JPS63109956A

JPS63109956A - Ｘｙテ−ブル

Info

Publication number: JPS63109956A
Application number: JP25623186A
Authority: JP
Inventors: Mutsumi Suematsu; 睦末松
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-10-28
Filing date: 1986-10-28
Publication date: 1988-05-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）この発明は、たとえば半導体組立装置などに使用する＾
速駆動で、しかも精密位置決めが可能なＸＹテーブルに
関する。

（従来の技術）半導体組立装置などに使用するＸＹテーブルは、そのテ
ーブル上に被組立部品である半導体素子を載置し、ＸＹ
方向に移動させて精密に位置決めする必要があり、ＸＹ
テーブルを高精度に駆動する必要がある。したがって、
ＸテーブルおよびＹテーブルをそれぞれ直線運動させる
駆動機構は、一般にモータと、このモータの回転運動を
直線運動に変換する送りねじとによって構成されている
。

そして、前記モータは、ＤＣモータが使用され、位置検
出センサとしてエンコーダが使用されている。つまり、
位置検出センサによってＸテーブルおよびＹテーブルの
位置を検出し、この位置検出信号をＤＣモータにフィー
ドバックして位置制御を行なっている。したがって、位
置検出センサの分解能がＸＹテーブルの停止精度に依存
するため、１個の高分解能エンコーダを使用するととも
に、このエンコーダの出力信号をさらに電気的に分割す
ることにより精度を上げたり、レーザ変位計を使用して
いる。

〈発明が解決しようとする問題点）しかしながら、前述のように、１個の高分解能エンコー
ダ出力を電気的に分割する方法は、ＤＣモータの位置フ
ィードバック制御をする際、高速回転時のエンコーダ出
力周波数が高くなり、カウンタの読込みを高速で実施し
ないと、カウンタのオーバフローが生じるため制御が非
常に困難である。したがって、ＤＣモータを低速回転さ
せないと実施することができず、結局、高精度化を図る
ためには低速駆動しなくてはなず、半導体組立装置に採
用した場合には組立作業能率が悪いという欠点がある。

また、レーザ変位計の場合には、高速回転時においても
検出することができるが、高価であるとともに、装置が
大形化するという不都合がある。

この発明は、前記事情に着目してなされたもので、その
目的とするところは、高速駆動が可能であるとともに、
高精度が位置決めができるＸＹテーブルを廉価に提供で
きるようにしたことにある。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段及び作用）この発明は、
ＸテーブルおよびＹテーブルを駆動する駆動機構に粗送
り山を検出する第１の位置検出センサと微少送り量を検
出する第２の位置検出センサを設け、駆動機構によって
為速駆動するときには第１の位置検出センサによって検
出し、つぎに第２の位置検出センサに切換えることによ
って微少送りを行なって精密位置決めを行なうようにし
たことにある。

（実施例）以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

図面はＸＹテーブルの平面図を示すもので、１は基台で
ある。この基台１の上面には長手方向に亘ってガイドレ
ール２．２が設けられている。

この基台１の上部には前記ガイドレール２．２に案内さ
れてＸ方向に直線往復運動自在にＸテーブル３が設けら
れている。このＸテーブル３の上面にも長手方向に亘っ
てガイドレール４．４が設けられている。このＸテーブ
ル３の上部には前記ガイドレール４．４に案内されてＹ
方向に直線往復運動自在にＹテーブル５が設けられてい
る。そして、このＹテーブル５の上面は半導体素子など
を載置する載置台６として形成され、この載置台６はＸ
Ｙ方向に移動自在になっている。ざらに、前記基台１に
はＸテーブル３を駆動する第１の駆動機構７が、Ｘテー
ブル３にはＹテーブル５を駆動する第２の駆動機構８が
設けられている。

この第１、第２の駆動機構７．８は同一構造であるため
、第１の駆動機構７のみについて説明すると、９は基台
１に固定したブラケットであり、このブラケット９には
モータ１０が設けられている。このモータ１０の一端部
には回転速度を検出する速度検出センサ１１が設けられ
、他端部には粗送り量を検出する回転エンコーダからな
る第１の位置検出センサ１２が設けられている。さらに
、前記モータ１０の回転軸１３には送りねじ１４の一端
部が連結され、この送りねじ１４の他端部は前記Ｘテー
ブル３の下部を通過して基台１の他端部に設けた軸受１
５に回転自在に軸支されているとともに、この送りねじ
１４の端部には微少送り量を検出する回転エンコーダか
らなる第２の位置検出センサ１６が設けられている。ま
た、前記送りねじ１４の中途部は前記Ｘテーブル３の下
面に設けたナツト１７に螺合しており、送りねじ１４の
回転運動を直線運動に変換してＸテーブル３に伝動する
ようになっている。

また、前記速度検出センサ１１、第１および第２の位置
検出センサ１２．１６の検出信号は制郊回路１８に入力
され、この制御回路１８から前記モータ１０に速度およ
び位置がフィードバックされるようになっている。

つぎに、前述のように構成されたＸＹテーブルの作用に
ついて説明する。まず、Ｘテーブル３を移動させる場合
には、速度検出センサ１１により速度フィードバックを
かけ、第１の位置検出センサ１２により位置フィードバ
ックをかけながらモータ１０を駆動すると、送りねじ１
４は高速回転する。この送りねじ１４の回転運動はナツ
ト１７によって直線運動に変換され、Ｘテーブル３はガ
イドレール２．２に案内されながらＸ方向に移動する。

このとき、Ｘテーブル３の移動、つまり粗送り量は、第
１の位置検出センサ１２によって検出され、Ｘテーブル
３が所定位置まで移動すると、第１の位置検出センサ３
から第２の位置検出センサ１６に切換えられる。したが
って、Ｘテーブル３の位置は第２の位置検出センサ１６
によって検出され、Ｘテーブル３の微少送りが行われる
。このように、目標地点に到達するまでは高速に駆動さ
れ、第１の位置検出センサ１２によって粗送り量が検出
され、つぎに第２の位置検出センサ１６によって微少送
り量が検出されるため、目標地点で高精度な位置決めが
できる。また、Ｙテーブル５をＹ方向に駆動させる場合
も第１の駆動機構７によるＸチー、プル３の駆動と同様
に第２の駆動灘構８によって駆動され、Ｘテーブル３と
Ｙテーブル５は同時に駆動されることになる。

なお、前記一実施例においては、第１および第２の位置
検出センサとして回転エンコーダを使用したが、一方を
直線エンコーダとしてもよく、両者を直線エンコーダと
してもよいが、直線エンコーダの場合にはＸテーブル、
Ｙテーブルの移動を直接的に検出されるものである。

（発明の効果）以上説明したように、この発明によれば、粗送り量を検
出する第１の位置検出センサと微少送り量を検出する第
２の位置検出センサとの組合せによって、高速駆動が可
能となるとともに高精度な位置決めが可能となる。しか
も、エンコーダ出力を電気的に分割したり、レーザ変位
計を使用する必要がなく、廉価に提供できるという効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示すＸＹテーブルの平面図
である。３・・・Ｘテーブル、５・・・Ｙテーブル、７．８・・
・駆動機構、１０・・・モータ、１２・・・第１の位置
検出センサ、１４・・・送りねじ、１６・・・第２の位
置検出センサ、１８・・・制御回路。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）Ｘ方向に移動自在なＸテーブルと、このＸテーブ
ルに重合されＹ方向に移動自在なＹテーブルと、前記Ｘ
テーブルおよびＹテーブルをそれぞれ駆動する駆動機構
と、この駆動機構に設けられ前記ＸテーブルおよびＹテ
ーブルの粗送り量を検出する第１の位置検出センサおよ
び微少送り量を検出する第２の位置検出センサと、前記
第１の位置検出センサにおける粗送り量検出結果および
前記第２の位置検出センサにおける微少送り量検出結果
に基づき前記駆動機構を駆動して前記Ｘテーブルおよび
前記Ｙテーブルの位置決めを行なう制御回路とを具備し
たことを特徴とするＸＹテーブル。
（２）駆動機構は、モータとこのモータの回転運動を直
線運動に変換する送りねじからなることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のＸＹテーブル。
（３）第１および第２の位置検出センサは、回転エンコ
ーダまたは直線エンコーダであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のＸＹテーブル。