JPH03142910A - セラミックグリーンシートの積層方法および装置 - Google Patents

セラミックグリーンシートの積層方法および装置

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JPH03142910A JP1282189A JP28218989A JPH03142910A JP H03142910 A JPH03142910 A JP H03142910A JP 1282189 A JP1282189 A JP 1282189A JP 28218989 A JP28218989 A JP 28218989A JP H03142910 A JPH03142910 A JP H03142910A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、積層型のセラミック電子部品の製造工程に
おいて遭遇するセラミックグリーンシートの積層を行な
う方法および装置に関するものである。
［従来の技術］ 積層型のセラミック電子部品の典型例として、積層セラ
ミックコンデンサがある。積層セラミックコンデンサは
、一般に、次のように製造される。
すなわち、 （１）　セラミックグリーンシートを矩形に打抜く。
（２）　矩形のセラミックグリーンシートに、内部電極
を印刷する。
（３）　印刷された内部電極を乾燥する。
（４）　第４図に示すように、このようにして得られた
内部電極１ａを有するセラミックグリーンシート２ａと
、内部電極１ａとは異なるパターンをもって形成された
内部電極１ｂを有するセラミックグリーンシート２ｂと
を交互に積重ねる。
（５）　これら積重ねられたセラミックグリーンシート
は、その外形を基準として揃えられる。
（６）　次いで、上述のようにして得られたセラミック
グリーンシートの積層体を、金型内に入れて加圧する。
（７）　次いで、個々の積層セラミックコンデンサとな
るべきチップを得るように、積層体をカットした後、焼
成および外部電極形成の各ステップを実施し、所望の積
層セラミックコンデンサを得る。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上述した積層セラミックコンデンサの製
造方法においては、まず、（１）のステップにおいてセ
ラミックグリーンシートを矩形に打抜いた後、（２）の
ステップにおいて内部電極の印刷を行なうことになる。
したがって、内部電極の印刷において位置ずれが生じた
場合、（５）のステップにおいてセラミックグリーンシ
ートの外形を基準として積重ねが行なわれるため、その
ような内部電極の位置ずれが修正される機会がなく、位
置ずれは、最終製品にまで持込まれてしまう。したがっ
て、積層セラミックコンデンサにおいては、取得される
静電容量にばらつきが生じやすい。
また、上述の（５）のステップでは、セラミックグリ−
ンシートに振動等を加えて、それぞれの外形が揃うよう
に積重ね状態での位置合わせが行なわれるが、セラミッ
クグリーンシートは機械的強度が比較的低いため、積重
ねの持度を高めることができない。このことも、特に積
層セラミックコンデンサにおいては、取得される静電容
量のばらつきを招く原因となる。
また、上述の（５）のステップを実施した後、（６）の
ステップを実施するまでの間、セラミックグリーンシー
トの積層体を取扱う際、せっかく位置合わせされたセラ
ミックグリーンシート間において、位置ずれが生じるこ
とがある。
上述したような不所望な現象は、結局のところ、得られ
た積層体において、内部電極のように、所定のパターン
をもって形成された電気的要素となるべき材料膜の所望
の位置からのずれを引き起こし、そのような積層体をも
って構成した積層型のセラミック電子部品の品質を低下
させることになる。
それゆえに、この発明の目的は、所定のパターンをもっ
て形成された電気的要素となるべき材料膜の所望の位置
からのずれを防止し得る、セラミックグリーンシートの
積層方法および装置を提供しようとすることである。
【課題を解決するための手段］ この発明にかかるセラミックグリーンシートの積層方法
では、上述した技術的課題を解決するため、まず、所定
のパターンをもって電気的要素となるべき材料膜が形成
されたセラミックグリーンシートが準備される。次いで
、このセラミックグリーンシートは、ポンチによって打
抜かれる。打抜かれたセラミックグリーンシートは、そ
のまま、ポンチによって移送ヘッドにまで運ばれる。セ
ラミックグリーンシートは、移送ヘッドによって保持さ
れながら、積重ね台上に運ばれ、この積重ね台上で複数
枚のセラミックグリーンシートが積重ねられる。そして
、積重ね台上で、セラミックグリーンシートが積重ねら
れるごとに、セラミックグリーンシートの最も上のもの
に対して加熱こてが適用され、それによって、その下に
位置するセラミックグリーンシートに対して仮圧着され
る。
また、この発明にかかるセラミックグリーンシートの積
層装置は、上述した技術的課題を解決するため、次のよ
うな構成を備えることが特徴である。すなわち、この積
層装置は、所定のパターンをもって電気的要素となるべ
き材料膜が形成されたセラミックグリーンシートを打抜
くためのグイおよびポンチの組合わせからなる打抜装置
を備える。上述のポンチによる打抜き動作の終端位置に
は、移送ヘッドが、その初期位置において位置するよう
に配置される。移送ヘッドは、セラミックグリーンシー
トを真空吸引して保持するための吸引穴を備える。また
、移送ヘッドには、加熱こてか内蔵される。加熱こては
、移送ヘッドのセラミックグリーンシートを保持する面
に対して露出する状態と露出しない状態とに動作可能で
ある。前述した移送ヘッド動作の終端位置には、積重ね
台が配置される。積重ね台は、移送ヘッドによって運ば
れたセラミックグリーンシートをその上で積重ねるため
のものである。
［作用］ この発明によれば、セラミックグリーンシートを、ポン
チによって打抜く前に、セラミックグリーンシートには
、所定のパターンをもって電気的要素となるべき材料膜
が予め形成されている。したがって、材料膜のパターン
と位置合わせされた状態で、セラミックグリーンシート
が打抜かれる。
ポンチによって打抜かれたセラミックグリーンシートは
、そのまま、ポンチによって移送ヘッドにまで運ばれる
。次に、移送ヘッドによって保持されたセラミックグリ
ーンシートは、移送ヘッドによって、積重ね台上に運ば
れ、ここで積重ねられる。積重ね台上で積重ねられたセ
ラミックグリーンシートに対しては、加熱こてが適用さ
れ、それによって、積重ね状態にあるセラミックグリー
ンシート相互が仮圧着される。
この発明にかかるセラミックグリーンシートの積層装置
では、加熱こてが移送ヘッドに内蔵されているので、セ
ラミックグリーンシートが移送ヘッドによって積重ね台
上において積重ねられた段階で、直ちに、そのセラミッ
クグリーンシートとその下にあるセラミックグリーンシ
ートとの間で圧着を行なうように作用する。
［発明の効果］ このように、この発明によれば、電気的要素となるべき
材料膜を形成した後、セラミックグリーンシートの打抜
きが行なわれるので、材料膜の形成時において位置ずれ
が生じていたとしても、打抜きステップにおいて、これ
を修正することができる。
また、セラミックグリーンシートは、ポンチによって打
抜かれ、そのまま、このポンチによって移送ヘッドにま
で運ばれ、この移送ヘッドによって、積重ね台上でセラ
ミックグリーンシートの積重ねを行なうので、積重ねら
れたセラミックグリーンシートの互いの位置ずれが生じ
る要因は、削減される。したがって、セラミックグリー
ンシートの積重ね時における位置合わせを適正に行なう
ことができるようになる。
また、セラミックグリーンシートは、積重ね後において
、加熱こてにより、仮圧着されるので、以後の工程にお
けるセラミックグリーンシートの積層体の取扱い時に、
セラミックグリーンシート相互の位置ずれが発生しない
。
このような理由から、所定のパターンをもって形成され
た電気的要素となるべき材料膜の互いの位置ずれが生じ
にくくなり、したがって、積層型のセラミック電子部品
の良品率を高めることができる。
［実施例］ 以下に、この発明による実施例として、積層セラミック
コンデンサを製造する場合について説明する。
第１図は、この発明の一実施例によるセラミックグリー
ンシートの積層装置を示す図解的断面図である。
積層装置は、セラミックグリーンシート２を打抜くため
のダイ３およびポンチ４の組合わせからなる打抜装置５
を備える。セラミックグリーンシート２は、ダイ３の下
方位置まで、送りサポート６によって、その両側縁が保
持された状態で、送られる。
セラミックグリーンシート２には、図示しないが、所定
のパターンをもって電気的要素となるべき材料膜、すな
わち第４図に示す内部電極１ａ。
１ｂのような内部電極が既に印刷等により形成されてい
る。したがって、打抜装置５によってセラミックグリー
ンシート２が打扱かれたとき、第４図に示すような矩形
のセラミックグリーンシート２ａまたは２ｂが得られる
。
ダイ３には、位置認識用光ファイバ７が組込まれている
。この光ファイバ７を通してたとえばＣＣＤカメラのよ
うな光学的認識装置（図示せず）により、セラミックグ
リーンシート２に予め印刷された位置決めマーク（図示
せず）等が認識され、その認識情報に応じて、送りサポ
ート６を動かし、セラミックグリーンシート２の位置が
補正される。
ポンチ４が、矢印８で示すように動作したとき、ダイ３
との協働により、セラミックグリーンシート２が打抜か
れる。打抜かれたセラミックグリーンシート２は、ポン
チ４によって保持されながら、ダイ３を貫通し、そのま
ま、移送ヘッド９にまで運ばれる。この状態が、第２図
に示されている。
移送ヘッド９は、ポンチ４による打抜動作の終端位置に
、その初期位置が来るように設定されている。移送ヘッ
ド９は、セラミックグリーンシート２を真空吸引して保
持するための吸引穴１０を備える。したがって、ポンチ
４によって上述のように移送ヘッド９にまで運ばれたセ
ラミックグリーンシート２は、移送ヘッド９に吸着され
ることによって保持される。
移送ヘッド９には、たとえば電気加熱による加熱こて１
１が内蔵される。加熱こて１１は、移送ヘッド９の、セ
ラミックグリーンシート２を保持する面、すなわち下面
に対して露出する状態と露出しない状態とに動作可能に
設けられる。第１図および第２図では、加熱こて１１が
露出していない状態となっている。後述する第３図にお
いては、加熱こて１１は、露出した状態とされている。
加熱こて１１は、好ましくは、打抜かれたセラミックグ
リーンシート２の端縁部分に対向するように位置される
。
第２図に示すように、セラミックグリーンシート２が移
送ヘッド９によって吸着保持された後、ポンチ４は下降
する。次いで、移送ヘッド９は、第１図において矢印１
２で示すように、横方向に移動する。移送ヘッド９のこ
のような横方向の動作の終端位置には、積重ね台１３が
配置される。
積重ね台１３は、その上で、移送ヘッド９によって運ば
れたセラミックグリーンシート２を積重ねるためのもの
である。積重ね台１３には、好ましくは、最も下に位置
するセラミックグリーンシート２を吸着するための吸引
穴１４を備える。
移送ヘッド９が、上述のように、矢印１２方向へ移動し
て、その動作の終端位置に達したとき、第１図および第
３図において矢印１５で示すように、積重ね台１３は上
昇する。これによって、第３図に示すように、移送ヘッ
ド９によって運ばれたセラミックグリーンシート２が、
積重ね台１３上に積重ねられる。
上述のような積重ねが完了すれば、移送ヘッド９に内蔵
された加熱こて１１が、矢印１６で示すように下降し、
最も上にあるセラミックグリーンシート２の端部を、そ
の下に位置するセラミックグリーンシート２に対して仮
圧着する。
上述したような仮圧着が完了すれば、移送ヘッド９の吸
引穴１０から空気が吹き出されるとともに、積重ね台１
３が下降し、１回の工程が完了する。
以下、同様の工程が所望の回数だけ繰返され、積層セラ
ミックコンデンサのための積層体が得られる。この積層
体は、金型内でさらに加圧され、本圧着された後、適当
にカットされ、次いで焼成および外部電極の形成が行な
われ、所望の積層セラミックコンデンサが得られる。
この発明は、上述した積層セラミックコンデンサのため
のセラミックグリーンシートの積層体のほか、たとえば
、多層回路基板、積層型のＬＣフィルタ、Ｌチップ、Ｃ
ネットワーク等のような積層型のセラミック電子部品の
ための積層体の製造にも適用することができる。
したがって、セラミックグリーンシートに、所定のパタ
ーンをもって形成されるのは、内部電極には限らない。
形状的には、ライン状の導電経路であってもよく、また
、材料的には、抵抗材料等であってもよく、積層型のセ
ラミック電子部品に要求される電気的要素となるべき材
料膜であれば、どのようなものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
第１図は、この発明の一実施例によるセラミックグリー
ンシートの積層装置を示す図解的断面図である。第２図
は、第１図に示した打抜装置５および移送ヘッド９を示
す図解的断面図であって、ポンチ４の動作後、打抜かれ
たセラミックグリーンシート２が移送ヘッド９にまで運
ばれた状態を示している。第３図は、第１図に示した移
送ヘッドおよび１ａ重ね台１３を示す図解的断面図であ
って、ｆａｆｆｌね台１３上において、移送ヘッド９に
よりセラミックグリーンシート２の積重ねを実施してい
る状態が示されている。 第４図は、従来技術を説明するためのものであり、内部
電極ｌａ、ｌｂがそれぞれ形成されたセラミックグリー
ンシート２ａ、２ｂが積重ねられた状態を分解して示す
斜視図である。 図において、２はセラミックグリーンシート、３はダイ
、４はポンチ、５は打抜装置、９は移送ヘッド、１０は
吸引穴、１１は加熱こて、１３は積重ね台である。 第１図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）所定のパターンをもって電気的要素となるべき材
    料膜が形成されたセラミックグリーンシートを準備する
    ステップと、 前記セラミックグリーンシートを、ポンチによって打抜
    くステップと、 前記打抜かれたセラミックグリーンシートを、そのまま
    前記ポンチによって移送ヘッドにまで運ぶステップと、 前記セラミックグリーンシートを、前記移送ヘッドによ
    って保持しながら積重ね台上に運び、前記積重ね台上で
    複数枚の前記セラミックグリーンシートを積重ねるステ
    ップと、 前記積重ね台上で前記セラミックグリーンシートが積重
    ねられるごとに、前記セラミックグリーンシートの最も
    上のものに対して加熱こてを適用してその下に位置する
    セラミックグリーンシートに対して仮圧着するステップ
    と、 を備える、セラミックグリーンシートの積層方法。
  2. （２）所定のパターンをもって電気的要素となるべき材
    料膜が形成されたセラミックグリーンシートを打抜くた
    めのダイおよびポンチの組合わせからなる打抜装置と、 前記ポンチによる打抜き動作の終端位置にその初期位置
    が設定され、かつセラミックグリーンシートを真空吸引
    して保持するための吸引穴を備える、移送ヘッドと、 前記移送ヘッドに内蔵され、セラミックグリーンシート
    を保持する面に対して露出する状態と露出しない状態と
    に動作可能に設けられた加熱こてと、 前記移送ヘッドの動作の終端位置に配置され、前記移送
    ヘッドによって運ばれたセラミックグリーンシートをそ
    の上で積重ねるための積重ね台と、を備える、セラミッ
    クグリーンシートの積層装置。
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