JPS63158204A - セラミツク生シ−トの加工方法及び装置 - Google Patents
セラミツク生シ−トの加工方法及び装置Info
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- JPS63158204A JPS63158204A JP18186486A JP18186486A JPS63158204A JP S63158204 A JPS63158204 A JP S63158204A JP 18186486 A JP18186486 A JP 18186486A JP 18186486 A JP18186486 A JP 18186486A JP S63158204 A JPS63158204 A JP S63158204A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
Landscapes
- Advancing Webs (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はセラミックの生シートの加工方法及び装置に関
するものであシ、より詳細にはコンテン4j−,ICパ
ツケージ等のセラミック製部品を精度良く且つ高い生産
速度で製造する技術に関する@(従来技術及び問題点) 従来、コンデンサー、ICパッケージ等の電子部品の製
造においては、各種セラミック基材の4−スト等をベー
スフィルム上に一定の厚みに設け、このセラミック基材
上に導体となるメタライソング層を印刷等の手段によシ
施こし、得られる各層を積層して、積層体とし、これを
乾燥した後、焼結して最終セラミック体とする製造工程
が採用されている。
するものであシ、より詳細にはコンテン4j−,ICパ
ツケージ等のセラミック製部品を精度良く且つ高い生産
速度で製造する技術に関する@(従来技術及び問題点) 従来、コンデンサー、ICパッケージ等の電子部品の製
造においては、各種セラミック基材の4−スト等をベー
スフィルム上に一定の厚みに設け、このセラミック基材
上に導体となるメタライソング層を印刷等の手段によシ
施こし、得られる各層を積層して、積層体とし、これを
乾燥した後、焼結して最終セラミック体とする製造工程
が採用されている。
しかしながら、このようなセラミック基材層は、それ自
体強度が低く、しかも自己保持性にも欠けておシ、その
供給や剪断、更には積層等の諸操作が著しく困難であり
、精度の良い最終部品を製造することが難しく、このた
め製品の歩留りが低く未だ十分満足し得るものではなか
った。
体強度が低く、しかも自己保持性にも欠けておシ、その
供給や剪断、更には積層等の諸操作が著しく困難であり
、精度の良い最終部品を製造することが難しく、このた
め製品の歩留りが低く未だ十分満足し得るものではなか
った。
(発明の目的)
従って本発明の目的は、自己保持性に欠けるセラミック
の生シートから、精度良く且つ高い生産速度で積層体を
製造することを目的とする。
の生シートから、精度良く且つ高い生産速度で積層体を
製造することを目的とする。
(発明の構成)
本発明によれば、
セラミック生シートを加工用の貼付枠に貼付けるための
加工方法において、 打抜域を通るセラミック生シートの間欠的搬送路と、 貼付域を通る貼付枠の搬送路とを平行に配置すると共に
、打抜域及び貼付域で交わるセラミック生シートの移し
替え搬送路を配置し、 該間欠的搬送路において、セラミック生シートの長尺物
をメツシュベルト上に吸着保持させて定ピッチでの間欠
的送シを行ない、 貼付枠搬送路において、貼付枠を移動させつつ糊付を行
うと共に、貼付域で停止させ、打抜域でセラミック生シ
ートを停止させて、打抜型で該シートを所定形状に打抜
き、 打抜かれたシートを、メツシュベルトから吸着解除する
と共に、打抜型に吸着保持させ、打抜型に保持されたシ
ートを貼付域に移送し、糊付され九貼付粋に核シートを
押圧して貼付を行うことを特徴とするセラミック生シー
トの加工方法が提供される。
加工方法において、 打抜域を通るセラミック生シートの間欠的搬送路と、 貼付域を通る貼付枠の搬送路とを平行に配置すると共に
、打抜域及び貼付域で交わるセラミック生シートの移し
替え搬送路を配置し、 該間欠的搬送路において、セラミック生シートの長尺物
をメツシュベルト上に吸着保持させて定ピッチでの間欠
的送シを行ない、 貼付枠搬送路において、貼付枠を移動させつつ糊付を行
うと共に、貼付域で停止させ、打抜域でセラミック生シ
ートを停止させて、打抜型で該シートを所定形状に打抜
き、 打抜かれたシートを、メツシュベルトから吸着解除する
と共に、打抜型に吸着保持させ、打抜型に保持されたシ
ートを貼付域に移送し、糊付され九貼付粋に核シートを
押圧して貼付を行うことを特徴とするセラミック生シー
トの加工方法が提供される。
本発明によれば更に、
長尺のセラミック生シートと該シートを支持するベース
フィルムとの積層体を連続的に供給する九めの供給機構
; 該積層体の連続的移動を間欠的移動に変換する丸めの第
一の変換機構; 第一の変換機構の下流に設けられ、積層体からセラミッ
ク生シートを分離してメツシュベルトから成る間欠搬送
系に移し替えるための乗替機構;該乗替機構の下流側に
設けられ、ベースフィルムの間欠移動を連続移動するた
めの第二の変換機構; ベースフィルムを連続的に巻取る巻取機構;乗替機構に
おけるセラミック生シートの間欠駆動と同期して間欠駆
動され且つその上面にセラミック生シートを吸着保持す
る機構を備えた間欠搬送系;間欠搬送系に設けられ、搬
送されてくるセラミック生シートを所定形状に打ち抜く
ための打抜きステーシヨン、 前記間欠搬送系の近傍に配置されている貼付枠の搬送系
; 貼付枠の搬送系に設けられた所定形状に打ち抜かれたセ
ラミック生シートを貼付枠に貼付けるための貼付機構; 前記間欠搬送系の間欠駆動に同期して貼付ステージ1ン
と打抜きステーシヨンとの間を往復動する様に設けられ
、間欠搬送系の停止時にセラミック生シートを所定形状
に打ち抜くと共に打ち抜かれたセラミック生シートを把
持し、且つ間欠搬送系の移動中にこれを貼付ステージ冒
ンに移送する打抜き移送機構; 貼付ステーシヨンで形成された貼付基材を取出す取出機
構; から成ることを特徴とするセラミック生シートの加工装
置が提供される。
フィルムとの積層体を連続的に供給する九めの供給機構
; 該積層体の連続的移動を間欠的移動に変換する丸めの第
一の変換機構; 第一の変換機構の下流に設けられ、積層体からセラミッ
ク生シートを分離してメツシュベルトから成る間欠搬送
系に移し替えるための乗替機構;該乗替機構の下流側に
設けられ、ベースフィルムの間欠移動を連続移動するた
めの第二の変換機構; ベースフィルムを連続的に巻取る巻取機構;乗替機構に
おけるセラミック生シートの間欠駆動と同期して間欠駆
動され且つその上面にセラミック生シートを吸着保持す
る機構を備えた間欠搬送系;間欠搬送系に設けられ、搬
送されてくるセラミック生シートを所定形状に打ち抜く
ための打抜きステーシヨン、 前記間欠搬送系の近傍に配置されている貼付枠の搬送系
; 貼付枠の搬送系に設けられた所定形状に打ち抜かれたセ
ラミック生シートを貼付枠に貼付けるための貼付機構; 前記間欠搬送系の間欠駆動に同期して貼付ステージ1ン
と打抜きステーシヨンとの間を往復動する様に設けられ
、間欠搬送系の停止時にセラミック生シートを所定形状
に打ち抜くと共に打ち抜かれたセラミック生シートを把
持し、且つ間欠搬送系の移動中にこれを貼付ステージ冒
ンに移送する打抜き移送機構; 貼付ステーシヨンで形成された貼付基材を取出す取出機
構; から成ることを特徴とするセラミック生シートの加工装
置が提供される。
(実施例)
本発明を以下添付図面に示す具体例に基づいて詳細に説
明する。
明する。
加工方法
本発明のセラミック生シートの加工方法の概略を示す第
1図において1本発明方法によれば、セラミック生シー
トの長尺物(以下単に生シートと呼ぶことがある)を、
間欠的搬送路においてメツシュベルトを用いて、吸引機
構を利用して一定ピッチで打抜域に間欠的に供給する。
1図において1本発明方法によれば、セラミック生シー
トの長尺物(以下単に生シートと呼ぶことがある)を、
間欠的搬送路においてメツシュベルトを用いて、吸引機
構を利用して一定ピッチで打抜域に間欠的に供給する。
この打抜域において、生シートを一定形状に打抜き、移
し替え搬送路によって打抜かれた生シートを貼付域に供
給する。
し替え搬送路によって打抜かれた生シートを貼付域に供
給する。
一方、貼付枠が貼付枠搬送路に供給され、糊付域におい
て所定の糊が該貼付枠に塗布されて貼付域に配置される
。
て所定の糊が該貼付枠に塗布されて貼付域に配置される
。
この貼付域において、上述した一定形状に打抜かれたセ
ラミック生シートを貼付枠に押圧して貼付が行なわれる
。
ラミック生シートを貼付枠に押圧して貼付が行なわれる
。
本発明方法において、セラミック生シートとしては、具
体的には、アルミナ、ジルコニア、チタニア、チタン酸
鉛等のセラミックグリーンシートが用いられる。
体的には、アルミナ、ジルコニア、チタニア、チタン酸
鉛等のセラミックグリーンシートが用いられる。
また第2図に示す様に、貼付枠100はそれ自体形態保
持性を有する矩形状の枠体であって、これにセラミック
グリーンシート101が貼付られるのである。
持性を有する矩形状の枠体であって、これにセラミック
グリーンシート101が貼付られるのである。
本発明によれば、この様な貼付枠100を用いることに
よって、その後のセラミックグリーンシー) l O1
の穿口、印刷、積層等の工程が精度良く且つ高生産性を
もって行ない得ることが理解されよう。
よって、その後のセラミックグリーンシー) l O1
の穿口、印刷、積層等の工程が精度良く且つ高生産性を
もって行ない得ることが理解されよう。
この場合、貼付枠100のコーナ部にガイドホール10
2を設けておけば、位置決め等において更に有利となる
。
2を設けておけば、位置決め等において更に有利となる
。
また第2図の態様においては、貼付枠100の形状は矩
形状となっているが、セラミツフグIJ +ンシートの
用途等に応じて他の形状とすることも勿論可能である。
形状となっているが、セラミツフグIJ +ンシートの
用途等に応じて他の形状とすることも勿論可能である。
加工装置
上記加工方法を好適に実施するための本発明装置の全体
を表わす平面図を示す第3図において、この装置は大ま
かに言って、セラミック生シートの供給機構A、貼貼付
供給機構B及び生シートの移し替え機構Cとから成って
いる。
を表わす平面図を示す第3図において、この装置は大ま
かに言って、セラミック生シートの供給機構A、貼貼付
供給機構B及び生シートの移し替え機構Cとから成って
いる。
(i) セラミック生シートの供給機溝入この供給機
構Aの側断面を示す第4図において、該機構は、それぞ
れ機台1上に設けられている成層体供給機構2、連続−
間欠駆動変換機構3、生シート乗替機構4、間欠一連続
駆動変換機構5、シート状搬送体排出乃至巻取機構6及
び間欠搬送機構7から成っている。
構Aの側断面を示す第4図において、該機構は、それぞ
れ機台1上に設けられている成層体供給機構2、連続−
間欠駆動変換機構3、生シート乗替機構4、間欠一連続
駆動変換機構5、シート状搬送体排出乃至巻取機構6及
び間欠搬送機構7から成っている。
本発明においてセラミック生シートの供給は、連続シー
ト状搬送体とこの上に施されたセラミック生シートとの
成層体の形で行なわれる。
ト状搬送体とこの上に施されたセラミック生シートとの
成層体の形で行なわれる。
連続シート状搬送体は、二軸延伸ポリエチレンテレフタ
レートフィルム等の合成樹脂製ベースフィルムや、金属
箔、金属箔−樹脂積層体或いは離型紙等から成ることが
できる。
レートフィルム等の合成樹脂製ベースフィルムや、金属
箔、金属箔−樹脂積層体或いは離型紙等から成ることが
できる。
本発明の装置において、前述した成層体供給機構2及び
シート状搬送体排出乃至巻取機構6は連続駆動され、−
力積層材料乗替機構4ti間欠駆動され、これらの間に
位置する第−及び第二の駆動変換機構3及び5は、成層
体16の移動を連続駆動から間欠駆動に、ま九シート状
搬送体12の移動を間欠駆動から連続駆動に夫々変換す
る。
シート状搬送体排出乃至巻取機構6は連続駆動され、−
力積層材料乗替機構4ti間欠駆動され、これらの間に
位置する第−及び第二の駆動変換機構3及び5は、成層
体16の移動を連続駆動から間欠駆動に、ま九シート状
搬送体12の移動を間欠駆動から連続駆動に夫々変換す
る。
この具体例において、成層体供給機構2は、支持機構1
7に回転可能に支持された成層体16のリール18、成
層体16を連続的に引出すための一群の供給ロール19
as19b*19c*19d。
7に回転可能に支持された成層体16のリール18、成
層体16を連続的に引出すための一群の供給ロール19
as19b*19c*19d。
19・、給紙テンシロン検出ロール20、及び連続的に
駆動される連続供給ローラ21から成っている。
駆動される連続供給ローラ21から成っている。
一方、シート状搬送体の排出乃至巻取機構6は、連続的
に駆動される連続排出ローラ221巻取テンシロン検出
ロール25、一群の排出ロー226&+26b及びシー
ト状搬送体をリール27の形に巻取るための巻取機構2
8から成っている。
に駆動される連続排出ローラ221巻取テンシロン検出
ロール25、一群の排出ロー226&+26b及びシー
ト状搬送体をリール27の形に巻取るための巻取機構2
8から成っている。
これらの連続搬送系を駆動するために、連続駆動用モー
タ29が設けられており、その出力は変速機30から、
駆動チェーン31m及び31bのような動力伝達機構を
経て、供給用ローラ21排出用ローラ22に夫々伝達さ
れる。また変速機30から1回転シャフト32.歯車機
構33、駆動チェーン34m、34bのような動力伝達
機構を介して巻取機構28に駆動力が伝達される。
タ29が設けられており、その出力は変速機30から、
駆動チェーン31m及び31bのような動力伝達機構を
経て、供給用ローラ21排出用ローラ22に夫々伝達さ
れる。また変速機30から1回転シャフト32.歯車機
構33、駆動チェーン34m、34bのような動力伝達
機構を介して巻取機構28に駆動力が伝達される。
生シート乗替機構4の間欠駆動系は、連続駆動される供
給用ローラ21と対となった間欠駆動供給ローラ35、
生シート剥しロール36及び連続駆動される排出用ロー
222と対となった間欠駆動排出ローラ44から成って
いる。図面に示す具体例においては、連続駆動供給用ロ
ール21は上側に、これと垂直方向に一定間隔をおいて
その下側に間欠駆動供給用ロール35が設けられている
。
給用ローラ21と対となった間欠駆動供給ローラ35、
生シート剥しロール36及び連続駆動される排出用ロー
222と対となった間欠駆動排出ローラ44から成って
いる。図面に示す具体例においては、連続駆動供給用ロ
ール21は上側に、これと垂直方向に一定間隔をおいて
その下側に間欠駆動供給用ロール35が設けられている
。
また、連続駆動排出用ロール22は、下流側、即ち図に
おいて左側に設けられ、これと水平方向に一定間隔をお
いて右側に、間欠駆動スプロケット37が設けられてい
る。
おいて左側に設けられ、これと水平方向に一定間隔をお
いて右側に、間欠駆動スプロケット37が設けられてい
る。
間欠駆動供給ロール35及び間欠駆動スプロケット37
並びに剥しロール36を間欠駆動するために、間欠駆動
用モータ40が設けられ、その出力は変速機41を経て
、駆動用チェーン42a。
並びに剥しロール36を間欠駆動するために、間欠駆動
用モータ40が設けられ、その出力は変速機41を経て
、駆動用チェーン42a。
42b、42e等の動力伝達機構を介して前記各機構に
伝達される。モータ40による間欠駆動は、設定され九
ノ臂ルス制御或いは成層体上のマーク検出等のそれ自体
公知の制御方式により行われる。
伝達される。モータ40による間欠駆動は、設定され九
ノ臂ルス制御或いは成層体上のマーク検出等のそれ自体
公知の制御方式により行われる。
連続駆動と間欠駆動とのタイミングは、両者の移動距離
に差違を生じないように、即ち弐〇!/υc=(ta”
to)/lD 式中、υ、は成層体の連続駆動速度を表わし、υ1は成
層体の間欠駆動時の速度を表わし、1Dは1サイクルに
おける間欠送り時間を表わし、t8は間欠停止時間を表
わす、 を満足するように定める。例えば、1s=1D、即ち送
り時間と停止時間とが等しい場合には、間欠駆動速度は
連続駆動速度の2倍となることが了解されよう。
に差違を生じないように、即ち弐〇!/υc=(ta”
to)/lD 式中、υ、は成層体の連続駆動速度を表わし、υ1は成
層体の間欠駆動時の速度を表わし、1Dは1サイクルに
おける間欠送り時間を表わし、t8は間欠停止時間を表
わす、 を満足するように定める。例えば、1s=1D、即ち送
り時間と停止時間とが等しい場合には、間欠駆動速度は
連続駆動速度の2倍となることが了解されよう。
添付図面に示す具体例において、連続−間欠駆動変換機
構3は、対向する連続駆動供給ロール21と間欠駆動供
給ロール35との間に回転可能に且つ両ロールに対する
距離が変化するように配置されたシフトローラ(乃至ダ
ンサ−ローラ)43から成っている。このシフトローラ
43は、ロール21及び35に対して水平方向に移動可
能に設けられており、且つ成層体16が連続駆動ロール
21からシフトローラ43上に至り、その移動方向を1
80度転換して間欠駆動ロール35に乗移るような位置
関係で設けられている。
構3は、対向する連続駆動供給ロール21と間欠駆動供
給ロール35との間に回転可能に且つ両ロールに対する
距離が変化するように配置されたシフトローラ(乃至ダ
ンサ−ローラ)43から成っている。このシフトローラ
43は、ロール21及び35に対して水平方向に移動可
能に設けられており、且つ成層体16が連続駆動ロール
21からシフトローラ43上に至り、その移動方向を1
80度転換して間欠駆動ロール35に乗移るような位置
関係で設けられている。
このシフトローラ43の構成及び作動を説明するための
第5図において、連続駆動ローラ21にはスプロケット
45が、また間欠駆動ローラ35にはスプロケット46
が軸着され、連続駆動ローラ21と水平方向に対となる
駆動軸47にはスプロケット48が、また間欠駆動ロー
ラ35と水平方向に対となる軸49にはスプロケット5
oが軸着される。一方、シフトローラ43にはスプロヶ
ッ)51及び52が軸着される。これらのスプロケット
に対してエンドレスのチェ753が次のように張架され
る。即ち、連続駆動スプロケット45.48及び間欠駆
動スゾロケツ)46.50の間にチェノが張架されるが
、連続駆動スゲロケット45及び間欠駆動スプロケット
46の間のチェノはシフトローラ43のスズロケット5
2を通るように、また連続駆動スプロケット48及び間
欠駆動スプロケット50間のチェノはシフトローラ43
のスプロケット51を通るように、チェノが張架される
。
第5図において、連続駆動ローラ21にはスプロケット
45が、また間欠駆動ローラ35にはスプロケット46
が軸着され、連続駆動ローラ21と水平方向に対となる
駆動軸47にはスプロケット48が、また間欠駆動ロー
ラ35と水平方向に対となる軸49にはスプロケット5
oが軸着される。一方、シフトローラ43にはスプロヶ
ッ)51及び52が軸着される。これらのスプロケット
に対してエンドレスのチェ753が次のように張架され
る。即ち、連続駆動スプロケット45.48及び間欠駆
動スゾロケツ)46.50の間にチェノが張架されるが
、連続駆動スゲロケット45及び間欠駆動スプロケット
46の間のチェノはシフトローラ43のスズロケット5
2を通るように、また連続駆動スプロケット48及び間
欠駆動スプロケット50間のチェノはシフトローラ43
のスプロケット51を通るように、チェノが張架される
。
先ず、間欠駆動ローラ35の停止時には、連続供給ロー
ラ21は矢印方向(時計方向)に回転しており、間欠駆
動ローラ35は停止しているので。
ラ21は矢印方向(時計方向)に回転しており、間欠駆
動ローラ35は停止しているので。
チェーン53のa部、b部及びf部は矢印方向に連続移
行するが、0部、d部及び・部は停止し、このチェーン
53の移行に従ってシフトローラ43は矢印の方向(反
時計方向)に連続回転しながら、チェーン53のf部の
引張シ、b部の緩みに応じて左方にυ、/2の速度で移
動する。これにより連続供給ロー221により送られる
成層体はシフトロー243の左方移行により、連続供給
ローラ21とシフトローラ43との間に貯留される。こ
の間におけるシフトローラ43の移動距離ばυ。・1゜
/2である。
行するが、0部、d部及び・部は停止し、このチェーン
53の移行に従ってシフトローラ43は矢印の方向(反
時計方向)に連続回転しながら、チェーン53のf部の
引張シ、b部の緩みに応じて左方にυ、/2の速度で移
動する。これにより連続供給ロー221により送られる
成層体はシフトロー243の左方移行により、連続供給
ローラ21とシフトローラ43との間に貯留される。こ
の間におけるシフトローラ43の移動距離ばυ。・1゜
/2である。
次いで1間欠駆動ローラ35が時計方向に駆動され、こ
れによりチェノ部分0.elは右方向に、またチェノ部
分dは左方向に移動する。これにより、シフトロー24
3は、右方に(υ!−υc)/2の速度で移動し、その
移動距離はtD・(υI−’C)/2となるが、前記(
1)式よりこれは間欠駆動ローラ35の停止時にシフト
ローラが左方に移動した距離υ。−t8/2と等しくな
る。また、貯留されていた成層体は間欠駆動ローラ35
の間欠駆動によシ、剥しロール36へ送られることにな
る。
れによりチェノ部分0.elは右方向に、またチェノ部
分dは左方向に移動する。これにより、シフトロー24
3は、右方に(υ!−υc)/2の速度で移動し、その
移動距離はtD・(υI−’C)/2となるが、前記(
1)式よりこれは間欠駆動ローラ35の停止時にシフト
ローラが左方に移動した距離υ。−t8/2と等しくな
る。また、貯留されていた成層体は間欠駆動ローラ35
の間欠駆動によシ、剥しロール36へ送られることにな
る。
間欠一連続駆動切換機構5としては、第5図に示した装
置を半時針方向に90°回転させた位置関係とし且つ各
ローラ、スゲロケット及びチェノの移動方向を逆方向と
したものが使用され、シフト欠駆動排出ローラ37の駆
動時には、速度(υ1−υc)/2の速度で且つ距離i
n(+71−〇()/2=υ。・t 、/2だけ下降す
るようにする。これにより、搬送体12は連続駆動排出
ロー222によシ連続的に排出されることになる。
置を半時針方向に90°回転させた位置関係とし且つ各
ローラ、スゲロケット及びチェノの移動方向を逆方向と
したものが使用され、シフト欠駆動排出ローラ37の駆
動時には、速度(υ1−υc)/2の速度で且つ距離i
n(+71−〇()/2=υ。・t 、/2だけ下降す
るようにする。これにより、搬送体12は連続駆動排出
ロー222によシ連続的に排出されることになる。
給紙テンション検出ロール20及び巻取テンション検出
ロール25t′i夫々、圧力検出センサー(図示せず)
に接続されている。一方、供給り一ル18にはブレーキ
機構54が、また巻取り−ル27にはクラッチ機構55
が夫々設けられている・かくして検出ロール20(25
)からの検出テンションが成る基準下限値よりも低い場
合にはブレーキ機構54(55)を作動させ、成る基準
上限値よりも大きいときには、ブレーキ機構54(55
)の作動を緩和させるようになっている。
ロール25t′i夫々、圧力検出センサー(図示せず)
に接続されている。一方、供給り一ル18にはブレーキ
機構54が、また巻取り−ル27にはクラッチ機構55
が夫々設けられている・かくして検出ロール20(25
)からの検出テンションが成る基準下限値よりも低い場
合にはブレーキ機構54(55)を作動させ、成る基準
上限値よりも大きいときには、ブレーキ機構54(55
)の作動を緩和させるようになっている。
剥しロール36は、セラミックグリーンシート13が上
方から下方迄の180度またはよシ大きい角度に該ロー
ルに巻付けられ、一方搬送体12が約90度の角度で該
ロールに巻付られる関係に設けられる。かくして、セラ
ミックグリーンシー)13からの搬送体12の剥しか行
われると共に。
方から下方迄の180度またはよシ大きい角度に該ロー
ルに巻付けられ、一方搬送体12が約90度の角度で該
ロールに巻付られる関係に設けられる。かくして、セラ
ミックグリーンシー)13からの搬送体12の剥しか行
われると共に。
セラミックグリーンシート13の間欠搬送機構7への移
送が行われる。
送が行われる。
間欠搬送機構7は、打抜ステーション8を間に挾んで配
置された一対のプーリー56及び57と、これらのプー
リー間に張架されたメツシュコンベヤ58と、該プーリ
ー或いはメツシュコンベヤを間欠駆動させるための間欠
駆動装置59とから成っている。間欠駆動装置59は、
前述した間欠駆動モータ40から、出力が取出され、適
当な動力伝達機構を介して、剥しロール36等の上流側
の間欠駆動搬送系とは、完全に同期されて駆動される。
置された一対のプーリー56及び57と、これらのプー
リー間に張架されたメツシュコンベヤ58と、該プーリ
ー或いはメツシュコンベヤを間欠駆動させるための間欠
駆動装置59とから成っている。間欠駆動装置59は、
前述した間欠駆動モータ40から、出力が取出され、適
当な動力伝達機構を介して、剥しロール36等の上流側
の間欠駆動搬送系とは、完全に同期されて駆動される。
乗替られたセラミックグリーンシート13をメツシュコ
ンベヤ58上に安定に保持するために、メツシュコンベ
ヤ58の移送面の下側には吸引機構(サクシラン)60
m、60bが配置される。
ンベヤ58上に安定に保持するために、メツシュコンベ
ヤ58の移送面の下側には吸引機構(サクシラン)60
m、60bが配置される。
メツシュフンベヤ58ti、シート13のリピート長L
(L=01・to)だけ間欠駆動され、シート13を打
抜ステーション8に供給する。
(L=01・to)だけ間欠駆動され、シート13を打
抜ステーション8に供給する。
打抜ステーション8においては、後述する打抜き等の工
程を有効に行なうために、エアの吸排気機構69が設け
られている。
程を有効に行なうために、エアの吸排気機構69が設け
られている。
また打抜ステージ1ン8において打抜かれた残シの材料
を回収するために、メツシュコンベア58の排出側には
、排出シュート80及び貯槽81が設けられている。
を回収するために、メツシュコンベア58の排出側には
、排出シュート80及び貯槽81が設けられている。
(iD 貼付枠供給機構B
本発明における貼付枠供給機構Bの側断面を第6図に示
す。
す。
この供給機構Bは、貼付枠収容カートリッジ200、貼
付枠搬送装置201.及び製品収容カートリッジ202
から成っている。
付枠搬送装置201.及び製品収容カートリッジ202
から成っている。
貼付枠収容カートリッジ200は上下動に移動可能とな
っておシ、貼付枠203が多数収容されており、これら
貼付枠203が一個ずつ搬送される様になっている。
っておシ、貼付枠203が多数収容されており、これら
貼付枠203が一個ずつ搬送される様になっている。
同様に、製品収容カートリッジ202Fi、貼付枠20
3にセラミックグリーンシートが貼付された製品204
が一個ずつ収容される様になっている。
3にセラミックグリーンシートが貼付された製品204
が一個ずつ収容される様になっている。
搬送装置201は、一対のローラ205,205及びこ
れに張架されたエンドレスベルト206を備えている。
れに張架されたエンドレスベルト206を備えている。
これらローラ205.205には更にエンドレスペル)
207.208が張架されており、これらベルトは各々
カート、リッジ200.202内に延びており、カート
リッジ内の貼付枠203を搬送し、またセラミックグリ
ーンシートが貼付けられた製品を収容し得る様になって
いる。
207.208が張架されており、これらベルトは各々
カート、リッジ200.202内に延びており、カート
リッジ内の貼付枠203を搬送し、またセラミックグリ
ーンシートが貼付けられた製品を収容し得る様になって
いる。
搬送装置201には、糊付機構210及びこの下流側に
貼付ステーシヨン211が設けられている。
貼付ステーシヨン211が設けられている。
糊付機構210は、所定の容器210&内に収容されて
いる糊剤をローラ210b + 210c e210d
を介して貼付枠203に糊付するものである。
いる糊剤をローラ210b + 210c e210d
を介して貼付枠203に糊付するものである。
貼付ステーション211は、エンドレスベルト205の
下面に位置するプレステーブル212がら成りておシ、
このステーション211上において、セラミックグリー
ンシート13の貼付が行なわれるものである。
下面に位置するプレステーブル212がら成りておシ、
このステーション211上において、セラミックグリー
ンシート13の貼付が行なわれるものである。
この場合、糊付がされた貼付枠203が所定位置に位置
した時に、エアーシリンダー213等によってストンi
q −214が作動し、貼付枠203の位置決めが行な
われ、後述する動作によってセラミックグリーンシート
13の貼付が行なわれる。
した時に、エアーシリンダー213等によってストンi
q −214が作動し、貼付枠203の位置決めが行な
われ、後述する動作によってセラミックグリーンシート
13の貼付が行なわれる。
貼付終了後、ストツノ?−214Fi降下し、製品はカ
ートリッジ202内に搬送され、収容される。
ートリッジ202内に搬送され、収容される。
また、カー) IJッジ200は一段降下し1次の貼付
枠203の搬送が行なわれる。
枠203の搬送が行なわれる。
尚、貼付が糊等の接着剤を必要とせずに単に加圧圧着の
みで行ない得る場合には、糊付機構210は不要である
。
みで行ない得る場合には、糊付機構210は不要である
。
(iiil シート移し替え機構に
の移し替え機構CF′i、第3図から明らかな通り、打
抜ステーション8と貼付ステーション211との間に位
置するものであり、打抜ステーション8においてセラミ
ックグリーンシート13を所定形状に打抜き、これを吸
着保持して貼付ステーション211に移送し、貼付枠2
03に貼付けるものである。
抜ステーション8と貼付ステーション211との間に位
置するものであり、打抜ステーション8においてセラミ
ックグリーンシート13を所定形状に打抜き、これを吸
着保持して貼付ステーション211に移送し、貼付枠2
03に貼付けるものである。
この移し替え機構Cの側断面を示す第7図において、こ
の機構Cは、メツシュコンベヤ5Bと打抜きステージ冒
ン8の位置で交叉するように設けられた一対の水平ガイ
ド61at61b、この水平ガイド61m、61bに水
平動可能に支持されている打抜きユニット62とから成
っている。
の機構Cは、メツシュコンベヤ5Bと打抜きステージ冒
ン8の位置で交叉するように設けられた一対の水平ガイ
ド61at61b、この水平ガイド61m、61bに水
平動可能に支持されている打抜きユニット62とから成
っている。
また、ガイド61m、61bに沿って間隔をおいて打抜
ステージ1ン8及び貼付ステーシヨン211が設けられ
ている。
ステージ1ン8及び貼付ステーシヨン211が設けられ
ている。
打抜ユニット62は、昇降動可能なスタンプ機構65を
備え、且つスタンプ機構65を昇降動させるためのエア
シリング−66を有している。スタンプ機構65の下端
には周状の切刃部材67が設けられ、この切刃部材67
の中心側にはエアの吸排気機構68が設けられている。
備え、且つスタンプ機構65を昇降動させるためのエア
シリング−66を有している。スタンプ機構65の下端
には周状の切刃部材67が設けられ、この切刃部材67
の中心側にはエアの吸排気機構68が設けられている。
この吸排気機構68に対応して、打抜ステージ1ン8の
メツシュコンベアの下側にも、エアの吸排気機構69が
設けられている。
メツシュコンベアの下側にも、エアの吸排気機構69が
設けられている。
ガイド61a、61bに平行にスクリューシャフト70
が回転可能に設けられ、このスクリューシャフト70と
噛み合うナツト71が打抜ユニット62に回着されてい
る。スクリュー軸70の一端部にはこれを正逆回転駆動
するためのモータ72が設けられている。かくシ、て、
打抜ユニット62ハ打抜ステージ目ン8と貼付ステーシ
ョン211との間で往復動し得ることが明白であろう。
が回転可能に設けられ、このスクリューシャフト70と
噛み合うナツト71が打抜ユニット62に回着されてい
る。スクリュー軸70の一端部にはこれを正逆回転駆動
するためのモータ72が設けられている。かくシ、て、
打抜ユニット62ハ打抜ステージ目ン8と貼付ステーシ
ョン211との間で往復動し得ることが明白であろう。
打抜ユニット62の駆動は、セラミックグリーンシート
13が打抜ステージ冒ン8に孔く位置決めされた状態で
停止しているとき、打抜ステーシヨン8に位置し、エア
シリンダ−66が作動して、スタン/4’ −55を下
降させて切刃67によるシー)13の打抜を行い且つ打
抜かれたシートを把持し上昇するように行われる。
13が打抜ステージ冒ン8に孔く位置決めされた状態で
停止しているとき、打抜ステーシヨン8に位置し、エア
シリンダ−66が作動して、スタン/4’ −55を下
降させて切刃67によるシー)13の打抜を行い且つ打
抜かれたシートを把持し上昇するように行われる。
装置の動作
本発明の装置は、次のように動作される。
先ず、第4図に示すように、連続シート状搬送体12と
その上に重ねられたセラミックグリーンシー)13とか
ら成る成層体16は、ロール18の形でリール17上に
装着され、一群の供給ロール19a、19b・・・・・
・及び給紙テン71ン検出ロール20を通り、連続駆動
供給ローラ21によシ、一定のテンシランで連続的に引
き出される。
その上に重ねられたセラミックグリーンシー)13とか
ら成る成層体16は、ロール18の形でリール17上に
装着され、一群の供給ロール19a、19b・・・・・
・及び給紙テン71ン検出ロール20を通り、連続駆動
供給ローラ21によシ、一定のテンシランで連続的に引
き出される。
連続的に引出された成層体16は、シフトローラ43及
び間欠駆動供給ローラ35による前述した駆動変換によ
り、間欠移動に変換され、剥しロール36に導かれる。
び間欠駆動供給ローラ35による前述した駆動変換によ
り、間欠移動に変換され、剥しロール36に導かれる。
この剥しローラ36は、内部に吸引機構(図示せず)を
備えたメツシュローラであって、吸引力によってシー)
13の引き剥がしを行なうものである。即ち、剥しロー
ル36は成層体16のセラミックグリーンシート13と
直接接触し、搬送体12は垂直方向に直進し、シー)1
3はロール360表面に載る形で両者の分離が行われる
。剥離されたシー)13は、剥しロール36の衣面から
間欠駆動されるメツシュコンベヤ58の上に乗替り、打
抜ステーション8に送られる。
備えたメツシュローラであって、吸引力によってシー)
13の引き剥がしを行なうものである。即ち、剥しロー
ル36は成層体16のセラミックグリーンシート13と
直接接触し、搬送体12は垂直方向に直進し、シー)1
3はロール360表面に載る形で両者の分離が行われる
。剥離されたシー)13は、剥しロール36の衣面から
間欠駆動されるメツシュコンベヤ58の上に乗替り、打
抜ステーション8に送られる。
シート13から引剥された搬送体12は、シフトローラ
44の前述した動作で連続駆動に再度変換され、連続駆
動排出ローラ22、巻覗テンシッン検出ローラ25、一
群の排出ローラ26m・26bを経て、巻取リール28
上にロール27の形で一定のテンシ1ンで巻成られる。
44の前述した動作で連続駆動に再度変換され、連続駆
動排出ローラ22、巻覗テンシッン検出ローラ25、一
群の排出ローラ26m・26bを経て、巻取リール28
上にロール27の形で一定のテンシ1ンで巻成られる。
一定の送り長さくリピート長)ずつ間欠駆動されるメツ
シュコンベヤ58上のシート13は、エア吸引機構60
a 、60bにより、間欠駆動及び停止時にも位置のず
れを生じないように、メツシュコンベヤ58上に保持さ
れる。
シュコンベヤ58上のシート13は、エア吸引機構60
a 、60bにより、間欠駆動及び停止時にも位置のず
れを生じないように、メツシュコンベヤ58上に保持さ
れる。
先ず、連続したシー)13は、打抜すべきパターン2>
E打抜ステーション8に位置するように停止され、この
時メツシュコンベヤ下のエア吸排気機構69は吸気状態
にある。この時打抜ユニット62は打抜ステージ日ン8
に停止しており、エアシリンダー66が作動してスタン
パ−65を下降させる。スタン・2−55の下端に設け
られている切刃67がシート13と噛み合い、これによ
り切刃67に相当する形状及び寸法にシート13の打抜
きが行われる。打抜終了に伴なって、スタンパ−65内
の吸排気機構68が吸引状態となり、一方メッシュコン
ベヤ下の吸排気機構69は排気状態となシ、打抜かれた
シートはスタン/# −55に吸引保持される。次いで
、エアシリンダー66が上昇作動して、打抜かれたシー
トを吸引保持しているスタンパ−65は上昇する。スタ
ン/# −55が上昇位置にあることを、リミットスイ
ッチ(図示せず)等により確認した後、モーター72が
作動し、打抜ユニット62を貼付ステーション211に
移動させる。
E打抜ステーション8に位置するように停止され、この
時メツシュコンベヤ下のエア吸排気機構69は吸気状態
にある。この時打抜ユニット62は打抜ステージ日ン8
に停止しており、エアシリンダー66が作動してスタン
パ−65を下降させる。スタン・2−55の下端に設け
られている切刃67がシート13と噛み合い、これによ
り切刃67に相当する形状及び寸法にシート13の打抜
きが行われる。打抜終了に伴なって、スタンパ−65内
の吸排気機構68が吸引状態となり、一方メッシュコン
ベヤ下の吸排気機構69は排気状態となシ、打抜かれた
シートはスタン/# −55に吸引保持される。次いで
、エアシリンダー66が上昇作動して、打抜かれたシー
トを吸引保持しているスタンパ−65は上昇する。スタ
ン/# −55が上昇位置にあることを、リミットスイ
ッチ(図示せず)等により確認した後、モーター72が
作動し、打抜ユニット62を貼付ステーション211に
移動させる。
貼付ステーション211において、打抜きユニット62
は停止し、次いでエアシリンダー66が下降動作して、
スタンノ!−55を下降させる。
は停止し、次いでエアシリンダー66が下降動作して、
スタンノ!−55を下降させる。
この際、貼付ステージ目ン211において、プレステー
ブル212上に貼付枠203が位置決めされており、プ
レステーブル212とスルフパー65との間で貼付枠2
03と打抜かれたセラミックグリーンシート13との加
圧一体化が行なわれる。加圧一体化に際し、スタンt!
−55内の吸排機構68Vi吸引状態から排気状態に
切換えられ、シート13が貼付枠203に貼付けられた
後、打抜ユニット62は、次いでスタン/J?−65の
上昇及び打抜ステーション8への復帰を行なう。
ブル212上に貼付枠203が位置決めされており、プ
レステーブル212とスルフパー65との間で貼付枠2
03と打抜かれたセラミックグリーンシート13との加
圧一体化が行なわれる。加圧一体化に際し、スタンt!
−55内の吸排機構68Vi吸引状態から排気状態に
切換えられ、シート13が貼付枠203に貼付けられた
後、打抜ユニット62は、次いでスタン/J?−65の
上昇及び打抜ステーション8への復帰を行なう。
この間に、メツシュコンベア58V:を一定リピート長
だけ送られ、シート13の次回の打抜パターンが打抜ス
テーシヨンに正しく位置決めされた状態で停止している
。
だけ送られ、シート13の次回の打抜パターンが打抜ス
テーシヨンに正しく位置決めされた状態で停止している
。
また、貼付ステー71ン211ではエアーシリンダー2
13の動作によってストッパー214は降下し、貼付枠
203にセラミックグリーンシートが貼付けられた製品
はカートリッジ202内に搬送収容される。
13の動作によってストッパー214は降下し、貼付枠
203にセラミックグリーンシートが貼付けられた製品
はカートリッジ202内に搬送収容される。
所要部分が打抜かれた残りの材料13mは貯槽81に排
出され、グリーンシート等の成形に再利用され、また巻
取られた搬送体もテープキャスティング等に再び利用さ
れることになる。
出され、グリーンシート等の成形に再利用され、また巻
取られた搬送体もテープキャスティング等に再び利用さ
れることになる。
本発明において、貼付枠にセラミックグリーンシートが
貼付けられた製品は、次いで穿孔、スルホール印刷、回
路印刷、積層及び乾燥、焼結等の工程に供せられた後、
IC/#ツケージ等の電子部品としての用途に供せられ
る。
貼付けられた製品は、次いで穿孔、スルホール印刷、回
路印刷、積層及び乾燥、焼結等の工程に供せられた後、
IC/#ツケージ等の電子部品としての用途に供せられ
る。
(作用効果)
本発明によれば、それ自体形態保持性に欠けるセラミッ
クの生シートを、形態保持性を有する枠体に貼付けるこ
とにより、以後の回路印刷、積層等の各種工程を精度良
く且つ高生産性をもって行ない得るという顕著な利点が
達成される。
クの生シートを、形態保持性を有する枠体に貼付けるこ
とにより、以後の回路印刷、積層等の各種工程を精度良
く且つ高生産性をもって行ない得るという顕著な利点が
達成される。
Iまたそれ自体形態保持性に欠けるセラミック生シート
を、シート乃至テープ状の連続搬送体と共に成層体とし
、これを一定のテンシヨンで連続的に供給し且つ搬送体
を一定のテンシヨンで連続的に巻取ると共に、その間で
成層体を間欠駆動に変換することにより、該シートの変
形や位置のずれ等を効果的に防止し得ると共に、シート
の打抜きすべき/4’ターンに合せてそのリピート長ず
つの正確な送シが可能となり、しかもこのシートの停止
と移動とのサイクルを、シートの打抜き及び打抜シート
の貼付けと、これらの間の移動とのサイクルと合致させ
ることができる。
を、シート乃至テープ状の連続搬送体と共に成層体とし
、これを一定のテンシヨンで連続的に供給し且つ搬送体
を一定のテンシヨンで連続的に巻取ると共に、その間で
成層体を間欠駆動に変換することにより、該シートの変
形や位置のずれ等を効果的に防止し得ると共に、シート
の打抜きすべき/4’ターンに合せてそのリピート長ず
つの正確な送シが可能となり、しかもこのシートの停止
と移動とのサイクルを、シートの打抜き及び打抜シート
の貼付けと、これらの間の移動とのサイクルと合致させ
ることができる。
第1図は、本発明の加工方法の工程を簡略して示す図、
@2図は、本発明において用いる貼付枠を示す図、
第3図は、本発明の装置の全体を示す平面図、第4図は
、本発明装置におけるセラミック生シートの供給機構を
示す図、 第5図は、本発明装置における連続−間欠駆動変換機構
の動作を説明するための図、 第6図は、本発明装置における貼付枠供給機構を示す図
、 第7図は、本発明装置におけるシートの移し替え機構を
示す図である。 成層体供給機構2、連続−間欠駆動変換機構3゜シート
乗替機構4、間欠一連続駆動変換機構5゜シート状搬送
体排出乃至巻取機構6、シートの間欠搬送系7、打抜ス
テーション8、貼付ステーション211゜
、本発明装置におけるセラミック生シートの供給機構を
示す図、 第5図は、本発明装置における連続−間欠駆動変換機構
の動作を説明するための図、 第6図は、本発明装置における貼付枠供給機構を示す図
、 第7図は、本発明装置におけるシートの移し替え機構を
示す図である。 成層体供給機構2、連続−間欠駆動変換機構3゜シート
乗替機構4、間欠一連続駆動変換機構5゜シート状搬送
体排出乃至巻取機構6、シートの間欠搬送系7、打抜ス
テーション8、貼付ステーション211゜
Claims (2)
- (1)セラミック生シートを加工用の貼付枠に貼付ける
ための加工方法において、 打抜域を通るセラミック生シートの間欠的搬送路と、 貼付域を通る貼付枠の搬送路とを平行に配置すると共に
、打抜域及び貼付域で交わるセラミック生シートの移し
替え搬送路を配置し、 該間欠的搬送路において、セラミック生シートの長尺物
をメッシュベルト上に吸着保持させて定ピッチでの間欠
的送りを行ない、 貼付枠搬送路において、貼付枠を移動させつつ糊付を行
うと共に、貼付域で停止させ、 打抜域でセラミック生シートを停止させて、打抜型で該
シートを所定形状に打抜き、 打抜かれたシートを、メッシュベルトから吸着解除する
と共に、打抜型に吸着保持させ、 打抜型に保持されたシートを貼付域に移送し、糊付され
た貼付枠に該シートを押圧して貼付を行うことを特徴と
するセラミック生シートの加工方法。 - (2)長尺のセラミック生シートと該シートを支持する
ベースフィルムとの積層体を連続的に供給するための供
給機構; 該積層体の連続的移動を間欠的移動に変換するための第
一の変換機構; 第一の変換機構の下流に設けられ、積層体からセラミッ
ク生シートを分離してメッシュベルトから成る間欠搬送
系に移し替えるための乗替機構;該乗替機構の下流側に
設けられ、ベースフィルムの間欠移動を連続移動するた
めの第二の変換機構; ベースフィルムを連続的に巻取る巻取機構;乗替機構に
おけるセラミック生シートの間欠駆動と同期して間欠駆
動され且つその上面にセラミック生シートを吸着保持す
る機構を備えた間欠搬送系; 間欠搬送系に設けられ、搬送されてくるセラミック生シ
ートを所定形状に打ち抜くための打抜きステーシヨン、 前記間欠搬送系の近傍に配置されている貼付枠の搬送系
; 貼付枠の搬送系に設けられた所定形状に打ち抜かれたセ
ラミック生シートを貼付枠に貼付けるための貼付機構; 前記間欠搬送系の間欠駆動に同期して貼付ステーシヨン
と打抜きステーシヨンとの間を往復動する様に設けられ
、間欠搬送系の停止時にセラミック生シートを所定形状
に打ち抜くと共に打ち抜かれたセラミック生シートを把
持し、且つ間欠搬送系の移動中にこれを貼付ステーシヨ
ンに移送する打抜き移送機構; 貼付ステーシヨンで形成された貼付基材を取出す取出機
構; から成ることを特徴とするセラミック生シートの加工装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18186486A JPS63158204A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | セラミツク生シ−トの加工方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18186486A JPS63158204A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | セラミツク生シ−トの加工方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63158204A true JPS63158204A (ja) | 1988-07-01 |
JPH0310483B2 JPH0310483B2 (ja) | 1991-02-13 |
Family
ID=16108174
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18186486A Granted JPS63158204A (ja) | 1986-08-04 | 1986-08-04 | セラミツク生シ−トの加工方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63158204A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03142910A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-18 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックグリーンシートの積層方法および装置 |
JPH0390905U (ja) * | 1989-12-31 | 1991-09-17 | ||
SG94844A1 (en) * | 2000-07-31 | 2003-03-18 | Murata Manufacturing Co | Manufacturing apparatus for manufacturing electronic monolithic ceramic components |
-
1986
- 1986-08-04 JP JP18186486A patent/JPS63158204A/ja active Granted
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03142910A (ja) * | 1989-10-30 | 1991-06-18 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックグリーンシートの積層方法および装置 |
JPH07120603B2 (ja) * | 1989-10-30 | 1995-12-20 | 株式会社村田製作所 | セラミックグリーンシートの積層方法および装置 |
JPH0390905U (ja) * | 1989-12-31 | 1991-09-17 | ||
SG94844A1 (en) * | 2000-07-31 | 2003-03-18 | Murata Manufacturing Co | Manufacturing apparatus for manufacturing electronic monolithic ceramic components |
US7383866B2 (en) | 2000-07-31 | 2008-06-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Manufacturing apparatus for manufacturing electronic monolithic ceramic components |
US8657987B2 (en) | 2000-07-31 | 2014-02-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Manufacturing apparatus for manufacturing electronic monolithic ceramic components |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0310483B2 (ja) | 1991-02-13 |
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