JPS63200991A - 薄膜張付装置 - Google Patents
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- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(1)発明の目的
〔産業上の利用分野〕
本発明は、薄膜張付技術に関し、特に、連続した薄膜の
供給方向と交差する方向にカッターを移動させて前記薄
膜を所定の寸法に切断し、この切断された薄膜を基板に
張り付ける薄膜張付技術に適用して有効な技術に関する
ものである。
供給方向と交差する方向にカッターを移動させて前記薄
膜を所定の寸法に切断し、この切断された薄膜を基板に
張り付ける薄膜張付技術に適用して有効な技術に関する
ものである。
コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面又は
両面に形成されたものである。
この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。
ることができる。
まず、絶縁性基板上に設けられた導電層上に。
感光性樹脂(フォトレジスト)層とそれを保護する透光
性樹脂フィルム(保護膜)とからなる積層体を熱圧着ラ
ミネートする。この熱圧着ラミネートは。
性樹脂フィルム(保護膜)とからなる積層体を熱圧着ラ
ミネートする。この熱圧着ラミネートは。
薄膜張付装置所謂ラミネータにより量産的に行われる。
この後、前記積層体に配線パターンフィルムを重ね、こ
の配線パターンフィルム及び透光性樹脂フィルムを通し
て、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性
樹脂フィルムを剥離装置で剥離した後、露光された感光
性樹脂層を現像してエツチングマスクパターンを形成す
る。この後、前記導電層の不必要部分をエツチングによ
り除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し。
の配線パターンフィルム及び透光性樹脂フィルムを通し
て、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透光性
樹脂フィルムを剥離装置で剥離した後、露光された感光
性樹脂層を現像してエツチングマスクパターンを形成す
る。この後、前記導電層の不必要部分をエツチングによ
り除去し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し。
所定の配線パターンを有するプリント配線板を形成する
。
。
前述のプリント配線板の製造工程において使用される薄
膜張付装置は、自動的に積層体を熱圧着ラミネートする
ように構成されている。本願出願人により先に出願され
た特開昭60−71229号公報に記載される薄膜張付
装置は、次のように熱圧着ラミネートを行っている。
膜張付装置は、自動的に積層体を熱圧着ラミネートする
ように構成されている。本願出願人により先に出願され
た特開昭60−71229号公報に記載される薄膜張付
装置は、次のように熱圧着ラミネートを行っている。
まず、薄膜張付装置の供給ローラに連続的に巻回されて
いる積層体を、メインバキュームプレートで基板に供給
する。メインバキュームプレートは、積層体供給面に複
数の吸着孔が設けられており、この吸着孔に積層体を吸
着し供給するように構成されている。基板に供給される
積層体の先端部は、メインバキュームプレートの供給方
向先端側に設けられた円孤形状の仮付部で絶縁性基板の
導電層上に仮り付け(仮熱圧着)される、積層体の先端
部は、積層体の供給経路に近接又は離反するサブバキュ
ームプレートにより、仮付部に吸着させることができる
。
いる積層体を、メインバキュームプレートで基板に供給
する。メインバキュームプレートは、積層体供給面に複
数の吸着孔が設けられており、この吸着孔に積層体を吸
着し供給するように構成されている。基板に供給される
積層体の先端部は、メインバキュームプレートの供給方
向先端側に設けられた円孤形状の仮付部で絶縁性基板の
導電層上に仮り付け(仮熱圧着)される、積層体の先端
部は、積層体の供給経路に近接又は離反するサブバキュ
ームプレートにより、仮付部に吸着させることができる
。
次に、先端部が仮り付けされた積層体は、熱圧着ローラ
で基板に熱圧着ラミネートされる。積層体が一定量熱圧
着ラミネートされると、切断装置により基板に対応した
所定寸法に積層体が切断される。切断装置は、積層体の
供給方向と交差する方向に移動する円板状のカッターを
有しており、このカッターの移動で積層体を切断するこ
とができる。カッターは、ロッドレスタイプのエアーシ
リングの移動子に連結された移動部材に支持されている
。
で基板に熱圧着ラミネートされる。積層体が一定量熱圧
着ラミネートされると、切断装置により基板に対応した
所定寸法に積層体が切断される。切断装置は、積層体の
供給方向と交差する方向に移動する円板状のカッターを
有しており、このカッターの移動で積層体を切断するこ
とができる。カッターは、ロッドレスタイプのエアーシ
リングの移動子に連結された移動部材に支持されている
。
次に、積層体の供給方向の後端部は、熱圧着ローラで基
板に張り付けられる。
板に張り付けられる。
前述の薄膜張付装置は、積層体の熱圧着ラミネート速度
を速くし、プリント配線板の生産能力を高める要求があ
る。熱圧着ラミネート速度を速くするには、積層体の供
給速度、積層体の切断速度。
を速くし、プリント配線板の生産能力を高める要求があ
る。熱圧着ラミネート速度を速くするには、積層体の供
給速度、積層体の切断速度。
積層体の熱圧着速度の夫々を速くする必要がある。
特に、積層体の切断は、カッターを移動させるときに、
積層体の切断位置を供給方向において実質的に静止させ
なければならないので、カッターの移動速度がかなり速
くなる。このため、カッターの移動で積層体の切断を終
了した後、カッターが停止位置に停止する際に、切断装
置及びこの切断装置を通して薄膜張付装置が振動する。
積層体の切断位置を供給方向において実質的に静止させ
なければならないので、カッターの移動速度がかなり速
くなる。このため、カッターの移動で積層体の切断を終
了した後、カッターが停止位置に停止する際に、切断装
置及びこの切断装置を通して薄膜張付装置が振動する。
本発明者は、実験ならびにその検討の結果、前記振動が
切断装置のロッドレスシリンダ内の端部と移動子との衝
突で生じるものであることを確認している。ロッドレス
シリンダ内の端部には、移動子との衝突による振動を低
減するために、移動子を移動させる空気を多少残存させ
、クッション性を持たせている。しかしながら、移動子
の移動速度すなわちカッターの移動速度を速くした場合
、前記ロッドレスシリンダ内の空気によるクッションで
は、移動子の衝突を防止することができない。
切断装置のロッドレスシリンダ内の端部と移動子との衝
突で生じるものであることを確認している。ロッドレス
シリンダ内の端部には、移動子との衝突による振動を低
減するために、移動子を移動させる空気を多少残存させ
、クッション性を持たせている。しかしながら、移動子
の移動速度すなわちカッターの移動速度を速くした場合
、前記ロッドレスシリンダ内の空気によるクッションで
は、移動子の衝突を防止することができない。
前記切断装置或は薄膜張付装置に生じる振動は、特に、
ジヨイント部のねじを緩める等、寿命を低下したり、或
はメンテナンス作業の労力を多大なものにするという問
題を生じる。
ジヨイント部のねじを緩める等、寿命を低下したり、或
はメンテナンス作業の労力を多大なものにするという問
題を生じる。
本発明の目的は、カッターの移動で薄膜を切断する切断
装置を有する薄膜張付装置において、前記切断装置或は
薄膜張付装置の振動を低減することが可能な技術を提供
することにある。
装置を有する薄膜張付装置において、前記切断装置或は
薄膜張付装置の振動を低減することが可能な技術を提供
することにある。
本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、薄膜
の張り付けの生産能力を高めることが可能な技術を提供
することにある。
の張り付けの生産能力を高めることが可能な技術を提供
することにある。
本発明の他の目的は、前記目的を達成し、切断装置或は
薄膜張付装置の長寿命化を図ることが可能な技術を提供
することにある。
薄膜張付装置の長寿命化を図ることが可能な技術を提供
することにある。
本発明の他の目的は、前記目的を達成し、薄膜張付装置
のメンテナンス作業性を高めることが可能な技術を提供
することにある。
のメンテナンス作業性を高めることが可能な技術を提供
することにある。
本発明の他の目的は、前記目的を達成すると共に、薄膜
の切断位置と切断装置の切断位置とを正確に一致させ、
薄膜供給部材を取り付けている支持部材を駆動能力の小
さな駆動源で駆動させることが可能な技術を提供するこ
とにある。
の切断位置と切断装置の切断位置とを正確に一致させ、
薄膜供給部材を取り付けている支持部材を駆動能力の小
さな駆動源で駆動させることが可能な技術を提供するこ
とにある。
本発明の他の目的は、前記他の目的を達成すると共に、
薄膜を正確な寸法で切断し、lll上上歩留りを向上す
ることが可能な技術を提供することにある。
薄膜を正確な寸法で切断し、lll上上歩留りを向上す
ることが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は1本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
(2)発明の構成
〔問題点を解決するための手段〕
本願において開示される発明のうち1代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本発明は、連続した薄膜の供給方向と交差する方向にカ
ッターを移動させて前記薄膜を所定の寸法に切断する切
断装置を有し、この切断装置で切断された薄膜を基板に
張り付ける薄膜張付装置において、前記切断装置のカッ
ターの移動を停止する際にその衝撃を吸収する衝撃吸収
装置を、前記切断装置のカッターが停止する位置の近傍
の所定部、又は薄膜張付装置本体の所定部に設けたこと
を特徴としたものである。
ッターを移動させて前記薄膜を所定の寸法に切断する切
断装置を有し、この切断装置で切断された薄膜を基板に
張り付ける薄膜張付装置において、前記切断装置のカッ
ターの移動を停止する際にその衝撃を吸収する衝撃吸収
装置を、前記切断装置のカッターが停止する位置の近傍
の所定部、又は薄膜張付装置本体の所定部に設けたこと
を特徴としたものである。
また、本発明は、前記構成に、前記連続した薄膜を基板
に供給する薄膜供給部材を支持部材に取り付け、該支持
部材を基板に近接及び離反するように薄膜張付装置本体
に設け、前記連続した薄膜の切断部分を薄膜供給経路内
に保持する薄膜保持部材を前記支持部材に設け、該薄膜
保持部材で保持される連続した薄膜を所定寸法に切断す
る前記切断装置を、前記薄膜供給部材と基板との間の薄
膜供給経路の近傍の薄膜張付装置本体に固定したことを
特徴としたものである。
に供給する薄膜供給部材を支持部材に取り付け、該支持
部材を基板に近接及び離反するように薄膜張付装置本体
に設け、前記連続した薄膜の切断部分を薄膜供給経路内
に保持する薄膜保持部材を前記支持部材に設け、該薄膜
保持部材で保持される連続した薄膜を所定寸法に切断す
る前記切断装置を、前記薄膜供給部材と基板との間の薄
膜供給経路の近傍の薄膜張付装置本体に固定したことを
特徴としたものである。
本発明は、前述の構成により、切断装置のカッターの移
動を停止する際の衝撃を吸収することがで壺るので、切
断装置或は薄膜張付装置の振動を低減することができる
。この結果、薄膜張付装置の薄膜の切断速度を速くする
ことができるので。
動を停止する際の衝撃を吸収することがで壺るので、切
断装置或は薄膜張付装置の振動を低減することができる
。この結果、薄膜張付装置の薄膜の切断速度を速くする
ことができるので。
生産能力を高めることができる。
また、本発明は、前述の構成により、前記薄膜供給部材
と薄膜保持部材とを支持部材に設け、薄膜供給部材で薄
膜を保持すると同時に、薄膜保持部材で#[の切断位置
を保持し、この状態で前記切断装置で薄膜を切断するこ
とができるので、薄膜供給部材と薄膜保持部材との間の
薄膜のたるみをなくシ、薄膜の切断位置と切断装置の切
断位置とを正確に一致させることができると共に、前記
切断装置を薄膜張付装置本体に固定し、前記支持部材の
重量を軽くしたので、駆動能力の小さな駆動源で支持部
材を駆動することができる。この結果、前記薄膜の切断
位置と切断時の切断装置の位置とを正確に一致させるこ
とができるので、薄膜を正確な寸法で切断し、製造上の
歩留りを向上することができる。
と薄膜保持部材とを支持部材に設け、薄膜供給部材で薄
膜を保持すると同時に、薄膜保持部材で#[の切断位置
を保持し、この状態で前記切断装置で薄膜を切断するこ
とができるので、薄膜供給部材と薄膜保持部材との間の
薄膜のたるみをなくシ、薄膜の切断位置と切断装置の切
断位置とを正確に一致させることができると共に、前記
切断装置を薄膜張付装置本体に固定し、前記支持部材の
重量を軽くしたので、駆動能力の小さな駆動源で支持部
材を駆動することができる。この結果、前記薄膜の切断
位置と切断時の切断装置の位置とを正確に一致させるこ
とができるので、薄膜を正確な寸法で切断し、製造上の
歩留りを向上することができる。
〔発明の実施例〕
以下、プリント配線用基板に感光性樹脂層と透光性樹脂
フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする薄膜
張付装置に適用した本発明の一実施例について1図面を
用いて具体的に説明する。
フィルムとからなる積層体を熱圧着ラミネートする薄膜
張付装置に適用した本発明の一実施例について1図面を
用いて具体的に説明する。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。
本発明の一実施例である薄膜張付装置を第1図(概略構
成図)で示す。
成図)で示す。
第1図に示すように、透光性樹脂フィルム、感光性樹脂
層及び透光性樹脂フィルムの3層構造からなる積層体重
は、供給ローラ2に連続的に巻回されている。供給ロー
ラ2の積層体1は、薄膜分離ローラ3で、透光性樹脂フ
ィルム(保護膜)IAと、−面(接着面)が露出された
感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体I
Bとに分離される。分離された透光性樹脂フィルムIA
は、巻取ローラ4により巻き取られるように構成されて
いる。
層及び透光性樹脂フィルムの3層構造からなる積層体重
は、供給ローラ2に連続的に巻回されている。供給ロー
ラ2の積層体1は、薄膜分離ローラ3で、透光性樹脂フ
ィルム(保護膜)IAと、−面(接着面)が露出された
感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体I
Bとに分離される。分離された透光性樹脂フィルムIA
は、巻取ローラ4により巻き取られるように構成されて
いる。
前記薄膜分離ローラ3で分離された積層体IBの供給方
向の先端部は、第1図及び第2図(要部拡大構成図)に
示すように、テンションローラ9を通してメインバキュ
ームプレート10に吸着されるように構成されている。
向の先端部は、第1図及び第2図(要部拡大構成図)に
示すように、テンションローラ9を通してメインバキュ
ームプレート10に吸着されるように構成されている。
テンションローラ9は、供給ローラ2とメインバキュー
ムプレート10との間の積層体IBに適度なテンション
を与えるように構成されている。つまり、テンションロ
ーラ9は、供給される積層体IBにしわ等を生じないよ
うに構成されている。
ムプレート10との間の積層体IBに適度なテンション
を与えるように構成されている。つまり、テンションロ
ーラ9は、供給される積層体IBにしわ等を生じないよ
うに構成されている。
メインバキュームプレート(#膜供給部材)10は。
積層体IBを供給ローラ2から絶縁性基板11の導電層
(例えば、Cu層)上に供給するように構成されている
。メインバキュームプレート10は、第1図及び第2図
で示すように、絶縁性基板11に近接しかつ離反する(
矢印B方向に移動する)支持部材12に設けられている
。支持部材12は5ガイド部材7Aを矢印B方向に摺動
可能なように、装置本体(wt膜膜付付装置筐体)7に
設けられている。支持部材12は、絶縁性基板11の搬
送経路を中心に、上下、一対に設けられている。上部の
支持部材12と下部の支持部材12とは、ラックアンド
ピニオン機構により連動的に動作する(両者が同時に近
接又は離反する)ように構成されている。つまり、上下
、一対の支持部材12は、夫々に設けられたラック12
Aと、このラック12Aと嵌合するピニオン12Bとで
連動的に動作する。この支持部材12の動作は、下部の
支持部材12に設けられた駆動源12Gで行われる。駆
動源12Cは1例えば、エアーシリンダで構成する。ま
た、駆動源12Gは、油圧シリンダ、電磁シリンダ、ス
テップモータ及びその変位を支持部材12に伝達する伝
達機構等で構成することができる。
(例えば、Cu層)上に供給するように構成されている
。メインバキュームプレート10は、第1図及び第2図
で示すように、絶縁性基板11に近接しかつ離反する(
矢印B方向に移動する)支持部材12に設けられている
。支持部材12は5ガイド部材7Aを矢印B方向に摺動
可能なように、装置本体(wt膜膜付付装置筐体)7に
設けられている。支持部材12は、絶縁性基板11の搬
送経路を中心に、上下、一対に設けられている。上部の
支持部材12と下部の支持部材12とは、ラックアンド
ピニオン機構により連動的に動作する(両者が同時に近
接又は離反する)ように構成されている。つまり、上下
、一対の支持部材12は、夫々に設けられたラック12
Aと、このラック12Aと嵌合するピニオン12Bとで
連動的に動作する。この支持部材12の動作は、下部の
支持部材12に設けられた駆動源12Gで行われる。駆
動源12Cは1例えば、エアーシリンダで構成する。ま
た、駆動源12Gは、油圧シリンダ、電磁シリンダ、ス
テップモータ及びその変位を支持部材12に伝達する伝
達機構等で構成することができる。
前記メインバキュームプレート10は、支持部材12の
移動とは独立的に、絶縁性基板11に近接しかつ離反す
る(矢印C方向に移動する)ように支持部材12に設け
られている。メインバキュームプレート10は、支持部
材12に設けられた駆動源12Dと。
移動とは独立的に、絶縁性基板11に近接しかつ離反す
る(矢印C方向に移動する)ように支持部材12に設け
られている。メインバキュームプレート10は、支持部
材12に設けられた駆動源12Dと。
ラックアンドピニオン機構とで動作するように構成され
ている。このラックアンドピニオン機構は、駆動源12
Dに設けられたピニオン12E、支持部材12に設けら
れたラック12F、メインバキュームプレート10に設
けられたラックIOAで構成されている。駆動源12D
は、駆動源12Gと同様のもので構成する。
ている。このラックアンドピニオン機構は、駆動源12
Dに設けられたピニオン12E、支持部材12に設けら
れたラック12F、メインバキュームプレート10に設
けられたラックIOAで構成されている。駆動源12D
は、駆動源12Gと同様のもので構成する。
メインバキュームプレート10には、第3図(部分断面
斜視図)で示すように、積層体IBの供給方向と略直交
する方向(幅方向)に延在する溝部10Bが搬送方向に
複数設けられている。溝部10Bの長さく積層体IBの
幅方向と同一方向の長さ)は、幅方向の積層体IBの寸
法と略同−の寸法で構成され、溝部10Bを積層体IB
が覆うように構成されている。溝部10Bの底部には、
積層体IBを吸着させるための吸着孔10Cが複数設け
られている。
斜視図)で示すように、積層体IBの供給方向と略直交
する方向(幅方向)に延在する溝部10Bが搬送方向に
複数設けられている。溝部10Bの長さく積層体IBの
幅方向と同一方向の長さ)は、幅方向の積層体IBの寸
法と略同−の寸法で構成され、溝部10Bを積層体IB
が覆うように構成されている。溝部10Bの底部には、
積層体IBを吸着させるための吸着孔10Cが複数設け
られている。
図示していないが、吸着孔10Cは、排気管を通して、
真空ポンプ等の真空源に接続されている。メインバキュ
ームプレート10の吸着動作、後述する仮付部10Eの
吸着動作の夫々は、独立に制御されるように構成されて
いる。溝部10Bの端部10Dは。
真空ポンプ等の真空源に接続されている。メインバキュ
ームプレート10の吸着動作、後述する仮付部10Eの
吸着動作の夫々は、独立に制御されるように構成されて
いる。溝部10Bの端部10Dは。
メインバキュームプレート10の端部から中央部に掘り
下げたテーバ形状に構成されている。
下げたテーバ形状に構成されている。
積層体IBの供給方向におけるメインバキュームプレー
ト10の先端部には、積層体IBを吸着する面が円孤形
状に形成された仮付部10Eが設けられている。仮付部
10Eは、メインバキュームプレート10と一体に構成
されている。仮付部10Eの内部には、第1図及び第2
図に示すように、円孤形状部分を加熱するヒータIOF
が設けられている。
ト10の先端部には、積層体IBを吸着する面が円孤形
状に形成された仮付部10Eが設けられている。仮付部
10Eは、メインバキュームプレート10と一体に構成
されている。仮付部10Eの内部には、第1図及び第2
図に示すように、円孤形状部分を加熱するヒータIOF
が設けられている。
仮付部10Eは、メインバキュームプレート10で供給
される積層体IBの先端部を、絶縁性基抜工1に仮り付
け(偏熱圧着)するように構成されている。
される積層体IBの先端部を、絶縁性基抜工1に仮り付
け(偏熱圧着)するように構成されている。
なお1本発明は、メインバキュームプレート10と仮付
部10Eとを、夫々、別部材で構成し、両者を支持部材
12に構成してもよい。
部10Eとを、夫々、別部材で構成し、両者を支持部材
12に構成してもよい。
前記仮付部10Hに近接した位置、つまり、仮付部10
Eと絶縁性基板11との間の積層体IBの供給経路の近
傍には、サブバキュームプレート(薄膜保持部材) 1
3が設けられている。サブバキュームプレート13は、
吸引孔を図示していないが、第2図に示すように、上部
吸着部13aと下部吸着部13bとを有し、コの字形状
に構成されている(このコの掌部分は積層体IBの切断
位置に相当する)。
Eと絶縁性基板11との間の積層体IBの供給経路の近
傍には、サブバキュームプレート(薄膜保持部材) 1
3が設けられている。サブバキュームプレート13は、
吸引孔を図示していないが、第2図に示すように、上部
吸着部13aと下部吸着部13bとを有し、コの字形状
に構成されている(このコの掌部分は積層体IBの切断
位置に相当する)。
サブバキュームプレート13の上部吸着部13aは、主
に、供給方向の積層体IBの先端部を吸着し。
に、供給方向の積層体IBの先端部を吸着し。
仮付部10Eに吸着(保持)させるように構成されてい
る。サブバキュームプレート13は、積層体IBの先端
部を仮付部10Eに吸着可能なように、積層体IBの供
給経路に対して近接及び離反(矢印り方向に移動)する
例えばエアーシリンダからなる駆動源13Aを介して、
支持部材12に取り付けられている。
る。サブバキュームプレート13は、積層体IBの先端
部を仮付部10Eに吸着可能なように、積層体IBの供
給経路に対して近接及び離反(矢印り方向に移動)する
例えばエアーシリンダからなる駆動源13Aを介して、
支持部材12に取り付けられている。
また、サブバキュームプレート13の下部吸着部13b
は、連続した積層体IBを切断装置14で切断し、この
切断された積層体IBの後端部を吸着し。
は、連続した積層体IBを切断装置14で切断し、この
切断された積層体IBの後端部を吸着し。
積層体IBの供給経路内に保持するように構成されてい
る。下部吸着部13bは、熱圧着ラミネート開始後1回
転バキュームプレート15との間において、第2図に示
すように、積層体IBにたるみを形成する(たるみを持
たせた積層体IB’ を形成する)ように構成されてい
る。このたるみを持たせた積層体IB’は、熱圧着ロー
ラ16の周速度(熱圧着ラミネート速度)に対して、メ
インバキュームプレート10の積層体IBの供給速度を
速く制御することにより形成することができる0両者の
制御は1図示していないが、シーケンス制御回路により
行われるようになっている。
る。下部吸着部13bは、熱圧着ラミネート開始後1回
転バキュームプレート15との間において、第2図に示
すように、積層体IBにたるみを形成する(たるみを持
たせた積層体IB’ を形成する)ように構成されてい
る。このたるみを持たせた積層体IB’は、熱圧着ロー
ラ16の周速度(熱圧着ラミネート速度)に対して、メ
インバキュームプレート10の積層体IBの供給速度を
速く制御することにより形成することができる0両者の
制御は1図示していないが、シーケンス制御回路により
行われるようになっている。
なお、サブバキュームプレート13の駆動源13Aとし
ては、エアーシリンダの他に前記駆動源12Cと同様に
、油圧シリンダ等で構成することができる。
ては、エアーシリンダの他に前記駆動源12Cと同様に
、油圧シリンダ等で構成することができる。
前記仮付部10Eと絶縁性基板11との間(実際には、
仮付部10Eと回転バキュームプレート15との間)の
積層体IBの供給経路の近傍の装置本体7には、切断袋
!i!14カ〜設けられている(固定されている)、詳
述すれば、切断袋W14は、MM体IBO後端部を切断
位置まで供給した時のサブバキュームプレート13に対
向した位置に構成されている。
仮付部10Eと回転バキュームプレート15との間)の
積層体IBの供給経路の近傍の装置本体7には、切断袋
!i!14カ〜設けられている(固定されている)、詳
述すれば、切断袋W14は、MM体IBO後端部を切断
位置まで供給した時のサブバキュームプレート13に対
向した位置に構成されている。
切断装置14は、絶縁性基板11を搬送する前段搬送装
置17側に構成されている(又はこの前段搬送装置17
に構成してもよい)。切断装置14は、メインバキュー
ムプレート10で連続的に供給される積層体iBを絶縁
性基板11の寸法に対応して所定の長さに切断するよう
に構成されている。
置17側に構成されている(又はこの前段搬送装置17
に構成してもよい)。切断装置14は、メインバキュー
ムプレート10で連続的に供給される積層体iBを絶縁
性基板11の寸法に対応して所定の長さに切断するよう
に構成されている。
この切断装置14の具体的な構成を第4図(概略斜視図
)、第5図(第2図の矢印■方向から見た概略平面図)
及び第6図(第5図のVI−VI線で切った断面図)で
示す。
)、第5図(第2図の矢印■方向から見た概略平面図)
及び第6図(第5図のVI−VI線で切った断面図)で
示す。
切断装置14は、第6図乃至第7図に示すように。
主に、ガイド部材14Aと、移動部材14Bと、円板状
カッター14Gとで構成されている。
カッター14Gとで構成されている。
ガイド部材14Aは、積層体IBの幅方向に延在し、そ
の両端部(又は一端部)が装置本体7に固定されている
。この固定は、ねじ、ボルト、ナツト。
の両端部(又は一端部)が装置本体7に固定されている
。この固定は、ねじ、ボルト、ナツト。
ビス、接着剤等の固定手段で行なわれる。ガイド部材1
4Aには、積層体IBの供給幅方向(第5図に示す矢印
E方向)において、移動部材14Bが正確にしかも滑ら
かに移動できるように構成されている。つまり、この移
動は、ガイド部材14Aに設けられた凹部14aと、移
動部材14Bに設けられた凹部14bとの間に、円柱形
状のコロ14cを設けることで行われている。
4Aには、積層体IBの供給幅方向(第5図に示す矢印
E方向)において、移動部材14Bが正確にしかも滑ら
かに移動できるように構成されている。つまり、この移
動は、ガイド部材14Aに設けられた凹部14aと、移
動部材14Bに設けられた凹部14bとの間に、円柱形
状のコロ14cを設けることで行われている。
移動部材14Bは、ガイド部材14Aに沿って矢印E方
向に移動するように構成されている。移動部材14Bは
、ガイド部材14Aに沿って延在しかつ両端部が装置本
体7に支持された中空管(ロッドレスシリンダ)14D
内を、矢印E′力方向移動する中空管内移動部材(移動
子)14Eと接続されている。
向に移動するように構成されている。移動部材14Bは
、ガイド部材14Aに沿って延在しかつ両端部が装置本
体7に支持された中空管(ロッドレスシリンダ)14D
内を、矢印E′力方向移動する中空管内移動部材(移動
子)14Eと接続されている。
中空管内移動部材14Eは、中空管14D内の内径より
も小さい寸法の円柱状で形成されており、中空管14D
の内壁と密接できようにシール材(例えば。
も小さい寸法の円柱状で形成されており、中空管14D
の内壁と密接できようにシール材(例えば。
○リング)が取り付けられている。中空管14Dは、中
空管内移動部材14Eと移動部材14Bとの連結部分以
外が、常時、自動的にシールされるように構成されてお
り、中空管140内の気密性が保持できるように構成さ
れている。中空管内移動部材14Eの移動は、中空管1
4Dの夫々の端部がら空気(air)等の流体を吹き込
む(又は吸引する)ことにより行われる。つまり、中空
管内移動部材14Eは5第5図において、中空管14D
の左側から流体を吹き込むと左側から右側に移動し、中
空管14Dの右側から流体を吹き込むと右側から左側に
移動するように構成されている。つまり、中空管内移動
部材14Eは、流体によって移動部材14Bを移動させ
るように構成されている。中空管14D内に吹き込む流
体としては、空気の他に、不活性ガス等の気体、水、油
等の液体を用いてもよい、また、移動部材14Bは、エ
アーシリンダ(ロッドタイプ)、油圧シリンダ、モータ
等で移動するように構成してもよい。
空管内移動部材14Eと移動部材14Bとの連結部分以
外が、常時、自動的にシールされるように構成されてお
り、中空管140内の気密性が保持できるように構成さ
れている。中空管内移動部材14Eの移動は、中空管1
4Dの夫々の端部がら空気(air)等の流体を吹き込
む(又は吸引する)ことにより行われる。つまり、中空
管内移動部材14Eは5第5図において、中空管14D
の左側から流体を吹き込むと左側から右側に移動し、中
空管14Dの右側から流体を吹き込むと右側から左側に
移動するように構成されている。つまり、中空管内移動
部材14Eは、流体によって移動部材14Bを移動させ
るように構成されている。中空管14D内に吹き込む流
体としては、空気の他に、不活性ガス等の気体、水、油
等の液体を用いてもよい、また、移動部材14Bは、エ
アーシリンダ(ロッドタイプ)、油圧シリンダ、モータ
等で移動するように構成してもよい。
円板状カッター14Cは、移動部材14Bの移動に従っ
て回転し、少なくともその円周部に積層体IBを切断す
る刃部が設けられている0円板状カッター14Gの回転
は、回転軸14Fに設けられた歯車(ピニオン)14G
を介在し、回転軸14Hに設けられた歯車14Iとラッ
ク14Jとの嵌合により与えられる。ラック14Jは、
第4図及び第5図に示すように、両端部(又は一端部)
が装置本体7に固定されている。この固定は、ビス、ボ
ルト、ナツト等の固定手段で行う6ラツク14Jと歯車
14Iとの嵌合は、移動部材14Bに設けられた保持ロ
ーラ14Lにより安定に保持される。
て回転し、少なくともその円周部に積層体IBを切断す
る刃部が設けられている0円板状カッター14Gの回転
は、回転軸14Fに設けられた歯車(ピニオン)14G
を介在し、回転軸14Hに設けられた歯車14Iとラッ
ク14Jとの嵌合により与えられる。ラック14Jは、
第4図及び第5図に示すように、両端部(又は一端部)
が装置本体7に固定されている。この固定は、ビス、ボ
ルト、ナツト等の固定手段で行う6ラツク14Jと歯車
14Iとの嵌合は、移動部材14Bに設けられた保持ロ
ーラ14Lにより安定に保持される。
円板状カッター14Cは例えば高速度工具鋼等の金属材
料で構成されており、少なくとも刃部の表面はふっ素樹
脂加工が施されている。ふっ素樹脂は、化学薬品に対し
不活性で耐熱性に優れており、摩擦係数が小さく、文種
々の物質が付着しづらい特徴がある。特に、薄膜張付装
置においては、fit層体IBの切断により生じる微小
で種々の化学薬品を含有する切り屑が刃部に付着し1円
板状カッター14Cの切れ味を劣化し易いので、ふっ素
樹脂加工は有効である。
料で構成されており、少なくとも刃部の表面はふっ素樹
脂加工が施されている。ふっ素樹脂は、化学薬品に対し
不活性で耐熱性に優れており、摩擦係数が小さく、文種
々の物質が付着しづらい特徴がある。特に、薄膜張付装
置においては、fit層体IBの切断により生じる微小
で種々の化学薬品を含有する切り屑が刃部に付着し1円
板状カッター14Cの切れ味を劣化し易いので、ふっ素
樹脂加工は有効である。
円板状カッター14Cの近傍の移動部材14Bには。
主に、作業者の安全を確保するために1円板状カッター
14Cti−覆う保護カバー14Kが設けられている。
14Cti−覆う保護カバー14Kが設けられている。
この切断装置14は、移動部材14Bがガイド部材14
Aを一方向に移動することにより、この移動で与えられ
る円板状カッター14Gの回転で、絶縁性基板11の長
さに対応した寸法に積層体IBを切断することができる
。また、円板状カッター14Gは、往復の移動により積
層体IBを切断することができるので、積層体IBの切
断時間を短縮することができる。
Aを一方向に移動することにより、この移動で与えられ
る円板状カッター14Gの回転で、絶縁性基板11の長
さに対応した寸法に積層体IBを切断することができる
。また、円板状カッター14Gは、往復の移動により積
層体IBを切断することができるので、積層体IBの切
断時間を短縮することができる。
このように構成される薄膜張付装置において、メインバ
キュームプレート10とサブバキュームプレート13と
を支持部材12に設け、この支持部材12を絶縁性基板
11に近接及び離反するように装置本体7に設け、積層
体IBを切断する切断装置14を仮付部10Eと絶縁性
基板11との間の積層体IBの供給経路の近傍の装置本
体7に固定したことにより、前記支持部材12で支持す
る部材の重量を軽くしたので、駆動能力(容量)の小さ
な駆動源12Gで支持部材12を駆動することができる
。
キュームプレート10とサブバキュームプレート13と
を支持部材12に設け、この支持部材12を絶縁性基板
11に近接及び離反するように装置本体7に設け、積層
体IBを切断する切断装置14を仮付部10Eと絶縁性
基板11との間の積層体IBの供給経路の近傍の装置本
体7に固定したことにより、前記支持部材12で支持す
る部材の重量を軽くしたので、駆動能力(容量)の小さ
な駆動源12Gで支持部材12を駆動することができる
。
また、支持部材12に支持される部品点数を低減するこ
とができるので、支持部材12及びその周辺の構成を簡
単化し、薄膜張付装置を小型化することができる。
とができるので、支持部材12及びその周辺の構成を簡
単化し、薄膜張付装置を小型化することができる。
また、駆動源12C等を小型化することができるので、
薄膜張付装置の製造上のコストを低減することができる
。
薄膜張付装置の製造上のコストを低減することができる
。
前記切断袋M14の円板状カッター14Cの移動を停止
する位置の近傍、すなわち、積層体IBの幅方向の夫々
の端部の近傍の装置本体7には、第4図乃至第6図に示
すように、衝撃吸収装置22が設けられている。衝撃吸
収装置22は、主に、衝撃吸収可動部22Aと衝撃吸収
固定部22Bとで構成されている。衝撃吸収固定部22
Bは、ビス等の固着手段で取り付けられた支持フレーム
7B、ナツト7Cを介在させて装置本体7に設けられて
いる。衝撃吸収可動部22Aは、切断装置14の移動部
材14Bにビス、ボルド等の固定手段で固着された当接
部材14Mと当接するように構成されている。この当接
部材14Mは、その全体を金属材料で構成してもよいが
、より衝撃吸収を効果的に行うと共にその当接部を保護
するために、その当接部材の全部又は一部を衝撃を吸収
するような材料、例えばプラスチック、ゴム等からなる
弾性を有する材料で構成してもよい、すなわち、衝撃吸
収装置22は、円板状カッター14Gを停止する際にそ
の衝撃を吸収するように構成されている。
する位置の近傍、すなわち、積層体IBの幅方向の夫々
の端部の近傍の装置本体7には、第4図乃至第6図に示
すように、衝撃吸収装置22が設けられている。衝撃吸
収装置22は、主に、衝撃吸収可動部22Aと衝撃吸収
固定部22Bとで構成されている。衝撃吸収固定部22
Bは、ビス等の固着手段で取り付けられた支持フレーム
7B、ナツト7Cを介在させて装置本体7に設けられて
いる。衝撃吸収可動部22Aは、切断装置14の移動部
材14Bにビス、ボルド等の固定手段で固着された当接
部材14Mと当接するように構成されている。この当接
部材14Mは、その全体を金属材料で構成してもよいが
、より衝撃吸収を効果的に行うと共にその当接部を保護
するために、その当接部材の全部又は一部を衝撃を吸収
するような材料、例えばプラスチック、ゴム等からなる
弾性を有する材料で構成してもよい、すなわち、衝撃吸
収装置22は、円板状カッター14Gを停止する際にそ
の衝撃を吸収するように構成されている。
衝撃吸収装置22は、例えば、流体式ダンパ(流体粘性
式、流体動圧式)、電磁にダンパ等で構成する。流体粘
性式ダンパ、流体動圧式ダンパの夫々で使用する流体と
しては、空気、不活性ガス等の気体、水、油(例えば、
シリコーン油)等の液体を使用する。
式、流体動圧式)、電磁にダンパ等で構成する。流体粘
性式ダンパ、流体動圧式ダンパの夫々で使用する流体と
しては、空気、不活性ガス等の気体、水、油(例えば、
シリコーン油)等の液体を使用する。
このように、切断装置14を有する薄膜張付装置におい
て、衝撃吸収装置!22を設けたことにより、円板状カ
ッター14Cの移動を停止する際の衝撃を吸収すること
ができるので、切断装置14或は装置本体7の振動を低
減することができる。この結果。
て、衝撃吸収装置!22を設けたことにより、円板状カ
ッター14Cの移動を停止する際の衝撃を吸収すること
ができるので、切断装置14或は装置本体7の振動を低
減することができる。この結果。
切断装置14の円板状カッター14Gの移動速度を速く
シ、積層体IBの切断速度を速くすることができるので
、薄膜張付装置の生産能力を高めることができる。さら
に、衡撃吸収装置22は、切断装置14成は薄膜張付装
置の長寿命化を図ることができ、又、メンテナンス作業
性を高めることができる。
シ、積層体IBの切断速度を速くすることができるので
、薄膜張付装置の生産能力を高めることができる。さら
に、衡撃吸収装置22は、切断装置14成は薄膜張付装
置の長寿命化を図ることができ、又、メンテナンス作業
性を高めることができる。
また、薄膜張付装置は、メインバキュームプレート10
とサブバキュームプレート13とを支持部材12に設け
、この支持部材12を絶縁性基板11に近接及び離反す
るように装置本体7に設け、積層体IBを切断する切断
装置14を仮付部10Eと絶縁性基板11との間の積層
体IBの供給経路の近傍の装置本体7に固定し、さらに
、前述の衝撃吸収袋W122を設けることにより、前記
支持部材12で支持する部材の重量を軽くしたので、駆
動能力の小さな駆動源12Gで支持部材12を駆動する
ことができると共に、切断袋!!14或は装置本体7の
振動を低減し、薄膜張付装置の生産能力を高めることが
できる。
とサブバキュームプレート13とを支持部材12に設け
、この支持部材12を絶縁性基板11に近接及び離反す
るように装置本体7に設け、積層体IBを切断する切断
装置14を仮付部10Eと絶縁性基板11との間の積層
体IBの供給経路の近傍の装置本体7に固定し、さらに
、前述の衝撃吸収袋W122を設けることにより、前記
支持部材12で支持する部材の重量を軽くしたので、駆
動能力の小さな駆動源12Gで支持部材12を駆動する
ことができると共に、切断袋!!14或は装置本体7の
振動を低減し、薄膜張付装置の生産能力を高めることが
できる。
特に1本実施例のような薄膜張付装置は、切断装置14
を装置本体7に固定すると、後述するが、積層体IBの
切断位置を実質的に静止させてから円板状カッター14
Cを移動させるので、積層体IBの切断速度を速くする
ためには1円板状カッター14C,の移動をかなり速く
する必要がある。このため1円板状カッター14Gの移
動を停止する際にかなり強い衝撃が生じる。つまり、切
断装置14を装置本体7に固定する薄膜張付装置は、N
!!吸収装!22を設けることが特に有効である。
を装置本体7に固定すると、後述するが、積層体IBの
切断位置を実質的に静止させてから円板状カッター14
Cを移動させるので、積層体IBの切断速度を速くする
ためには1円板状カッター14C,の移動をかなり速く
する必要がある。このため1円板状カッター14Gの移
動を停止する際にかなり強い衝撃が生じる。つまり、切
断装置14を装置本体7に固定する薄膜張付装置は、N
!!吸収装!22を設けることが特に有効である。
また、衝撃吸収装置22は、装置本体7に設けることに
限定されず、切断鋏!141例えば、移動する移動部材
14B、或は固定されたラック14J、ガイド部材14
A、中空管140の外部に設けてもよい。
限定されず、切断鋏!141例えば、移動する移動部材
14B、或は固定されたラック14J、ガイド部材14
A、中空管140の外部に設けてもよい。
前記第1図及び第2図に示すメインバキュームプレート
10の仮付部10Eで絶縁性基板11の導電層上に先端
部が仮り付け(成熱圧着)される積層体IBは、熱圧着
ローラ16でその全体が熱圧着ラミネートされるように
構成されている。熱圧着ローラ16は、積層体IBの先
端部を仮付部10Eで仮り付けする仮付動作時は、第1
図に符号16′ を符した点線で示す位置に配置されか
つ回転している。熱圧着ローラ16は、仮付動作時に、
仮付部10Eと接触しないように構成されている。仮付
動作後の熱圧着ローラ16は、符号16′ を示す点線
で示した位置から実線で示す位置、つまり、積層体IB
を介在して絶縁性基板11を挟持する位置に移動するよ
うに構成されている。積層体IBを介在して絶縁性基板
11を挟持した熱圧着ローラ16は、第2図に示す矢印
F方向に回転し、積層体IBを絶縁性基板11の導1!
暦上に熱圧着ラミネートすると共に。
10の仮付部10Eで絶縁性基板11の導電層上に先端
部が仮り付け(成熱圧着)される積層体IBは、熱圧着
ローラ16でその全体が熱圧着ラミネートされるように
構成されている。熱圧着ローラ16は、積層体IBの先
端部を仮付部10Eで仮り付けする仮付動作時は、第1
図に符号16′ を符した点線で示す位置に配置されか
つ回転している。熱圧着ローラ16は、仮付動作時に、
仮付部10Eと接触しないように構成されている。仮付
動作後の熱圧着ローラ16は、符号16′ を示す点線
で示した位置から実線で示す位置、つまり、積層体IB
を介在して絶縁性基板11を挟持する位置に移動するよ
うに構成されている。積層体IBを介在して絶縁性基板
11を挟持した熱圧着ローラ16は、第2図に示す矢印
F方向に回転し、積層体IBを絶縁性基板11の導1!
暦上に熱圧着ラミネートすると共に。
この絶縁性基板11を搬送するように構成されている。
熱圧着ラミネート工程中においては、メインバキューム
プレート10及びサブバキュームプレート13の積層体
IBの吸着動作は停止している。すなわち、熱圧着ロー
ラ16には、その回転力と、絶縁性基板11どの挟持力
とで、積層体IBが供給ローラ2から自動的に供給され
るように構成されている。
プレート10及びサブバキュームプレート13の積層体
IBの吸着動作は停止している。すなわち、熱圧着ロー
ラ16には、その回転力と、絶縁性基板11どの挟持力
とで、積層体IBが供給ローラ2から自動的に供給され
るように構成されている。
前記切断装置14で切断された積層体IBの後端部は、
三角形状の回転バキュームプレート15でしわ等を生じ
ないようにガイドされ、熱圧着ローラ16で熱圧着ラミ
ネートされるように構成されている。回転バキュームプ
レート15は、熱圧着ローラ16と同一軸に支持されか
つそれを中心に回転するように構成されており、図示し
ていないが、積層体IBと対向する吸着面には、複数の
吸引孔15Aが設けられている。前記吸着孔15Aが配
設された吸着面の構造は、第3図に示すメインバキュー
ムプレート10の吸着面と同様の構造になっている。
三角形状の回転バキュームプレート15でしわ等を生じ
ないようにガイドされ、熱圧着ローラ16で熱圧着ラミ
ネートされるように構成されている。回転バキュームプ
レート15は、熱圧着ローラ16と同一軸に支持されか
つそれを中心に回転するように構成されており、図示し
ていないが、積層体IBと対向する吸着面には、複数の
吸引孔15Aが設けられている。前記吸着孔15Aが配
設された吸着面の構造は、第3図に示すメインバキュー
ムプレート10の吸着面と同様の構造になっている。
図示しないが、回転バキュームプレート15の上面にも
吸引孔を設けてもよく、このように構成することにより
、第2図に示すように、たるみを持たせた積層体IB’
をより形成し易くすることができる。
吸引孔を設けてもよく、このように構成することにより
、第2図に示すように、たるみを持たせた積層体IB’
をより形成し易くすることができる。
前記絶縁性基板11は、搬送ローラ(下段)17Aと搬
送ローラ(上段)17Bとで構成される前段搬送装置1
7により、薄膜張付装置の積層体IBの仮付位置まで搬
送される。また、搬送ローラ(下段)18Aと搬送ロー
ラ(上段)18Bとで構成される後段搬送装置18は、
薄膜張付装置の熱圧着ローラ16で積層体IBが熱圧着
ラミネートされた絶縁性基板11を配線パターンを形成
する露光装置まで搬送するように構成されている。
送ローラ(上段)17Bとで構成される前段搬送装置1
7により、薄膜張付装置の積層体IBの仮付位置まで搬
送される。また、搬送ローラ(下段)18Aと搬送ロー
ラ(上段)18Bとで構成される後段搬送装置18は、
薄膜張付装置の熱圧着ローラ16で積層体IBが熱圧着
ラミネートされた絶縁性基板11を配線パターンを形成
する露光装置まで搬送するように構成されている。
前記メインバキュームプレート10の仮付部10Eの移
動部M(薄膜供給経路)近傍の装置本体7(又は前段搬
送装置17.或は支持部材12)には、第1図及び第2
図に示すように、薄膜矯正装置19が設けられている。
動部M(薄膜供給経路)近傍の装置本体7(又は前段搬
送装置17.或は支持部材12)には、第1図及び第2
図に示すように、薄膜矯正装置19が設けられている。
薄膜矯正装置19は、仮付部10Eに密着させる方向(
矢印G方向)に積層体IBの供給方向の先端部を矯正す
るように構成されている。
矢印G方向)に積層体IBの供給方向の先端部を矯正す
るように構成されている。
薄膜矯正袋[19は、積層体IBの幅方向に延在して設
けられた流体搬送管19Aと、この流体搬送管19Aに
複数設けられた流体吹付孔19Bとで構成されている。
けられた流体搬送管19Aと、この流体搬送管19Aに
複数設けられた流体吹付孔19Bとで構成されている。
流体搬送管19Aは、内部が中空に構成されており、常
圧よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流
体搬送管19Aの断面形状は1本実施例では略円形状に
構成されているが、これに限定されず、方形状又は楕円
形状に構成してもよい。
圧よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流
体搬送管19Aの断面形状は1本実施例では略円形状に
構成されているが、これに限定されず、方形状又は楕円
形状に構成してもよい。
流体吹付孔19Bは、積層体IBを矯正する方向に流体
を吹き付けるように設けられている。
を吹き付けるように設けられている。
薄膜矯正袋M19で使用する流体としては、空気を使用
する。また、流体としては、不活性ガス等の気体、水、
油等の液体を用いてもよい。
する。また、流体としては、不活性ガス等の気体、水、
油等の液体を用いてもよい。
さらに、サブバキュームプレート13の下部吸着部13
bと回転バキュームプレート15との間に供給される積
層体I B(I B’ )に近接した装置本体7(又は
前段搬送装置17、或は支持部材12)には、第1図及
び第2図に示すように、薄膜突出装置20が設けられて
いる。つまり、薄膜突出装置20は、熱圧着ローラ16
に密着させる方向(矢印H方向)に前記たるみを持たせ
た積層体IB’ を形成するように構成されている。薄
膜突出装置I!20は、積層体lBの供給幅方向に延在
して設けられた流体搬送管2OAと、この流体搬送管2
0Aに複数設けられた流体吹付孔20Bとで構成されて
いる。
bと回転バキュームプレート15との間に供給される積
層体I B(I B’ )に近接した装置本体7(又は
前段搬送装置17、或は支持部材12)には、第1図及
び第2図に示すように、薄膜突出装置20が設けられて
いる。つまり、薄膜突出装置20は、熱圧着ローラ16
に密着させる方向(矢印H方向)に前記たるみを持たせ
た積層体IB’ を形成するように構成されている。薄
膜突出装置I!20は、積層体lBの供給幅方向に延在
して設けられた流体搬送管2OAと、この流体搬送管2
0Aに複数設けられた流体吹付孔20Bとで構成されて
いる。
流体搬送管20Aは、内部が中空に構成されており、常
圧よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流
体搬送管20Aの断面形状は5本実施例では略円形状に
構成されているが、流体搬送管19Aと同様に、これに
限定されず、方形状又は楕円形状に構成してもよい。
圧よりも高圧力の流体を流すように構成されている。流
体搬送管20Aの断面形状は5本実施例では略円形状に
構成されているが、流体搬送管19Aと同様に、これに
限定されず、方形状又は楕円形状に構成してもよい。
流体吹付孔2OBは、積層体IB’の前記たるみを前述
のように突出させる方向に流体を吹き付けるように設け
られている。
のように突出させる方向に流体を吹き付けるように設け
られている。
薄膜突出装置20で使用する流体としては、薄膜矯正装
置19と同様に、空気を使用する。また、流体としては
、不活性ガス等の気体、水、油等の液体を用いてもよい
。
置19と同様に、空気を使用する。また、流体としては
、不活性ガス等の気体、水、油等の液体を用いてもよい
。
なお1本発明は、薄膜矯正装置19又は薄膜突出装[2
0を、積層体IBの幅方向に複数設けられた、積層体I
Bを前述の如く適正な方向に矯正又は突出させるように
流体を吹き付ける流体吹付ノズルで構成してもよい。
0を、積層体IBの幅方向に複数設けられた、積層体I
Bを前述の如く適正な方向に矯正又は突出させるように
流体を吹き付ける流体吹付ノズルで構成してもよい。
また、本発明は、薄膜矯正装置19又は薄膜突出装置2
0を、積層体IBの幅方向に延在して設けられた吸引管
と、この吸引管に複数設けられた。積層体IBを前述の
如く適正な方向に矯正又は突出させる方向に吸引する吸
引孔とで構成してもよい。
0を、積層体IBの幅方向に延在して設けられた吸引管
と、この吸引管に複数設けられた。積層体IBを前述の
如く適正な方向に矯正又は突出させる方向に吸引する吸
引孔とで構成してもよい。
また1本発明は、薄膜矯正装置19又は薄膜突出装置2
0を、積層体IBを前述の如く適正な方向に矯正又は突
出させる突状部材で構成してもよい。
0を、積層体IBを前述の如く適正な方向に矯正又は突
出させる突状部材で構成してもよい。
また1本発明は、薄膜矯正装置19を薄膜突出装置!2
0で、若しくは薄膜突出装置20を薄膜矯正装置19で
兼用することも可能である。
0で、若しくは薄膜突出装置20を薄膜矯正装置19で
兼用することも可能である。
前記熱圧着ローラ16と後段搬送装置18の搬送ローラ
18Aとの間の装置本体7(又は後段搬送装置18)に
は、第1図及び第2図に示すように、基板ガイド部材2
1が設けられている。基板ガイド部材21は、積層体I
Bが熱圧着ラミネートされた絶縁性基板11を、熱圧着
ラミネート位置から搬送ローラ18A及び18Bの位置
までガイドするように構成されている。基板ガイド部材
21は1例えば、絶縁性基板11の搬送方向に延在する
棒状部をその搬送幅方向に複数配置したクシ型形状で構
成する。クシ型形状に構成された基板ガイド部材21は
、絶縁性基板11の搬送に際して、絶縁性基板11どの
接触面積を小さくし摩擦抵抗を小さくできるので、スム
ーズに絶縁性基板11をガイドすることができる。
18Aとの間の装置本体7(又は後段搬送装置18)に
は、第1図及び第2図に示すように、基板ガイド部材2
1が設けられている。基板ガイド部材21は、積層体I
Bが熱圧着ラミネートされた絶縁性基板11を、熱圧着
ラミネート位置から搬送ローラ18A及び18Bの位置
までガイドするように構成されている。基板ガイド部材
21は1例えば、絶縁性基板11の搬送方向に延在する
棒状部をその搬送幅方向に複数配置したクシ型形状で構
成する。クシ型形状に構成された基板ガイド部材21は
、絶縁性基板11の搬送に際して、絶縁性基板11どの
接触面積を小さくし摩擦抵抗を小さくできるので、スム
ーズに絶縁性基板11をガイドすることができる。
なお、本発明は、基板ガイド部材21を網状構造で構成
してもよい。
してもよい。
また1本発明は、基板ガイド部材21を板状構造で構成
してもよい。
してもよい。
次に、本実施例の薄膜張付装置による積層体IBの熱圧
着ラミネート方法について、前記第1図乃至第6図、第
7図乃至第9図(各工程毎の要部拡大構成図)を用いて
簡単に説明する。
着ラミネート方法について、前記第1図乃至第6図、第
7図乃至第9図(各工程毎の要部拡大構成図)を用いて
簡単に説明する。
まず最初に、手作業により、薄膜分離ローラ3で分離さ
れた積層体IBの供給方向の先端部を、サブバキューム
プレート13と切断装!!14との間に配置する。
れた積層体IBの供給方向の先端部を、サブバキューム
プレート13と切断装!!14との間に配置する。
次に、前段搬送装置i!17の搬送ローラ17A及び1
7Bで搬送される絶縁性基板11の搬送方向の先端部が
仮付位置に搬送されると、サブバキュームプレート13
で積層体IBの先端部を吸着する。積層体IBの吸着後
、駆動源13Aで積層体IBの供給経路から離反する位
置にサブバキュームプレート13を移動させ、第7図に
示すように、仮付部10Eに積層体IBの先端部を吸着
させる。この時、メインバキュームプレート10及び仮
付部10Eの吸着動作が行われると共に、薄膜矯正装置
1119で積層体IBを矯正できるので、仮付部10E
に積層体IBの先端部を確実に吸着させることができる
。なお、連続動作が行われている時は、切断装置14で
切断された積層体IBの先端部が仮付部10Eに吸着さ
れる。
7Bで搬送される絶縁性基板11の搬送方向の先端部が
仮付位置に搬送されると、サブバキュームプレート13
で積層体IBの先端部を吸着する。積層体IBの吸着後
、駆動源13Aで積層体IBの供給経路から離反する位
置にサブバキュームプレート13を移動させ、第7図に
示すように、仮付部10Eに積層体IBの先端部を吸着
させる。この時、メインバキュームプレート10及び仮
付部10Eの吸着動作が行われると共に、薄膜矯正装置
1119で積層体IBを矯正できるので、仮付部10E
に積層体IBの先端部を確実に吸着させることができる
。なお、連続動作が行われている時は、切断装置14で
切断された積層体IBの先端部が仮付部10Eに吸着さ
れる。
この後、駆動源12Cで支持部材12を移動させ。
メインバキュームプレート10及びサブバキュームプレ
ート13を絶縁性基板11に近接する方向に移動させる
。この移動と共に、駆動源12Dで支持部材12に対し
てメインバキュームプレート10をさらに移動させ、第
8図に示すように、仮付部10Eに吸着された積層体I
Bの先端部を絶縁性基板11の導電層上に仮り付け(成
熱圧着)する。
ート13を絶縁性基板11に近接する方向に移動させる
。この移動と共に、駆動源12Dで支持部材12に対し
てメインバキュームプレート10をさらに移動させ、第
8図に示すように、仮付部10Eに吸着された積層体I
Bの先端部を絶縁性基板11の導電層上に仮り付け(成
熱圧着)する。
積層体IBの仮り付は後、メインバキュームプレート1
0及び仮付部10Eの吸着動作を停止し、第9図に示す
ように、駆動源12C及び12D(第1図に示す)でメ
インバキュームプレート10.仮付部10E及びザブバ
キュームプレート13を仮付位置から離反させる。この
離反は、前記第7図に示す積層体IBを仮付部10Eへ
吸着する工程における位置に比べてさらに離反する位置
に、駆動源12Gでメインバキュームプレート10及び
サブバキュームプレート13を移動させる。この移動量
(第9図に符号工を付けて示す量)は、積層体IB’に
持たせるたるみ量に比例する。このとき、支持部材12
の駆動源12Cは、前述したように、切断装置!14を
装置本体7に固定しているので、小型化或は駆動能力を
高めて動作速度の高速化を図ることができる。
0及び仮付部10Eの吸着動作を停止し、第9図に示す
ように、駆動源12C及び12D(第1図に示す)でメ
インバキュームプレート10.仮付部10E及びザブバ
キュームプレート13を仮付位置から離反させる。この
離反は、前記第7図に示す積層体IBを仮付部10Eへ
吸着する工程における位置に比べてさらに離反する位置
に、駆動源12Gでメインバキュームプレート10及び
サブバキュームプレート13を移動させる。この移動量
(第9図に符号工を付けて示す量)は、積層体IB’に
持たせるたるみ量に比例する。このとき、支持部材12
の駆動源12Cは、前述したように、切断装置!14を
装置本体7に固定しているので、小型化或は駆動能力を
高めて動作速度の高速化を図ることができる。
この後、符号16′ を付けて点線で示す位置から実線
で示す仮付位置に熱圧着ローラ16を近接させる。そし
て、この熱圧着ローラ16で積層体IBの先端部が仮り
付けされた絶縁性基板11を挟持し回転することにより
、絶縁性基板11の導電層上に積層体IBを熱圧着ラミ
ネートする。この時、メインバキュームプレート10.
仮付部10E、サブバキュームプレート13の夫々の吸
着動作は停止しているので、熱圧着ローラ16には、そ
の回転力と、絶縁性基板11との挟持力とで、積層体I
Bが供給ローラ2から自動的に供給されるようになって
いる。
で示す仮付位置に熱圧着ローラ16を近接させる。そし
て、この熱圧着ローラ16で積層体IBの先端部が仮り
付けされた絶縁性基板11を挟持し回転することにより
、絶縁性基板11の導電層上に積層体IBを熱圧着ラミ
ネートする。この時、メインバキュームプレート10.
仮付部10E、サブバキュームプレート13の夫々の吸
着動作は停止しているので、熱圧着ローラ16には、そ
の回転力と、絶縁性基板11との挟持力とで、積層体I
Bが供給ローラ2から自動的に供給されるようになって
いる。
積層体IBが、一定量、熱圧着ラミネートされると、メ
インバキュームプレート10、サブバキュームプレート
13、回転バキュームプレート15の夫々の吸着動作が
実質的に同時に開始される6そして、第9図に示す状態
から、駆動源12Gで支持部材12を移動させ、メイン
バキュームプレート10で積層体IBを絶縁性基板11
に供給すると共に、前記第2図に示すように、サブバキ
ュームプレート13の下部吸着部13bで積層体IBの
後端部(切断位置)を切断装置14の切断位置に一致さ
せる。積層体IBの供給速度(支持部材12の移動速度
)は、熱圧着ローラ16による熱圧着ラミネート速度(
熱圧着ローラ16の周速度)よりも速く設定されている
。
インバキュームプレート10、サブバキュームプレート
13、回転バキュームプレート15の夫々の吸着動作が
実質的に同時に開始される6そして、第9図に示す状態
から、駆動源12Gで支持部材12を移動させ、メイン
バキュームプレート10で積層体IBを絶縁性基板11
に供給すると共に、前記第2図に示すように、サブバキ
ュームプレート13の下部吸着部13bで積層体IBの
後端部(切断位置)を切断装置14の切断位置に一致さ
せる。積層体IBの供給速度(支持部材12の移動速度
)は、熱圧着ローラ16による熱圧着ラミネート速度(
熱圧着ローラ16の周速度)よりも速く設定されている
。
このように、メインバキュームプレート10とサブバキ
ュームプレート13とを支持部材12に設け、この支持
部材12を絶縁性基板11に近接及び離反するように装
置本体7に設けたことにより、メインバキュームプレー
ト10の吸着動作と実質的に同時に、積層体IBの後端
部(切断位置)をサブバキュームプレート13で吸着し
、メインバキュームプレート10とサブバキュームプレ
ート13とを支持部材12で移動させて、切断袋W11
4の切断位置に積層体IBの切断位置を一致させること
ができるので。
ュームプレート13とを支持部材12に設け、この支持
部材12を絶縁性基板11に近接及び離反するように装
置本体7に設けたことにより、メインバキュームプレー
ト10の吸着動作と実質的に同時に、積層体IBの後端
部(切断位置)をサブバキュームプレート13で吸着し
、メインバキュームプレート10とサブバキュームプレ
ート13とを支持部材12で移動させて、切断袋W11
4の切断位置に積層体IBの切断位置を一致させること
ができるので。
メインバキュームプレート10とサブバキュームプレー
ト13との間の積層体IBに不必要なたるみを生じるこ
とがなくなる。つまり、第9図に示す、メインバキュー
ムプレート10とサブバキュームプレート13の円板状
カッター14Gが作用する位置(コの字形状部)との距
離工は、第2図に示す積層体IBの切断位置と切断袋!
i14の切断位置とを一致させた状態においても変化す
ることがない。
ト13との間の積層体IBに不必要なたるみを生じるこ
とがなくなる。つまり、第9図に示す、メインバキュー
ムプレート10とサブバキュームプレート13の円板状
カッター14Gが作用する位置(コの字形状部)との距
離工は、第2図に示す積層体IBの切断位置と切断袋!
i14の切断位置とを一致させた状態においても変化す
ることがない。
したがって、積層体IBの切断位置と切断装置1114
の切断位置とを正確に一致させることができるので、絶
縁性基板11の寸法に対して正確な寸法に積層体IBを
切断し、熱圧着ラミネートすることができ、製造上の歩
留りを向上することができる。
の切断位置とを正確に一致させることができるので、絶
縁性基板11の寸法に対して正確な寸法に積層体IBを
切断し、熱圧着ラミネートすることができ、製造上の歩
留りを向上することができる。
しかも、前述のように、メインバキュームプレート10
及びサブバキュームプレート13を設けた支持部材12
は、切断装置14を装置本体7に固定しているので、小
さな駆動能力の駆動源12Cで駆動させることができる
。
及びサブバキュームプレート13を設けた支持部材12
は、切断装置14を装置本体7に固定しているので、小
さな駆動能力の駆動源12Cで駆動させることができる
。
前記積層体IBの供給後及び積層体IBの切断位置を切
断装置14の切断位置に一致させると、サブバキューム
プレート10と回転バキュームプレート15との間にた
るみを持たせた積層体IB’ を形成することができる
。このたるみを持たせた積層体IB’の供給方向の両端
部は、薄膜矯正装置20の矯正により、サブバキューム
プレート13の下部吸着部13b1回転バキュームプレ
ート15の夫々に確実に吸着させることができる。
断装置14の切断位置に一致させると、サブバキューム
プレート10と回転バキュームプレート15との間にた
るみを持たせた積層体IB’ を形成することができる
。このたるみを持たせた積層体IB’の供給方向の両端
部は、薄膜矯正装置20の矯正により、サブバキューム
プレート13の下部吸着部13b1回転バキュームプレ
ート15の夫々に確実に吸着させることができる。
この状態において、切断装置!14により、積層体IB
の後端部(切断位置)が絶縁性基板11の寸法に対応し
た所定寸法に切断される。積層体IBの切断位置と切断
装置14の切断位置とを正確に一致させた状態において
は、積層体IBの切断位置が実質的に静止した状態であ
るが、前述のように、衝撃吸収装置22で有効に薄膜張
付装置に発生する振動を低減することができるので、切
断装置114は。
の後端部(切断位置)が絶縁性基板11の寸法に対応し
た所定寸法に切断される。積層体IBの切断位置と切断
装置14の切断位置とを正確に一致させた状態において
は、積層体IBの切断位置が実質的に静止した状態であ
るが、前述のように、衝撃吸収装置22で有効に薄膜張
付装置に発生する振動を低減することができるので、切
断装置114は。
円板状カッター14Gの移動速度を速くシ、積層体IB
を速い速度で切断することができる。
を速い速度で切断することができる。
この後、切断装置114で切断された積層体IBの後端
部が回転バキュームプレート15に吸着されると、熱圧
着ローラ16の回転速度より若干遅い速度で回転バキュ
ームプレート15が回転し、絶縁性基板11の導電層上
に積層体IBの後端部を熱圧着ラミネートすることがで
きる0回転バキュームブレート15は、熱圧着ローラ1
6の回転速度より若干遅い速度で回転すると、熱圧着ロ
ーラ16との間の積層体IBに適度なテンションを与え
ることができるので、積層体IBにしわ等を生じること
がない。
部が回転バキュームプレート15に吸着されると、熱圧
着ローラ16の回転速度より若干遅い速度で回転バキュ
ームプレート15が回転し、絶縁性基板11の導電層上
に積層体IBの後端部を熱圧着ラミネートすることがで
きる0回転バキュームブレート15は、熱圧着ローラ1
6の回転速度より若干遅い速度で回転すると、熱圧着ロ
ーラ16との間の積層体IBに適度なテンションを与え
ることができるので、積層体IBにしわ等を生じること
がない。
積層体IBが熱圧着ラミネートされた絶縁性基板11は
、熱圧着ローラ16の回転力により、基板ガイド部材2
1を通して、トラブルを生じることなく、後段搬送装置
18の搬送ローラ18A及び18Bに搬送される。後段
搬送装置18に搬送された絶縁性基板11は、露光装置
に搬送される。
、熱圧着ローラ16の回転力により、基板ガイド部材2
1を通して、トラブルを生じることなく、後段搬送装置
18の搬送ローラ18A及び18Bに搬送される。後段
搬送装置18に搬送された絶縁性基板11は、露光装置
に搬送される。
以上1本発明者によってなされた発明を、前記実施例に
基づき具体的に説明したが1本発明は。
基づき具体的に説明したが1本発明は。
前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱
しない範囲において1種々変形し得ることは勿論である
。
しない範囲において1種々変形し得ることは勿論である
。
例えば、本発明は、切断装置14を積層体IBの供給方
向と同一方向に移動するように構成し、切断装置!14
を移動させながら積層体IBを切断してもよい。
向と同一方向に移動するように構成し、切断装置!14
を移動させながら積層体IBを切断してもよい。
また1本発明は、前記サブバキュームプレート13を、
仮付部10Eに積層体IBの供給方向の先端部を吸着さ
せるサブバキュームプレートと、前記切断装置!14の
ホルダとして使用されるサブバキュームプレートとで構
成し、夫々を独立に制御してもよい。
仮付部10Eに積層体IBの供給方向の先端部を吸着さ
せるサブバキュームプレートと、前記切断装置!14の
ホルダとして使用されるサブバキュームプレートとで構
成し、夫々を独立に制御してもよい。
また、本発明は、前記実施例の絶縁性基板11を予熱し
た後、この絶縁性基板11に積層体IBを非加熱圧着ロ
ーラで熱圧着ラミネートする薄膜張付装置に適用するこ
とができる。
た後、この絶縁性基板11に積層体IBを非加熱圧着ロ
ーラで熱圧着ラミネートする薄膜張付装置に適用するこ
とができる。
また、本発明は、建築材として使用される化粧板に保護
膜を張り付ける薄膜張付装置に適用することができる。
膜を張り付ける薄膜張付装置に適用することができる。
(3)発明の効果
本発明によれば、連続した薄膜の供給方向と交差する方
向にカッターを移動させて前記薄膜を所定の寸法に切断
する切断装置を有し、この切断装置で切断された薄膜を
基板に張り付ける薄膜張付装置において、前記切断装置
のカッターの移動を停止する際にその衝撃を吸収する衝
撃吸収装置を。
向にカッターを移動させて前記薄膜を所定の寸法に切断
する切断装置を有し、この切断装置で切断された薄膜を
基板に張り付ける薄膜張付装置において、前記切断装置
のカッターの移動を停止する際にその衝撃を吸収する衝
撃吸収装置を。
前記切断装置のカッターが停止する位置の近傍の所定部
、又は薄膜張付装置本体の所定部に設けたことにより、
切断装置のカッターの移動を停止する際の衝撃を吸収す
ることができるので、切断装置或は薄膜張付装置の振動
を低減することができる。この結果、薄膜張付装置の薄
膜の切断速度を速くすることができるので、生産能力を
高めることができる。
、又は薄膜張付装置本体の所定部に設けたことにより、
切断装置のカッターの移動を停止する際の衝撃を吸収す
ることができるので、切断装置或は薄膜張付装置の振動
を低減することができる。この結果、薄膜張付装置の薄
膜の切断速度を速くすることができるので、生産能力を
高めることができる。
また9本発明は、前記構成に、前記連続した薄膜を基板
に供給する薄膜供給部材を支持部材に取り付け、該支持
部材を基板に対しで近接及び離反するように薄膜張付装
置本体に設け、前記連続した薄膜の切断部分を簿膜供給
経路内に保持する薄膜保持部材を前記支持部材に設け、
該薄膜保持部材で保持される連続した薄膜を所定寸法に
切断する前記切断装置を、前記薄膜供給部材と基板との
間の薄膜供給経路の近傍の薄膜張付装置本体に固定した
ことにより、前記薄膜供給部材と薄膜保持部材とを支持
部材に設け、薄膜供給部材で薄膜を保持すると同時に、
薄膜保持部材で薄膜の切断位置を保持し、この状態で前
記切断装置で薄膜を切断することができるので、薄膜供
給部材と薄膜保持部材との間の薄膜のたるみをなくし、
薄膜の切断位置と切断装置の切断位置とを正確に一致さ
せることができると共に、前記切断装置を薄膜張付装置
本体に固定し、前記支持部材の重量を軽くしたので、駆
動能力の小さな駆動源で支持部材を駆動することができ
る。この結果、前記薄膜の切断位置と切断装置の切断位
置とを正確に一致させることができるので、薄膜を正確
な寸法で切断し5製造上の歩留りを向上することができ
る。
に供給する薄膜供給部材を支持部材に取り付け、該支持
部材を基板に対しで近接及び離反するように薄膜張付装
置本体に設け、前記連続した薄膜の切断部分を簿膜供給
経路内に保持する薄膜保持部材を前記支持部材に設け、
該薄膜保持部材で保持される連続した薄膜を所定寸法に
切断する前記切断装置を、前記薄膜供給部材と基板との
間の薄膜供給経路の近傍の薄膜張付装置本体に固定した
ことにより、前記薄膜供給部材と薄膜保持部材とを支持
部材に設け、薄膜供給部材で薄膜を保持すると同時に、
薄膜保持部材で薄膜の切断位置を保持し、この状態で前
記切断装置で薄膜を切断することができるので、薄膜供
給部材と薄膜保持部材との間の薄膜のたるみをなくし、
薄膜の切断位置と切断装置の切断位置とを正確に一致さ
せることができると共に、前記切断装置を薄膜張付装置
本体に固定し、前記支持部材の重量を軽くしたので、駆
動能力の小さな駆動源で支持部材を駆動することができ
る。この結果、前記薄膜の切断位置と切断装置の切断位
置とを正確に一致させることができるので、薄膜を正確
な寸法で切断し5製造上の歩留りを向上することができ
る。
第1図は、本発明の一実施例である薄膜張付装置の概略
構成図、 第2図は、前記第1図の要部拡大構成図。 第3図は、前記第1図及び第2図に示すメインバキュー
ムプレートの部分断面斜視図、第4図は、前記第1図及
び第2図に示す切断装置の概略斜視図、 第5図は、前記第2図における矢印■方向から見た切断
装置の概略平面図、 第6図は、前記第5図のvi−VI線で切った要部断面
図。 第7図乃至第9図は、熱圧着ラミネート方法を説明する
ために、各工程毎に示す前記第1図の要部拡大構成図で
ある。 図中、IB・・・積層体(薄膜)、2・・・供給ローラ
。 7・・・装置本体、10・・・メインバキュームプレー
ト(薄膜供給部材)、IOE・・・仮付部、11・・・
絶縁性基板、12・・・支持部材、12G、12D、1
3A・・・駆動源。 13・・・サブバキュームプレート(薄膜保持部材)。 14・・・切断装置、14A・・・ガイド部材、14B
・・・移動部材、14G・・・円板状カッター、14M
・・・当接部材、22・・・衝撃吸収装置、22A・・
・衝撃吸収可動部、22B・・・衝撃吸収固定部である
。
構成図、 第2図は、前記第1図の要部拡大構成図。 第3図は、前記第1図及び第2図に示すメインバキュー
ムプレートの部分断面斜視図、第4図は、前記第1図及
び第2図に示す切断装置の概略斜視図、 第5図は、前記第2図における矢印■方向から見た切断
装置の概略平面図、 第6図は、前記第5図のvi−VI線で切った要部断面
図。 第7図乃至第9図は、熱圧着ラミネート方法を説明する
ために、各工程毎に示す前記第1図の要部拡大構成図で
ある。 図中、IB・・・積層体(薄膜)、2・・・供給ローラ
。 7・・・装置本体、10・・・メインバキュームプレー
ト(薄膜供給部材)、IOE・・・仮付部、11・・・
絶縁性基板、12・・・支持部材、12G、12D、1
3A・・・駆動源。 13・・・サブバキュームプレート(薄膜保持部材)。 14・・・切断装置、14A・・・ガイド部材、14B
・・・移動部材、14G・・・円板状カッター、14M
・・・当接部材、22・・・衝撃吸収装置、22A・・
・衝撃吸収可動部、22B・・・衝撃吸収固定部である
。
Claims (10)
- (1)連続した薄膜の供給方向と交差する方向にカッタ
ーを移動させて前記薄膜を所定の寸法に切断する切断装
置を有し、この切断装置で切断された薄膜を基板に張り
付ける薄膜張付装置において、前記切断装置のカッター
の移動を停止する際にその衝撃を吸収する衝撃吸収装置
を、前記切断装置のカッターが停止する位置の近傍の所
定部、又は薄膜張付装置本体の所定部に設けたことを特
徴とする薄膜張付装置。 - (2)前記衝撃吸収装置は、流体式ダンパ、電磁式ダン
パ等で構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
第1項に記載の薄膜張付装置。 - (3)前記切断装置は、前記薄膜の供給方向と交差する
方向に延在して設けられたガイド部材と、該ガイド部材
に沿って移動する移動部材と、該移動部材に設けられた
円板状カッターとで構成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第1項又は第2項に記載の薄膜張付装置。 - (4)前記切断装置のガイド部材の近傍には、ガイド部
材に沿ってラックが設けられ、前記移動部材には、前記
ラックに嵌合して前記円板状カッターを回転させるピニ
オンが設けられていることを特徴とする特許請求の範囲
第3項に記載の薄膜張付装置。 - (5)前記切断装置の移動部材は、流体によってガイド
部材を移動するように構成されていることを特徴とする
特許請求の範囲第3項又は第4項に記載の薄膜張付装置
。 - (6)前記切断装置の円板状カッターは、刃部分にふっ
素樹脂加工されていることを特徴とする特許請求の範囲
第3項乃至第5項に記載の夫々の薄膜張付装置。 - (7)連続した薄膜の供給方向と交差する方向にカッタ
ーを移動させて前記薄膜を所定の寸法に切断する切断装
置を有し、この切断された薄膜を基板に張り付ける薄膜
張付装置において、前記連続した薄膜を基板に供給する
薄膜供給部材を支持部材に取り付け、該支持部材を基板
に対して近接及び離反するように薄膜張付装置本体に設
け、前記連続した薄膜の切断部分を薄膜供給経路内に保
持する薄膜保持部材を前記支持部材に設け、該薄膜保持
部材で保持される連続した薄膜を所定寸法に切断する切
断装置を、前記薄膜供給部材と基板との間の薄膜供給経
路の近傍の薄膜張付装置本体に固定し、該切断装置のカ
ッターの移動を停止する際にその衝撃を吸収する衝撃吸
収装置を、前記切断装置のカッターが停止する位置の近
傍の所定部、又は薄膜張付装置本体の所定部に設けたこ
とを特徴とする薄膜張付装置。 - (8)前記薄膜供給部材は、支持部材に基板に対して近
接及び離反するように構成されていることを特徴とする
特許請求の範囲第7項に記載の薄膜張付装置。 - (9)前記薄膜保持部材は、薄膜供給経路に近接及び離
反するように構成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第7項又は第8項に記載の薄膜張付装置。 - (10)前記薄膜供給部材は、薄膜供給方向側に薄膜の
供給方向先端部を基板に張り付ける仮付部が設けられて
いることを特徴とする特許請求の範囲第7項乃至第9項
に記載の夫々の薄膜張付装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62030294A JPS63200991A (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | 薄膜張付装置 |
EP88102071A EP0278517A3 (en) | 1987-02-12 | 1988-02-12 | Laminator |
CA000558778A CA1313118C (en) | 1987-02-12 | 1988-02-12 | Laminator |
US07/155,453 US4888083A (en) | 1987-02-12 | 1988-02-12 | Laminator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62030294A JPS63200991A (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | 薄膜張付装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63200991A true JPS63200991A (ja) | 1988-08-19 |
Family
ID=12299714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62030294A Pending JPS63200991A (ja) | 1987-02-12 | 1987-02-12 | 薄膜張付装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4888083A (ja) |
EP (1) | EP0278517A3 (ja) |
JP (1) | JPS63200991A (ja) |
CA (1) | CA1313118C (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1224722B (it) * | 1988-08-26 | 1990-10-18 | Morton Thiokol Inc Societa Del | Laminatore automatico ad elevata velocita' di laminazione per laproduzione di pannelli per circuiti stampati |
JPH02191958A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-07-27 | Somar Corp | 薄膜の張付方法及びその実施装置 |
US5188699A (en) * | 1988-09-30 | 1993-02-23 | Somar Corporation | Thin film adhering apparatus |
JPH03205134A (ja) * | 1989-12-31 | 1991-09-06 | Somar Corp | フイルム張付方法及びその実施装置 |
FR2672838A1 (fr) * | 1991-02-19 | 1992-08-21 | Alcatel Business Systems | Dispositif de coupe a molette de papier ou equivalent. |
US5456789A (en) * | 1994-04-07 | 1995-10-10 | Crathern Engineering Co., Inc. | Apparatus for and method of wrapping boards |
US6409872B1 (en) | 1998-11-06 | 2002-06-25 | Fargo Electronics, Inc. | Identification card printer and laminator |
US6805179B2 (en) * | 2001-05-16 | 2004-10-19 | Xyron, Inc. | Article laminating apparatus with operation-adjusting cartridge detection and/or improved heating and/or improved cutting |
US7430762B2 (en) | 2002-03-01 | 2008-09-30 | Fargo Electronics, Inc. | Identification card manufacturing security |
US8099187B2 (en) | 2005-08-18 | 2012-01-17 | Hid Global Corporation | Securely processing and tracking consumable supplies and consumable material |
US8956490B1 (en) | 2007-06-25 | 2015-02-17 | Assa Abloy Ab | Identification card substrate surface protection using a laminated coating |
CN112388685B (zh) * | 2020-10-12 | 2022-11-15 | 温州帝盛印务有限公司 | 一种物流用包装纸壳切割成型设备 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1161773A (en) * | 1914-03-09 | 1915-11-23 | Bicojon Mfg Company | Cutter for photographic prints and other sheet materials. |
US2626665A (en) * | 1948-01-30 | 1953-01-27 | George H Chamberlain | Device for trimming sheet material |
US3173324A (en) * | 1962-05-31 | 1965-03-16 | Hogan Faximile Corp | Facsimile recorder paper cut off mechanism |
US3937092A (en) * | 1972-02-25 | 1976-02-10 | Ppg Industries, Inc. | Reciprocating device having vibration reducing means |
FR2281326A2 (fr) * | 1974-08-06 | 1976-03-05 | Saint Gobain | Dispositif pour la decoupe de feuilles de verre |
US4025380A (en) * | 1975-07-24 | 1977-05-24 | International Business Machines Corporation | Variable resist laminator |
SU737374A1 (ru) * | 1978-02-09 | 1980-05-30 | Всесоюзный научно-исследовательский институт технического и специального строительного стекла | Устройство дл резки ленты стекла |
US4659419A (en) * | 1983-05-11 | 1987-04-21 | Hakuto Co., Ltd. | Laminator for sticking film sheet on panel surface |
JPS6071229A (ja) * | 1983-09-29 | 1985-04-23 | Somar Corp | オ−トラミネ−タ |
EP0225927B1 (en) * | 1985-06-07 | 1991-10-02 | Somar Corporation | Method and device for boring films for film pasting apparatuses |
GB2192582B (en) * | 1986-07-14 | 1990-03-14 | Somar Corp | Laminator |
-
1987
- 1987-02-12 JP JP62030294A patent/JPS63200991A/ja active Pending
-
1988
- 1988-02-12 EP EP88102071A patent/EP0278517A3/en not_active Withdrawn
- 1988-02-12 CA CA000558778A patent/CA1313118C/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-02-12 US US07/155,453 patent/US4888083A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA1313118C (en) | 1993-01-26 |
US4888083A (en) | 1989-12-19 |
EP0278517A2 (en) | 1988-08-17 |
EP0278517A3 (en) | 1990-06-20 |
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