JPH0628620A - 磁気ヘッド用コアの製造法 - Google Patents
磁気ヘッド用コアの製造法Info
- Publication number
- JPH0628620A JPH0628620A JP5006492A JP5006492A JPH0628620A JP H0628620 A JPH0628620 A JP H0628620A JP 5006492 A JP5006492 A JP 5006492A JP 5006492 A JP5006492 A JP 5006492A JP H0628620 A JPH0628620 A JP H0628620A
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- layers
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ギャップ対向面の金属磁性層を精度良く得る
ことができるとともに、クラック発生がなく、信頼性の
高いコアを得ることができる磁気ヘッド用コアの製造法
を提供する。 【構成】 単結晶フェライト１ー１、１ー２中に設けた
金属磁性層４ー１、４ー２間に磁気ギャップ５を有する
メタルインギャップ構造の磁気ヘッド用コアの製造法に
おいて、単結晶フェライト１ー１、１ー２のギャップ対
向面１ー１ａ、１−２ａの金属磁性層を設ける部分に予
め化学エッチングにより凹部２ー１、２ー２を設け、凹
部２ー１、２ー２を有するギャップ対向面１ー１ａ、１
ー２ａに金属磁性層４ー１、４ー２をスパッタリングに
より設け、その後化学エッチングによってギャップ対向
面の凹部以外の金属磁性層を除去した後、２つの単結晶
フェライトのギャップ対向面同士を接合する。
ことができるとともに、クラック発生がなく、信頼性の
高いコアを得ることができる磁気ヘッド用コアの製造法
を提供する。 【構成】 単結晶フェライト１ー１、１ー２中に設けた
金属磁性層４ー１、４ー２間に磁気ギャップ５を有する
メタルインギャップ構造の磁気ヘッド用コアの製造法に
おいて、単結晶フェライト１ー１、１ー２のギャップ対
向面１ー１ａ、１−２ａの金属磁性層を設ける部分に予
め化学エッチングにより凹部２ー１、２ー２を設け、凹
部２ー１、２ー２を有するギャップ対向面１ー１ａ、１
ー２ａに金属磁性層４ー１、４ー２をスパッタリングに
より設け、その後化学エッチングによってギャップ対向
面の凹部以外の金属磁性層を除去した後、２つの単結晶
フェライトのギャップ対向面同士を接合する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、メタルインギャップ構
造を持つ磁気ヘッド用コアの製造法に関するものであ
る。
造を持つ磁気ヘッド用コアの製造法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のメタルインギャップ構造の
磁気ヘッド用コアの一例を示す図であり、図３（ａ）は
その平面図を、図３（ｂ）はその上面の磁気ギャップ付
近を拡大して示している。図３において、１１ー１、１
１ー２はそれぞれ単結晶フェライト、１２ー１、１２ー
２はそれぞれセンダスト等の金属磁性層、１３は金属磁
性層１１ー１、１１ー２間にガラス等を介して設けられ
た磁気ギャップ、１４ー１、１４ー２はそれぞれ単結晶
フェライト１１ー１、１１ー２と金属磁性層１２ー１、
１２ー２との間に設けたクロム膜である。
磁気ヘッド用コアの一例を示す図であり、図３（ａ）は
その平面図を、図３（ｂ）はその上面の磁気ギャップ付
近を拡大して示している。図３において、１１ー１、１
１ー２はそれぞれ単結晶フェライト、１２ー１、１２ー
２はそれぞれセンダスト等の金属磁性層、１３は金属磁
性層１１ー１、１１ー２間にガラス等を介して設けられ
た磁気ギャップ、１４ー１、１４ー２はそれぞれ単結晶
フェライト１１ー１、１１ー２と金属磁性層１２ー１、
１２ー２との間に設けたクロム膜である。
【０００３】従来、図３に示す構造のメタルインギャッ
プ構造の磁気ヘッド用コアを製造するには、まず、それ
ぞれバー形状の単結晶フェライト１１ー１と単結晶フェ
ライト１１ー２とを準備し、それぞれのギャップ対向面
を機械加工した後、単結晶フェライト１１ー１と単結晶
フェライト１１ー２のそれぞれのギャップ対向面全面
に、スパッタリングによりセンダスト等の金属磁性層１
２ー１および１２ー２を設ける。
プ構造の磁気ヘッド用コアを製造するには、まず、それ
ぞれバー形状の単結晶フェライト１１ー１と単結晶フェ
ライト１１ー２とを準備し、それぞれのギャップ対向面
を機械加工した後、単結晶フェライト１１ー１と単結晶
フェライト１１ー２のそれぞれのギャップ対向面全面
に、スパッタリングによりセンダスト等の金属磁性層１
２ー１および１２ー２を設ける。
【０００４】次に、単結晶フェライト１１ー１ではギャ
ップ対向面から機械加工して金属磁性層１２ー１を分断
する機械加工を施すことにより、それぞれ斜辺部と接合
面のみに金属磁性層１２ー１、１２ー２を有するコの字
形状の単結晶フェライト１１ー１とＩの字形状の単結晶
フェライト１１ー２を得る。その後、単結晶フェライト
１１ー１および単結晶フェライト１１ー２の各ギャップ
対向面同士を磁気ギャップ１３の厚みの分だけ離して接
合用のガラスを介して接合した後、図中紙面に平行な方
向に薄くスライスして、磁気ヘッド用コアを作製してい
る。
ップ対向面から機械加工して金属磁性層１２ー１を分断
する機械加工を施すことにより、それぞれ斜辺部と接合
面のみに金属磁性層１２ー１、１２ー２を有するコの字
形状の単結晶フェライト１１ー１とＩの字形状の単結晶
フェライト１１ー２を得る。その後、単結晶フェライト
１１ー１および単結晶フェライト１１ー２の各ギャップ
対向面同士を磁気ギャップ１３の厚みの分だけ離して接
合用のガラスを介して接合した後、図中紙面に平行な方
向に薄くスライスして、磁気ヘッド用コアを作製してい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の製造方
法においては、スパッタリングにより金属磁性層１２ー
１、１２ー２を設けた後、磁性層の分断と巻線溝加工を
実施する為、金属磁性層のハガレ及び膜強度の劣化が発
生し、コア強度が弱く信頼性の高い磁気ヘッド用コアを
得ることが出来ない問題があった。また、ギャップ対向
面をあらかじめエッチングし金属磁性膜をスパッタした
後、研磨加工で金属磁性膜を除去することは、膜厚精度
±０．２５μｍを達成することが困難である問題もあっ
た。又、金属磁性層が多くなると後工程の機械加工によ
ってクラックが発生する問題もあった。
法においては、スパッタリングにより金属磁性層１２ー
１、１２ー２を設けた後、磁性層の分断と巻線溝加工を
実施する為、金属磁性層のハガレ及び膜強度の劣化が発
生し、コア強度が弱く信頼性の高い磁気ヘッド用コアを
得ることが出来ない問題があった。また、ギャップ対向
面をあらかじめエッチングし金属磁性膜をスパッタした
後、研磨加工で金属磁性膜を除去することは、膜厚精度
±０．２５μｍを達成することが困難である問題もあっ
た。又、金属磁性層が多くなると後工程の機械加工によ
ってクラックが発生する問題もあった。
【０００６】本発明の目的は上述した課題を解消して、
ギャップ対向面の金属磁性層を精度良く得ることができ
るとともに、クラック発生がなく、信頼性の高いコアを
得ることができる磁気ヘッド用コアの製造法を提供しよ
うとするものである。
ギャップ対向面の金属磁性層を精度良く得ることができ
るとともに、クラック発生がなく、信頼性の高いコアを
得ることができる磁気ヘッド用コアの製造法を提供しよ
うとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッド用コ
アの製造法は、単結晶フェライト中に設けた金属磁性層
間に磁気ギャップを有するメタルインギャップ構造の磁
気ヘッド用コアの製造法において、単結晶フェライトの
ギャップ対向面の金属磁性層を設ける部分に予め化学エ
ッチングにより凹部を設け、凹部を有するギャップ対向
面に金属磁性層をスパッタリングにより設け、その後化
学エッチングによってギャップ対向面の凹部以外の金属
磁性層を除去した後、２つの単結晶フェライトのギャッ
プ対向面同士を接合することを特徴とするものである。
アの製造法は、単結晶フェライト中に設けた金属磁性層
間に磁気ギャップを有するメタルインギャップ構造の磁
気ヘッド用コアの製造法において、単結晶フェライトの
ギャップ対向面の金属磁性層を設ける部分に予め化学エ
ッチングにより凹部を設け、凹部を有するギャップ対向
面に金属磁性層をスパッタリングにより設け、その後化
学エッチングによってギャップ対向面の凹部以外の金属
磁性層を除去した後、２つの単結晶フェライトのギャッ
プ対向面同士を接合することを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】上述した構成において、磁気ギャップを構成す
る金属磁性層を機械加工ではなく化学エッチングにより
形成しているため、精度の良い加工をすることができる
とともに、この化学エッチング時に従来後部接着部に残
った金属磁性層を除去することができるため、高い接合
強度を保つことができ、信頼性の高いメタルインギャッ
プ構造の磁気ヘッド用コアを得ることができる。なお、
本発明の製造法において、単結晶フェライトのギャップ
対向面の金属磁性層を設ける部分に予め化学エッチング
により凹部を設けたのは、２つの単結晶フェライトのギ
ャップ対向面同士を接合する際に金属磁性層が接合のじ
ゃまにならず、磁気ギャップを構成しやすいためであ
る。
る金属磁性層を機械加工ではなく化学エッチングにより
形成しているため、精度の良い加工をすることができる
とともに、この化学エッチング時に従来後部接着部に残
った金属磁性層を除去することができるため、高い接合
強度を保つことができ、信頼性の高いメタルインギャッ
プ構造の磁気ヘッド用コアを得ることができる。なお、
本発明の製造法において、単結晶フェライトのギャップ
対向面の金属磁性層を設ける部分に予め化学エッチング
により凹部を設けたのは、２つの単結晶フェライトのギ
ャップ対向面同士を接合する際に金属磁性層が接合のじ
ゃまにならず、磁気ギャップを構成しやすいためであ
る。
【０００９】
【実施例】図１（ａ）〜（ｆ）は本発明のメタルインギ
ャップ構造の磁気ヘッド用コアの製造法を工程ごとに示
す図である。なお、図１においては、図面を簡単にする
ため断面のみを示したが、実際の製造にあたっては図面
上紙面に垂直方向に厚みがあるものを製造して、最後に
薄くスライスして最終製品を得ている。本発明の対象で
ある磁気ヘッド用コアを得るには、まず、バー形状の単
結晶フェライト１ー１と１ー２とを準備し、図１（ａ）
に示すように、それぞれのギャップ対向面１−１ａ、１
−２ａの金属磁性層を設ける部分に予め化学エッチング
により凹部２ー１、２ー２を形成する。次に、図１
（ｂ）に示すように、単結晶フェライト１ー１にコイル
を卷装するための溝３を機械加工により形成する。その
後、単結晶フェライト１ー１と単結晶フェライト１ー２
のそれぞれのギャップ対向面１−１ａ、１−２ａを含む
全面に、図１（ｃ）に示すように、スパッタリングによ
りセンダスト等の金属磁性層４ー１および４ー２を設け
る。この際、金属磁性層４ー１および４ー２の厚みは厳
密に管理する必要はなく、少なくとも凹部２ー１、２ー
２内の金属磁性層４ー１、４ー２がギャップ対向面１−
１ａ、１−２ａよりわずかでも外部へ突出していれば良
い。
ャップ構造の磁気ヘッド用コアの製造法を工程ごとに示
す図である。なお、図１においては、図面を簡単にする
ため断面のみを示したが、実際の製造にあたっては図面
上紙面に垂直方向に厚みがあるものを製造して、最後に
薄くスライスして最終製品を得ている。本発明の対象で
ある磁気ヘッド用コアを得るには、まず、バー形状の単
結晶フェライト１ー１と１ー２とを準備し、図１（ａ）
に示すように、それぞれのギャップ対向面１−１ａ、１
−２ａの金属磁性層を設ける部分に予め化学エッチング
により凹部２ー１、２ー２を形成する。次に、図１
（ｂ）に示すように、単結晶フェライト１ー１にコイル
を卷装するための溝３を機械加工により形成する。その
後、単結晶フェライト１ー１と単結晶フェライト１ー２
のそれぞれのギャップ対向面１−１ａ、１−２ａを含む
全面に、図１（ｃ）に示すように、スパッタリングによ
りセンダスト等の金属磁性層４ー１および４ー２を設け
る。この際、金属磁性層４ー１および４ー２の厚みは厳
密に管理する必要はなく、少なくとも凹部２ー１、２ー
２内の金属磁性層４ー１、４ー２がギャップ対向面１−
１ａ、１−２ａよりわずかでも外部へ突出していれば良
い。
【００１０】次に、金属磁性層４ー１および４ー２を残
す部分にマスクをかけて化学エッチングを行い、図１
（ｄ）に示すように、凹部２ー１、２ー２内にほぼギャ
ップ対向面１−１ａ、１−２ａと同じ面となるような厚
さの金属磁性層４ー１、４ー２を形成する。その後、単
結晶フェライト１ー１および単結晶フェライト１ー２の
各ギャップ対向面１−１ａ、１−２ａ同士を、図１
（ｅ）および図２にその付近の拡大図を示すように、磁
気ギャップ５の厚み分だけ離して補強用のガラス６を介
して接合した後、図１（ｅ）において点線で示す位置で
切断する。最後に、得られたコアを図中紙面に平行な方
向に薄くスライスして、メタルインギャップ構造の磁気
ヘッド用コアを作製している。なお、上述した各工程に
おける化学エッチングは、フォトリソエッチング等の従
来から公知の種々の方法を使用することができることは
いうまでもない。
す部分にマスクをかけて化学エッチングを行い、図１
（ｄ）に示すように、凹部２ー１、２ー２内にほぼギャ
ップ対向面１−１ａ、１−２ａと同じ面となるような厚
さの金属磁性層４ー１、４ー２を形成する。その後、単
結晶フェライト１ー１および単結晶フェライト１ー２の
各ギャップ対向面１−１ａ、１−２ａ同士を、図１
（ｅ）および図２にその付近の拡大図を示すように、磁
気ギャップ５の厚み分だけ離して補強用のガラス６を介
して接合した後、図１（ｅ）において点線で示す位置で
切断する。最後に、得られたコアを図中紙面に平行な方
向に薄くスライスして、メタルインギャップ構造の磁気
ヘッド用コアを作製している。なお、上述した各工程に
おける化学エッチングは、フォトリソエッチング等の従
来から公知の種々の方法を使用することができることは
いうまでもない。
【００１１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、単結晶フェライト中に設けた金属磁性層間に
磁気ギャップを有するメタルインギャップ構造の磁気ヘ
ッド用コアの製造法において、磁気ギャップを構成する
金属磁性層を、予め単結晶フェライトに設けた凹部内に
スパッタリングしたのち化学エッチングにより形成して
いるため、精度の良い加工をすることができるととも
に、この化学エッチング時に従来後部接着部に残った金
属磁性層を除去することができるため、高い接合強度を
保つことができ、その結果信頼性の高い磁気ヘッド用コ
アを得ることができる。
によれば、単結晶フェライト中に設けた金属磁性層間に
磁気ギャップを有するメタルインギャップ構造の磁気ヘ
ッド用コアの製造法において、磁気ギャップを構成する
金属磁性層を、予め単結晶フェライトに設けた凹部内に
スパッタリングしたのち化学エッチングにより形成して
いるため、精度の良い加工をすることができるととも
に、この化学エッチング時に従来後部接着部に残った金
属磁性層を除去することができるため、高い接合強度を
保つことができ、その結果信頼性の高い磁気ヘッド用コ
アを得ることができる。
【図１】本発明のメタルインギャップ構造の磁気ヘッド
用コアの製造法を工程ごとに示す図である。
用コアの製造法を工程ごとに示す図である。
【図２】本発明の磁気ヘッド用コアの磁気ギャップ付近
を拡大して示す図である。
を拡大して示す図である。
【図３】従来のメタルインギャップ構造の磁気ヘッド用
コアの一例を示す図である。
コアの一例を示す図である。
１ー１、１ー２ 単結晶フェライト １−１ａ、１−２ａ ギャップ対向面 ２ー１、２ー２ 凹部 ３ 溝 ４ー１、４ー２ 金属磁性層 ５ 磁気ギャップ ６ ガラス
Claims (1)
- 【請求項１】 単結晶フェライト中に設けた金属磁性層
間に磁気ギャップを有するメタルインギャップ構造の磁
気ヘッド用コアの製造法において、単結晶フェライトの
ギャップ対向面のうち金属磁性層を設ける部分に予め化
学エッチングにより凹部を設け、凹部を有するギャップ
対向面に金属磁性層をスパッタリングにより設け、その
後化学エッチングによってギャップ対向面の凹部以外の
金属磁性層を除去した後、２つの単結晶フェライトのギ
ャップ対向面同士を接合することを特徴とする磁気ヘッ
ド用コアの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5006492A JPH0628620A (ja) | 1992-03-07 | 1992-03-07 | 磁気ヘッド用コアの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5006492A JPH0628620A (ja) | 1992-03-07 | 1992-03-07 | 磁気ヘッド用コアの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0628620A true JPH0628620A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=12848571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5006492A Pending JPH0628620A (ja) | 1992-03-07 | 1992-03-07 | 磁気ヘッド用コアの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628620A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5641517A (en) * | 1979-09-13 | 1981-04-18 | Hitachi Ltd | Preparation of magnetic head |
| JPS63306505A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-14 | Ngk Insulators Ltd | 複合型磁気ヘッド用コアの製造法 |
| JPH02232805A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合型磁気ヘッドの製造方法 |
-
1992
- 1992-03-07 JP JP5006492A patent/JPH0628620A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5641517A (en) * | 1979-09-13 | 1981-04-18 | Hitachi Ltd | Preparation of magnetic head |
| JPS63306505A (ja) * | 1987-06-08 | 1988-12-14 | Ngk Insulators Ltd | 複合型磁気ヘッド用コアの製造法 |
| JPH02232805A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合型磁気ヘッドの製造方法 |
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