JPS6292112A - 磁気デイスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、固定磁気ディスク装置に使われる磁気ディ
スクに係わり、耐久性、耐食性に優れた磁性薄膜ディス
クに関する。

（従来技術とその問題点〕 近時、磁性メッキディスクにあっては、その記録媒体で
ある磁性メッキ層の磁気ヘッドによる摩耗を軽減するた
めに、磁性メッキ層上にカーボンをスパッタして保護層
としたものが提案されている。

このものは、磁気ヘッドによる磁性メッキ層の摩損に対
しては大きく改善されるものの、高価なスパッタ装置を
必要とし、製造コストが嵩み、実用性に乏しいという問
題点があった。

〔問題点を解決するための手段］ そこで、この発明にあっては、磁性層上に金属酸化物層
を形成し、これを保ＩＩＩとすることにより、磁性層を
保護し、耐久性、耐食性を向上せしめるとともに安価に
製造することができるようにした。

（実施例〕 図面は、この発明の磁気ディスクの一例を示すもので、
図中符号１は基板である。この基板１は、アルミニウム
合金板やセラミックス板あるいは合成樹脂板などからな
り、その表面のうねりが小さいＪ：うに加工されている
。この基板１上には下地層２が形成されてる。この下地
層２は基板１表面の微細な凹凸を平滑化するためのもの
で、例えば無電解メッキ法による厚み１０〜３０μ’Ｉ
ｎのＮｉ−Ｐメッキ膜や、基板１がアルミニウム合金の
場合には陽極酸化法による厚み５〜２０μｍ陽極酸化膜
が設けられ、その表面は表面粗さくＲｍａｘ）０．１μ
ｍ程度にまで仕上げられている。この下地層２上には磁
性層３が設けられている。この磁性層３は、磁気記録媒
体となるもので、例えば無電解メッキ法によるＣｏ−Ｎ
　ｒ−ｐメッキ、Ｃ。

−Ｐメッキなどのメッキ薄膜ヤスバッタ法、蒸着法など
による酸化鉄薄膜等の磁性薄膜などが、その目的に応じ
て厚み０．０５〜０．５μｍ程度に形成されてなるもの
である。そして、この磁性層３上に金属酸化物層４が形
成されている。この金属酸化物層４は、磁性層３を磁気
ヘッドによる摩損から保護する保護膜として機能するも
のであって、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化鉄など
の酸化物からなり、その厚みが０．０１〜０．１μｍ程
度のものである。この金属酸化物層４は、例えば磁性層
３がＣｏ−Ｎ１−Ｐメッキやｃｏ−ｐメッキなどからな
る場合には、これを圧力２〜１０　Ｋ９　／　ＣＩｉ程
度の加圧水蒸気中や高温沸騰水中に５分〜１時間放置す
ることにより、磁性メッキ層の表面を酸化することによ
って形成される。また、酸素富化気体中で加熱して、酸
化する方法によってもよい。その他、高周波スパッタや
反応性スパッタによって磁性層３上に金属酸化物層４を
形成してもよいがやや製造コストが嵩む不利がある。

また、この金属酸化物層４は、ピンホールヤノジュール
などの欠陥がなく、均質に形成されていることが必要で
ある。

また、この金属酸化物層４は、磁性層３の直−トに必ず
しも形成する必要はなく、磁性層３上に銅。

鉛などの金属よりなる層を、電解メッキ、無電解メッキ
、蒸着などの手段により設け、これを高圧水蒸気雰囲気
中や高温酸素富化ガス雰囲気中に置いてその表面を酸化
し、非磁性金属よりなる層の上に形成することもできる
。

このような金属酸化物層４上には、潤滑層５が必要に応
じて設けられる。潤滑層５は、例えばポリフッ化エーテ
ルなどの潤滑剤を０．０１μｍ程度の厚さにスピンコー
ド法などにより塗布することによって形成される。

〔作　用〕

このような磁気ディスクにあっては、硬度の高い金属酸
化物層４によって磁性層３が被覆され、かつ金属酸化物
層４と磁性層３との密着性も良好であるので、磁気ヘッ
ドの摺接による磁性層３の摩耗がほとんど生じず、優れ
た耐久性が得られる。

また、金３酸化物層４が磁性層３の外側に来るので、耐
食性が向上し、かつ電磁特性に悪影響を与えることがな
い。さらに、金属酸化物層４の形成に高圧水蒸気曝露な
どの方法が採れるので、製造コストもわずかで済む。

〔実験例〕

次の仕様の磁気ディスクを試作し、そのＣ８Ｓ性、耐食
性を検討した。

基　板ニアルミニウム合金板、厚み１．９＃下地層：無
電解Ｎ１−Ｐメッキ、厚み２０μｍ面粗さくＲｌａＸ　
）　　ｏ、１ａｍ以下に研磨仕上げ 磁性層：無電解Ｃｏ−Ｐメッキ、厚み０．１μｍこのデ
ィスクを圧力４　Ｋ９　／　ｃＩＩｉの加圧水蒸気中に
２５分間置き、ついで純水で洗浄し、乾燥して磁性層の
表面を酸化し、酸化コバルトよりなる厚さ約２００ｎｍ
の金属酸化物層を形成した。ついで、この金属酸化物層
上に潤滑層としてパーフロロポリエーテルを０，０１μ
ＴｒＬ塗布した。

かくして得られた磁気ディスクを４Ｘ１０’回のＣ８Ｓ
テストに供した結果、電磁変換特性などに変化は認めら
れず、摩耗粉の発生やヘッドクラッシュの発生も見られ
なかった。

また、この磁気ディスクを８０℃、８０％ＲＨの雰囲気
下で１週間放置し、耐食性を検問した結果、表面欠陥の
発生は認められず、また電磁変換特性にも何ら変化は認
められなかった。

よって、この磁気ディスクは優れた耐久性、耐食性を有
し、高信頼性、高品質性であることが確められた。

（発明の効果〕 以上説明したように、この発明の磁気ディスクは、磁性
層上に金属酸化物層を形成してなるものであるので、 （イ）金属酸化物層によって磁性層が被覆され、保護さ
れるので、磁気ヘッドの摺接による磁性層の摩損がなく
なり、優れた耐久性を示し、（ロ）金属酸化物により表
面被覆されることになるので、磁気ディスクとしての耐
食性も向上し、（ハ）金属酸化物層の形成が高圧水蒸気
曝露などの方法によることができるので製造コストが嵩
むこともないなどの利点を有するものとなる。

【図面の簡単な説明】

図面は、この発明の磁気ディスクの一例を示す概略断面
図である。 ３・・・・・・磁性層、４・・・・・・金属酸化物層。 −′・−Ｉ４１！

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁性層上に金属酸化物層が設けられてなる磁気デ
   ィスク。
2. （２）上記金属酸化物層が高温沸騰水または高圧水蒸気
   により形成されたものである特許請求の範囲第１項記載
   の磁気ディスク。