JPS6327710A - 直角座標測定機 - Google Patents
直角座標測定機Info
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- JPS6327710A JPS6327710A JP62167990A JP16799087A JPS6327710A JP S6327710 A JPS6327710 A JP S6327710A JP 62167990 A JP62167990 A JP 62167990A JP 16799087 A JP16799087 A JP 16799087A JP S6327710 A JPS6327710 A JP S6327710A
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- Japan
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- base
- bridge
- measuring machine
- coordinate measuring
- support
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- Granted
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は寸法1“j定技術の分野に関し、特に、直角座
標測定機に関するものである。
標測定機に関するものである。
周知の型式の直角座標測定機では、ブリッジが第1の水
平軸に沿って案内されながら移動する状態で基礎部に支
持され、キャリッジが第2の水平軸に沿って案内されな
がら移動する状態でブリッジに取り付けてちり、プロー
ブ(探針)が上下方向に案内されながら移動する状態で
キャリッジに取り付けである。このように、プローブ先
端部の案内移動は、被測定物を支持するテーブルの水平
表面に対して3本の直交軸に沿って行われる。
平軸に沿って案内されながら移動する状態で基礎部に支
持され、キャリッジが第2の水平軸に沿って案内されな
がら移動する状態でブリッジに取り付けてちり、プロー
ブ(探針)が上下方向に案内されながら移動する状態で
キャリッジに取り付けである。このように、プローブ先
端部の案内移動は、被測定物を支持するテーブルの水平
表面に対して3本の直交軸に沿って行われる。
そのようなff1ll定機ではトランスデユーサ手段が
設けてあり、各軸に沿うプローブの移動に正確に対応す
る電気信号を発生するようになっている。
設けてあり、各軸に沿うプローブの移動に正確に対応す
る電気信号を発生するようになっている。
これにより、被測定物上の複数の点の間をブo −ブが
移動すると、トランスデユーサの信号を適轟に処理して
表示することにより、被測定物上の複数の点の間の距離
を正確に測定することができる。
移動すると、トランスデユーサの信号を適轟に処理して
表示することにより、被測定物上の複数の点の間の距離
を正確に測定することができる。
上記測定機では、基礎部に形成したrYJ軸通路に沿っ
てブリッジが移動するように取り付けてあり、ブリッジ
には、テーブル表面の上方へ延びる一対の直立部材が、
両者間を延びる横部材より連結された状態で設けてあり
、該横部材がそこに形成したrXJ軸通路に沿って移動
できる状態でキャリッジを支持している。プローブはr
ZJ軸に沿って土工に移動できる状態でキャリッジに増
り付けである。
てブリッジが移動するように取り付けてあり、ブリッジ
には、テーブル表面の上方へ延びる一対の直立部材が、
両者間を延びる横部材より連結された状態で設けてあり
、該横部材がそこに形成したrXJ軸通路に沿って移動
できる状態でキャリッジを支持している。プローブはr
ZJ軸に沿って土工に移動できる状態でキャリッジに増
り付けである。
米国特許出願第694378号(出願日: 1985年
1月24日、特許番号: 4,594,791、発行日
:1986年6月17日、名称ニブリッジ型直角座標測
定機)及び米国特許比願第694955号(出願日:
1985年1月24日、特許番号:発行日:
、名称ニブリッジ型直角座標測定機)には、「リ
ング・ブリッジ」構造が記載されており、その構造では
、ブリッジがテーブルを完全に囲んで「閉鎖ループ」を
形成しておシ、それによシ、ブリッジの剛性が改善され
ている。
1月24日、特許番号: 4,594,791、発行日
:1986年6月17日、名称ニブリッジ型直角座標測
定機)及び米国特許比願第694955号(出願日:
1985年1月24日、特許番号:発行日:
、名称ニブリッジ型直角座標測定機)には、「リ
ング・ブリッジ」構造が記載されており、その構造では
、ブリッジがテーブルを完全に囲んで「閉鎖ループ」を
形成しておシ、それによシ、ブリッジの剛性が改善され
ている。
上記、剛性は、X及びY方向の各軸に沿うブリッジ及び
キャリッジの測定運動とプルーブの運動との間の繰シ返
し対応性を高精度に維持する上で、重要である。
キャリッジの測定運動とプルーブの運動との間の繰シ返
し対応性を高精度に維持する上で、重要である。
ブリッジの駆動速度を向上させるために、アルミニウム
の軽量構造が採用される。温度変動が生じた場合の熱膨
張特性の差により通路でのブリッジの運動に僅かでも変
化が生じないようにするためには、基礎部をもアルミニ
ウムで構成する必要がある。
の軽量構造が採用される。温度変動が生じた場合の熱膨
張特性の差により通路でのブリッジの運動に僅かでも変
化が生じないようにするためには、基礎部をもアルミニ
ウムで構成する必要がある。
一方、被測定物を直接支持するテーブルは極めて剛性を
高くシ、エンジンブロックのような重い被測定物の重量
によυ過度にたわむことがないようにしなければならな
い。そのためには、テーブルの構成材料としては鋼が望
ましく、その場合には、テーブルの寸法を妥当々値に維
持した上で、剛性の高い表面を得ることができる。テー
ブルに種類の異なる材料を使用する場合には、測定作業
中に温度変化が生じて基礎部上でブリッジにたわみが発
生しても、そのたわみ運動を最小にできるような配置構
造で、基礎部にテーブルを取り付けることが望ましい。
高くシ、エンジンブロックのような重い被測定物の重量
によυ過度にたわむことがないようにしなければならな
い。そのためには、テーブルの構成材料としては鋼が望
ましく、その場合には、テーブルの寸法を妥当々値に維
持した上で、剛性の高い表面を得ることができる。テー
ブルに種類の異なる材料を使用する場合には、測定作業
中に温度変化が生じて基礎部上でブリッジにたわみが発
生しても、そのたわみ運動を最小にできるような配置構
造で、基礎部にテーブルを取り付けることが望ましい。
テーブル及び被測定物のM景自体によシ、特に被測定物
が重い場合、基礎部及び通路に過度の歪が生じないよう
にしなければならない。
が重い場合、基礎部及び通路に過度の歪が生じないよう
にしなければならない。
更に、テーブル上のあらゆる点に対するプローブの接近
を可能にし、それにより、テーブルの表面全体が測定機
の有効作動範囲となるようにすることが望ましい。その
ようなプローブの接近が不可能な状態にしかブリッジが
移動しない場合、測定作業に利用できるテーブル表面は
狭くなシ、測定機の能力が低下することになる。
を可能にし、それにより、テーブルの表面全体が測定機
の有効作動範囲となるようにすることが望ましい。その
ようなプローブの接近が不可能な状態にしかブリッジが
移動しない場合、測定作業に利用できるテーブル表面は
狭くなシ、測定機の能力が低下することになる。
本発明による直交座標測定機にはテーブル及び基礎部構
造が設けであると共に、テーブルの3点サポート(支持
部)が、基礎部の3魚床サポートに概ね並んだ状態、か
つ、基礎部に形成されてY軸に沿って延びるブリッジ案
内通路から内側へ離れた状態で設けである。
造が設けであると共に、テーブルの3点サポート(支持
部)が、基礎部の3魚床サポートに概ね並んだ状態、か
つ、基礎部に形成されてY軸に沿って延びるブリッジ案
内通路から内側へ離れた状態で設けである。
上記テーブルは概ね矩形で、細長いテーブル延長部材を
有しており、該部材は、テーブルの一側部に固定される
と共に、Y軸の方向にテーブルから離れる状態で延びて
おり、該部材の下側をリングブリッジ(環状ブリッジ)
の下部横部材が通過している。テーブル用の2個の支持
点は互いに離れた状態でテーブルの他方の側部の下側に
位置しておシ、第3の支持点はテーブル延長部の先端部
の下側に位置している。テーブルの他方の側の下側に位
置する上記2個の支持点の内、第1の点はテーブル及び
基礎部を貫通して摩擦力の低い回転だけを許容するよう
になっており、他方の支持点には、テーブル側部と平行
なY軸と直角な方向だけにおける膨張を許容するビン・
スロット連結部が設けである。
有しており、該部材は、テーブルの一側部に固定される
と共に、Y軸の方向にテーブルから離れる状態で延びて
おり、該部材の下側をリングブリッジ(環状ブリッジ)
の下部横部材が通過している。テーブル用の2個の支持
点は互いに離れた状態でテーブルの他方の側部の下側に
位置しておシ、第3の支持点はテーブル延長部の先端部
の下側に位置している。テーブルの他方の側の下側に位
置する上記2個の支持点の内、第1の点はテーブル及び
基礎部を貫通して摩擦力の低い回転だけを許容するよう
になっており、他方の支持点には、テーブル側部と平行
なY軸と直角な方向だけにおける膨張を許容するビン・
スロット連結部が設けである。
第3の支持点では軸受によシテーブルが保持されておシ
、アらゆる水平方向におけるテーブル延長部の端部の膨
張による移動を、摩擦のない状態で、許容するようにな
っている。このような構造によると、テーブルと基礎部
が異なる材料、すなわち、鋼及びアルミニウムから構成
された場合の熱応力を最小にでき、それによシ、応力に
よる種々の歪が通路に生じることや、Y軸に沿うブリッ
ジの移動方向についてのテーブルの方向精度が応力によ
り低下させられることが防止される。
、アらゆる水平方向におけるテーブル延長部の端部の膨
張による移動を、摩擦のない状態で、許容するようにな
っている。このような構造によると、テーブルと基礎部
が異なる材料、すなわち、鋼及びアルミニウムから構成
された場合の熱応力を最小にでき、それによシ、応力に
よる種々の歪が通路に生じることや、Y軸に沿うブリッ
ジの移動方向についてのテーブルの方向精度が応力によ
り低下させられることが防止される。
揮々の要素には淡色のカバーやコーティングを施すこと
が好ましく、それにより、赤外線吸収量を最小にして赤
外線吸収による温度変動を減少させることができる。
が好ましく、それにより、赤外線吸収量を最小にして赤
外線吸収による温度変動を減少させることができる。
上記通路はテーブルを越えてテーブル延長部に沿って延
びてお)、それにより、ブリッジを充分に移動させるこ
とができ、テーブル延長部から離れた側のブリッジ側部
にプローブを増り付けた場合でも、プローブをテーブル
表面全体くわたって完全に接近させることができ、測定
作業用のテーブル表面の有効面積を最大限に広げること
ができる。
びてお)、それにより、ブリッジを充分に移動させるこ
とができ、テーブル延長部から離れた側のブリッジ側部
にプローブを増り付けた場合でも、プローブをテーブル
表面全体くわたって完全に接近させることができ、測定
作業用のテーブル表面の有効面積を最大限に広げること
ができる。
本発明によるテーブル及び基礎部構造では、アルミニウ
ムのブリッジ及びアルミニウムの基礎部を鋼のテーブル
と組み合わせて使用でき、その場合でも、外気温度の変
化時にテーブルや基礎部、ブリッジの不均一が熱膨張に
起因する歪により精度が大幅に低下することがないとい
う利点がある。
ムのブリッジ及びアルミニウムの基礎部を鋼のテーブル
と組み合わせて使用でき、その場合でも、外気温度の変
化時にテーブルや基礎部、ブリッジの不均一が熱膨張に
起因する歪により精度が大幅に低下することがないとい
う利点がある。
又、本発明では、ブリッジ上部横部材のテーブル側にプ
ルーブを取シ付けた場合でも、テーブル表面全体にわた
ってプローブを完全に接近させることができるという利
点がある。
ルーブを取シ付けた場合でも、テーブル表面全体にわた
ってプローブを完全に接近させることができるという利
点がある。
更に、基礎部上での上記テーブル環り付は構造では、テ
ーブル及び被測定物の総合重量による基礎部通路の歪を
最小にできるという利点もある。
ーブル及び被測定物の総合重量による基礎部通路の歪を
最小にできるという利点もある。
第1図に示す本発明実施例の直角座標測定機10では、
テーブル12の矩形の上表面冨4にエンジンブロック1
6のような被測定物を乗せるように表っており、又、マ
ウント17(取付台)を固定するためのネジ孔15がテ
ーブルに設けである。
テーブル12の矩形の上表面冨4にエンジンブロック1
6のような被測定物を乗せるように表っており、又、マ
ウント17(取付台)を固定するためのネジ孔15がテ
ーブルに設けである。
プローブ18は、テーブル表面14の上方において測定
空間を形成する3本の直交軸に沿って、表面14の上方
を案内されなから移動するように設けである。
空間を形成する3本の直交軸に沿って、表面14の上方
を案内されなから移動するように設けである。
上記移動のために、プローブ18はキャリッジ20に垂
直(Z軸方向)に移動するように取シ付けてあi1キャ
リッジ20はリングブリッジ24の上部横部材22に対
してX軸に沿って水平面内で移動するように取力付けで
ある。
直(Z軸方向)に移動するように取シ付けてあi1キャ
リッジ20はリングブリッジ24の上部横部材22に対
してX軸に沿って水平面内で移動するように取力付けで
ある。
上部横部材22ij:概ね垂直な直立側部部材26と一
体となっている。上記側部部材26はテーブル12の下
側まで延びておシ、下端部が下部横部材(第1図には図
示せず)で連結されている。
体となっている。上記側部部材26はテーブル12の下
側まで延びておシ、下端部が下部横部材(第1図には図
示せず)で連結されている。
又、ブリッジ24は、第2の水平方向に沿って案内され
ながら移動する状態で、床11(基礎)上に置かれた基
礎部28に取り付けである。上記第2の水平方向はキャ
リッジ20の移動方向と直角でアシ、その第2の方向が
Y111方向となっている。
ながら移動する状態で、床11(基礎)上に置かれた基
礎部28に取り付けである。上記第2の水平方向はキャ
リッジ20の移動方向と直角でアシ、その第2の方向が
Y111方向となっている。
このようにプローブ18とキャリッジ20とブリッジ2
4との動きを組み合わせることによプ、プローブ先端部
30をテーブル表面14の上側の測定空間内のいずれの
点へも移動させることができる。
4との動きを組み合わせることによプ、プローブ先端部
30をテーブル表面14の上側の測定空間内のいずれの
点へも移動させることができる。
垂直軸(2軸)に沿うプローブ18の運動や、水平なX
軸及びY軸に沿うキャリッジ20及びブリッジ24の運
動に対応する電気信号を発生させるために、周知の適当
なトランスデユーサ−手段が使用されている。そのよう
な手段は、例えば、米国特許第2886717号(発行
日: 1959年5月12日、名称:測定装置)や米国
特許第2886718号(発行日: 1959年5月1
2日、名称:測定装置)K記載されたモアレ縞回折格子
装置である。
軸及びY軸に沿うキャリッジ20及びブリッジ24の運
動に対応する電気信号を発生させるために、周知の適当
なトランスデユーサ−手段が使用されている。そのよう
な手段は、例えば、米国特許第2886717号(発行
日: 1959年5月12日、名称:測定装置)や米国
特許第2886718号(発行日: 1959年5月1
2日、名称:測定装置)K記載されたモアレ縞回折格子
装置である。
そのようにして発生した信号は適当に処理されて電子処
理表示装置(32)で表示される。
理表示装置(32)で表示される。
上記信号の発生及び処理・表示を行うための構成要素は
一般に周知であるので、それらについての詳細な説明は
省略する。
一般に周知であるので、それらについての詳細な説明は
省略する。
本発明の実施例によると、基礎部28はカバー34で包
まれてお勺、キャリッジ20もカバー36で包まれてお
シ、又、キャリッジ20の上部横部材22もカバー38
で包まれている。更に、別のカバーがテーブル12の裏
側において基礎部28の頂部領域にかぶせである。
まれてお勺、キャリッジ20もカバー36で包まれてお
シ、又、キャリッジ20の上部横部材22もカバー38
で包まれている。更に、別のカバーがテーブル12の裏
側において基礎部28の頂部領域にかぶせである。
工業等級(インダストリアル・グレード)の塗料のよう
な淡色コーティングが直立ブリッジ側部部材26の露出
表面に施しである。このようにして直角座標測定機10
の外面に淡色カバー又は同様のコーティングを施すこと
により、赤外線の吸収量を最小にし、その下側の構造部
の、種々の放財源からの赤外線を吸収することによる、
温度変動の幅が最小となっている。これにより熱的に誘
発される歪、すなわち、基礎部2B上のブリッジ24の
運動により得られる読み取り値に非反復性エラーを生じ
させるような歪が減少する。
な淡色コーティングが直立ブリッジ側部部材26の露出
表面に施しである。このようにして直角座標測定機10
の外面に淡色カバー又は同様のコーティングを施すこと
により、赤外線の吸収量を最小にし、その下側の構造部
の、種々の放財源からの赤外線を吸収することによる、
温度変動の幅が最小となっている。これにより熱的に誘
発される歪、すなわち、基礎部2B上のブリッジ24の
運動により得られる読み取り値に非反復性エラーを生じ
させるような歪が減少する。
カバーの取付構造の詳細は、未決特許出H第号(出願日
: 代理人 書類番号: 380−85−0030)に記載されてい
る。
: 代理人 書類番号: 380−85−0030)に記載されてい
る。
第2図には、基礎部28に対するブリッジ24及びテー
ブル12の取付構造が、カバー32を除去した状態で示
しである。
ブル12の取付構造が、カバー32を除去した状態で示
しである。
基礎部2Bはアルミニウムのキャスティング品で、1対
の一体形通路が間隔を隔ててY軸と平行に形成してあ)
、その通路表面44.46.48は、溶射ニッケル・ク
ロム合金粉体のような耐ひつかき性のある適当な硬質コ
ーティングで覆われているとともに、研磨されて平滑な
(15rma)高精度表面となっている。通路表面44
,46.48にこのような表面処理を施すことは、ブリ
ッジ24の支持案内を行う空気軸受の作動の乱れにより
ブリッジの運動に僅かな狂いが生じることを防止する上
で重要である。
の一体形通路が間隔を隔ててY軸と平行に形成してあ)
、その通路表面44.46.48は、溶射ニッケル・ク
ロム合金粉体のような耐ひつかき性のある適当な硬質コ
ーティングで覆われているとともに、研磨されて平滑な
(15rma)高精度表面となっている。通路表面44
,46.48にこのような表面処理を施すことは、ブリ
ッジ24の支持案内を行う空気軸受の作動の乱れにより
ブリッジの運動に僅かな狂いが生じることを防止する上
で重要である。
各通路表面44,46.48に作用するブリッジ案内子
役として、それぞれ、1対の前後に間隔を隔てたを気軸
受組立体5G、52.54がブリッジ24に取り付けて
あり、それによ)、ブリッジ24を基礎部28上で制御
しながら案内して移動させることができ、又、その場合
の移動は、空気の薄い膜により浮いた状態となって概ね
摩擦のない運動となる。更に空気軸受の空気圧などは、
Y軸に沿って非常に高精度に制御された反復性のあるブ
リッジ運動を行えるようKあらかじめ設定しである。
役として、それぞれ、1対の前後に間隔を隔てたを気軸
受組立体5G、52.54がブリッジ24に取り付けて
あり、それによ)、ブリッジ24を基礎部28上で制御
しながら案内して移動させることができ、又、その場合
の移動は、空気の薄い膜により浮いた状態となって概ね
摩擦のない運動となる。更に空気軸受の空気圧などは、
Y軸に沿って非常に高精度に制御された反復性のあるブ
リッジ運動を行えるようKあらかじめ設定しである。
そのような空気軸受組立体と適当な空気供給手段は市販
されているので、それらKついての詳細な説明は省略す
る。
されているので、それらKついての詳細な説明は省略す
る。
ブリッジ24もアルミニウムで構成された例えばキャス
ティング製品で、下部横部材56を側部部材26に!接
した状態で備えている。ブリッジ24の上部横部材22
.22は複数のアルミニウム成形パネルを互いに溶接し
て構成することができる。
ティング製品で、下部横部材56を側部部材26に!接
した状態で備えている。ブリッジ24の上部横部材22
.22は複数のアルミニウム成形パネルを互いに溶接し
て構成することができる。
ブリッジ下部横部材56はテーブル12の下側を通過し
てお夛、それによル、ブリッジ24は「閉鎖ループ型」
(リング構造)となって、前記米国特許に記載されたよ
うに、剛性が最大限に高められている。
てお夛、それによル、ブリッジ24は「閉鎖ループ型」
(リング構造)となって、前記米国特許に記載されたよ
うに、剛性が最大限に高められている。
テーブル14は鋼の溶接品で、テーブル支持手段58に
よシ基礎部上に取り付けである。上記テーブル支持手段
58には1対の間隔を隔てたアルミニウム製のテーブル
前部支持ブロック588,58bが設けてあシ、それら
のブロック58a、58bが、押えねじ60によシ基礎
部28の上部表面(テーブル14の前側に沿って位置す
る部分)に取り付信である。
よシ基礎部上に取り付けである。上記テーブル支持手段
58には1対の間隔を隔てたアルミニウム製のテーブル
前部支持ブロック588,58bが設けてあシ、それら
のブロック58a、58bが、押えねじ60によシ基礎
部28の上部表面(テーブル14の前側に沿って位置す
る部分)に取り付信である。
又、基礎部28の前側は弾性を有する防振パッド62で
支持されている。パッド62は、テーブル前部支持ブロ
ック58a、58bで構成した基礎部上のテーブル12
の各支持点のほぼ垂直方向下側に並んで位置している。
支持されている。パッド62は、テーブル前部支持ブロ
ック58a、58bで構成した基礎部上のテーブル12
の各支持点のほぼ垂直方向下側に並んで位置している。
従って、テーブル12やその上に乗せた物体の重量は、
主に床へ逃げ、その外側に位置する通路42をたわます
ように作用する傾向は少ない。基礎部2Bの開口66を
通して操作できる位置には、適当な高さ調節ネジ64が
設けである。
主に床へ逃げ、その外側に位置する通路42をたわます
ように作用する傾向は少ない。基礎部2Bの開口66を
通して操作できる位置には、適当な高さ調節ネジ64が
設けである。
テーブル12の前部下側は低摩擦軸受板68に着座して
いる。板68は、各サポート58上に介装した薄い層状
の通路材料で形成しである。第2図で右側の前部支持ブ
ロック58mは水平面内での位置決めを完全に行うが、
回転自在のピン連結状態を構成できるようになっている
。
いる。板68は、各サポート58上に介装した薄い層状
の通路材料で形成しである。第2図で右側の前部支持ブ
ロック58mは水平面内での位置決めを完全に行うが、
回転自在のピン連結状態を構成できるようになっている
。
上記構造は、ブツシュ70を対応する位置に設けた孔7
2.74にはめ込んで構成しである。孔72.74は、
機械加工によシ、テーブル14の底部パネル13と支持
ブロック58mの上側にそれぞれ形成しである。適当な
保持ポルトT6とナツト78を据え付は時の搬送及び除
去のために設け、連結部での回転摩擦を最小にすること
もできる。
2.74にはめ込んで構成しである。孔72.74は、
機械加工によシ、テーブル14の底部パネル13と支持
ブロック58mの上側にそれぞれ形成しである。適当な
保持ポルトT6とナツト78を据え付は時の搬送及び除
去のために設け、連結部での回転摩擦を最小にすること
もできる。
第3図に示す如く、左側の前部支持ブロック58b K
はテーブル12に対するピン・スロット型の連結部が設
けである。該連結部は、支持プロツり58bで支持した
ピン80をテーブル12の底部パネル13に形成したス
ロット82に収容して構成しである。
はテーブル12に対するピン・スロット型の連結部が設
けである。該連結部は、支持プロツり58bで支持した
ピン80をテーブル12の底部パネル13に形成したス
ロット82に収容して構成しである。
スロット82はX軸方向に設けであるので、その方向で
の熱膨張が許容される。
の熱膨張が許容される。
第4図及び第5図には基礎24上のテーブル12用の3
点サポートが示しである。該サポートの第3の支持点は
細長いテーブル延長部材84の後端の下側に位置してい
る。テーブル延長部材84は、前部支持ブロック513
a、58b と反対の側においてテーブル12に固定
した鋼溶液晶で形成されておシ、ブリッジ24のY軸運
動と平行な方向でテーブル12から離れる方向に延びて
いる。
点サポートが示しである。該サポートの第3の支持点は
細長いテーブル延長部材84の後端の下側に位置してい
る。テーブル延長部材84は、前部支持ブロック513
a、58b と反対の側においてテーブル12に固定
した鋼溶液晶で形成されておシ、ブリッジ24のY軸運
動と平行な方向でテーブル12から離れる方向に延びて
いる。
テーブル延長部材84の先端部は後部スタンド組立体8
6に着座している。組立体86は基礎部28の上面に対
して押えネジ88により固定しである。後部スタンド組
立体86は概ね逆U型で、中央溝90を跨ぐ形で設けで
ある。溝90は基礎部28に形成してあシ、駆動ベルト
92を収容している。駆動ベルト92は通路42に沿っ
てブリッジ24を移動させ、駆動モーター(図示せず)
による動力式測定動作を行うようになっている。
6に着座している。組立体86は基礎部28の上面に対
して押えネジ88により固定しである。後部スタンド組
立体86は概ね逆U型で、中央溝90を跨ぐ形で設けで
ある。溝90は基礎部28に形成してあシ、駆動ベルト
92を収容している。駆動ベルト92は通路42に沿っ
てブリッジ24を移動させ、駆動モーター(図示せず)
による動力式測定動作を行うようになっている。
第6図に示す如く、後部スタンド組立体86とテーブル
延長部材84の下側との間には軸受手段94が介装され
てお)、テーブルの重量の一部を受けると共に、テーブ
ル12の平面におけるあらゆる方向での運動を、ある限
られた範囲で、自由に許容するようになっている。この
支持構造によシ、テーブル12と延長部材84のあらゆ
る方向での熱膨張が許容され、それにより、通路42に
対するテーブル12の姿勢を正確に維持した状態で、基
礎部28に応力が加わることを防止できるようになって
いる。
延長部材84の下側との間には軸受手段94が介装され
てお)、テーブルの重量の一部を受けると共に、テーブ
ル12の平面におけるあらゆる方向での運動を、ある限
られた範囲で、自由に許容するようになっている。この
支持構造によシ、テーブル12と延長部材84のあらゆ
る方向での熱膨張が許容され、それにより、通路42に
対するテーブル12の姿勢を正確に維持した状態で、基
礎部28に応力が加わることを防止できるようになって
いる。
スラスト軸受手段94では、ボール軸受組立体94が、
後部スタンド86と一体のポス9日に形成した孔96内
に収容されている。ボール軸受組立体94には一連のボ
ール100がリテーナリング102の開口に配置した状
態で設けてあり、上部スラスト板104が、テーブル延
長部材84の下側の厚肉部分106の下面とボール10
0の上面とに係合している。下部スラスト板108は孔
96の端壁に着座しており、そこにボール100が着座
している。
後部スタンド86と一体のポス9日に形成した孔96内
に収容されている。ボール軸受組立体94には一連のボ
ール100がリテーナリング102の開口に配置した状
態で設けてあり、上部スラスト板104が、テーブル延
長部材84の下側の厚肉部分106の下面とボール10
0の上面とに係合している。下部スラスト板108は孔
96の端壁に着座しており、そこにボール100が着座
している。
このようにして、テーブル延長部材84と基礎部28と
の間には、テーブル表面14の平面上のいずれの方向に
おいても、摩擦のない状態での相対的な移動がある限ら
れた範囲内で許容されている。このことは、以下の理由
から重要である。すなわち、前部及び後部のテーブルサ
ポート間の距離が比較的長いので、熱膨張による大幅な
動きが発生して、たとえ低いものであっても、その点に
摩擦が生じると、機械構造体に望ましくない歪応力が生
じるためである。
の間には、テーブル表面14の平面上のいずれの方向に
おいても、摩擦のない状態での相対的な移動がある限ら
れた範囲内で許容されている。このことは、以下の理由
から重要である。すなわち、前部及び後部のテーブルサ
ポート間の距離が比較的長いので、熱膨張による大幅な
動きが発生して、たとえ低いものであっても、その点に
摩擦が生じると、機械構造体に望ましくない歪応力が生
じるためである。
ボール軸受組立体94を初期組立中に保持するために、
柔軟なセンタリングプラグ110を、スラスト板104
、108及び保持リング102に形成した中央開口に
装着することもできる。
柔軟なセンタリングプラグ110を、スラスト板104
、108及び保持リング102に形成した中央開口に
装着することもできる。
基礎部28の3点サポートの第3の点には後部パッド1
12が設けである。パッド112はボール軸受組立体9
4及びテーブル延長部材84の後端部の下方に中心位置
がそろえである。測定機10のレベル調節のために、高
さ調整ロッド113が基礎部28の開口114を通して
操作できる位置に設けである。
12が設けである。パッド112はボール軸受組立体9
4及びテーブル延長部材84の後端部の下方に中心位置
がそろえである。測定機10のレベル調節のために、高
さ調整ロッド113が基礎部28の開口114を通して
操作できる位置に設けである。
上記構造では、テーブル12とテーブル延長部材84の
重量が基礎部28及びパッド62 、112を介して床
に伝わるので、テーブル12の重量による基礎部28の
歪や測定物体の歪は最小きなる。
重量が基礎部28及びパッド62 、112を介して床
に伝わるので、テーブル12の重量による基礎部28の
歪や測定物体の歪は最小きなる。
第7図及び第8図に示す状態では、プローブ18が機械
10の前部側においてブリッジ24に取り付けであるが
、通路42が長く、又、テーブル延長部材84が存在し
ているので、テーブル表面14の全体にわたってプロー
ブ18が完全に接近できる状態にまで、ブリッジ24は
後方へ移動できるようになっている。このために、ブリ
ッジ24を測定機10の後方へ充分に移動させた状態で
、テーブル12に対する部品の取り付けや取り外しのだ
めに、テーブル表面14へ完全に接近することができる
。
10の前部側においてブリッジ24に取り付けであるが
、通路42が長く、又、テーブル延長部材84が存在し
ているので、テーブル表面14の全体にわたってプロー
ブ18が完全に接近できる状態にまで、ブリッジ24は
後方へ移動できるようになっている。このために、ブリ
ッジ24を測定機10の後方へ充分に移動させた状態で
、テーブル12に対する部品の取り付けや取り外しのだ
めに、テーブル表面14へ完全に接近することができる
。
第1図は本発明によるテーブル及び基礎部構造を採用し
た直角座標測定機を閉鎖カバーが所定位置にある状態で
示す斜視図、第2図は第1図に示す直角座標測定機に組
み込まれたテーブル及び基礎部の前部正面図、第3図は
第2図に示す測定機の一部分を第2図の3−3矢印方向
で示す略図、第4図は第2図に示すテーブル及び基礎部
の側部正面図、第5図は第2図及び第4図に示すテーブ
ル及び基礎部の後部斜視図、第6図は第4図の6〜6断
面拡大図、第7図は第1図に示す直角座標測定機の平面
図、第8図はテーブルに対するブリッジの移動範囲を説
明するための第1図の直角座標測定機の側部正面略図で
ある。 10・・・・直角座標測定機、12・・・・テーブル、
14・・・・テーブル、18・・・・プローブ、20・
・・・キャリッジ、22・・・・上部横部材、24・・
・・ブリッジ、26・・・・側部部材、28・・・・基
礎部、42・・・・案内手段、56・・・・下部横部材
、58龜・・・・第1のサポート、58b・・・・第2
のサポート、84・・・・テーブル延長部材、86・・
・・延長部材サポート。 特許出願人 ザ・ワーナー・アンド・スウエーシイ・
カンパニイ
た直角座標測定機を閉鎖カバーが所定位置にある状態で
示す斜視図、第2図は第1図に示す直角座標測定機に組
み込まれたテーブル及び基礎部の前部正面図、第3図は
第2図に示す測定機の一部分を第2図の3−3矢印方向
で示す略図、第4図は第2図に示すテーブル及び基礎部
の側部正面図、第5図は第2図及び第4図に示すテーブ
ル及び基礎部の後部斜視図、第6図は第4図の6〜6断
面拡大図、第7図は第1図に示す直角座標測定機の平面
図、第8図はテーブルに対するブリッジの移動範囲を説
明するための第1図の直角座標測定機の側部正面略図で
ある。 10・・・・直角座標測定機、12・・・・テーブル、
14・・・・テーブル、18・・・・プローブ、20・
・・・キャリッジ、22・・・・上部横部材、24・・
・・ブリッジ、26・・・・側部部材、28・・・・基
礎部、42・・・・案内手段、56・・・・下部横部材
、58龜・・・・第1のサポート、58b・・・・第2
のサポート、84・・・・テーブル延長部材、86・・
・・延長部材サポート。 特許出願人 ザ・ワーナー・アンド・スウエーシイ・
カンパニイ
Claims (10)
- (1)テーブル・基礎部構造を備えた直角座標測定機(
10)であつて、基礎部(28)と;平面状の上表面(
14)を有する概ね矩形のテーブル(12)と、上記テ
ーブルを上記基礎部に支持するための手段(58a、5
8b)と、上記テーブルの両側をその上方へ延びる直立
側部部材(26)を有するブリッジ(24)と;上記直
立側部部材(26)の上端部同士を連結する上部横部材
(22)、及び、上記直立部材(26)の下端部同士を
連結して上記テーブル(12)の下側を延びる下部横部
材(56)と;上記ブリッジを取り付けて第1の水平軸
に沿つて案内移動させるための案内手段(42)と;上
記ブリッジ(24)上に支持されて上記第1軸と直交す
る第2の水平軸に沿つて移動できるキャリッジ(20)
と;上記キャリッジ(20)上で上下に移動できるよう
に支持されたプルーブ(18)とを備えた直角座標測定
機において: 細長いテーブル延長部材(84)を上記テーブル(12
)の一側部に固定して上記第1軸と平行な方向に上記テ
ーブルから延長させると共に、延長部材サポート(86
)を上記基礎部に固定して上記テーブル延長部材(84
)の外側端部の下側に位置させ、上記延長部材サポート
に、上記基礎部(28)上に上記テーブル(12)を支
持するための付加的手段を設けたことを特徴とする直角
座標測定機。 - (2)上記基礎部(28)上に上記テーブルを支持する
ための上記手段の一部を第1及び第2のサポート(58
a、58b)で形成し、各サポート(58a、58b)
を上記テーブルの上記一側部から離れた側の上記テーブ
ル(12)の側部に沿つて間隔を隔てた位置において上
記基礎部に固定すると共に、上記サポート(58a、5
8b)と上記延長部材付加的支持手段(86)とにより
上記基礎部(28)上の上記テーブル(12)の3点サ
ポートを形成したことを特徴とする特許請求の範囲第1
項に記載の直角座標測定機。 - (3)上記テーブル(12)及びサポート(58a)を
貫通する貫通手段(70、72、74)により上記第1
サポートを上記テーブル(12)に連結し、それにより
、上記テーブル平面状表面と平行な平面における上記第
1サポートと上記テーブルとの相対的な横方向移動を防
止すると共に両者間の自由な回転を許容し、上記第2サ
ポート手段に、上記間隔を隔てた複数のサポートを結ぶ
直線と平行な方向においてのみ上記テーブル(12)と
上記第2サポート(58b)との相対的な移動を許容す
る手段(80、82)を設け、上記テーブル(12)を
部分的に上記テーブル延長サポート手段(94)に着座
させてあらゆる水平方向での自由な運動を許容させたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の直角座標
測定機。 - (4)3個の基礎部サポート(62、112)を、上記
基礎部(28)上での上記テーブル(12)用の上記第
1及び第2サポート及びテーブル延長部サポートの下側
に並んだ状態で設けたことを特徴とする特許請求の範囲
第2項に記載の直角座標測定機。 - (5)上記ブリッジ案内手段に平行通路表面(44、4
6、48)を、上記基礎部サポート(62、112)か
ら外側へ間隔を隔てた位置において上記基礎部(28)
に形成した状態で設けたことを特徴とする特許請求の範
囲第4項に記載の直角座標測定機。 - (6)上記テーブル延長部材(84)に沿つて上記テー
ブル(12)を通り越す状態にまで上記ブリッジ(24
)の移動を許容するように上記ブリッジ案内手段(42
)を延長したことを特徴とする特許請求の範囲第1項に
記載の直角座標測定機。 - (7)上記テーブル(12)を鋼で形成し、上記基礎部
(28)及び上記ブリッジ(24)をアルミニウムで構
成したことを特徴とする特許請求の範囲第3項に記載の
直角座標測定機。 - (8)上記テーブル延長部材(84)から離れた側の上
記ブリッジ上部横部材(22)の側部上の上記キャリッ
ジ(20)に上記プローブ(18)を取り付け、上記ブ
リッジ案内手段(42)により上記ブリッジ(24)の
上記テーブル(12)を越える充分な移動を可能にして
上記平面状テーブル表面(14)に対する上記プローブ
(18)の完全な接近を可能にしたことを特徴とする特
許請求の範囲第5項に記載の直角座標測定機。 - (9)上記測定機(10)の外面全体にわたつて淡色の
カバー(35、38、34、40)及びコーティングを
設けたことを特徴とする特許請求の範囲第7項に記載の
直角座標測定機。 - (10)上記ブリッジ案内手段に、硬質コーティングを
施した複数の通路表面(44、46、48)を、上記基
礎部(28)と一体に形成された状態で、間隔を隔てて
互いに平行に設けると共に、上記通路表面(44、46
、48)に沿つて移動させるために上記ブリッジ(24
)を支持案内する空気軸受手段(50、52、54)を
設けたことを特徴とする特許請求の範囲第7項に記載の
直角座標測定機。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/882,572 US4682418A (en) | 1986-07-07 | 1986-07-07 | Coordinate measuring machine |
US882572 | 1997-06-25 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6327710A true JPS6327710A (ja) | 1988-02-05 |
JPH0478927B2 JPH0478927B2 (ja) | 1992-12-14 |
Family
ID=25380877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62167990A Granted JPS6327710A (ja) | 1986-07-07 | 1987-07-07 | 直角座標測定機 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4682418A (ja) |
EP (1) | EP0255574B1 (ja) |
JP (1) | JPS6327710A (ja) |
CA (1) | CA1280888C (ja) |
DE (1) | DE3770717D1 (ja) |
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JP2019152530A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 株式会社東京精密 | 形状測定装置 |
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