JPS63250568A - プロ−バ−装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、電極パターン検査用のグローバー装置に関
し、特にプローブカードの改良に関するものである。

（従来の技術） 従来、電極ノ母ターン検査用のグローパー装置における
プローブカードとしては、プローブピンの接触圧力を決
めるためのエツジセンサと、実際に電極に接触するプロ
ーブピン群を有して構成されるのが一般的である。これ
は、例えばストライプ電極の７ヨート検査においても同
様であり、電極ピッチと等ピッチで配設されたプローブ
ピン群と、その両側に設けたエツジセンサとによりプロ
ーブカードが構成されている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記のような従来のプローブカードでは
、例えば透明基板上に形成された透明電極ノ母ターンを
検査する場合、エツジセンサで接触圧力を決めることは
可能であるが、プローバー装置に装着されている実体顕
微鏡では前記透明基板上の透明電極・９ターンは見にく
いから、プローブピンが所定の透明電極上に良好に接触
しているかどうかの判断がつきに〈＜、検査に時間がか
かるという問題があった。

この発明は、以上のような従来の問題点を解決し、透明
電極・ぞターンにプローブピンを容易に良好に接触させ
ることのできる優れたプローブカードを有するプローバ
ー装置を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） この発明は、プローバー装置のプローブカードにおいて
、プローブピン群と二ツソセンサの他に、前記プローブ
ピンが接触する被検査電極パターンを通してプローブピ
ンと短絡される位置センサピンを所定のプローブピンに
対して設けたものである。

（作　用） 上記のようなプローブカードにおいては、いまプローブ
ピン群が被検査電極・セターンに接触していれば、所定
のプローブピンに関しては、該プローブピンと位置セン
サピンが被検査電極パターンを通して短絡される。した
がって、所定のプローブピンと位置センサピンが短絡状
頼におるか否か検出することにより、プローブピン群が
被検査電極・セターンに良好に接触しているか否か判断
できる。

（実施例） 以下この発明の一実施例を図面を参照して説明する。第
１図はこの発明の一実施例の斜視図である。この図にお
いて、１はプローブカード、１１はこのプローブカード
１で電極検査が行゛われる基板で、ストライプ電極１２
が形成されている。

前記プローブカード１は基板２を有し、この基板２には
大きな穴３が形成されている。そして、この穴３門下方
に先端が導出されるようにして前記ストライプ電極１２
と等ピッチのプローブピン群４が前記基板２に保持され
ている。また、このプローブピン群４０両側で同様にし
て二ツソセンサ５が設けられておシ、この二ツソセンサ
５は、前記プローブピン群４と共に検査用の基板１１に
押し付けられた際、２本のセンサピンのうち一方側が曲
げられて所定の圧力で他方側から離れることによシ、プ
ローブピン群４のストライプ電極１２に対する接触圧力
を検出する。また、このエツソセンサ５およびプローブ
ピン群４の他、位置センサピン６が２本前記基板２に保
持されており、この位置センサピン６は各々先端が、前
記プローブピン群４のうち両端のプローブピン４ａの先
端前方に位置するようにして設けられている。そして、
これらプローブピン群４．二ツソセンサ５および位置セ
ンサピン６は基板２上の配線７を経て基板２端部の端子
８に接続されている。

このように構成されたプローブカード１においては、プ
ローブピン一群４をストライプ電極１２に接触させた際
、その接触圧力をエツソセンサ５で検出し決定すること
ができるとともに、位置センサピン６を用いて前記プロ
ーブピン群４がストライプ電極１２上に良好に接触して
いるか否か判断できる。すなわち、プローブピン群４を
ストライプ電極１２に接触させ、いま位置が合っていて
良好に接触している場合は、両端のプローブピン４ａに
関しては該プローブピン４ａが接触するストライプ電極
１２を通して前方の位置センサピン６と短絡する。した
がって、位置センサピン６と両端のグローブピ／４ａが
短絡しているか否か検出することによシ、プローブピン
群４がストライプ電極１２に良好に接触しているか否か
判断できるものでラシ、もし短絡していなければ（接触
していなければ）、基板１１（ストライプ電極１２）を
動かして短絡されるようにすることによフ、ストライプ
電極１２にプローブピン群４１に：正確に接触させるこ
とができる。そして、この方法は、目視による方法では
ないので、ストライプ電極１２が透明電極であっても、
容易に且つ良好に位置合わせを行えるのである。なお、
上記一実施例では両端のプローブピン４ａ各々に対して
位置センサピン６を設けるようにしたが、これは、スト
ライプ電極１２の１ピッチ分のずれに対しても正確に位
置ずれを検出できるようにするためである。すなわち、
いま、プローブピン群４が図面右側にストライプ電極１
２の１ピッチ分ずれているとする。

すると、このようにずれていても、左側のプローブピン
４ａと位置センサピン６に関しては左側から２番目のス
トライプ電極１２で短絡されて位置合わせ良好と検出し
てしまう。この場合は、右側のプローブピン４ａと位置
センサピン６によってのみ位置ずれを検出できるのであ
る。一方、プローブピン群４が図面左側に１ピッチ分ず
れた時は逆のことがいえ、左側の位置センサピン６とプ
ローブピン４ａによってのみ位置ずれを検出できる。

したがって、左右両方で検出することによシ正確な判別
が可能となる。

次に、上記のようなプローブカード１を用いてのストラ
イプ電極極１２のショート検費の実際について第２図の
プローバー装置全体の概略図および第３図のフローチャ
ートを参照して説明する。

プローブカード１の端子８はスｄＰ′ｒナー２１と接続
しておく。さらに、端子８の２端子分の出力をスキャナ
ー２１からマルチメータ２２に連結しておく。また、前
記スキャナー２１とマルチメータ２２はコントローラ２
３により制御されるように連結しておく。

一方、ストライプ電極１２が形成された基板１１をプロ
ーバー装置のステージにセツティングし、プローブカー
ド１と実体顕微鏡で位置合わせを行う。さらに、エッソ
センサ５からの出力をスキャナー２１を通してコントロ
ーラ２３に入力しておいて、プローブピン群４含ストラ
イプ′ｒ！Ｌ極１２に接触させ、更に凄触した時点から
一足圧力強く接触させる。しかる後、２ケ所の位置セン
サピン６と両冶のプローブピン４ａの出力を測足して、
ある一定値（例えば１００Ω程度でよい）より小さい場
合は、検査しようとしているストライプ電極１２上にプ
ローブピン群４が良好に接触していることが分る。一方
、前記出力値が一足値以上（この場合、普通はＭΩ以上
になる）の場合は、プローブピン群４とストライプ電極
１２が良好に接触していないことになるので、再度、位
置合わせを行い、前記と同様な同各でグローブビン群４
とストライプ電極１２の位置が合っているかを判断し、
合った時点でショート検査に移る。ショート検査は、隣
接する２本のストライプ電極１２の出力を順次得て、抵
抗値ヲ調べることによ）行われる。そして、このショー
ト検査において、被検査ストライプ電極１２のライン数
が多数の場合は、前記プローブピン群４で検査した後、
該プローブピン群４を移動させて検査できるように、基
板１１が乗っているステージをスキャンさせて接触圧調
整に戻シ、以後同様の工程を進める。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように、この発明の装置のプローブ
カードによれば、プローブピンが接触する被検査電極パ
ターンを通して前記プローブピンと短絡される位置セン
サピンを設けて、前記短絡が生じているか否かＫよフジ
ロープピン群が被検査電極パターンに良好に接触してい
るか否か判別できるようにしたので、被検査電極パター
ンが透明基板上の透明電極パターンであっても、被検査
電極パターンにプローブピンを容易に良好に接触させる
ことができ、検査時間の短縮を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のプローバー装置の一実施例を説明す
るための斜視図、第２図はブロー・々−装置全体の概略
図、第３図はショート検査におけるフローチャート図で
ある。 １・・・プローブカード、２・・・基板、４・・・プロ
ーブピン群、４ａ・・・両端のプローブピン、５・・・
エッソセンサ、６・・・位置センサピン、１２・・・ス
トライプ電極。 尺！、−υ フ゛ローＩＹ−，裟１の孝既許ト図 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被検査電極パターンピッチと等ピッチで配設されるプロ
   ーブピン群、 このプローブピン群の被検査電極パターンに対する接触
   圧を決定するためのエツジセンサ、前記プローブピンが
   接触する前記被検査電極パターンを通してプローブピン
   と短絡されるように所定のプローブピンに対して設けら
   れた位置センサピン とを基板に保持してなるプローブカードを有することを
   特徴とするプローバー装置。