JPS63128028A - プリセラミツク重合体.セラミツク材料及びそれらの製造方法 - Google Patents

プリセラミツク重合体.セラミツク材料及びそれらの製造方法

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JPS63128028A
JPS63128028A JP62275932A JP27593287A JPS63128028A JP S63128028 A JPS63128028 A JP S63128028A JP 62275932 A JP62275932 A JP 62275932A JP 27593287 A JP27593287 A JP 27593287A JP S63128028 A JPS63128028 A JP S63128028A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は新規のポリメチル(ジシリル)シラザン、それ
らの製造法及びセラミック材料製造のための使用、およ
びそれによって得られたセラミック材料に関する。本発
明は、ハロゲン含有ジシランとの共反応物として環状シ
ラザン、またはそれらの混合体を使用して、特異のポリ
メチル(ジシリル)シラザン(polymethyl 
(disllyl)silazane)重合体を生成す
ることにある。
従来の技術 約1975年から、プリセラミック重合体はセラミック
前に成形できる。
加工性を有するために、プリセラミック重合体の合成に
新しい努力がされてきた。かくして、窒化ケイ素を含有
するセラミックスおよび他の関係材料に転化することが
できるポリメチル(ジシリル)シラザン重合体を調製す
るために2.5の異なる方法が開発そして開示された。
最初に報告された方法は、1982年7月20日付は米
国特許第11.540.619号においてゴール(Ga
ul)によって開示されたものであって、彼は塩素含有
ジシランとジシラザンを反応させることによって作った
プリセラミック重合体を熱分解することによシセラミッ
ク材料を得た。これらの重合体はケイ素−カーボ窒化物
(81−C−N)セラミックスに熱分解させることがで
きた。そして熱分解前に該重合体は加工、すなわち成形
することができ、従ってかかる重合体から繊維のような
物を成形することができた。
窒化ケイ素セラミックを成形するために他の重合体前駆
物質が開示された。ペルビーク(Verbeak)は1
9714年12月lO日付は米国特許第51555G7
号にメチルアミンと反応してメチルトリス(メチルアミ
ン)シランを生成するメチルトリクロロシランの反応を
開示している。この生成物は加熱して520℃で重合体
を生成することができた。その重合体は110℃で湿性
空気酸化によって硬化させ、熱分解させて、低耳とう性
の5i−O−N−0セラミツクを提供することができた
。@仰の材料および方法がVerbeek  らによっ
て1975年7月1日付は米国特許第5.892.58
5号に開示された。
ゴール(Gaux)は’、1982年1月26日付は米
国特許第#、321,970号に1種々のアルキルトリ
クロロシランとへキサメチルジシラザン((0M3)3
SIJ□NHとを反応させることによシ合成したポリシ
ラザン重合体の調製法を開示している。この合成法では
、(CH3)、5iOj  は副産物として除去された
。これらの材料は高温で熱分解して8l−C−Nを含有
するセラミックスを生成した。
キャナデイ(Cannady)は、19g5年7月5日
付は米国特許第4.5115.5414号にトリクロロ
シランとへキサメチルジシラザンからポリヒドリドメチ
ルシラザン重合体を調製することを含むゴールの方法を
開示すると共に、191!5年9月10日付は米国特許
第11.5 u O,g O5号にこれらの重合体は熱
分解して8l−C−N型セラミックスにすることができ
ることを示した。
さらに別の重合体が1次の米国特許に開示された:ゴー
ルによる19g3年7月26日付は米国特許第11.3
95.1460号および1983年9月1°5日付は米
国特許第1J、 1104.155号;ハルスカ(Ha
luska)  による1984年11月13日付は米
国特許@11.lL&2.61!9号;セイフエルス(
Seyrer sh)らの1983年g月9日付は米国
特許第11.597.828号;キャナデイの1985
年g月13日付は米国特許第4.535. OO7号;
プジャルスキイ(Bujalski)の19B11年9
月21日付は米国特許出願第655. OO5号:パニ
イ(Baney)らの191!li年9月21日付は米
国特許出願第652,938号および第63.939号
発明が解決しようとする間浄点 発見されたものは、新規のプリセラミック重合体、該重
合体の製造法、それらのセラミック材料の製造への使用
、および該プリセラミック重合体を使用して調製したセ
ラミック材料である。
問題点を解決するための手段 本発明は、不活性1本質的に無水の雰囲気下で。
一般式 %式%) を有する塩素含有ジシランまたは塩素含有ジシランの混
合体を、一般式(1)(cH3Rs1Na)xおよび(
1)(c6a5WsiNH)  を有すル環状シラサン
カラ成る群から選んだ環状シラザンまたは環状シラザン
の混合体とを22℃〜280℃の範囲内の湯度において
接触および反応させ、同時に副生成した揮発性生成物を
蒸留させる〔但し式中のR′と!はそれぞれ独立して水
素、フェニルおよび炭素原子1−3を含有するアルキル
基から成る群から選ぶ;dは0.5〜5の傷を有し;e
は0〜2.14の値を有し、そして(a+e)の和は5
に等しく;xは3〜6の整数である〕ことから成るプリ
セラミック重合体の調製法に関する。
本発明はさらに、かかる予備的方法によって得られた生
成物をさらにアンモニアで処理してかかる重合体中に残
留をるハロゲン化物を低減させる方法から成る。
また1本発明はプリセラミック重合体の予備的方法によ
って得られた生成物および該重合体のアンモニア処理に
よって得られた生成物を取り扱う。
さらに1本発明は、プリセラミック重合体またはアンモ
ニア処理プリセラミック重合体がセラミック材料に転化
されるまで、プリセラミック重合体またはアンモニア処
理プリセラミック重合体を高温において、真空または不
活性雰囲気下で、熱分解させることから成るセラミック
材料の成形法を取り扱う。
最後に1本発明は本発明の組成物を熱分解させることに
よって調製されたセラミック組成物を取り扱う。
作用 アンモニアで処理しないプリセラミック重合体を含む本
発明のプリセラミック重合体は、従来の技術によるもの
よりも優れた流動特性を有する。
従って、新規の重合体の調製法は5重合反応中の副生成
であるR;5icj2(式中のR′とRriそれぞれメ
チルまたはフェニルである)を除去してプリセラミック
重合体を生成するために(CH3Rs1NH)x。
(C6H5イ81NH)x  または環状シラザンの混
合体と。
07 CH5iSiCH3072のようなハロジシラン
との反応を含む。Si上に残留する710ゲン化物置換
体はアンモニアガスと反応させることによって除去する
ことができる。
一般に、ジシランと環状シラザンの反応はトルエンのよ
うな溶媒の存在下で行うが、ジシランや環状シラザンと
反応することなく反応物質の相溶性を提供できる有機溶
媒はいずれも本発明に使用することができるので、溶媒
の種類の決定的なものではない。一般に初期反応は発熱
であるから。
反応の進行に伴い反応容器を冷却することが望ましい。
必須ではないが、環状シラザンへジシランを添加するこ
とが望ましく、シラザンを氷水浴などによって冷却する
環状シラザンと反応できるジシランの量は、ポリシラン
中の利用できる全ハロゲン化物と環状シラザン中の利用
できる全反応性窒素の化学量論に基づく、従って本発明
法に¥11−8 i−8i : 2((CnH2)2S
iNH}工の比が望ましい。最初の生成物がトルエン、
n−へブタン、等のような有機溶媒に可溶性である限り
、この比よりも高い又は低いジシラン; {(CH3)
28iNHJxの比も用いることができる。
反応塊は、水分が所望の結果を妨害する傾向にあるので
1本質的に乾燥状態にすべきである。ジシランを環状シ
ラザンに添加して、初期の発熱が止んだ後、冷却源を除
去して、その反応を室温又はその近傍の温度で1反応に
使用するジシランおよび環状シラザンに依存して1〜数
時間進行させる。次にその反応塊をストリップ(放散)
蒸留して、揮発性副産物を除去して1重合体を生成する
本発明には、22〜280℃の範囲内のストリップ温度
が望ましい。かく生成した重合体は、次にろ過、貯蔵又
はアンモニアガスで処理して残留ハロゲン化物の含量を
低減させる。さらに、アンモニアガス処理後に重合体を
再ろ過して、生成する固体のNH4CJを除去すること
が望ましい。
その重合体は固体から液体にわたり、淡黄色から暗黄色
に及ぶ。
本発明に有用なジシランは一般式(czdR’8si)
2〔式中のRは水素、ビニル、フェニルおよび炭素原子
1〜3を有するアルキル基である〕を有するものである
。従って、R基は全てを同−又は異なるものにすること
ができる。ジシランは、ハロシラン直接製造法(Eab
o r n 、C−I’ Or gan’o S 11
1 ConCompaunds”、Butterwor
th 5cientificPublioations
、 Lon4on、 1960+pg、l参照)からの
残留物に見られるものにすることができる。
その直接法は、オルガノクロロシランを生成するために
、触媒の存在下、高温で金属ケイ素と脂肪族ハロゲン化
物(一般に塩化メチル)間の反応である。上記の塩素含
有ジシランには、dの値が05〜5.eの愼がO−2,
11、そして(、i+8)の和が5である。塩素含有ジ
シランは例えば(cz(aH3)2sJ、 (aj2a
H3sil□。
1c12CjH2=CH81j、  (07202H5
SiJ2および(Cj(C6H5)2SiJ□である。
本発明に有用な環状シラザンは一般式(I KCH3R
st+)xおよび(Il)(C6H5R′5INH)X
を有するものである。
式中のRは水素、ビニル、フェニルおよび炭素原子1〜
3を有するアルキル基から成る群から選ぶ。
そしてXは3,4.5または6の値を有す。本発明には
、Xが3または4そしてぐがメチル、ビニルまたはフェ
ニルである環状シラザンが望ましい。
最適には、Xが4でRがメチルである環状シラザンであ
る。
環状シラザンの混合体を使用することができる。
ここでの用語「混合体」は、環状シラザンをXが5およ
び4を有する。又はXが3. lIおよび5を有すると
ころの混合体1等にすることができることを意味する。
一般に、環状シラザンは、環状四量体が優先する。すな
わち環状四量体が混合体に50重t%以上存在するよう
な混合体で使用される6また。「混合体」は1例えばS
lに異なる置換基を有する環状四量体を意味することも
できる。
例えば、  ((aH3)2sxNJ4と((aH,X
ca2=cH)sxNHl 4を一緒に使用して混合重
合体にすることができる。
本発明はセラミック材料の製造法も取り扱う。
該方法は、不活性かつ本質的に無水雰囲気下において一
般式(c J d R’e S i ) 2 を有する
塩素含有ジシラン又は塩素含有ジシランの混合体と、一
般式%式%) する環状シラザンから成る群から選んだ環状シラザン又
は塊状シラザンの混合体〔式中のBとRはそれぞれ水素
、フェニルおよび炭素原子1〜3を含有するアルキル基
から成る群から独立に選ぶ;dは0.5〜3の値を有す
る;eはO〜2.4の伊を有するそして(d+e)の和
はうである;Xは5〜6の整数である〕を揮発性の副産
物を蒸留しながら、22℃〜2gO℃の範囲内の温度で
接触および反応させることによって調製したプリセラミ
ック重合体を、不活性雰囲気又は真空下で該プリセラミ
ック重合体がセラミック材に転化するまで少なくとも7
50℃の温度に加熱することがら成る。
さらに1本発明は、プリセラミック重合体が(I)不活
性かつ本質的に無水雰囲気下において一般式(CJ d
 R’e S 1) 2  を有する塩素含有ジシラン
又は塩素含有ジシランの混合体と、一般式(1) (C
H3R8INT()xおよび(if)(c6H5Rsi
Na)  を有する環状シラザンから成る群から選んだ
環状シラザン又は環状シラザンの混合体〔式中のR′と
Iはそれぞれ水素。
フェニルおよび炭素原子1〜3を含有するアルキル基か
ら成る群から独立に選ぶ;dは0.5〜5の値を有し;
eは0〜乙ヰの値を有しかつ(d+e)の和はうである
;そしてXは3〜6゛の整数である〕を揮発性の副産物
を蒸留させながら、22℃〜280℃の温度範囲内で接
触および反応させ、 (It)(I)の生成物を22℃
〜91℃の範囲内の温度において乾燥アンモニアガスで
処理して(1)からの生成物中の全ての残留ハロゲン化
物を本質的に除去し; (Illl(Illの生成物を
不活性雰囲気又は真空中で前記プリセラミックがセラミ
ック材に転化されるまで少なくとも750℃の温度に加
熱することによって調製されるところのセラミック材の
調製法を取り扱う。
本発明のために、用語「不活性雰囲気」はアルゴン、蓋
素、ヘリウム、co 又はN2のようなガスを意味する
。次に記載する実症例は本発明の説明を目的としたもの
であって、特許請求の範囲に記載した発明の範囲を限定
するものではない。
実症例 0、0146モルのcz(CH3)2(sistcH3
)2cz。
0、1602モルのC!(CH3)22S1SICH3
Cj2  およびO,1622モルのCj20H3Si
SiOH30j2から成る混合ジシランの溶液を1式(
(CH3)2stunノ。
と{(CH3)2SINHJ 4 を有する混合環状体
(11/3の比が607140重量%であった) 55
.8 p(o、 7655当量)へ乾燥n−ヘキサン1
911中で添加した。その反応材料を約1時間かくはん
1、て、261℃でストリップ蒸留した留出物の重tは
205.21!であった。ガスクロマトグラフによる留
出物の分析および%atは、留出物が0.191モルの
(CH3)2stcj2を含有し、それはジシランに5
L3重量%を占めることを示した。残分の重合体を25
0 oa の乾燥n−へブタンに溶解させて、その溶液
に乾燥アンモニアガスを28〜55℃の温度で1時間5
5分間吹き込んだ。次のその溶液はろ過して、22〜9
1℃から5g℃の範囲の温度で2時間50分間ガス状ア
ンモニアで再処理した。その反応混合体は再びろ過し、
21111’Cにストリップ蒸留して、出発材料の重賞
を基準にして144.7 # (理論値の52.9重量
%)を得た。
その物質は透明、淡黄色の固体生成物であった。
元素分析は次の重量%を有する組成を示し:元素   
  重量% 計算した元素組成は””1.2 C2,4Hll、6 
N1.1”o、oosとなった。
重合体の分子量はガス・クロマトグラフ分析法によって
得た。ポリスチレンに対して校正したカラムはゴール(
oaul)の米国特許第14.3140.619号に従
って調製した既知ポリメチル(ジシリル)シラザン重合
体に対して補正された。重量平均分子量(= )は31
69であった。
重合体の軟化点の測定は重合体試料を熱的機械分析装置
(DuPoni 1090)で5℃/分の速度で加熱す
ることによって行った。57℃の軟化点が得られた。
例2 例1で得た重合体を未硬化状態においてアルゴン中で1
200℃まで5時間30分かけて熱分解した。収率5’
A2重量5のセラミック・チャーが得られた。熱重量測
定は、ヘリウム中で1000℃まで熱分解させた後41
重量%のセラミック・チャーを生じた。重量損失は21
5℃で始まシ約725℃で終った。アルゴン熱分解材料
のX線回折はそれが非晶質であることを示した。セラミ
ックの質量吸収係数は39.6であった。
アルゴン中で熱分解させたセラミックの元素分析結果は
次の通りであり: 計算した組成は−””2.OC1,7N1.4 0O,
2となった。このセラミックは勾配カラム法によシ測定
した密度2.ヰ06110a を有した。
組成物はメチルクロロジシラン11!2IIとヘキサメ
チルジシラザン303. g jlの反応混合物を使用
する方法で調製し1例1の材料と比較した。その結果を
第1表に示す。
重合体の型 分子量(M  )       5169     1
200軟化点(℃)          57    
  100X−線分析       非晶質    非
晶質質量     3&繕   3&7 セラミツクの組成   ”2.0 CI、7N1.4’
0.2 8L1.9C1,7N+、4Oo、1密度  
   乙1106    − 重合体の合成における著しい相違は重合体の収率1分子
量および軟化点である。本発明法で得られた重合体の収
率は比較材料よりも約50%高い。
本発明の重合体の分子量は比較材料の約5倍であって、
それは良好な流動特性をもたらす。本発明による材料の
軟化点は比較材料よシも低いが、材料を繊維のスピニン
グおよびマイクロ電子回路のコーティングに有用にさせ
るのに充分高い軟化点が保持されていることが注目され
る。本発明の材料から繊維を容易に引き抜くことができ
た。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、一般式(CldR′eSi)_2の塩素含有ジシラ
    ン又は塩素含有ジシランの混合体と、一般式(i)(C
    H_3R″SiNH)_xおよび(ii)(C_6H_
    5R″SiNH)_xを有する環状シラザンから成る群
    から選んだ環状シラザン又は環状シラザンの混合体〔式
    中のR′とR″はそれぞれ水素、ビニル、フェニルおよ
    び炭素原子1〜3を含有するアルキル基から成る群から
    独立に選ぶ;dは0.5〜3の値を有し;eは0〜2.
    4の値を有し、(d+e)=3であり;xは3〜6の整
    数である〕とを、不活性かつ本質的に無水雰囲気下にお
    いて22℃〜280℃の湿度で、副生する揮発性生成物
    を蒸留させながら、接触および反応させることから成る
    ことを特徴とするプリセラミック重合体の製造方法。 2、ジシランが塩素含有ジシランの混合体であり、環状
    シラザンが{(CH_3)_2SiNH}_xである特
    許請求の範囲第1項記載の方法。 3、xが4の値を有する特許請求の範囲第2項記載の方
    法。 4、xが3の値を有する特許請求の範囲第2項記載の方
    法。 5、ジシランが塩素含有ジシランの混合体であり、環状
    シラザンが{(CH_3)_2SiNH}_4と{(C
    H_3)_2SiNH}_3の混合体である特許請求の
    範囲第1項記載の方法。 6、生成物が、さらに別の不活性、本質的に無水の雰囲
    気下においてアンモニアで処理される特許請求の範囲第
    1項記載の方法。 7、特許請求の範囲第1項の方法によつて製造された物
    質の組成物。 8、ジシランが塩素含有シランの混合体であり、環状シ
    ラザンが{(CH_3)_2SiNH}_xである特許
    請求の範囲第7項記載の物質の組成物。 9、xが4の値を有する特許請求の範囲第8項記載の物
    質の組成物。 10、xが3の値を有する特許請求の範囲第8項記載の
    物質の組成物。 11、特許請求の範囲第7項に記載のプリセラミック重
    合体を不活性雰囲気又は真空中において該プリセラミッ
    ク重合体がセラミック化されてセラミック材料が得られ
    るまで、少なくとも750℃の温度まで熱分解させるこ
    とからなることを特徴とするセラミック材料の製造方法
    。 12、特許請求の範囲第11項の方法によつて製造され
    た物質の組成物。
JP62275932A 1986-11-03 1987-11-02 プリセラミツク重合体.セラミツク材料及びそれらの製造方法 Pending JPS63128028A (ja)

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