JPS63200991A

JPS63200991A - 薄膜張付装置

Info

Publication number: JPS63200991A
Application number: JP62030294A
Authority: JP
Inventors: 住　成夫; 濱村　文雄; 一夫福田
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1987-02-12
Filing date: 1987-02-12
Publication date: 1988-08-19
Also published as: CA1313118C; US4888083A; EP0278517A2; EP0278517A3

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（１）発明の目的〔産業上の利用分野〕本発明は、薄膜張付技術に関し、特に、連続した薄膜の
供給方向と交差する方向にカッターを移動させて前記薄
膜を所定の寸法に切断し、この切断された薄膜を基板に
張り付ける薄膜張付技術に適用して有効な技術に関する
ものである。

〔従来技術〕

コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。

まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に。

感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光
性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラ
ミネートする。この熱圧着ラミネートは。

薄膜張付装置所謂ラミネータにより量産的に行われる。

この後、前記積層体に配線パターンフィルムを重ね、こ
の配線パターンフィルム及び透光性樹脂フィルムを通し
て、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性
樹脂フィルムを剥離装置で剥離した後、露光された感光
性樹脂層を現像してエツチングマスクパターンを形成す
る。この後、前記導電層の不必要部分をエツチングによ
り除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し。

所定の配線パターンを有するプリント配線板を形成する
。

前述のプリント配線板の製造工程において使用される薄
膜張付装置は、自動的に積層体を熱圧着ラミネートする
ように構成されている。本願出願人により先に出願され
た特開昭６０−７１２２９号公報に記載される薄膜張付
装置は、次のように熱圧着ラミネートを行っている。

まず、薄膜張付装置の供給ローラに連続的に巻回されて
いる積層体を、メインバキュームプレートで基板に供給
する。メインバキュームプレートは、積層体供給面に複
数の吸着孔が設けられており、この吸着孔に積層体を吸
着し供給するように構成されている。基板に供給される
積層体の先端部は、メインバキュームプレートの供給方
向先端側に設けられた円孤形状の仮付部で絶縁性基板の
導電層上に仮り付け（仮熱圧着）される、積層体の先端
部は、積層体の供給経路に近接又は離反するサブバキュ
ームプレートにより、仮付部に吸着させることができる
。

次に、先端部が仮り付けされた積層体は、熱圧着ローラ
で基板に熱圧着ラミネートされる。積層体が一定量熱圧
着ラミネートされると、切断装置により基板に対応した
所定寸法に積層体が切断される。切断装置は、積層体の
供給方向と交差する方向に移動する円板状のカッターを
有しており、このカッターの移動で積層体を切断するこ
とができる。カッターは、ロッドレスタイプのエアーシ
リングの移動子に連結された移動部材に支持されている
。

次に、積層体の供給方向の後端部は、熱圧着ローラで基
板に張り付けられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前述の薄膜張付装置は、積層体の熱圧着ラミネート速度
を速くし、プリント配線板の生産能力を高める要求があ
る。熱圧着ラミネート速度を速くするには、積層体の供
給速度、積層体の切断速度。

積層体の熱圧着速度の夫々を速くする必要がある。

特に、積層体の切断は、カッターを移動させるときに、
積層体の切断位置を供給方向において実質的に静止させ
なければならないので、カッターの移動速度がかなり速
くなる。このため、カッターの移動で積層体の切断を終
了した後、カッターが停止位置に停止する際に、切断装
置及びこの切断装置を通して薄膜張付装置が振動する。

本発明者は、実験ならびにその検討の結果、前記振動が
切断装置のロッドレスシリンダ内の端部と移動子との衝
突で生じるものであることを確認している。ロッドレス
シリンダ内の端部には、移動子との衝突による振動を低
減するために、移動子を移動させる空気を多少残存させ
、クッション性を持たせている。しかしながら、移動子
の移動速度すなわちカッターの移動速度を速くした場合
、前記ロッドレスシリンダ内の空気によるクッションで
は、移動子の衝突を防止することができない。

前記切断装置或は薄膜張付装置に生じる振動は、特に、
ジヨイント部のねじを緩める等、寿命を低下したり、或
はメンテナンス作業の労力を多大なものにするという問
題を生じる。

本発明の目的は、カッターの移動で薄膜を切断する切断
装置を有する薄膜張付装置において、前記切断装置或は
薄膜張付装置の振動を低減することが可能な技術を提供
することにある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、薄膜
の張り付けの生産能力を高めることが可能な技術を提供
することにある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成し、切断装置或は
薄膜張付装置の長寿命化を図ることが可能な技術を提供
することにある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成し、薄膜張付装置
のメンテナンス作業性を高めることが可能な技術を提供
することにある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、薄膜
の切断位置と切断装置の切断位置とを正確に一致させ、
薄膜供給部材を取り付けている支持部材を駆動能力の小
さな駆動源で駆動させることが可能な技術を提供するこ
とにある。

本発明の他の目的は、前記他の目的を達成すると共に、
薄膜を正確な寸法で切断し、ｌｌｌ上上歩留りを向上す
ることが可能な技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は１本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。

（２）発明の構成〔問題点を解決するための手段〕本願において開示される発明のうち１代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、次のとおりである。

本発明は、連続した薄膜の供給方向と交差する方向にカ
ッターを移動させて前記薄膜を所定の寸法に切断する切
断装置を有し、この切断装置で切断された薄膜を基板に
張り付ける薄膜張付装置において、前記切断装置のカッ
ターの移動を停止する際にその衝撃を吸収する衝撃吸収
装置を、前記切断装置のカッターが停止する位置の近傍
の所定部、又は薄膜張付装置本体の所定部に設けたこと
を特徴としたものである。

また、本発明は、前記構成に、前記連続した薄膜を基板
に供給する薄膜供給部材を支持部材に取り付け、該支持
部材を基板に近接及び離反するように薄膜張付装置本体
に設け、前記連続した薄膜の切断部分を薄膜供給経路内
に保持する薄膜保持部材を前記支持部材に設け、該薄膜
保持部材で保持される連続した薄膜を所定寸法に切断す
る前記切断装置を、前記薄膜供給部材と基板との間の薄
膜供給経路の近傍の薄膜張付装置本体に固定したことを
特徴としたものである。

〔作用〕

本発明は、前述の構成により、切断装置のカッターの移
動を停止する際の衝撃を吸収することがで壺るので、切
断装置或は薄膜張付装置の振動を低減することができる
。この結果、薄膜張付装置の薄膜の切断速度を速くする
ことができるので。

生産能力を高めることができる。

また、本発明は、前述の構成により、前記薄膜供給部材
と薄膜保持部材とを支持部材に設け、薄膜供給部材で薄
膜を保持すると同時に、薄膜保持部材で＃［の切断位置
を保持し、この状態で前記切断装置で薄膜を切断するこ
とができるので、薄膜供給部材と薄膜保持部材との間の
薄膜のたるみをなくシ、薄膜の切断位置と切断装置の切
断位置とを正確に一致させることができると共に、前記
切断装置を薄膜張付装置本体に固定し、前記支持部材の
重量を軽くしたので、駆動能力の小さな駆動源で支持部
材を駆動することができる。この結果、前記薄膜の切断
位置と切断時の切断装置の位置とを正確に一致させるこ
とができるので、薄膜を正確な寸法で切断し、製造上の
歩留りを向上することができる。

〔発明の実施例〕以下、プリント配線用基板に感光性樹脂層と透光性樹脂
フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする薄膜
張付装置に適用した本発明の一実施例について１図面を
用いて具体的に説明する。

なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

本発明の一実施例である薄膜張付装置を第１図（概略構
成図）で示す。

第１図に示すように、透光性樹脂フィルム、感光性樹脂
層及び透光性樹脂フィルムの３層構造からなる積層体重
は、供給ローラ２に連続的に巻回されている。供給ロー
ラ２の積層体１は、薄膜分離ローラ３で、透光性樹脂フ
ィルム（保護膜）ＩＡと、−面（接着面）が露出された
感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体Ｉ
Ｂとに分離される。分離された透光性樹脂フィルムＩＡ
は、巻取ローラ４により巻き取られるように構成されて
いる。

前記薄膜分離ローラ３で分離された積層体ＩＢの供給方
向の先端部は、第１図及び第２図（要部拡大構成図）に
示すように、テンションローラ９を通してメインバキュ
ームプレート１０に吸着されるように構成されている。

テンションローラ９は、供給ローラ２とメインバキュー
ムプレート１０との間の積層体ＩＢに適度なテンション
を与えるように構成されている。つまり、テンションロ
ーラ９は、供給される積層体ＩＢにしわ等を生じないよ
うに構成されている。

メインバキュームプレート（＃膜供給部材）１０は。

積層体ＩＢを供給ローラ２から絶縁性基板１１の導電層
（例えば、Ｃｕ層）上に供給するように構成されている
。メインバキュームプレート１０は、第１図及び第２図
で示すように、絶縁性基板１１に近接しかつ離反する（
矢印Ｂ方向に移動する）支持部材１２に設けられている
。支持部材１２は５ガイド部材７Ａを矢印Ｂ方向に摺動
可能なように、装置本体（ｗｔ膜膜付付装置筐体）７に
設けられている。支持部材１２は、絶縁性基板１１の搬
送経路を中心に、上下、一対に設けられている。上部の
支持部材１２と下部の支持部材１２とは、ラックアンド
ピニオン機構により連動的に動作する（両者が同時に近
接又は離反する）ように構成されている。つまり、上下
、一対の支持部材１２は、夫々に設けられたラック１２
Ａと、このラック１２Ａと嵌合するピニオン１２Ｂとで
連動的に動作する。この支持部材１２の動作は、下部の
支持部材１２に設けられた駆動源１２Ｇで行われる。駆
動源１２Ｃは１例えば、エアーシリンダで構成する。ま
た、駆動源１２Ｇは、油圧シリンダ、電磁シリンダ、ス
テップモータ及びその変位を支持部材１２に伝達する伝
達機構等で構成することができる。

前記メインバキュームプレート１０は、支持部材１２の
移動とは独立的に、絶縁性基板１１に近接しかつ離反す
る（矢印Ｃ方向に移動する）ように支持部材１２に設け
られている。メインバキュームプレート１０は、支持部
材１２に設けられた駆動源１２Ｄと。

ラックアンドピニオン機構とで動作するように構成され
ている。このラックアンドピニオン機構は、駆動源１２
Ｄに設けられたピニオン１２Ｅ、支持部材１２に設けら
れたラック１２Ｆ、メインバキュームプレート１０に設
けられたラックＩＯＡで構成されている。駆動源１２Ｄ
は、駆動源１２Ｇと同様のもので構成する。

メインバキュームプレート１０には、第３図（部分断面
斜視図）で示すように、積層体ＩＢの供給方向と略直交
する方向（幅方向）に延在する溝部１０Ｂが搬送方向に
複数設けられている。溝部１０Ｂの長さく積層体ＩＢの
幅方向と同一方向の長さ）は、幅方向の積層体ＩＢの寸
法と略同−の寸法で構成され、溝部１０Ｂを積層体ＩＢ
が覆うように構成されている。溝部１０Ｂの底部には、
積層体ＩＢを吸着させるための吸着孔１０Ｃが複数設け
られている。

図示していないが、吸着孔１０Ｃは、排気管を通して、
真空ポンプ等の真空源に接続されている。メインバキュ
ームプレート１０の吸着動作、後述する仮付部１０Ｅの
吸着動作の夫々は、独立に制御されるように構成されて
いる。溝部１０Ｂの端部１０Ｄは。

メインバキュームプレート１０の端部から中央部に掘り
下げたテーバ形状に構成されている。

積層体ＩＢの供給方向におけるメインバキュームプレー
ト１０の先端部には、積層体ＩＢを吸着する面が円孤形
状に形成された仮付部１０Ｅが設けられている。仮付部
１０Ｅは、メインバキュームプレート１０と一体に構成
されている。仮付部１０Ｅの内部には、第１図及び第２
図に示すように、円孤形状部分を加熱するヒータＩＯＦ
が設けられている。

仮付部１０Ｅは、メインバキュームプレート１０で供給
される積層体ＩＢの先端部を、絶縁性基抜工１に仮り付
け（偏熱圧着）するように構成されている。

なお１本発明は、メインバキュームプレート１０と仮付
部１０Ｅとを、夫々、別部材で構成し、両者を支持部材
１２に構成してもよい。

前記仮付部１０Ｈに近接した位置、つまり、仮付部１０
Ｅと絶縁性基板１１との間の積層体ＩＢの供給経路の近
傍には、サブバキュームプレート（薄膜保持部材）　１
３が設けられている。サブバキュームプレート１３は、
吸引孔を図示していないが、第２図に示すように、上部
吸着部１３ａと下部吸着部１３ｂとを有し、コの字形状
に構成されている（このコの掌部分は積層体ＩＢの切断
位置に相当する）。

サブバキュームプレート１３の上部吸着部１３ａは、主
に、供給方向の積層体ＩＢの先端部を吸着し。

仮付部１０Ｅに吸着（保持）させるように構成されてい
る。サブバキュームプレート１３は、積層体ＩＢの先端
部を仮付部１０Ｅに吸着可能なように、積層体ＩＢの供
給経路に対して近接及び離反（矢印り方向に移動）する
例えばエアーシリンダからなる駆動源１３Ａを介して、
支持部材１２に取り付けられている。

また、サブバキュームプレート１３の下部吸着部１３ｂ
は、連続した積層体ＩＢを切断装置１４で切断し、この
切断された積層体ＩＢの後端部を吸着し。

積層体ＩＢの供給経路内に保持するように構成されてい
る。下部吸着部１３ｂは、熱圧着ラミネート開始後１回
転バキュームプレート１５との間において、第２図に示
すように、積層体ＩＢにたるみを形成する（たるみを持
たせた積層体ＩＢ’　を形成する）ように構成されてい
る。このたるみを持たせた積層体ＩＢ’は、熱圧着ロー
ラ１６の周速度（熱圧着ラミネート速度）に対して、メ
インバキュームプレート１０の積層体ＩＢの供給速度を
速く制御することにより形成することができる０両者の
制御は１図示していないが、シーケンス制御回路により
行われるようになっている。

なお、サブバキュームプレート１３の駆動源１３Ａとし
ては、エアーシリンダの他に前記駆動源１２Ｃと同様に
、油圧シリンダ等で構成することができる。

前記仮付部１０Ｅと絶縁性基板１１との間（実際には、
仮付部１０Ｅと回転バキュームプレート１５との間）の
積層体ＩＢの供給経路の近傍の装置本体７には、切断袋
！ｉ！１４カ〜設けられている（固定されている）、詳
述すれば、切断袋Ｗ１４は、ＭＭ体ＩＢＯ後端部を切断
位置まで供給した時のサブバキュームプレート１３に対
向した位置に構成されている。

切断装置１４は、絶縁性基板１１を搬送する前段搬送装
置１７側に構成されている（又はこの前段搬送装置１７
に構成してもよい）。切断装置１４は、メインバキュー
ムプレート１０で連続的に供給される積層体ｉＢを絶縁
性基板１１の寸法に対応して所定の長さに切断するよう
に構成されている。

この切断装置１４の具体的な構成を第４図（概略斜視図
）、第５図（第２図の矢印■方向から見た概略平面図）
及び第６図（第５図のＶＩ−ＶＩ線で切った断面図）で
示す。

切断装置１４は、第６図乃至第７図に示すように。

主に、ガイド部材１４Ａと、移動部材１４Ｂと、円板状
カッター１４Ｇとで構成されている。

ガイド部材１４Ａは、積層体ＩＢの幅方向に延在し、そ
の両端部（又は一端部）が装置本体７に固定されている
。この固定は、ねじ、ボルト、ナツト。

ビス、接着剤等の固定手段で行なわれる。ガイド部材１
４Ａには、積層体ＩＢの供給幅方向（第５図に示す矢印
Ｅ方向）において、移動部材１４Ｂが正確にしかも滑ら
かに移動できるように構成されている。つまり、この移
動は、ガイド部材１４Ａに設けられた凹部１４ａと、移
動部材１４Ｂに設けられた凹部１４ｂとの間に、円柱形
状のコロ１４ｃを設けることで行われている。

移動部材１４Ｂは、ガイド部材１４Ａに沿って矢印Ｅ方
向に移動するように構成されている。移動部材１４Ｂは
、ガイド部材１４Ａに沿って延在しかつ両端部が装置本
体７に支持された中空管（ロッドレスシリンダ）１４Ｄ
内を、矢印Ｅ′力方向移動する中空管内移動部材（移動
子）１４Ｅと接続されている。

中空管内移動部材１４Ｅは、中空管１４Ｄ内の内径より
も小さい寸法の円柱状で形成されており、中空管１４Ｄ
の内壁と密接できようにシール材（例えば。

○リング）が取り付けられている。中空管１４Ｄは、中
空管内移動部材１４Ｅと移動部材１４Ｂとの連結部分以
外が、常時、自動的にシールされるように構成されてお
り、中空管１４０内の気密性が保持できるように構成さ
れている。中空管内移動部材１４Ｅの移動は、中空管１
４Ｄの夫々の端部がら空気（ａｉｒ）等の流体を吹き込
む（又は吸引する）ことにより行われる。つまり、中空
管内移動部材１４Ｅは５第５図において、中空管１４Ｄ
の左側から流体を吹き込むと左側から右側に移動し、中
空管１４Ｄの右側から流体を吹き込むと右側から左側に
移動するように構成されている。つまり、中空管内移動
部材１４Ｅは、流体によって移動部材１４Ｂを移動させ
るように構成されている。中空管１４Ｄ内に吹き込む流
体としては、空気の他に、不活性ガス等の気体、水、油
等の液体を用いてもよい、また、移動部材１４Ｂは、エ
アーシリンダ（ロッドタイプ）、油圧シリンダ、モータ
等で移動するように構成してもよい。

円板状カッター１４Ｃは、移動部材１４Ｂの移動に従っ
て回転し、少なくともその円周部に積層体ＩＢを切断す
る刃部が設けられている０円板状カッター１４Ｇの回転
は、回転軸１４Ｆに設けられた歯車（ピニオン）１４Ｇ
を介在し、回転軸１４Ｈに設けられた歯車１４Ｉとラッ
ク１４Ｊとの嵌合により与えられる。ラック１４Ｊは、
第４図及び第５図に示すように、両端部（又は一端部）
が装置本体７に固定されている。この固定は、ビス、ボ
ルト、ナツト等の固定手段で行う６ラツク１４Ｊと歯車
１４Ｉとの嵌合は、移動部材１４Ｂに設けられた保持ロ
ーラ１４Ｌにより安定に保持される。

円板状カッター１４Ｃは例えば高速度工具鋼等の金属材
料で構成されており、少なくとも刃部の表面はふっ素樹
脂加工が施されている。ふっ素樹脂は、化学薬品に対し
不活性で耐熱性に優れており、摩擦係数が小さく、文種
々の物質が付着しづらい特徴がある。特に、薄膜張付装
置においては、ｆｉｔ層体ＩＢの切断により生じる微小
で種々の化学薬品を含有する切り屑が刃部に付着し１円
板状カッター１４Ｃの切れ味を劣化し易いので、ふっ素
樹脂加工は有効である。

円板状カッター１４Ｃの近傍の移動部材１４Ｂには。

主に、作業者の安全を確保するために１円板状カッター
１４Ｃｔｉ−覆う保護カバー１４Ｋが設けられている。

この切断装置１４は、移動部材１４Ｂがガイド部材１４
Ａを一方向に移動することにより、この移動で与えられ
る円板状カッター１４Ｇの回転で、絶縁性基板１１の長
さに対応した寸法に積層体ＩＢを切断することができる
。また、円板状カッター１４Ｇは、往復の移動により積
層体ＩＢを切断することができるので、積層体ＩＢの切
断時間を短縮することができる。

このように構成される薄膜張付装置において、メインバ
キュームプレート１０とサブバキュームプレート１３と
を支持部材１２に設け、この支持部材１２を絶縁性基板
１１に近接及び離反するように装置本体７に設け、積層
体ＩＢを切断する切断装置１４を仮付部１０Ｅと絶縁性
基板１１との間の積層体ＩＢの供給経路の近傍の装置本
体７に固定したことにより、前記支持部材１２で支持す
る部材の重量を軽くしたので、駆動能力（容量）の小さ
な駆動源１２Ｇで支持部材１２を駆動することができる
。

また、支持部材１２に支持される部品点数を低減するこ
とができるので、支持部材１２及びその周辺の構成を簡
単化し、薄膜張付装置を小型化することができる。

また、駆動源１２Ｃ等を小型化することができるので、
薄膜張付装置の製造上のコストを低減することができる
。

前記切断袋Ｍ１４の円板状カッター１４Ｃの移動を停止
する位置の近傍、すなわち、積層体ＩＢの幅方向の夫々
の端部の近傍の装置本体７には、第４図乃至第６図に示
すように、衝撃吸収装置２２が設けられている。衝撃吸
収装置２２は、主に、衝撃吸収可動部２２Ａと衝撃吸収
固定部２２Ｂとで構成されている。衝撃吸収固定部２２
Ｂは、ビス等の固着手段で取り付けられた支持フレーム
７Ｂ、ナツト７Ｃを介在させて装置本体７に設けられて
いる。衝撃吸収可動部２２Ａは、切断装置１４の移動部
材１４Ｂにビス、ボルド等の固定手段で固着された当接
部材１４Ｍと当接するように構成されている。この当接
部材１４Ｍは、その全体を金属材料で構成してもよいが
、より衝撃吸収を効果的に行うと共にその当接部を保護
するために、その当接部材の全部又は一部を衝撃を吸収
するような材料、例えばプラスチック、ゴム等からなる
弾性を有する材料で構成してもよい、すなわち、衝撃吸
収装置２２は、円板状カッター１４Ｇを停止する際にそ
の衝撃を吸収するように構成されている。

衝撃吸収装置２２は、例えば、流体式ダンパ（流体粘性
式、流体動圧式）、電磁にダンパ等で構成する。流体粘
性式ダンパ、流体動圧式ダンパの夫々で使用する流体と
しては、空気、不活性ガス等の気体、水、油（例えば、
シリコーン油）等の液体を使用する。

このように、切断装置１４を有する薄膜張付装置におい
て、衝撃吸収装置！２２を設けたことにより、円板状カ
ッター１４Ｃの移動を停止する際の衝撃を吸収すること
ができるので、切断装置１４或は装置本体７の振動を低
減することができる。この結果。

切断装置１４の円板状カッター１４Ｇの移動速度を速く
シ、積層体ＩＢの切断速度を速くすることができるので
、薄膜張付装置の生産能力を高めることができる。さら
に、衡撃吸収装置２２は、切断装置１４成は薄膜張付装
置の長寿命化を図ることができ、又、メンテナンス作業
性を高めることができる。

また、薄膜張付装置は、メインバキュームプレート１０
とサブバキュームプレート１３とを支持部材１２に設け
、この支持部材１２を絶縁性基板１１に近接及び離反す
るように装置本体７に設け、積層体ＩＢを切断する切断
装置１４を仮付部１０Ｅと絶縁性基板１１との間の積層
体ＩＢの供給経路の近傍の装置本体７に固定し、さらに
、前述の衝撃吸収袋Ｗ１２２を設けることにより、前記
支持部材１２で支持する部材の重量を軽くしたので、駆
動能力の小さな駆動源１２Ｇで支持部材１２を駆動する
ことができると共に、切断袋！！１４或は装置本体７の
振動を低減し、薄膜張付装置の生産能力を高めることが
できる。

特に１本実施例のような薄膜張付装置は、切断装置１４
を装置本体７に固定すると、後述するが、積層体ＩＢの
切断位置を実質的に静止させてから円板状カッター１４
Ｃを移動させるので、積層体ＩＢの切断速度を速くする
ためには１円板状カッター１４Ｃ，の移動をかなり速く
する必要がある。このため１円板状カッター１４Ｇの移
動を停止する際にかなり強い衝撃が生じる。つまり、切
断装置１４を装置本体７に固定する薄膜張付装置は、Ｎ
！！吸収装！２２を設けることが特に有効である。

また、衝撃吸収装置２２は、装置本体７に設けることに
限定されず、切断鋏！１４１例えば、移動する移動部材
１４Ｂ、或は固定されたラック１４Ｊ、ガイド部材１４
Ａ、中空管１４０の外部に設けてもよい。

前記第１図及び第２図に示すメインバキュームプレート
１０の仮付部１０Ｅで絶縁性基板１１の導電層上に先端
部が仮り付け（成熱圧着）される積層体ＩＢは、熱圧着
ローラ１６でその全体が熱圧着ラミネートされるように
構成されている。熱圧着ローラ１６は、積層体ＩＢの先
端部を仮付部１０Ｅで仮り付けする仮付動作時は、第１
図に符号１６′　を符した点線で示す位置に配置されか
つ回転している。熱圧着ローラ１６は、仮付動作時に、
仮付部１０Ｅと接触しないように構成されている。仮付
動作後の熱圧着ローラ１６は、符号１６′　を示す点線
で示した位置から実線で示す位置、つまり、積層体ＩＢ
を介在して絶縁性基板１１を挟持する位置に移動するよ
うに構成されている。積層体ＩＢを介在して絶縁性基板
１１を挟持した熱圧着ローラ１６は、第２図に示す矢印
Ｆ方向に回転し、積層体ＩＢを絶縁性基板１１の導１！
暦上に熱圧着ラミネートすると共に。

この絶縁性基板１１を搬送するように構成されている。

熱圧着ラミネート工程中においては、メインバキューム
プレート１０及びサブバキュームプレート１３の積層体
ＩＢの吸着動作は停止している。すなわち、熱圧着ロー
ラ１６には、その回転力と、絶縁性基板１１どの挟持力
とで、積層体ＩＢが供給ローラ２から自動的に供給され
るように構成されている。

前記切断装置１４で切断された積層体ＩＢの後端部は、
三角形状の回転バキュームプレート１５でしわ等を生じ
ないようにガイドされ、熱圧着ローラ１６で熱圧着ラミ
ネートされるように構成されている。回転バキュームプ
レート１５は、熱圧着ローラ１６と同一軸に支持されか
つそれを中心に回転するように構成されており、図示し
ていないが、積層体ＩＢと対向する吸着面には、複数の
吸引孔１５Ａが設けられている。前記吸着孔１５Ａが配
設された吸着面の構造は、第３図に示すメインバキュー
ムプレート１０の吸着面と同様の構造になっている。

図示しないが、回転バキュームプレート１５の上面にも
吸引孔を設けてもよく、このように構成することにより
、第２図に示すように、たるみを持たせた積層体ＩＢ’
　をより形成し易くすることができる。

前記絶縁性基板１１は、搬送ローラ（下段）１７Ａと搬
送ローラ（上段）１７Ｂとで構成される前段搬送装置１
７により、薄膜張付装置の積層体ＩＢの仮付位置まで搬
送される。また、搬送ローラ（下段）１８Ａと搬送ロー
ラ（上段）１８Ｂとで構成される後段搬送装置１８は、
薄膜張付装置の熱圧着ローラ１６で積層体ＩＢが熱圧着
ラミネートされた絶縁性基板１１を配線パターンを形成
する露光装置まで搬送するように構成されている。

前記メインバキュームプレート１０の仮付部１０Ｅの移
動部Ｍ（薄膜供給経路）近傍の装置本体７（又は前段搬
送装置１７．或は支持部材１２）には、第１図及び第２
図に示すように、薄膜矯正装置１９が設けられている。

薄膜矯正装置１９は、仮付部１０Ｅに密着させる方向（
矢印Ｇ方向）に積層体ＩＢの供給方向の先端部を矯正す
るように構成されている。

薄膜矯正袋［１９は、積層体ＩＢの幅方向に延在して設
けられた流体搬送管１９Ａと、この流体搬送管１９Ａに
複数設けられた流体吹付孔１９Ｂとで構成されている。

流体搬送管１９Ａは、内部が中空に構成されており、常
圧よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流
体搬送管１９Ａの断面形状は１本実施例では略円形状に
構成されているが、これに限定されず、方形状又は楕円
形状に構成してもよい。

流体吹付孔１９Ｂは、積層体ＩＢを矯正する方向に流体
を吹き付けるように設けられている。

薄膜矯正袋Ｍ１９で使用する流体としては、空気を使用
する。また、流体としては、不活性ガス等の気体、水、
油等の液体を用いてもよい。

さらに、サブバキュームプレート１３の下部吸着部１３
ｂと回転バキュームプレート１５との間に供給される積
層体Ｉ　Ｂ（Ｉ　Ｂ’　）に近接した装置本体７（又は
前段搬送装置１７、或は支持部材１２）には、第１図及
び第２図に示すように、薄膜突出装置２０が設けられて
いる。つまり、薄膜突出装置２０は、熱圧着ローラ１６
に密着させる方向（矢印Ｈ方向）に前記たるみを持たせ
た積層体ＩＢ’　を形成するように構成されている。薄
膜突出装置Ｉ！２０は、積層体ｌＢの供給幅方向に延在
して設けられた流体搬送管２ＯＡと、この流体搬送管２
０Ａに複数設けられた流体吹付孔２０Ｂとで構成されて
いる。

流体搬送管２０Ａは、内部が中空に構成されており、常
圧よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流
体搬送管２０Ａの断面形状は５本実施例では略円形状に
構成されているが、流体搬送管１９Ａと同様に、これに
限定されず、方形状又は楕円形状に構成してもよい。

流体吹付孔２ＯＢは、積層体ＩＢ’の前記たるみを前述
のように突出させる方向に流体を吹き付けるように設け
られている。

薄膜突出装置２０で使用する流体としては、薄膜矯正装
置１９と同様に、空気を使用する。また、流体としては
、不活性ガス等の気体、水、油等の液体を用いてもよい
。

なお１本発明は、薄膜矯正装置１９又は薄膜突出装［２
０を、積層体ＩＢの幅方向に複数設けられた、積層体Ｉ
Ｂを前述の如く適正な方向に矯正又は突出させるように
流体を吹き付ける流体吹付ノズルで構成してもよい。

また、本発明は、薄膜矯正装置１９又は薄膜突出装置２
０を、積層体ＩＢの幅方向に延在して設けられた吸引管
と、この吸引管に複数設けられた。積層体ＩＢを前述の
如く適正な方向に矯正又は突出させる方向に吸引する吸
引孔とで構成してもよい。

また１本発明は、薄膜矯正装置１９又は薄膜突出装置２
０を、積層体ＩＢを前述の如く適正な方向に矯正又は突
出させる突状部材で構成してもよい。

また１本発明は、薄膜矯正装置１９を薄膜突出装置！２
０で、若しくは薄膜突出装置２０を薄膜矯正装置１９で
兼用することも可能である。

前記熱圧着ローラ１６と後段搬送装置１８の搬送ローラ
１８Ａとの間の装置本体７（又は後段搬送装置１８）に
は、第１図及び第２図に示すように、基板ガイド部材２
１が設けられている。基板ガイド部材２１は、積層体Ｉ
Ｂが熱圧着ラミネートされた絶縁性基板１１を、熱圧着
ラミネート位置から搬送ローラ１８Ａ及び１８Ｂの位置
までガイドするように構成されている。基板ガイド部材
２１は１例えば、絶縁性基板１１の搬送方向に延在する
棒状部をその搬送幅方向に複数配置したクシ型形状で構
成する。クシ型形状に構成された基板ガイド部材２１は
、絶縁性基板１１の搬送に際して、絶縁性基板１１どの
接触面積を小さくし摩擦抵抗を小さくできるので、スム
ーズに絶縁性基板１１をガイドすることができる。

なお、本発明は、基板ガイド部材２１を網状構造で構成
してもよい。

また１本発明は、基板ガイド部材２１を板状構造で構成
してもよい。

次に、本実施例の薄膜張付装置による積層体ＩＢの熱圧
着ラミネート方法について、前記第１図乃至第６図、第
７図乃至第９図（各工程毎の要部拡大構成図）を用いて
簡単に説明する。

まず最初に、手作業により、薄膜分離ローラ３で分離さ
れた積層体ＩＢの供給方向の先端部を、サブバキューム
プレート１３と切断装！！１４との間に配置する。

次に、前段搬送装置ｉ！１７の搬送ローラ１７Ａ及び１
７Ｂで搬送される絶縁性基板１１の搬送方向の先端部が
仮付位置に搬送されると、サブバキュームプレート１３
で積層体ＩＢの先端部を吸着する。積層体ＩＢの吸着後
、駆動源１３Ａで積層体ＩＢの供給経路から離反する位
置にサブバキュームプレート１３を移動させ、第７図に
示すように、仮付部１０Ｅに積層体ＩＢの先端部を吸着
させる。この時、メインバキュームプレート１０及び仮
付部１０Ｅの吸着動作が行われると共に、薄膜矯正装置
１１１９で積層体ＩＢを矯正できるので、仮付部１０Ｅ
に積層体ＩＢの先端部を確実に吸着させることができる
。なお、連続動作が行われている時は、切断装置１４で
切断された積層体ＩＢの先端部が仮付部１０Ｅに吸着さ
れる。

この後、駆動源１２Ｃで支持部材１２を移動させ。

メインバキュームプレート１０及びサブバキュームプレ
ート１３を絶縁性基板１１に近接する方向に移動させる
。この移動と共に、駆動源１２Ｄで支持部材１２に対し
てメインバキュームプレート１０をさらに移動させ、第
８図に示すように、仮付部１０Ｅに吸着された積層体Ｉ
Ｂの先端部を絶縁性基板１１の導電層上に仮り付け（成
熱圧着）する。

積層体ＩＢの仮り付は後、メインバキュームプレート１
０及び仮付部１０Ｅの吸着動作を停止し、第９図に示す
ように、駆動源１２Ｃ及び１２Ｄ（第１図に示す）でメ
インバキュームプレート１０．仮付部１０Ｅ及びザブバ
キュームプレート１３を仮付位置から離反させる。この
離反は、前記第７図に示す積層体ＩＢを仮付部１０Ｅへ
吸着する工程における位置に比べてさらに離反する位置
に、駆動源１２Ｇでメインバキュームプレート１０及び
サブバキュームプレート１３を移動させる。この移動量
（第９図に符号工を付けて示す量）は、積層体ＩＢ’に
持たせるたるみ量に比例する。このとき、支持部材１２
の駆動源１２Ｃは、前述したように、切断装置！１４を
装置本体７に固定しているので、小型化或は駆動能力を
高めて動作速度の高速化を図ることができる。

この後、符号１６′　を付けて点線で示す位置から実線
で示す仮付位置に熱圧着ローラ１６を近接させる。そし
て、この熱圧着ローラ１６で積層体ＩＢの先端部が仮り
付けされた絶縁性基板１１を挟持し回転することにより
、絶縁性基板１１の導電層上に積層体ＩＢを熱圧着ラミ
ネートする。この時、メインバキュームプレート１０．
仮付部１０Ｅ、サブバキュームプレート１３の夫々の吸
着動作は停止しているので、熱圧着ローラ１６には、そ
の回転力と、絶縁性基板１１との挟持力とで、積層体Ｉ
Ｂが供給ローラ２から自動的に供給されるようになって
いる。

積層体ＩＢが、一定量、熱圧着ラミネートされると、メ
インバキュームプレート１０、サブバキュームプレート
１３、回転バキュームプレート１５の夫々の吸着動作が
実質的に同時に開始される６そして、第９図に示す状態
から、駆動源１２Ｇで支持部材１２を移動させ、メイン
バキュームプレート１０で積層体ＩＢを絶縁性基板１１
に供給すると共に、前記第２図に示すように、サブバキ
ュームプレート１３の下部吸着部１３ｂで積層体ＩＢの
後端部（切断位置）を切断装置１４の切断位置に一致さ
せる。積層体ＩＢの供給速度（支持部材１２の移動速度
）は、熱圧着ローラ１６による熱圧着ラミネート速度（
熱圧着ローラ１６の周速度）よりも速く設定されている
。

このように、メインバキュームプレート１０とサブバキ
ュームプレート１３とを支持部材１２に設け、この支持
部材１２を絶縁性基板１１に近接及び離反するように装
置本体７に設けたことにより、メインバキュームプレー
ト１０の吸着動作と実質的に同時に、積層体ＩＢの後端
部（切断位置）をサブバキュームプレート１３で吸着し
、メインバキュームプレート１０とサブバキュームプレ
ート１３とを支持部材１２で移動させて、切断袋Ｗ１１
４の切断位置に積層体ＩＢの切断位置を一致させること
ができるので。

メインバキュームプレート１０とサブバキュームプレー
ト１３との間の積層体ＩＢに不必要なたるみを生じるこ
とがなくなる。つまり、第９図に示す、メインバキュー
ムプレート１０とサブバキュームプレート１３の円板状
カッター１４Ｇが作用する位置（コの字形状部）との距
離工は、第２図に示す積層体ＩＢの切断位置と切断袋！
ｉ１４の切断位置とを一致させた状態においても変化す
ることがない。

したがって、積層体ＩＢの切断位置と切断装置１１１４
の切断位置とを正確に一致させることができるので、絶
縁性基板１１の寸法に対して正確な寸法に積層体ＩＢを
切断し、熱圧着ラミネートすることができ、製造上の歩
留りを向上することができる。

しかも、前述のように、メインバキュームプレート１０
及びサブバキュームプレート１３を設けた支持部材１２
は、切断装置１４を装置本体７に固定しているので、小
さな駆動能力の駆動源１２Ｃで駆動させることができる
。

前記積層体ＩＢの供給後及び積層体ＩＢの切断位置を切
断装置１４の切断位置に一致させると、サブバキューム
プレート１０と回転バキュームプレート１５との間にた
るみを持たせた積層体ＩＢ’　を形成することができる
。このたるみを持たせた積層体ＩＢ’の供給方向の両端
部は、薄膜矯正装置２０の矯正により、サブバキューム
プレート１３の下部吸着部１３ｂ１回転バキュームプレ
ート１５の夫々に確実に吸着させることができる。

この状態において、切断装置！１４により、積層体ＩＢ
の後端部（切断位置）が絶縁性基板１１の寸法に対応し
た所定寸法に切断される。積層体ＩＢの切断位置と切断
装置１４の切断位置とを正確に一致させた状態において
は、積層体ＩＢの切断位置が実質的に静止した状態であ
るが、前述のように、衝撃吸収装置２２で有効に薄膜張
付装置に発生する振動を低減することができるので、切
断装置１１４は。

円板状カッター１４Ｇの移動速度を速くシ、積層体ＩＢ
を速い速度で切断することができる。

この後、切断装置１１４で切断された積層体ＩＢの後端
部が回転バキュームプレート１５に吸着されると、熱圧
着ローラ１６の回転速度より若干遅い速度で回転バキュ
ームプレート１５が回転し、絶縁性基板１１の導電層上
に積層体ＩＢの後端部を熱圧着ラミネートすることがで
きる０回転バキュームブレート１５は、熱圧着ローラ１
６の回転速度より若干遅い速度で回転すると、熱圧着ロ
ーラ１６との間の積層体ＩＢに適度なテンションを与え
ることができるので、積層体ＩＢにしわ等を生じること
がない。

積層体ＩＢが熱圧着ラミネートされた絶縁性基板１１は
、熱圧着ローラ１６の回転力により、基板ガイド部材２
１を通して、トラブルを生じることなく、後段搬送装置
１８の搬送ローラ１８Ａ及び１８Ｂに搬送される。後段
搬送装置１８に搬送された絶縁性基板１１は、露光装置
に搬送される。

以上１本発明者によってなされた発明を、前記実施例に
基づき具体的に説明したが１本発明は。

前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲において１種々変形し得ることは勿論である
。

例えば、本発明は、切断装置１４を積層体ＩＢの供給方
向と同一方向に移動するように構成し、切断装置！１４
を移動させながら積層体ＩＢを切断してもよい。

また１本発明は、前記サブバキュームプレート１３を、
仮付部１０Ｅに積層体ＩＢの供給方向の先端部を吸着さ
せるサブバキュームプレートと、前記切断装置！１４の
ホルダとして使用されるサブバキュームプレートとで構
成し、夫々を独立に制御してもよい。

また、本発明は、前記実施例の絶縁性基板１１を予熱し
た後、この絶縁性基板１１に積層体ＩＢを非加熱圧着ロ
ーラで熱圧着ラミネートする薄膜張付装置に適用するこ
とができる。

また、本発明は、建築材として使用される化粧板に保護
膜を張り付ける薄膜張付装置に適用することができる。

（３）発明の効果本発明によれば、連続した薄膜の供給方向と交差する方
向にカッターを移動させて前記薄膜を所定の寸法に切断
する切断装置を有し、この切断装置で切断された薄膜を
基板に張り付ける薄膜張付装置において、前記切断装置
のカッターの移動を停止する際にその衝撃を吸収する衝
撃吸収装置を。

前記切断装置のカッターが停止する位置の近傍の所定部
、又は薄膜張付装置本体の所定部に設けたことにより、
切断装置のカッターの移動を停止する際の衝撃を吸収す
ることができるので、切断装置或は薄膜張付装置の振動
を低減することができる。この結果、薄膜張付装置の薄
膜の切断速度を速くすることができるので、生産能力を
高めることができる。

また９本発明は、前記構成に、前記連続した薄膜を基板
に供給する薄膜供給部材を支持部材に取り付け、該支持
部材を基板に対しで近接及び離反するように薄膜張付装
置本体に設け、前記連続した薄膜の切断部分を簿膜供給
経路内に保持する薄膜保持部材を前記支持部材に設け、
該薄膜保持部材で保持される連続した薄膜を所定寸法に
切断する前記切断装置を、前記薄膜供給部材と基板との
間の薄膜供給経路の近傍の薄膜張付装置本体に固定した
ことにより、前記薄膜供給部材と薄膜保持部材とを支持
部材に設け、薄膜供給部材で薄膜を保持すると同時に、
薄膜保持部材で薄膜の切断位置を保持し、この状態で前
記切断装置で薄膜を切断することができるので、薄膜供
給部材と薄膜保持部材との間の薄膜のたるみをなくし、
薄膜の切断位置と切断装置の切断位置とを正確に一致さ
せることができると共に、前記切断装置を薄膜張付装置
本体に固定し、前記支持部材の重量を軽くしたので、駆
動能力の小さな駆動源で支持部材を駆動することができ
る。この結果、前記薄膜の切断位置と切断装置の切断位
置とを正確に一致させることができるので、薄膜を正確
な寸法で切断し５製造上の歩留りを向上することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である薄膜張付装置の概略
構成図、第２図は、前記第１図の要部拡大構成図。第３図は、前記第１図及び第２図に示すメインバキュー
ムプレートの部分断面斜視図、第４図は、前記第１図及
び第２図に示す切断装置の概略斜視図、第５図は、前記第２図における矢印■方向から見た切断
装置の概略平面図、第６図は、前記第５図のｖｉ−ＶＩ線で切った要部断面
図。第７図乃至第９図は、熱圧着ラミネート方法を説明する
ために、各工程毎に示す前記第１図の要部拡大構成図で
ある。図中、ＩＢ・・・積層体（薄膜）、２・・・供給ローラ
。７・・・装置本体、１０・・・メインバキュームプレー
ト（薄膜供給部材）、ＩＯＥ・・・仮付部、１１・・・
絶縁性基板、１２・・・支持部材、１２Ｇ、１２Ｄ、１
３Ａ・・・駆動源。１３・・・サブバキュームプレート（薄膜保持部材）。１４・・・切断装置、１４Ａ・・・ガイド部材、１４Ｂ
・・・移動部材、１４Ｇ・・・円板状カッター、１４Ｍ
・・・当接部材、２２・・・衝撃吸収装置、２２Ａ・・
・衝撃吸収可動部、２２Ｂ・・・衝撃吸収固定部である
。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）連続した薄膜の供給方向と交差する方向にカッタ
ーを移動させて前記薄膜を所定の寸法に切断する切断装
置を有し、この切断装置で切断された薄膜を基板に張り
付ける薄膜張付装置において、前記切断装置のカッター
の移動を停止する際にその衝撃を吸収する衝撃吸収装置
を、前記切断装置のカッターが停止する位置の近傍の所
定部、又は薄膜張付装置本体の所定部に設けたことを特
徴とする薄膜張付装置。
（２）前記衝撃吸収装置は、流体式ダンパ、電磁式ダン
パ等で構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載の薄膜張付装置。
（３）前記切断装置は、前記薄膜の供給方向と交差する
方向に延在して設けられたガイド部材と、該ガイド部材
に沿って移動する移動部材と、該移動部材に設けられた
円板状カッターとで構成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項又は第２項に記載の薄膜張付装置。
（４）前記切断装置のガイド部材の近傍には、ガイド部
材に沿ってラックが設けられ、前記移動部材には、前記
ラックに嵌合して前記円板状カッターを回転させるピニ
オンが設けられていることを特徴とする特許請求の範囲
第３項に記載の薄膜張付装置。
（５）前記切断装置の移動部材は、流体によってガイド
部材を移動するように構成されていることを特徴とする
特許請求の範囲第３項又は第４項に記載の薄膜張付装置
。
（６）前記切断装置の円板状カッターは、刃部分にふっ
素樹脂加工されていることを特徴とする特許請求の範囲
第３項乃至第５項に記載の夫々の薄膜張付装置。
（７）連続した薄膜の供給方向と交差する方向にカッタ
ーを移動させて前記薄膜を所定の寸法に切断する切断装
置を有し、この切断された薄膜を基板に張り付ける薄膜
張付装置において、前記連続した薄膜を基板に供給する
薄膜供給部材を支持部材に取り付け、該支持部材を基板
に対して近接及び離反するように薄膜張付装置本体に設
け、前記連続した薄膜の切断部分を薄膜供給経路内に保
持する薄膜保持部材を前記支持部材に設け、該薄膜保持
部材で保持される連続した薄膜を所定寸法に切断する切
断装置を、前記薄膜供給部材と基板との間の薄膜供給経
路の近傍の薄膜張付装置本体に固定し、該切断装置のカ
ッターの移動を停止する際にその衝撃を吸収する衝撃吸
収装置を、前記切断装置のカッターが停止する位置の近
傍の所定部、又は薄膜張付装置本体の所定部に設けたこ
とを特徴とする薄膜張付装置。
（８）前記薄膜供給部材は、支持部材に基板に対して近
接及び離反するように構成されていることを特徴とする
特許請求の範囲第７項に記載の薄膜張付装置。
（９）前記薄膜保持部材は、薄膜供給経路に近接及び離
反するように構成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第７項又は第８項に記載の薄膜張付装置。
（１０）前記薄膜供給部材は、薄膜供給方向側に薄膜の
供給方向先端部を基板に張り付ける仮付部が設けられて
いることを特徴とする特許請求の範囲第７項乃至第９項
に記載の夫々の薄膜張付装置。