JPS63250568A - プロ−バ−装置 - Google Patents
プロ−バ−装置Info
- Publication number
- JPS63250568A JPS63250568A JP62084583A JP8458387A JPS63250568A JP S63250568 A JPS63250568 A JP S63250568A JP 62084583 A JP62084583 A JP 62084583A JP 8458387 A JP8458387 A JP 8458387A JP S63250568 A JPS63250568 A JP S63250568A
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- Japan
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- probe
- pin
- pins
- substrate
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 76
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は、電極パターン検査用のグローバー装置に関
し、特にプローブカードの改良に関するものである。
し、特にプローブカードの改良に関するものである。
(従来の技術)
従来、電極ノ母ターン検査用のグローパー装置における
プローブカードとしては、プローブピンの接触圧力を決
めるためのエツジセンサと、実際に電極に接触するプロ
ーブピン群を有して構成されるのが一般的である。これ
は、例えばストライプ電極の7ヨート検査においても同
様であり、電極ピッチと等ピッチで配設されたプローブ
ピン群と、その両側に設けたエツジセンサとによりプロ
ーブカードが構成されている。
プローブカードとしては、プローブピンの接触圧力を決
めるためのエツジセンサと、実際に電極に接触するプロ
ーブピン群を有して構成されるのが一般的である。これ
は、例えばストライプ電極の7ヨート検査においても同
様であり、電極ピッチと等ピッチで配設されたプローブ
ピン群と、その両側に設けたエツジセンサとによりプロ
ーブカードが構成されている。
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、上記のような従来のプローブカードでは
、例えば透明基板上に形成された透明電極ノ母ターンを
検査する場合、エツジセンサで接触圧力を決めることは
可能であるが、プローバー装置に装着されている実体顕
微鏡では前記透明基板上の透明電極・9ターンは見にく
いから、プローブピンが所定の透明電極上に良好に接触
しているかどうかの判断がつきに〈<、検査に時間がか
かるという問題があった。
、例えば透明基板上に形成された透明電極ノ母ターンを
検査する場合、エツジセンサで接触圧力を決めることは
可能であるが、プローバー装置に装着されている実体顕
微鏡では前記透明基板上の透明電極・9ターンは見にく
いから、プローブピンが所定の透明電極上に良好に接触
しているかどうかの判断がつきに〈<、検査に時間がか
かるという問題があった。
この発明は、以上のような従来の問題点を解決し、透明
電極・ぞターンにプローブピンを容易に良好に接触させ
ることのできる優れたプローブカードを有するプローバ
ー装置を提供することを目的とする。
電極・ぞターンにプローブピンを容易に良好に接触させ
ることのできる優れたプローブカードを有するプローバ
ー装置を提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段)
この発明は、プローバー装置のプローブカードにおいて
、プローブピン群と二ツソセンサの他に、前記プローブ
ピンが接触する被検査電極パターンを通してプローブピ
ンと短絡される位置センサピンを所定のプローブピンに
対して設けたものである。
、プローブピン群と二ツソセンサの他に、前記プローブ
ピンが接触する被検査電極パターンを通してプローブピ
ンと短絡される位置センサピンを所定のプローブピンに
対して設けたものである。
(作 用)
上記のようなプローブカードにおいては、いまプローブ
ピン群が被検査電極・セターンに接触していれば、所定
のプローブピンに関しては、該プローブピンと位置セン
サピンが被検査電極パターンを通して短絡される。した
がって、所定のプローブピンと位置センサピンが短絡状
頼におるか否か検出することにより、プローブピン群が
被検査電極・セターンに良好に接触しているか否か判断
できる。
ピン群が被検査電極・セターンに接触していれば、所定
のプローブピンに関しては、該プローブピンと位置セン
サピンが被検査電極パターンを通して短絡される。した
がって、所定のプローブピンと位置センサピンが短絡状
頼におるか否か検出することにより、プローブピン群が
被検査電極・セターンに良好に接触しているか否か判断
できる。
(実施例)
以下この発明の一実施例を図面を参照して説明する。第
1図はこの発明の一実施例の斜視図である。この図にお
いて、1はプローブカード、11はこのプローブカード
1で電極検査が行゛われる基板で、ストライプ電極12
が形成されている。
1図はこの発明の一実施例の斜視図である。この図にお
いて、1はプローブカード、11はこのプローブカード
1で電極検査が行゛われる基板で、ストライプ電極12
が形成されている。
前記プローブカード1は基板2を有し、この基板2には
大きな穴3が形成されている。そして、この穴3門下方
に先端が導出されるようにして前記ストライプ電極12
と等ピッチのプローブピン群4が前記基板2に保持され
ている。また、このプローブピン群40両側で同様にし
て二ツソセンサ5が設けられておシ、この二ツソセンサ
5は、前記プローブピン群4と共に検査用の基板11に
押し付けられた際、2本のセンサピンのうち一方側が曲
げられて所定の圧力で他方側から離れることによシ、プ
ローブピン群4のストライプ電極12に対する接触圧力
を検出する。また、このエツソセンサ5およびプローブ
ピン群4の他、位置センサピン6が2本前記基板2に保
持されており、この位置センサピン6は各々先端が、前
記プローブピン群4のうち両端のプローブピン4aの先
端前方に位置するようにして設けられている。そして、
これらプローブピン群4.二ツソセンサ5および位置セ
ンサピン6は基板2上の配線7を経て基板2端部の端子
8に接続されている。
大きな穴3が形成されている。そして、この穴3門下方
に先端が導出されるようにして前記ストライプ電極12
と等ピッチのプローブピン群4が前記基板2に保持され
ている。また、このプローブピン群40両側で同様にし
て二ツソセンサ5が設けられておシ、この二ツソセンサ
5は、前記プローブピン群4と共に検査用の基板11に
押し付けられた際、2本のセンサピンのうち一方側が曲
げられて所定の圧力で他方側から離れることによシ、プ
ローブピン群4のストライプ電極12に対する接触圧力
を検出する。また、このエツソセンサ5およびプローブ
ピン群4の他、位置センサピン6が2本前記基板2に保
持されており、この位置センサピン6は各々先端が、前
記プローブピン群4のうち両端のプローブピン4aの先
端前方に位置するようにして設けられている。そして、
これらプローブピン群4.二ツソセンサ5および位置セ
ンサピン6は基板2上の配線7を経て基板2端部の端子
8に接続されている。
このように構成されたプローブカード1においては、プ
ローブピン一群4をストライプ電極12に接触させた際
、その接触圧力をエツソセンサ5で検出し決定すること
ができるとともに、位置センサピン6を用いて前記プロ
ーブピン群4がストライプ電極12上に良好に接触して
いるか否か判断できる。すなわち、プローブピン群4を
ストライプ電極12に接触させ、いま位置が合っていて
良好に接触している場合は、両端のプローブピン4aに
関しては該プローブピン4aが接触するストライプ電極
12を通して前方の位置センサピン6と短絡する。した
がって、位置センサピン6と両端のグローブピ/4aが
短絡しているか否か検出することによシ、プローブピン
群4がストライプ電極12に良好に接触しているか否か
判断できるものでラシ、もし短絡していなければ(接触
していなければ)、基板11(ストライプ電極12)を
動かして短絡されるようにすることによフ、ストライプ
電極12にプローブピン群41に:正確に接触させるこ
とができる。そして、この方法は、目視による方法では
ないので、ストライプ電極12が透明電極であっても、
容易に且つ良好に位置合わせを行えるのである。なお、
上記一実施例では両端のプローブピン4a各々に対して
位置センサピン6を設けるようにしたが、これは、スト
ライプ電極12の1ピッチ分のずれに対しても正確に位
置ずれを検出できるようにするためである。すなわち、
いま、プローブピン群4が図面右側にストライプ電極1
2の1ピッチ分ずれているとする。
ローブピン一群4をストライプ電極12に接触させた際
、その接触圧力をエツソセンサ5で検出し決定すること
ができるとともに、位置センサピン6を用いて前記プロ
ーブピン群4がストライプ電極12上に良好に接触して
いるか否か判断できる。すなわち、プローブピン群4を
ストライプ電極12に接触させ、いま位置が合っていて
良好に接触している場合は、両端のプローブピン4aに
関しては該プローブピン4aが接触するストライプ電極
12を通して前方の位置センサピン6と短絡する。した
がって、位置センサピン6と両端のグローブピ/4aが
短絡しているか否か検出することによシ、プローブピン
群4がストライプ電極12に良好に接触しているか否か
判断できるものでラシ、もし短絡していなければ(接触
していなければ)、基板11(ストライプ電極12)を
動かして短絡されるようにすることによフ、ストライプ
電極12にプローブピン群41に:正確に接触させるこ
とができる。そして、この方法は、目視による方法では
ないので、ストライプ電極12が透明電極であっても、
容易に且つ良好に位置合わせを行えるのである。なお、
上記一実施例では両端のプローブピン4a各々に対して
位置センサピン6を設けるようにしたが、これは、スト
ライプ電極12の1ピッチ分のずれに対しても正確に位
置ずれを検出できるようにするためである。すなわち、
いま、プローブピン群4が図面右側にストライプ電極1
2の1ピッチ分ずれているとする。
すると、このようにずれていても、左側のプローブピン
4aと位置センサピン6に関しては左側から2番目のス
トライプ電極12で短絡されて位置合わせ良好と検出し
てしまう。この場合は、右側のプローブピン4aと位置
センサピン6によってのみ位置ずれを検出できるのであ
る。一方、プローブピン群4が図面左側に1ピッチ分ず
れた時は逆のことがいえ、左側の位置センサピン6とプ
ローブピン4aによってのみ位置ずれを検出できる。
4aと位置センサピン6に関しては左側から2番目のス
トライプ電極12で短絡されて位置合わせ良好と検出し
てしまう。この場合は、右側のプローブピン4aと位置
センサピン6によってのみ位置ずれを検出できるのであ
る。一方、プローブピン群4が図面左側に1ピッチ分ず
れた時は逆のことがいえ、左側の位置センサピン6とプ
ローブピン4aによってのみ位置ずれを検出できる。
したがって、左右両方で検出することによシ正確な判別
が可能となる。
が可能となる。
次に、上記のようなプローブカード1を用いてのストラ
イプ電極極12のショート検費の実際について第2図の
プローバー装置全体の概略図および第3図のフローチャ
ートを参照して説明する。
イプ電極極12のショート検費の実際について第2図の
プローバー装置全体の概略図および第3図のフローチャ
ートを参照して説明する。
プローブカード1の端子8はスdP′rナー21と接続
しておく。さらに、端子8の2端子分の出力をスキャナ
ー21からマルチメータ22に連結しておく。また、前
記スキャナー21とマルチメータ22はコントローラ2
3により制御されるように連結しておく。
しておく。さらに、端子8の2端子分の出力をスキャナ
ー21からマルチメータ22に連結しておく。また、前
記スキャナー21とマルチメータ22はコントローラ2
3により制御されるように連結しておく。
一方、ストライプ電極12が形成された基板11をプロ
ーバー装置のステージにセツティングし、プローブカー
ド1と実体顕微鏡で位置合わせを行う。さらに、エッソ
センサ5からの出力をスキャナー21を通してコントロ
ーラ23に入力しておいて、プローブピン群4含ストラ
イプ′r!L極12に接触させ、更に凄触した時点から
一足圧力強く接触させる。しかる後、2ケ所の位置セン
サピン6と両冶のプローブピン4aの出力を測足して、
ある一定値(例えば100Ω程度でよい)より小さい場
合は、検査しようとしているストライプ電極12上にプ
ローブピン群4が良好に接触していることが分る。一方
、前記出力値が一足値以上(この場合、普通はMΩ以上
になる)の場合は、プローブピン群4とストライプ電極
12が良好に接触していないことになるので、再度、位
置合わせを行い、前記と同様な同各でグローブビン群4
とストライプ電極12の位置が合っているかを判断し、
合った時点でショート検査に移る。ショート検査は、隣
接する2本のストライプ電極12の出力を順次得て、抵
抗値ヲ調べることによ)行われる。そして、このショー
ト検査において、被検査ストライプ電極12のライン数
が多数の場合は、前記プローブピン群4で検査した後、
該プローブピン群4を移動させて検査できるように、基
板11が乗っているステージをスキャンさせて接触圧調
整に戻シ、以後同様の工程を進める。
ーバー装置のステージにセツティングし、プローブカー
ド1と実体顕微鏡で位置合わせを行う。さらに、エッソ
センサ5からの出力をスキャナー21を通してコントロ
ーラ23に入力しておいて、プローブピン群4含ストラ
イプ′r!L極12に接触させ、更に凄触した時点から
一足圧力強く接触させる。しかる後、2ケ所の位置セン
サピン6と両冶のプローブピン4aの出力を測足して、
ある一定値(例えば100Ω程度でよい)より小さい場
合は、検査しようとしているストライプ電極12上にプ
ローブピン群4が良好に接触していることが分る。一方
、前記出力値が一足値以上(この場合、普通はMΩ以上
になる)の場合は、プローブピン群4とストライプ電極
12が良好に接触していないことになるので、再度、位
置合わせを行い、前記と同様な同各でグローブビン群4
とストライプ電極12の位置が合っているかを判断し、
合った時点でショート検査に移る。ショート検査は、隣
接する2本のストライプ電極12の出力を順次得て、抵
抗値ヲ調べることによ)行われる。そして、このショー
ト検査において、被検査ストライプ電極12のライン数
が多数の場合は、前記プローブピン群4で検査した後、
該プローブピン群4を移動させて検査できるように、基
板11が乗っているステージをスキャンさせて接触圧調
整に戻シ、以後同様の工程を進める。
(発明の効果)
以上詳細に説明したように、この発明の装置のプローブ
カードによれば、プローブピンが接触する被検査電極パ
ターンを通して前記プローブピンと短絡される位置セン
サピンを設けて、前記短絡が生じているか否かKよフジ
ロープピン群が被検査電極パターンに良好に接触してい
るか否か判別できるようにしたので、被検査電極パター
ンが透明基板上の透明電極パターンであっても、被検査
電極パターンにプローブピンを容易に良好に接触させる
ことができ、検査時間の短縮を図ることができる。
カードによれば、プローブピンが接触する被検査電極パ
ターンを通して前記プローブピンと短絡される位置セン
サピンを設けて、前記短絡が生じているか否かKよフジ
ロープピン群が被検査電極パターンに良好に接触してい
るか否か判別できるようにしたので、被検査電極パター
ンが透明基板上の透明電極パターンであっても、被検査
電極パターンにプローブピンを容易に良好に接触させる
ことができ、検査時間の短縮を図ることができる。
第1図はこの発明のプローバー装置の一実施例を説明す
るための斜視図、第2図はブロー・々−装置全体の概略
図、第3図はショート検査におけるフローチャート図で
ある。 1・・・プローブカード、2・・・基板、4・・・プロ
ーブピン群、4a・・・両端のプローブピン、5・・・
エッソセンサ、6・・・位置センサピン、12・・・ス
トライプ電極。 尺!、−υ フ゛ローIY−,裟1の孝既許ト図 第2図
るための斜視図、第2図はブロー・々−装置全体の概略
図、第3図はショート検査におけるフローチャート図で
ある。 1・・・プローブカード、2・・・基板、4・・・プロ
ーブピン群、4a・・・両端のプローブピン、5・・・
エッソセンサ、6・・・位置センサピン、12・・・ス
トライプ電極。 尺!、−υ フ゛ローIY−,裟1の孝既許ト図 第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被検査電極パターンピッチと等ピッチで配設されるプロ
ーブピン群、 このプローブピン群の被検査電極パターンに対する接触
圧を決定するためのエツジセンサ、前記プローブピンが
接触する前記被検査電極パターンを通してプローブピン
と短絡されるように所定のプローブピンに対して設けら
れた位置センサピン とを基板に保持してなるプローブカードを有することを
特徴とするプローバー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62084583A JPS63250568A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | プロ−バ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62084583A JPS63250568A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | プロ−バ−装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63250568A true JPS63250568A (ja) | 1988-10-18 |
Family
ID=13834695
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62084583A Pending JPS63250568A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | プロ−バ−装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63250568A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05273236A (ja) * | 1992-03-24 | 1993-10-22 | Nippon Maikuronikusu:Kk | プローブ組立体 |
-
1987
- 1987-04-08 JP JP62084583A patent/JPS63250568A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05273236A (ja) * | 1992-03-24 | 1993-10-22 | Nippon Maikuronikusu:Kk | プローブ組立体 |
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