JPS6325732Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、マスク欠陥検査装置や電子ビーム露
光装置などにおいて、マスクやウエハを前記装置
と他の関連装置間で移動しまたはそれらにセツト
するためのホルダの搬送装置に関するものであ
る。

〔従来技術〕 前記マスク等は、各装置間および各ステーシヨ
ン間を自動搬送する場合、マスク等の保護や各サ
イズに対する搬送装置の共用をはかるために、ホ
ルダに充填して搬送することが多い。従来、前記
のようなホルダをマガジン位置からステージ位置
に搬送したり、逆にステージ位置からマガジン位
置へ搬送する装置として、第１図および第２図に
示すものがあつた。第１図はホルダ１を同図にお
いて右方のマガジン位置（図示せず）から図示の
ステージ位置へ搬送してきた状態を示し、第２図
は逆にホルダ１を図示のステージ位置からマガジ
ン位置へ搬送する状態を示している。ホルダ１
は、マスクまたはウエハ（以下マスクとして説明
する）２を装填し、図において右端中央に押し引
き用のピン３を有しており、このピン３に押し引
き用部材４を第１図に示すように押付け、または
第２図に示すように引掛けて搬送する。なお、こ
れらの図において、５はホルダ１の搬送方向すな
わち両図において左右方向へ駆動されるアームで
あり、前記押し引き用部材４はピン６を中心にし
てソレノイド７とバネ８により第２図に仮想線で
示すように揺動可能に前記アーム５に取付けられ
ている。この装置は、第１図および第２図から明
らかなように、押し引き用部材４をピン３に押付
けてホルダ１をステージ位置へ搬送する際（第１
図）と、押し引き用部材４をピン３に引掛けてホ
ルダ１をステージ位置からマガジン位置へ搬送す
る際（第２図）とで、ホルダ１とアーム５の搬送
方向における相対位置が距離ｌだけずれるため、
アーム５の後退限位置はともかく、前進限位置が
２箇所必要となり、アーム５の位置決め機構が複
雑になり、また第２図に示すように押し引き用部
材４をピン３に引掛ける場合、アーム５の位置決
めが正確でないと、押し引き用部材４がホルダ１
やピン３に当つてミスキヤツチしたり、ホルダ１
などを傷付け、これによりマスク欠陥検査装置な
どにおいて最もきらうごみを発生するなどの欠点
があつた。

〔考案の目的〕

本考案の目的は、前述したように欠点を解決す
るため、ホルダをいずれの方向へ搬送する場合に
も駆動用のアームの少くとも前進限位置を１箇所
にできると共に、押し引き用部材の係合を的確に
行ない得るようにしたホルダ搬送装置を提供する
にある。

〔考案の構成〕

かかる目的を達成するための本考案は、マスク
等を装填するホルダの搬送装置において、ホルダ
の搬送方向に駆動されるアームと、同アームに取
付けられ前記ホルダに押付け可能になされている
押し専用部材と、前記アームに取付けられ前記ホ
ルダの引掛け部に係脱可能になされている引き専
用部材とを具備させることにより、アームとホル
ダの相位置を変えずに押しおよび引き専用のそれ
ぞれの部材をホルダに対して搬送可能に係合させ
ると共に、該係合を的確に行ない得るようにした
ものである。

〔実施例〕

以下本考案の一実施例を示す第３図ないし第４
図について説明する。両図において、１はホル
ダ，３はピンで、これらは第１図および第２図に
示したものと同じである。１０は搬送駆動用のア
ームで、その先端に板バネ１１，１１を介して押
し専用部材１３を有する可動部材１２が取付けら
れている。この可動部材１２にはピン１４を介し
て引き専用部材１５が揺動可能に取付けられ、ソ
レノイド１６とバネ１７により第３図に示す位置
と第４図に示す位置とに揺動されるようになつて
いる。前記引き専用部材１５の引掛け部１５ａ
は、第４図に示すように、押し専用部材１３がピ
ン３の同図において右側に接触しているとき、該
ピン３の左側にすき間ｓを生ずるように設定され
ている。

次いで本装置の作用について説明する。ホルダ
１を例えばマガジン位置からステージ位置へ搬送
する場合は、第３図に示すように、引き専用部材
１５を上方へ逃がしておき、アーム１０を第３図
において右方から左方へ移動させ、押し専用部材
１３をピン３に押付けてホルダ１を搬送する。

また、逆にホルダ１を第３，４図において右方
へ搬送する場合には、第３図に示すように、引き
専用部材１５を逃がし位置に置いて、アーム１０
をホルダ１に近付け、押し専用部材１３がピン３
に接触する位置まで前進させる。このときのアー
ム１０の前進限位置は、ホルダ１を前記のように
押し専用部材１３で押して搬送する場合の前進限
位置と全く同じである。そこで、アーム１０の動
作シーケンスは簡単になり、また前進限位置を単
純な固定ストツパなどにより正確に設定すること
が可能になる。なお、本装置は、アーム１０の前
進限位置がわずかにずれても押し専用部材１３が
ピン３に強く当らず、かつより確実に接触するよ
うに、押し専用部材１３とアーム１０との間に板
バネ１１，１１による弾性を付与している。前記
のように押し専用部材１３がピン３に接触したと
ころで、ソレノイド１６を作動させ、引き専用部
材１５を第４図に示すように下方へ揺動させ、引
掛け部１５ａがピン３に係合し得るようにする。
このとき、引掛け部１５ａとピン３とのすき間ｓ
が存在するため、引き専用部材１５はホルダ１や
ピン３を傷付けることなく、的確に第４図に示す
係合位置に至る。次いで、アーム１０を第４図に
おいて右方へ移動させれば、引き専用部材１５の
引掛け部１５ａがピン３の左側に接触してホルダ
１を右方へ搬送する。

ホルダ１が例えばマガジン位置に達したなら
ば、ソレノイド１６を作動させ、引き専用部材１
５を第３図に示す位置に逃がして１回の搬送を終
了する。このとき、引掛け部１５ａがピン３に干
渉しないで外れるようにするため、引き専用部材
１５の揺動中心であるピン１４は第３図および第
４図において同図に示すようにピン３より上方に
位置させるか、または引掛け部１５ａを勾配にし
ておくことが好ましい。

前述した実施例は、押し専用部材１３をホルダ
１に取付けたピン３に押付けるようにした例を示
したが、ホルダ１の側面に直接押付けるようにし
てもよく、また引き専用部材１５の引掛け部１５
ａはピン３によらず穴や溝に引掛けるようにして
もよい等、種々変更し得ることは言うまでもな
い。

〔考案の効果〕

以上述べたように本考案によれば、搬送駆動用
のアームの前進限位置を１箇所にできるため、該
アームの動作シーケンスを簡単にできると共に、
位置決めが容易に正確になり、またホルダに対す
る押し専用部材の係合はもちろん引き専用部材の
係合も擦過を避けて的確に行なうことができるな
どの効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は従来の装置を示すもの
で、第１図は押して搬送する状態を、第２図は引
いて搬送する状態を示す要部平面図、第３図およ
び第４図は本考案の一実施例を示すもので、第３
図は押して搬送する状態を、第４図は引いて搬送
すべく引き専用部材を搬送位置に位置させた状態
を示す要部拡大平面図である。 １……ホルダ、２……マスク、３……ピン、４
……押し引き用部材、５，１０……アーム、６，
１４……ピン、７，１６……ソレノイド、８，１
７……バネ、１１，１１……板バネ、１２……可
動部材、１３……押し専用部材、１５……引き専
用部材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ マスク等を装填するホルダの搬送装置におい
   て、ホルダの搬送方向に駆動されるアームと、
   同アームに取付けられ前記ホルダに押付け可能
   になされている押し専用部材と、前記アームに
   取付けられ前記ホルダの引掛け部に係脱可能に
   なされている引き専用部材とを具備し、前記引
   き専用部材は前記アームが前記ホルダに対し前
   記押し専用部材を前記ホルダに当接させる位置
   にあるとき前記引掛け部に係脱可能となるよう
   に配置されていることを特徴とするホルダ搬送
   装置。 ２ 押し専用部材と引き専用部材が、前記アーム
   に対してホルダの搬送方向へ弾性を有するよう
   に取付けられていることを特徴とする実用新案
   登録請求の範囲第１項記載のホルダ搬送装置。