JPS63109956A - Xyテ−ブル - Google Patents
Xyテ−ブルInfo
- Publication number
- JPS63109956A JPS63109956A JP25623186A JP25623186A JPS63109956A JP S63109956 A JPS63109956 A JP S63109956A JP 25623186 A JP25623186 A JP 25623186A JP 25623186 A JP25623186 A JP 25623186A JP S63109956 A JPS63109956 A JP S63109956A
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- Japan
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- feed amount
- position detection
- detection sensor
- driving
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 35
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
この発明は、たとえば半導体組立装置などに使用する^
速駆動で、しかも精密位置決めが可能なXYテーブルに
関する。
速駆動で、しかも精密位置決めが可能なXYテーブルに
関する。
(従来の技術)
半導体組立装置などに使用するXYテーブルは、そのテ
ーブル上に被組立部品である半導体素子を載置し、XY
方向に移動させて精密に位置決めする必要があり、XY
テーブルを高精度に駆動する必要がある。したがって、
XテーブルおよびYテーブルをそれぞれ直線運動させる
駆動機構は、一般にモータと、このモータの回転運動を
直線運動に変換する送りねじとによって構成されている
。
ーブル上に被組立部品である半導体素子を載置し、XY
方向に移動させて精密に位置決めする必要があり、XY
テーブルを高精度に駆動する必要がある。したがって、
XテーブルおよびYテーブルをそれぞれ直線運動させる
駆動機構は、一般にモータと、このモータの回転運動を
直線運動に変換する送りねじとによって構成されている
。
そして、前記モータは、DCモータが使用され、位置検
出センサとしてエンコーダが使用されている。つまり、
位置検出センサによってXテーブルおよびYテーブルの
位置を検出し、この位置検出信号をDCモータにフィー
ドバックして位置制御を行なっている。したがって、位
置検出センサの分解能がXYテーブルの停止精度に依存
するため、1個の高分解能エンコーダを使用するととも
に、このエンコーダの出力信号をさらに電気的に分割す
ることにより精度を上げたり、レーザ変位計を使用して
いる。
出センサとしてエンコーダが使用されている。つまり、
位置検出センサによってXテーブルおよびYテーブルの
位置を検出し、この位置検出信号をDCモータにフィー
ドバックして位置制御を行なっている。したがって、位
置検出センサの分解能がXYテーブルの停止精度に依存
するため、1個の高分解能エンコーダを使用するととも
に、このエンコーダの出力信号をさらに電気的に分割す
ることにより精度を上げたり、レーザ変位計を使用して
いる。
〈発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、前述のように、1個の高分解能エンコー
ダ出力を電気的に分割する方法は、DCモータの位置フ
ィードバック制御をする際、高速回転時のエンコーダ出
力周波数が高くなり、カウンタの読込みを高速で実施し
ないと、カウンタのオーバフローが生じるため制御が非
常に困難である。したがって、DCモータを低速回転さ
せないと実施することができず、結局、高精度化を図る
ためには低速駆動しなくてはなず、半導体組立装置に採
用した場合には組立作業能率が悪いという欠点がある。
ダ出力を電気的に分割する方法は、DCモータの位置フ
ィードバック制御をする際、高速回転時のエンコーダ出
力周波数が高くなり、カウンタの読込みを高速で実施し
ないと、カウンタのオーバフローが生じるため制御が非
常に困難である。したがって、DCモータを低速回転さ
せないと実施することができず、結局、高精度化を図る
ためには低速駆動しなくてはなず、半導体組立装置に採
用した場合には組立作業能率が悪いという欠点がある。
また、レーザ変位計の場合には、高速回転時においても
検出することができるが、高価であるとともに、装置が
大形化するという不都合がある。
検出することができるが、高価であるとともに、装置が
大形化するという不都合がある。
この発明は、前記事情に着目してなされたもので、その
目的とするところは、高速駆動が可能であるとともに、
高精度が位置決めができるXYテーブルを廉価に提供で
きるようにしたことにある。
目的とするところは、高速駆動が可能であるとともに、
高精度が位置決めができるXYテーブルを廉価に提供で
きるようにしたことにある。
(問題点を解決するための手段及び作用)この発明は、
XテーブルおよびYテーブルを駆動する駆動機構に粗送
り山を検出する第1の位置検出センサと微少送り量を検
出する第2の位置検出センサを設け、駆動機構によって
為速駆動するときには第1の位置検出センサによって検
出し、つぎに第2の位置検出センサに切換えることによ
って微少送りを行なって精密位置決めを行なうようにし
たことにある。
XテーブルおよびYテーブルを駆動する駆動機構に粗送
り山を検出する第1の位置検出センサと微少送り量を検
出する第2の位置検出センサを設け、駆動機構によって
為速駆動するときには第1の位置検出センサによって検
出し、つぎに第2の位置検出センサに切換えることによ
って微少送りを行なって精密位置決めを行なうようにし
たことにある。
(実施例)
以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
図面はXYテーブルの平面図を示すもので、1は基台で
ある。この基台1の上面には長手方向に亘ってガイドレ
ール2.2が設けられている。
ある。この基台1の上面には長手方向に亘ってガイドレ
ール2.2が設けられている。
この基台1の上部には前記ガイドレール2.2に案内さ
れてX方向に直線往復運動自在にXテーブル3が設けら
れている。このXテーブル3の上面にも長手方向に亘っ
てガイドレール4.4が設けられている。このXテーブ
ル3の上部には前記ガイドレール4.4に案内されてY
方向に直線往復運動自在にYテーブル5が設けられてい
る。そして、このYテーブル5の上面は半導体素子など
を載置する載置台6として形成され、この載置台6はX
Y方向に移動自在になっている。ざらに、前記基台1に
はXテーブル3を駆動する第1の駆動機構7が、Xテー
ブル3にはYテーブル5を駆動する第2の駆動機構8が
設けられている。
れてX方向に直線往復運動自在にXテーブル3が設けら
れている。このXテーブル3の上面にも長手方向に亘っ
てガイドレール4.4が設けられている。このXテーブ
ル3の上部には前記ガイドレール4.4に案内されてY
方向に直線往復運動自在にYテーブル5が設けられてい
る。そして、このYテーブル5の上面は半導体素子など
を載置する載置台6として形成され、この載置台6はX
Y方向に移動自在になっている。ざらに、前記基台1に
はXテーブル3を駆動する第1の駆動機構7が、Xテー
ブル3にはYテーブル5を駆動する第2の駆動機構8が
設けられている。
この第1、第2の駆動機構7.8は同一構造であるため
、第1の駆動機構7のみについて説明すると、9は基台
1に固定したブラケットであり、このブラケット9には
モータ10が設けられている。このモータ10の一端部
には回転速度を検出する速度検出センサ11が設けられ
、他端部には粗送り量を検出する回転エンコーダからな
る第1の位置検出センサ12が設けられている。さらに
、前記モータ10の回転軸13には送りねじ14の一端
部が連結され、この送りねじ14の他端部は前記Xテー
ブル3の下部を通過して基台1の他端部に設けた軸受1
5に回転自在に軸支されているとともに、この送りねじ
14の端部には微少送り量を検出する回転エンコーダか
らなる第2の位置検出センサ16が設けられている。ま
た、前記送りねじ14の中途部は前記Xテーブル3の下
面に設けたナツト17に螺合しており、送りねじ14の
回転運動を直線運動に変換してXテーブル3に伝動する
ようになっている。
、第1の駆動機構7のみについて説明すると、9は基台
1に固定したブラケットであり、このブラケット9には
モータ10が設けられている。このモータ10の一端部
には回転速度を検出する速度検出センサ11が設けられ
、他端部には粗送り量を検出する回転エンコーダからな
る第1の位置検出センサ12が設けられている。さらに
、前記モータ10の回転軸13には送りねじ14の一端
部が連結され、この送りねじ14の他端部は前記Xテー
ブル3の下部を通過して基台1の他端部に設けた軸受1
5に回転自在に軸支されているとともに、この送りねじ
14の端部には微少送り量を検出する回転エンコーダか
らなる第2の位置検出センサ16が設けられている。ま
た、前記送りねじ14の中途部は前記Xテーブル3の下
面に設けたナツト17に螺合しており、送りねじ14の
回転運動を直線運動に変換してXテーブル3に伝動する
ようになっている。
また、前記速度検出センサ11、第1および第2の位置
検出センサ12.16の検出信号は制郊回路18に入力
され、この制御回路18から前記モータ10に速度およ
び位置がフィードバックされるようになっている。
検出センサ12.16の検出信号は制郊回路18に入力
され、この制御回路18から前記モータ10に速度およ
び位置がフィードバックされるようになっている。
つぎに、前述のように構成されたXYテーブルの作用に
ついて説明する。まず、Xテーブル3を移動させる場合
には、速度検出センサ11により速度フィードバックを
かけ、第1の位置検出センサ12により位置フィードバ
ックをかけながらモータ10を駆動すると、送りねじ1
4は高速回転する。この送りねじ14の回転運動はナツ
ト17によって直線運動に変換され、Xテーブル3はガ
イドレール2.2に案内されながらX方向に移動する。
ついて説明する。まず、Xテーブル3を移動させる場合
には、速度検出センサ11により速度フィードバックを
かけ、第1の位置検出センサ12により位置フィードバ
ックをかけながらモータ10を駆動すると、送りねじ1
4は高速回転する。この送りねじ14の回転運動はナツ
ト17によって直線運動に変換され、Xテーブル3はガ
イドレール2.2に案内されながらX方向に移動する。
このとき、Xテーブル3の移動、つまり粗送り量は、第
1の位置検出センサ12によって検出され、Xテーブル
3が所定位置まで移動すると、第1の位置検出センサ3
から第2の位置検出センサ16に切換えられる。したが
って、Xテーブル3の位置は第2の位置検出センサ16
によって検出され、Xテーブル3の微少送りが行われる
。このように、目標地点に到達するまでは高速に駆動さ
れ、第1の位置検出センサ12によって粗送り量が検出
され、つぎに第2の位置検出センサ16によって微少送
り量が検出されるため、目標地点で高精度な位置決めが
できる。また、Yテーブル5をY方向に駆動させる場合
も第1の駆動機構7によるXチー、プル3の駆動と同様
に第2の駆動灘構8によって駆動され、Xテーブル3と
Yテーブル5は同時に駆動されることになる。
1の位置検出センサ12によって検出され、Xテーブル
3が所定位置まで移動すると、第1の位置検出センサ3
から第2の位置検出センサ16に切換えられる。したが
って、Xテーブル3の位置は第2の位置検出センサ16
によって検出され、Xテーブル3の微少送りが行われる
。このように、目標地点に到達するまでは高速に駆動さ
れ、第1の位置検出センサ12によって粗送り量が検出
され、つぎに第2の位置検出センサ16によって微少送
り量が検出されるため、目標地点で高精度な位置決めが
できる。また、Yテーブル5をY方向に駆動させる場合
も第1の駆動機構7によるXチー、プル3の駆動と同様
に第2の駆動灘構8によって駆動され、Xテーブル3と
Yテーブル5は同時に駆動されることになる。
なお、前記一実施例においては、第1および第2の位置
検出センサとして回転エンコーダを使用したが、一方を
直線エンコーダとしてもよく、両者を直線エンコーダと
してもよいが、直線エンコーダの場合にはXテーブル、
Yテーブルの移動を直接的に検出されるものである。
検出センサとして回転エンコーダを使用したが、一方を
直線エンコーダとしてもよく、両者を直線エンコーダと
してもよいが、直線エンコーダの場合にはXテーブル、
Yテーブルの移動を直接的に検出されるものである。
(発明の効果)
以上説明したように、この発明によれば、粗送り量を検
出する第1の位置検出センサと微少送り量を検出する第
2の位置検出センサとの組合せによって、高速駆動が可
能となるとともに高精度な位置決めが可能となる。しか
も、エンコーダ出力を電気的に分割したり、レーザ変位
計を使用する必要がなく、廉価に提供できるという効果
を奏する。
出する第1の位置検出センサと微少送り量を検出する第
2の位置検出センサとの組合せによって、高速駆動が可
能となるとともに高精度な位置決めが可能となる。しか
も、エンコーダ出力を電気的に分割したり、レーザ変位
計を使用する必要がなく、廉価に提供できるという効果
を奏する。
図面はこの発明の一実施例を示すXYテーブルの平面図
である。 3・・・Xテーブル、5・・・Yテーブル、7.8・・
・駆動機構、10・・・モータ、12・・・第1の位置
検出センサ、14・・・送りねじ、16・・・第2の位
置検出センサ、18・・・制御回路。
である。 3・・・Xテーブル、5・・・Yテーブル、7.8・・
・駆動機構、10・・・モータ、12・・・第1の位置
検出センサ、14・・・送りねじ、16・・・第2の位
置検出センサ、18・・・制御回路。
Claims (3)
- (1)X方向に移動自在なXテーブルと、このXテーブ
ルに重合されY方向に移動自在なYテーブルと、前記X
テーブルおよびYテーブルをそれぞれ駆動する駆動機構
と、この駆動機構に設けられ前記XテーブルおよびYテ
ーブルの粗送り量を検出する第1の位置検出センサおよ
び微少送り量を検出する第2の位置検出センサと、前記
第1の位置検出センサにおける粗送り量検出結果および
前記第2の位置検出センサにおける微少送り量検出結果
に基づき前記駆動機構を駆動して前記Xテーブルおよび
前記Yテーブルの位置決めを行なう制御回路とを具備し
たことを特徴とするXYテーブル。 - (2)駆動機構は、モータとこのモータの回転運動を直
線運動に変換する送りねじからなることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載のXYテーブル。 - (3)第1および第2の位置検出センサは、回転エンコ
ーダまたは直線エンコーダであることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載のXYテーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25623186A JPS63109956A (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | Xyテ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25623186A JPS63109956A (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | Xyテ−ブル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63109956A true JPS63109956A (ja) | 1988-05-14 |
Family
ID=17289752
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25623186A Pending JPS63109956A (ja) | 1986-10-28 | 1986-10-28 | Xyテ−ブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63109956A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006077629A1 (ja) | 2005-01-19 | 2006-07-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 位置決め装置及び位置決め方法 |
JP2011064844A (ja) * | 2009-09-16 | 2011-03-31 | Fuji Xerox Co Ltd | 像形成剤収容装置、像形成剤収容装置への像形成剤の補充方法および画像形成装置 |
US8229331B2 (en) | 2009-09-16 | 2012-07-24 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Image forming agent storage unit, method for filling image forming agent storage unit with image forming agent, and image forming apparatus |
-
1986
- 1986-10-28 JP JP25623186A patent/JPS63109956A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006077629A1 (ja) | 2005-01-19 | 2006-07-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | 位置決め装置及び位置決め方法 |
US8131385B2 (en) | 2005-01-19 | 2012-03-06 | Mitsubishi Electric Corporation | Positioning device and positioning method with non-contact measurement |
JP2011064844A (ja) * | 2009-09-16 | 2011-03-31 | Fuji Xerox Co Ltd | 像形成剤収容装置、像形成剤収容装置への像形成剤の補充方法および画像形成装置 |
US8229331B2 (en) | 2009-09-16 | 2012-07-24 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Image forming agent storage unit, method for filling image forming agent storage unit with image forming agent, and image forming apparatus |
US8467707B2 (en) | 2009-09-16 | 2013-06-18 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Image forming agent storage unit, method for filling image forming agent storage unit with image forming agent, and image forming apparatus |
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