JPS63137958U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63137958U JPS63137958U JP3074887U JP3074887U JPS63137958U JP S63137958 U JPS63137958 U JP S63137958U JP 3074887 U JP3074887 U JP 3074887U JP 3074887 U JP3074887 U JP 3074887U JP S63137958 U JPS63137958 U JP S63137958U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor region
- photo sensor
- conductivity type
- type semiconductor
- intrinsic semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案フオトセンサの第１の実施例を
示す断面図、第２図は本考案フオトセンサの第２
の実施例を示す断面図、第３図は本考案フオトセ
ンサの第３の実施例を示す断面図、第４図Ａ，Ｂ
はフオトセンサの各別の従来例を示す断面図で、
同図Ａは縦型のフオトセンサを、同図Ｂは横型の
フオトセンサを示し、第５図は縦型のフオトセン
サの真性半導体領域内におけるポテンシヤル分布
を示すポテンシヤル分布図である。 符号の説明、１…絶縁基板、２…第１導電型半
導体領域、３…真性半導体領域、４…第２導電型
半導体領域、５…電極。
示す断面図、第２図は本考案フオトセンサの第２
の実施例を示す断面図、第３図は本考案フオトセ
ンサの第３の実施例を示す断面図、第４図Ａ，Ｂ
はフオトセンサの各別の従来例を示す断面図で、
同図Ａは縦型のフオトセンサを、同図Ｂは横型の
フオトセンサを示し、第５図は縦型のフオトセン
サの真性半導体領域内におけるポテンシヤル分布
を示すポテンシヤル分布図である。 符号の説明、１…絶縁基板、２…第１導電型半
導体領域、３…真性半導体領域、４…第２導電型
半導体領域、５…電極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 絶縁基板上に第１導電型半導体領域と真性半導
体領域と第２導電型半導体領域からなるＰＩＮフ
オトダイオードが形成されてなるフオトセンサで
あつて、 上記真性半導体領域をその膜厚が場所によつて
異なるように形成し、 上記第１導電型半導体領域と第２導電型半導体
領域のうちいずれか一方の半導体領域又はそれと
接続された電極を上記真性半導体領域の光が入射
される側の面と反対側の面にそれを全面的に覆う
ように形成してなる ことを特徴とするフオトセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3074887U JPS63137958U (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3074887U JPS63137958U (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63137958U true JPS63137958U (ja) | 1988-09-12 |
Family
ID=30835845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3074887U Pending JPS63137958U (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63137958U (ja) |
-
1987
- 1987-03-03 JP JP3074887U patent/JPS63137958U/ja active Pending