期的な光学的物体
を規定している。以上において第二の格子３をコリメー
トされていない光で照らす照射手段は、ランプ１及びレ
ンズ２からなる。
される。第１図に示す光学系において、ランプ１からの
光はレンズ２により集光され、三つの線形の透過格子３
，４．５を通過し、光電池６に達する。第二二の格子と
しての格子３及び第一の格子としての格子４は、相互に
距離」１隔てられた平行面内に夫々の線が平行になるよ
うに設けられている。第一の格子４は空間周波数ｆ１を
有し、第二の格子３は空間周波数ｔ２を有する。格子３
は格子４を散漫に照射する空間的に周期的な光学的物体
を規定している。以上において第二の格子３をコリメー
トされていない光で照らす照射手段は、ランプ１及びレ
ンズ２からなる。
格子４の結像特性を考えるに際して、ランプ１及びレン
ズ２からのコリメートされていない光の周波数は格子３
，４の空間周波数−ｒ２．ｒｌとは比較にならない程大
きく、格子４による回折効果が無視できる状態にある。
ズ２からのコリメートされていない光の周波数は格子３
，４の空間周波数−ｒ２．ｒｌとは比較にならない程大
きく、格子４による回折効果が無視できる状態にある。
このため光は直線的に伝播し、格子４から距離■にある
格子４に平行な面内に、格子４の影の像が実像の形で形
成される。
格子４に平行な面内に、格子４の影の像が実像の形で形
成される。
ここでｆ２とｆｌは次の式（１）の関係にある。
ｆ２／ｆ１＝１／２・・・・・・・・・・・・・・・・
・・（１）この影の像は次の式（２）により与えられる
空間周波数ｆ３を有する。
・・（１）この影の像は次の式（２）により与えられる
空間周波数ｆ３を有する。
ｆ３／ｆ１＝１／２・・・・・・・・・・・・・・・・
・・（２）格子３に対して格子４を、格子３．４の面に
平行に且つ格子３．４の線に垂直に大きさｄだけ変位さ
せると、映像が大きさＤだけ平行に変位する３、ここで
映像の変位の大きさＤは次の式（３）により決定される
。
・・（２）格子３に対して格子４を、格子３．４の面に
平行に且つ格子３．４の線に垂直に大きさｄだけ変位さ
せると、映像が大きさＤだけ平行に変位する３、ここで
映像の変位の大きさＤは次の式（３）により決定される
。
Ｄ＝２ｄ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・（３）従って空間周波数がｆ３の格子５を
形成し、この格子５を、格°子３，４の線と格子５の線
とが平行になるように格子３．４に平行に格子４から■
の距離に格子３に対して固定的に設ｉ スると、格子３
及び４が格子面に平行に且つ格子の線に垂直に相対的に
移動されるにつれ、格子４により形成される影像が格子
５と相互作用して光電池らに達する光の強度が周期的に
変化する。更に、格子５が格子３に対して静止している
故、光電池６の出力から？ｔｉ記相対運動の大きさを求
め得る。
・・・・・・（３）従って空間周波数がｆ３の格子５を
形成し、この格子５を、格°子３，４の線と格子５の線
とが平行になるように格子３．４に平行に格子４から■
の距離に格子３に対して固定的に設ｉ スると、格子３
及び４が格子面に平行に且つ格子の線に垂直に相対的に
移動されるにつれ、格子４により形成される影像が格子
５と相互作用して光電池らに達する光の強度が周期的に
変化する。更に、格子５が格子３に対して静止している
故、光電池６の出力から？ｔｉ記相対運動の大きさを求
め得る。
以上において、光検出器手段は空間的に周期的な構造体
としての格子５と光電池６とからなる。
としての格子５と光電池６とからなる。
本発明においてはＵ＝Ｖであり、かつ１／２ｆ１＝ｆ２
＝ｆ３であるので、第１図に示ず光学系を変更して格子
４の代りに反射格子７を使用して影像面を格子３の面と
一致させると都合がよい。この結果、上記光学系は三つ
の格子を有する構造から二つの格子のみを有する構造に
簡略化され、これらの格子３．７のうちの一方の格子３
が二つの機能（第１図の格子３と格子５の機能）を果す
。即ち、例えば第２図の格子３は空間的に周期的な光学
的物体を構成する第二の格子として働くのみならず影像
と相互作用する光検出器手段の空間的に周期的な構造体
としても動く。この変更を加えた特定の光学系について
の詳細は後述する。
＝ｆ３であるので、第１図に示ず光学系を変更して格子
４の代りに反射格子７を使用して影像面を格子３の面と
一致させると都合がよい。この結果、上記光学系は三つ
の格子を有する構造から二つの格子のみを有する構造に
簡略化され、これらの格子３．７のうちの一方の格子３
が二つの機能（第１図の格子３と格子５の機能）を果す
。即ち、例えば第２図の格子３は空間的に周期的な光学
的物体を構成する第二の格子として働くのみならず影像
と相互作用する光検出器手段の空間的に周期的な構造体
としても動く。この変更を加えた特定の光学系について
の詳細は後述する。
格子３に入射する光が完全にコリメートされている場合
影像は全く形成されない。更に部分的にコリメートされ
ている入射光の場合、はぼ（Ｎ−１／２）／λｆ１ ｆ
２なる距離Ｕに対しては良好な影像は形成されない。こ
こでＮは整数であり、λは使用する光の平均波長である
。一般に距離ｖ／）＜増加するにつれ、光が直進すると
いう仮定は次第に有効性を失うため、影像のコントラス
トは減少する３３ 上記の例に対応する光学系において、格子３，４゜５は
全てその線が平行になるように設けられており、従って
光強度の周期的変化を生じさせる像と格子５の相互作用
は、［シャッタリング、１効果（ｓｈｕｔｔｅｒｉｎｇ
＋Ｊｆｅｃｔ）とみなされ１する。勿論、別の方法も
可能である。格子４の線を格子３．５の線に対してわず
かに傾斜させてもよく、像が格子５と相互作用するとき
、（複数の）モアレ縞が生成される。これは単一のモア
レ縞にＳる複数の光電池により検出され得る。格子５が
格子４により形成される像の空間周波数とわずか異なる
空間周波数を有していてもよく、この場合には、バーニ
ヤ縞として知られる縞が生成され、モアレ縞と同様な方
法で検出され得る。
影像は全く形成されない。更に部分的にコリメートされ
ている入射光の場合、はぼ（Ｎ−１／２）／λｆ１ ｆ
２なる距離Ｕに対しては良好な影像は形成されない。こ
こでＮは整数であり、λは使用する光の平均波長である
。一般に距離ｖ／）＜増加するにつれ、光が直進すると
いう仮定は次第に有効性を失うため、影像のコントラス
トは減少する３３ 上記の例に対応する光学系において、格子３，４゜５は
全てその線が平行になるように設けられており、従って
光強度の周期的変化を生じさせる像と格子５の相互作用
は、［シャッタリング、１効果（ｓｈｕｔｔｅｒｉｎｇ
＋Ｊｆｅｃｔ）とみなされ１する。勿論、別の方法も
可能である。格子４の線を格子３．５の線に対してわず
かに傾斜させてもよく、像が格子５と相互作用するとき
、（複数の）モアレ縞が生成される。これは単一のモア
レ縞にＳる複数の光電池により検出され得る。格子５が
格子４により形成される像の空間周波数とわずか異なる
空間周波数を有していてもよく、この場合には、バーニ
ヤ縞として知られる縞が生成され、モアレ縞と同様な方
法で検出され得る。
上記の説明は又回転変位の測定に使用される放射状格子
の場合にも適用できる。しかし乍ら、この場合、線形格
子に比較して、系の使用可能光学的アパーチャ上のピッ
チ変化に応じる程度に像のコントラストが悪くなる。
の場合にも適用できる。しかし乍ら、この場合、線形格
子に比較して、系の使用可能光学的アパーチャ上のピッ
チ変化に応じる程度に像のコントラストが悪くなる。
第２図及び第３図は第１図の光学系の二種類の変形例を
示すもので、透過格子４の代りに反射格子７を使用して
いる。第２図の光学系において、ランプ１からの光はレ
ンズ２により集光され、ハーフミラ−８で反射され、透
過型指標格子３を通って反則型スケール格イアに入射さ
れる。格子７からの反射光は再び格子３を通り、ハーフ
ミラ−８８通過して光電池６に入る。
示すもので、透過格子４の代りに反射格子７を使用して
いる。第２図の光学系において、ランプ１からの光はレ
ンズ２により集光され、ハーフミラ−８で反射され、透
過型指標格子３を通って反則型スケール格イアに入射さ
れる。格子７からの反射光は再び格子３を通り、ハーフ
ミラ−８８通過して光電池６に入る。
第３図の光学系では、ランプ１からの光は鎖９で反射さ
れ、レンズ２で集光され、指標格子３を透過した復、反
射スケール格子７に入射される。
れ、レンズ２で集光され、指標格子３を透過した復、反
射スケール格子７に入射される。
格子７からの反射光は再び格子３を通り、レンズ１０及
びｖＡｌｌを介して光電ｌｔ！！６に達する。光学要素
１．９，２，３，１０，１１．６は固定的に組み立てら
れた読取ヘッド１２を構成している。読取ヘッド１２と
反ＯＡ格子７とからなる相対変位測定装置では、読取ヘ
ッド１２と格子７との間の横方向相対運動が測定される
。これらの両光学系に於いて、格子３．１の空間周波数
及びこれら相互の間隔は勿論上記の原理に従って選択さ
れている。
びｖＡｌｌを介して光電ｌｔ！！６に達する。光学要素
１．９，２，３，１０，１１．６は固定的に組み立てら
れた読取ヘッド１２を構成している。読取ヘッド１２と
反ＯＡ格子７とからなる相対変位測定装置では、読取ヘ
ッド１２と格子７との間の横方向相対運動が測定される
。これらの両光学系に於いて、格子３．１の空間周波数
及びこれら相互の間隔は勿論上記の原理に従って選択さ
れている。
第２図及び第３図に示す装置の変形に於いて、光検出手
段は格子３と光電池６との組み合わせにより効果的に構
成され、必要であれば、透過格子と空間的に周期的な光
検出器のａｒｉとを結合した単一・の周ｌｊ的構造体に
代えることが可能である。
段は格子３と光電池６との組み合わせにより効果的に構
成され、必要であれば、透過格子と空間的に周期的な光
検出器のａｒｉとを結合した単一・の周ｌｊ的構造体に
代えることが可能である。
この構造体は格子７により反射された光を受けるために
格子の糟と夫々１ｇ―する感光素子列からなる。前記構
造体は例えば英国特許１，２３１，０２９号明Ｉ！Ｉに
述べられている。これらの変形で、透過格子の照射に使
われる装置は勿論第１図の格子３の照射に使用したＳｆ
と同様なものでもよい。
格子の糟と夫々１ｇ―する感光素子列からなる。前記構
造体は例えば英国特許１，２３１，０２９号明Ｉ！Ｉに
述べられている。これらの変形で、透過格子の照射に使
われる装置は勿論第１図の格子３の照射に使用したＳｆ
と同様なものでもよい。
透過又は反射格子のいずれかを使って結像させる装置に
原ＩＦＩとして遍用可能な別の変形としては、別個の光
源で照射される格子３を、空間的に周期的な光学的物体
を構成する発光素子列を内蔵１ｙる装置に置き代えるこ
とである。反射格子を用いてＭｌｇＩさせる場合、この
発光素子列は、該発光素子と感光素子とを交互に並べて
なる空間的に周期的な構造体の一部分になっていてもよ
い。
原ＩＦＩとして遍用可能な別の変形としては、別個の光
源で照射される格子３を、空間的に周期的な光学的物体
を構成する発光素子列を内蔵１ｙる装置に置き代えるこ
とである。反射格子を用いてＭｌｇＩさせる場合、この
発光素子列は、該発光素子と感光素子とを交互に並べて
なる空間的に周期的な構造体の一部分になっていてもよ
い。
次に第４図及び第５図に示す本発明の具体例について説
明する。この装置は第二部材としての部材１４に固定的
に設けられた読み取りヘッド１３と、第一・部材として
の部材１７の機械用］［面１Ｇに固定的に設けられた線
形の反射スケール格子１５とからなる。部材１４は格子
１５の面に平行に且つ該格子ラインにＩ直に部４４１７
に対して移動可能である。案内ねじ１９の動作により部
材１４が部材１１に形成された溝１Ｂ内をすべり、その
結果読み取りヘッド１３が格子１５ｔＣ対して移動し、
部材１４，１７１１１の相対運動の程酵及び方向が測定
可能となる。この相対運動はｉｉＩｍの対絵である工作
機械の構成要素の運動と一致させてもよい。
明する。この装置は第二部材としての部材１４に固定的
に設けられた読み取りヘッド１３と、第一・部材として
の部材１７の機械用］［面１Ｇに固定的に設けられた線
形の反射スケール格子１５とからなる。部材１４は格子
１５の面に平行に且つ該格子ラインにＩ直に部４４１７
に対して移動可能である。案内ねじ１９の動作により部
材１４が部材１１に形成された溝１Ｂ内をすべり、その
結果読み取りヘッド１３が格子１５ｔＣ対して移動し、
部材１４，１７１１１の相対運動の程酵及び方向が測定
可能となる。この相対運動はｉｉＩｍの対絵である工作
機械の構成要素の運動と一致させてもよい。
第５図は第４図の読み取りヘッド１３の部分を示す透視
図であり、線形の透過型指標格子２０は格子１５．２０
間の間隔が−・様になるように格子１５に対向して読み
取りヘッド１３に装着されていδ。格子２０の背面には
４つの同一ユニット２１が適゛δな接着剤により固定さ
れている。各ユニット２１は合成樹脂でシールドされた
固体発光２！ｉ２２と固体光検出器２３とを有している
。更に発光器２２に電力を供給し光検出器２３から出力
信号をとりだす導線が設けられている。光ｍ２２から出
た光は格子２０を通り、格子２０め面に像が形成される
Ｊ：うに格子１５で反射される。格子２０を通過した反
射光は光検出器２３に違する。各光検出器２３は基本的
に各検出器２３が屈するユニット２１内の光源２２から
出た光を受は取るため、部材１４，１７間に相対運動が
生じた場合、各光検出器２３の出力は周期的に変化する
。
図であり、線形の透過型指標格子２０は格子１５．２０
間の間隔が−・様になるように格子１５に対向して読み
取りヘッド１３に装着されていδ。格子２０の背面には
４つの同一ユニット２１が適゛δな接着剤により固定さ
れている。各ユニット２１は合成樹脂でシールドされた
固体発光２！ｉ２２と固体光検出器２３とを有している
。更に発光器２２に電力を供給し光検出器２３から出力
信号をとりだす導線が設けられている。光ｍ２２から出
た光は格子２０を通り、格子２０め面に像が形成される
Ｊ：うに格子１５で反射される。格子２０を通過した反
射光は光検出器２３に違する。各光検出器２３は基本的
に各検出器２３が屈するユニット２１内の光源２２から
出た光を受は取るため、部材１４，１７間に相対運動が
生じた場合、各光検出器２３の出力は周期的に変化する
。
格子２０はその線が格子１５の線に対してわずかに傾斜
した状態で読み取りヘッド１３内に設けられており、格
子１５によって形成された像が格子２０と相互作用した
とぎ、この像はモアレ縞を生じさＵる。
した状態で読み取りヘッド１３内に設けられており、格
子１５によって形成された像が格子２０と相互作用した
とぎ、この像はモアレ縞を生じさＵる。
４つの光検出器２３が単一のモアレ縞に亘り、部材１４
．１７間の相対運動によって生じる４つの光検出器２３
の検出出力の周期的変化の位相が順次９０゛増で変化す
るように、ユニット２１は格子２０上に設置されている
。
．１７間の相対運動によって生じる４つの光検出器２３
の検出出力の周期的変化の位相が順次９０゛増で変化す
るように、ユニット２１は格子２０上に設置されている
。
第６図は光検出器２３の出力を用いて部材１４．１７間
の相対運動の方向と大きざとを決定する１方法を示す図
ぐある。第６図の回路において、光検出器２３の出力は
整合された増幅器２４によって増幅され、位相順にみて
第１及び第３の光検出器２３の増幅出力は差動回路２５
で減算される。回路２５の出力は信ｎ Ａを発生する矩
形波用のシュミットトリガ２６に入る。第２及び第４の
光検出器２３の増幅出力は差動回路２７で減算され、回
路２７の出力は信号Ｂを出力するシュミットトリガ２８
によって矩形波化される。部材１４．１７間の相対運動
の結果生ずる各信号Ａ、Ｂの大きさの変化は９０°ずれ
た位相関係にある。信号Ａ及び８は一対のＪ−にフリッ
プフロップ２９．３０に加えられる。信号Ａはフリップ
フロップ２９のクロック人力３１とフリップフロップ３
０のリセット人力３２に与えられ、信号Ｂはフリップフ
ロップ２９のリセット人力３３とフリップフロップ３０
のクロック人力３４に与えられる。各ソリツブフロップ
２９．３０のＪ及びに入力は論理１に維持された端子３
５に接続されている。フリップフロップ２９のＱ出力は
両方向３１数器３７の「アップ」入力３６に入り、フリ
ップフロップ３０のＱ出力は泪数器３７の「ダウン」入
力３８に入る。Δ１数器３７の出力は適当な文字及び数
字表示装置３９により表示される。
の相対運動の方向と大きざとを決定する１方法を示す図
ぐある。第６図の回路において、光検出器２３の出力は
整合された増幅器２４によって増幅され、位相順にみて
第１及び第３の光検出器２３の増幅出力は差動回路２５
で減算される。回路２５の出力は信ｎ Ａを発生する矩
形波用のシュミットトリガ２６に入る。第２及び第４の
光検出器２３の増幅出力は差動回路２７で減算され、回
路２７の出力は信号Ｂを出力するシュミットトリガ２８
によって矩形波化される。部材１４．１７間の相対運動
の結果生ずる各信号Ａ、Ｂの大きさの変化は９０°ずれ
た位相関係にある。信号Ａ及び８は一対のＪ−にフリッ
プフロップ２９．３０に加えられる。信号Ａはフリップ
フロップ２９のクロック人力３１とフリップフロップ３
０のリセット人力３２に与えられ、信号Ｂはフリップフ
ロップ２９のリセット人力３３とフリップフロップ３０
のクロック人力３４に与えられる。各ソリツブフロップ
２９．３０のＪ及びに入力は論理１に維持された端子３
５に接続されている。フリップフロップ２９のＱ出力は
両方向３１数器３７の「アップ」入力３６に入り、フリ
ップフロップ３０のＱ出力は泪数器３７の「ダウン」入
力３８に入る。Δ１数器３７の出力は適当な文字及び数
字表示装置３９により表示される。
上記り法でフリップフロップ２９及び３０に信号Ａ及び
Ｂを送ると、部材１４．１７間の相対運動の一方向に対
して単に１個のみのフリップフロップが計数器３７に出
力を出し得る。他方のフリップフロップではタロツク人
力に信号が発生する問、リセット入力に信号が現われ従
ってそのＱ出力の変化を抑制するからである。フリップ
フロップ２９．３０のいずれが出力を与えるかは、部材
１４．１７間の相対運動の向きにより決定される信号Ａ
とＢとの位相差の向きに依存している適切なフリップフ
ロップにより計数２Ｓ３７に送られるパルス数は勿論相
対運動の程度に比例する。
Ｂを送ると、部材１４．１７間の相対運動の一方向に対
して単に１個のみのフリップフロップが計数器３７に出
力を出し得る。他方のフリップフロップではタロツク人
力に信号が発生する問、リセット入力に信号が現われ従
ってそのＱ出力の変化を抑制するからである。フリップ
フロップ２９．３０のいずれが出力を与えるかは、部材
１４．１７間の相対運動の向きにより決定される信号Ａ
とＢとの位相差の向きに依存している適切なフリップフ
ロップにより計数２Ｓ３７に送られるパルス数は勿論相
対運動の程度に比例する。
第４図及び第５図に示す装置において、格子１５及び２
０の空間周波数及びその間隔は当然上記の原理に従って
式（１）及び（２）を満たすように選択されている。例
えば光源２２として、ピークが波長９４０ナノメータに
あるガリウムヒ素赤外線用発光ダイオードを使用し、光
検出器２３としてＮ−Ｐ−Ｎシリコンフォトトランジス
タを使用する際、格子１５及び２０の夫々の空間周波数
が１００ライン／ａｎ及び５０ライン／αで、格子１５
．２０間の間隔を２１あけた配列が適当である。
０の空間周波数及びその間隔は当然上記の原理に従って
式（１）及び（２）を満たすように選択されている。例
えば光源２２として、ピークが波長９４０ナノメータに
あるガリウムヒ素赤外線用発光ダイオードを使用し、光
検出器２３としてＮ−Ｐ−Ｎシリコンフォトトランジス
タを使用する際、格子１５及び２０の夫々の空間周波数
が１００ライン／ａｎ及び５０ライン／αで、格子１５
．２０間の間隔を２１あけた配列が適当である。
以上のとおり、本発明相対変位測定装置では、第二の格
子をコリメートされていない光で照らす照射手段が設け
られており、第二の格子が空間的に周期的な光学的物体
を規定するように第一の格子及び照射手段が構成されて
いるために、第二の格子が光学的物体してｒｌｉａな光
を出し、しかも、前記光学的物体の、第一及び第二部材
の相対運動方向に空間的に周期的であり且つ第一・の格
子から実質的に一様に離間した実像が第一の格子によっ
て形成されるように第一及び第二の格子が構成されてい
るために、 空間的に周期的な光学的物体として働く第二の格子から
の散漫な光が第一の格子によって実像として結像される
。
子をコリメートされていない光で照らす照射手段が設け
られており、第二の格子が空間的に周期的な光学的物体
を規定するように第一の格子及び照射手段が構成されて
いるために、第二の格子が光学的物体してｒｌｉａな光
を出し、しかも、前記光学的物体の、第一及び第二部材
の相対運動方向に空間的に周期的であり且つ第一・の格
子から実質的に一様に離間した実像が第一の格子によっ
て形成されるように第一及び第二の格子が構成されてい
るために、 空間的に周期的な光学的物体として働く第二の格子から
の散漫な光が第一の格子によって実像として結像される
。
本発明の相対変位測定装置では、第二の格子を散漫な光
を出す光学平物体として機能させ、第一の格子を結像手
段として機能させるようにしたため、第二部材に対する
第一・部材の相対変位を第二部材に対ケる像の拡大され
た変位に変換し得る。
を出す光学平物体として機能させ、第一の格子を結像手
段として機能させるようにしたため、第二部材に対する
第一・部材の相対変位を第二部材に対ケる像の拡大され
た変位に変換し得る。
しかも、本発明の相対変位測定装置では、光検出手段が
、第二部材に対して固定位置に設けられた前記運動方向
に空間的に周期的な４１’ｊｉ体を有しており、実像を
形成した光を受は取るべく構成されているために、前記
の拡大された憬変位を、周期的に変動する出力の形で出
し得、高精度の相対変位測定を可能にしている。
、第二部材に対して固定位置に設けられた前記運動方向
に空間的に周期的な４１’ｊｉ体を有しており、実像を
形成した光を受は取るべく構成されているために、前記
の拡大された憬変位を、周期的に変動する出力の形で出
し得、高精度の相対変位測定を可能にしている。
第１図は本発明の４本原理を丞°ツ説明図、第２図及び
第３図はそれぞれ第１図の配列の変形Ｓ様を示ず説明図
、第４図は本発明に係る装置の概略透視図、第５図は第
４図のＶｔ四の一部の概略透視図、第６図は第４図の装
とに使用する電気回路の概略を示す回路図である。 １．２２・−・・・・光源、２．１０・・・・・・レン
ズ、３．４，５，７，１５．２０・・・・・・格子、６
．２３・・・・・・光検１ｊ ｌ 、 ８，９．１１・
−−−−・鎮、１２．１３・・・読取ヘッド。
第３図はそれぞれ第１図の配列の変形Ｓ様を示ず説明図
、第４図は本発明に係る装置の概略透視図、第５図は第
４図のＶｔ四の一部の概略透視図、第６図は第４図の装
とに使用する電気回路の概略を示す回路図である。 １．２２・−・・・・光源、２．１０・・・・・・レン
ズ、３．４，５，７，１５．２０・・・・・・格子、６
．２３・・・・・・光検１ｊ ｌ 、 ８，９．１１・
−−−−・鎮、１２．１３・・・読取ヘッド。
Claims (1)
- （１）一つの平面内での自由度１の運動に対応する様態
での第二部材に対する第一部材の相対変位を測定するた
めの装置であつて、 距離ｕだけ一様に離れて夫々が第一及び第二部材に対し
て固定位置に設けられており、前記運動方向に夫々周波
数ｆ＿１及びｆ＿２（ただしｆ＿１は実質的にｆ＿２の
２倍に等しい）で空間的に周期的に線を有している第一
及び第二の格子と、 実質的にｕと等しい距離ｖだけ第一の格子から一様に離
れたところに、ｆ＿３＝ｆ＿２で規定される周波数ｆ＿
３で前記方向に空間的に周期的であり、第一及び第二部
材間に前記様態での運動が生じた際第二部材に対して前
記様態で動く、光学的物体としての第二の格子の影の実
像を第一の格子によって生ぜしめるべく、ｆ＿１及びｆ
＿２とは比較にならない程高い周波数のコリメートされ
ていない光で第二の格子を照らす照射手段と、 第一及び第二部材間に相対運動が生じた際出力に周期的
変化を生ずるように、実質的にｆ＿３の周波数で空間的
に周期的であり第一の格子から実質的にｖ離れて第二部
材に対して固定位置に設けられた構造体を有しており、
前記像に応答する光検出器手段と を有する相対変位測定装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB11598/74 | 1974-03-15 | ||
| GB11598/74A GB1504691A (en) | 1974-03-15 | 1974-03-15 | Measurement apparatus |
| GB44522/74 | 1974-10-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6333604A true JPS6333604A (ja) | 1988-02-13 |
Family
ID=9989194
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62082179A Pending JPS6333604A (ja) | 1974-03-15 | 1987-04-01 | 相対変位測定装置 |
| JP62282931A Granted JPS63153408A (ja) | 1974-03-15 | 1987-11-09 | 相対変位測定装置 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62282931A Granted JPS63153408A (ja) | 1974-03-15 | 1987-11-09 | 相対変位測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4051367A (ja) |
| JP (2) | JPS6333604A (ja) |
| CA (1) | CA1034368A (ja) |
| GB (1) | GB1504691A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155545A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Mitsutoyo Corp | 光電式ロータリエンコーダ |
| EP2889586A1 (en) | 2013-12-25 | 2015-07-01 | Mitutoyo Corporation | Optical encoder |
| EP3124922A1 (en) | 2015-06-11 | 2017-02-01 | Mitutoyo Corporation | Optical encoder |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH626169A5 (ja) * | 1976-11-25 | 1981-10-30 | Leitz Ernst Gmbh | |
| US4265542A (en) * | 1977-11-04 | 1981-05-05 | Computervision Corporation | Apparatus and method for fine alignment of a photomask to a semiconductor wafer |
| US4218615A (en) * | 1978-10-23 | 1980-08-19 | Martin Marietta Corporation | Incremental digital shaft encoder |
| JPS5726004U (ja) * | 1980-07-21 | 1982-02-10 | ||
| JPS57157118A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-28 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | Photoelectric type displacement detecting device |
| GB8432574D0 (en) * | 1984-12-22 | 1985-02-06 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale-reading apparatus |
| DE3541199C1 (de) * | 1985-11-21 | 1987-06-25 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung |
| DE3543179A1 (de) * | 1985-12-06 | 1987-06-11 | Philips Patentverwaltung | Optischer weg-sensor mit einem filter |
| GB8615197D0 (en) * | 1986-06-21 | 1986-07-23 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale reading apparatus |
| GB8615196D0 (en) * | 1986-06-21 | 1986-07-23 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale reading apparatus |
| IN168444B (ja) * | 1986-08-15 | 1991-04-06 | Mitutoyo Mfg Co Ltd | |
| US5064290A (en) * | 1987-12-12 | 1991-11-12 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale-reading apparatus wherein phase-separated secondary orders of diffraction are generated |
| GB8729246D0 (en) * | 1987-12-15 | 1988-01-27 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale-reading apparatus |
| US4806034A (en) * | 1988-02-10 | 1989-02-21 | Polaroid Corporation | Write head controller with grid synchronization |
| US5099116A (en) * | 1990-10-25 | 1992-03-24 | The Perkin-Elmer Corporation | Optical device for measuring displacement |
| GB9023659D0 (en) * | 1990-10-31 | 1990-12-12 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale reading apparatus |
| EP0843159A3 (en) * | 1991-11-06 | 1999-06-02 | Renishaw Transducer Systems Limited | Opto-electronic scale-reading apparatus |
| EP0599601A3 (en) * | 1992-11-23 | 1995-07-19 | British Aerospace | Swingplate analysis. |
| GB9425907D0 (en) * | 1994-12-22 | 1995-02-22 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale reading apparatus |
| GB9522491D0 (en) * | 1995-11-02 | 1996-01-03 | Renishaw Plc | Opto-electronic rotary encoder |
| JP3631551B2 (ja) * | 1996-01-23 | 2005-03-23 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
| GB9605278D0 (en) * | 1996-03-13 | 1996-05-15 | Renishaw Plc | Opto-electronic scale reading apparatus |
| DE19859670A1 (de) | 1998-12-23 | 2000-06-29 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Abtastkopf und Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE19859669A1 (de) | 1998-12-23 | 2000-06-29 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Integrierter optoelektronischer Sensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE19917950A1 (de) * | 1999-04-21 | 2000-10-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Integrierter optoelektronischer Dünnschichtsensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE19918101A1 (de) | 1999-04-22 | 2000-10-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Optische Positionsmeßeinrichtung |
| US7186969B2 (en) * | 2003-02-12 | 2007-03-06 | Mitutoyo Corporation | Optical configuration for imaging-type optical encoders |
| US7119911B2 (en) * | 2003-03-07 | 2006-10-10 | Lsa, Inc. | Moiré deflectometer including non-mechanical, transparent, spatial light modulators for demonstrating two-axis rulings |
| DE112005001619B4 (de) * | 2004-07-12 | 2014-03-06 | Mitsubishi Denki K.K. | Optischer Codierer |
| US9018578B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-04-28 | Mitutoyo Corporation | Adaptable resolution optical encoder having structured illumination and spatial filtering |
| US8941052B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-01-27 | Mitutoyo Corporation | Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder |
| US9029757B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-05-12 | Mitutoyo Corporation | Illumination portion for an adaptable resolution optical encoder |
| US9080899B2 (en) | 2011-12-23 | 2015-07-14 | Mitutoyo Corporation | Optical displacement encoder having plural scale grating portions with spatial phase offset of scale pitch |
| DE102018108347B4 (de) | 2018-04-09 | 2021-02-04 | Picofine GmbH | Optischer Encoder und Verfahren zur Erfassung einer Relativbewegung |
| EP3663723A1 (en) | 2018-12-04 | 2020-06-10 | Renishaw PLC | Encoder apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3812352A (en) * | 1972-08-28 | 1974-05-21 | Itek Corp | Encoder readout system |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1282988B (de) * | 1965-05-28 | 1968-11-14 | Zeiss Carl Fa | Einrichtung zum Messen von Lageaenderungen zweier zueinander beweglicher Teile unterVerwendung einer inkohaerenten Strahlung |
| GB1231029A (ja) * | 1968-12-13 | 1971-05-05 | ||
| DE1921507C2 (de) * | 1969-04-26 | 1971-02-11 | Zeiss Carl Fa | Einrichtung zur Erzeugung phasenverschobener elektrischer Signale |
| GB1353470A (en) * | 1970-10-19 | 1974-05-15 | Post D | Position measuring apparatus utilizing moire fringe multiplication |
| US3700907A (en) * | 1971-07-20 | 1972-10-24 | Hughes Aircraft Co | Code reading system for identification of moving and stationary objects utilizing noncoherent optics |
| US3768911A (en) * | 1971-08-17 | 1973-10-30 | Keuffel & Esser Co | Electro-optical incremental motion and position indicator |
-
1974
- 1974-03-15 GB GB11598/74A patent/GB1504691A/en not_active Expired
-
1975
- 1975-03-06 US US05/555,817 patent/US4051367A/en not_active Expired - Lifetime
- 1975-03-13 CA CA222,030A patent/CA1034368A/en not_active Expired
-
1987
- 1987-04-01 JP JP62082179A patent/JPS6333604A/ja active Pending
- 1987-11-09 JP JP62282931A patent/JPS63153408A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3812352A (en) * | 1972-08-28 | 1974-05-21 | Itek Corp | Encoder readout system |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007155545A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Mitsutoyo Corp | 光電式ロータリエンコーダ |
| EP2889586A1 (en) | 2013-12-25 | 2015-07-01 | Mitutoyo Corporation | Optical encoder |
| EP3124922A1 (en) | 2015-06-11 | 2017-02-01 | Mitutoyo Corporation | Optical encoder |
| US10317253B2 (en) | 2015-06-11 | 2019-06-11 | Mitutoyo Corporation | Optical encoder |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4051367A (en) | 1977-09-27 |
| JPH0245126B2 (ja) | 1990-10-08 |
| GB1504691A (en) | 1978-03-22 |
| CA1034368A (en) | 1978-07-11 |
| JPS63153408A (ja) | 1988-06-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6333604A (ja) | 相対変位測定装置 | |
| US4079252A (en) | Photoelectric grating displacement measuring apparatus | |
| US4091281A (en) | Light modulation system | |
| JPH0781815B2 (ja) | 物理量を遠隔検出するためのオプトエレクトロニック検出装置 | |
| GB2194044A (en) | Optical type displacement detecting device | |
| JPS60243514A (ja) | 光電的測定装置 | |
| JPH09196705A (ja) | 変位測定装置 | |
| JPS6023282B2 (ja) | 相対変位測定装置 | |
| US4049965A (en) | Measurement apparatus | |
| JPS5845687B2 (ja) | 移動距離及び速度の測定装置 | |
| JPS58191907A (ja) | 移動量測定方法 | |
| US5184014A (en) | Opto-electronic scale reading apparatus | |
| US3496364A (en) | Linear encoder having a fringe pattern produced by optical imaging | |
| JPS61182522A (ja) | リニアスケ−ル測定装置 | |
| JP2503561B2 (ja) | レ―ザ―干渉式エンコ―ダ | |
| JPH06174424A (ja) | 測長または測角装置 | |
| JPH0444211B2 (ja) | ||
| JPH0411807B2 (ja) | ||
| JP3013467B2 (ja) | レーザ干渉式エンコーダ | |
| SU1525662A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
| JPH07218291A (ja) | 位置検出装置 | |
| JPH068736B2 (ja) | 光学式変位検出器 | |
| SU1693380A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещени | |
| JPS6122243Y2 (ja) | ||
| JPH0521486B2 (ja) |