JPS6287456A - 誘電体磁器用セラミツク組成物 - Google Patents
誘電体磁器用セラミツク組成物Info
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- JPS6287456A JPS6287456A JP60227239A JP22723985A JPS6287456A JP S6287456 A JPS6287456 A JP S6287456A JP 60227239 A JP60227239 A JP 60227239A JP 22723985 A JP22723985 A JP 22723985A JP S6287456 A JPS6287456 A JP S6287456A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、セラミックコンデンサ、厚膜コンデンサ、セ
ラミック圧電アクチュエータ等の構成材料であるセラミ
ックグリーンシートや加圧成形等による成形体、並びに
ペースト材料等に用いられる誘電体磁器用セラミック組
成物に関するものであり、更に詳しくは非酸化性雰囲気
中における焼成に好適に用いられる誘電体磁器用セラミ
・ツク組成物に関するものである。
ラミック圧電アクチュエータ等の構成材料であるセラミ
ックグリーンシートや加圧成形等による成形体、並びに
ペースト材料等に用いられる誘電体磁器用セラミック組
成物に関するものであり、更に詳しくは非酸化性雰囲気
中における焼成に好適に用いられる誘電体磁器用セラミ
・ツク組成物に関するものである。
（従来技術とその問題点）
従来から、積層セラミックコンデンサや積層セラミック
圧電アクチュエータは、白金、パラジウＪ、等の、酸化
雰囲気中で安定な貴金属を主成分とする導体ペーストを
用い、それにて所定の誘電体磁器をＪｊえるセラミック
グリーンシートに電極等を印刷して、それを複数枚積層
し、そして酸化雰囲気中で焼成し、しかる後外部引き出
し電極を設けることによって、製作されている。
圧電アクチュエータは、白金、パラジウＪ、等の、酸化
雰囲気中で安定な貴金属を主成分とする導体ペーストを
用い、それにて所定の誘電体磁器をＪｊえるセラミック
グリーンシートに電極等を印刷して、それを複数枚積層
し、そして酸化雰囲気中で焼成し、しかる後外部引き出
し電極を設けることによって、製作されている。
しかしながら、この方法は、空気中で焼床し得る利点が
あるものの、白金、パラジウム等の貴金属が高価である
ところから、これを広く実用化することは、経済上にお
いて大きな問題がある。
あるものの、白金、パラジウム等の貴金属が高価である
ところから、これを広く実用化することは、経済上にお
いて大きな問題がある。
そこで、この種の問題を解決する手法として、ニッケル
、銅、モリブテン等の卑金属を主成分とする導体ペース
トを用い、これをグリーンシート等に適用したものを非
酸化性雰囲気で焼成することにより、目的とする誘電体
磁器を得る方法が考えられる。
、銅、モリブテン等の卑金属を主成分とする導体ペース
トを用い、これをグリーンシート等に適用したものを非
酸化性雰囲気で焼成することにより、目的とする誘電体
磁器を得る方法が考えられる。
しかしながら１．二の方法シｌ、非酸化性雰囲気中での
焼成であるために、誘電体磁器を構成するペロブスカ・
イト型あるいは複合ペロブス力・イト型の化合物が還１
１されたり、変質したりし、また添加物として加えられ
るビスマス、亜鉛、鉛り争の酸化物や化合物が蒸発１７
、焼成中に誘電体磁器のに、１１成が変化するようにな
るため、緻密なセラミックスを得ることが勤しく、また
誘電率が小さく、誘電正接が大きい誘電体磁器しかｌ、
）られなか１．た。
焼成であるために、誘電体磁器を構成するペロブスカ・
イト型あるいは複合ペロブス力・イト型の化合物が還１
１されたり、変質したりし、また添加物として加えられ
るビスマス、亜鉛、鉛り争の酸化物や化合物が蒸発１７
、焼成中に誘電体磁器のに、１１成が変化するようにな
るため、緻密なセラミックスを得ることが勤しく、また
誘電率が小さく、誘電正接が大きい誘電体磁器しかｌ、
）られなか１．た。
（発明の構成・効果）
ここにおいて、本発明は、］−記の如きｊｌ（情を背景
にして為されたものであって、その目的とするところは
、非酸化ｔｚ＋雰囲気中で焼成する、二とが出来、しか
も絶縁１１（抗及び誘電率が高く、誘電正接の小さい、
更には電気機械結合係数が大きく、圧電歪定数も大きい
、電気性（’Ｉの優れた誘電体磁器を形成することの出
来る、誘電体磁器用セラミック組成物を堤供することに
ある。
にして為されたものであって、その目的とするところは
、非酸化ｔｚ＋雰囲気中で焼成する、二とが出来、しか
も絶縁１１（抗及び誘電率が高く、誘電正接の小さい、
更には電気機械結合係数が大きく、圧電歪定数も大きい
、電気性（’Ｉの優れた誘電体磁器を形成することの出
来る、誘電体磁器用セラミック組成物を堤供することに
ある。
そして、この上うな１１的を達成するために、本発明は
、ペロジスカイ１−型あるい番３目Ｍ合ぺ１１ブス力イ
ト型化合物をＬ成分とする誘電体磁器を形成するセラミ
ック組成物におい°ζ、過酸化カルシウＪ、、ｉｌ！８
１酸化ストｌ」ンチウム及び過酸化バリウムからなる群
よりｉバばれた少なくとも１種の無機過酸化物を含むこ
とを特徴とする誘電体磁器用セラミック組成物を用いる
ようにしたのである。
、ペロジスカイ１−型あるい番３目Ｍ合ぺ１１ブス力イ
ト型化合物をＬ成分とする誘電体磁器を形成するセラミ
ック組成物におい°ζ、過酸化カルシウＪ、、ｉｌ！８
１酸化ストｌ」ンチウム及び過酸化バリウムからなる群
よりｉバばれた少なくとも１種の無機過酸化物を含むこ
とを特徴とする誘電体磁器用セラミック組成物を用いる
ようにしたのである。
すなわち、本発明に従うセラミック組成物は、過酸化カ
ルシ（”ノｉ１、過酸化ストロンチウム及び過酸化ハリ
ウ１、のうらの少なくとも１種とペロブスカイト型ある
い（□目（合ペロブスカイト型化合物との絹合わゼの組
成である為に、得られる誘電体磁器が還元や変質を受け
ず、更には焼結性が良く、緻密なセラミックスが得られ
、また誘電体磁器にした時に、高い誘電率と絶縁抵抗、
低い誘電正接という、優れた誘電特性が安定して得られ
、更に圧電特性としても、大きな電気ａ械結合定数、圧
電歪定数等が得られるのである。
ルシ（”ノｉ１、過酸化ストロンチウム及び過酸化ハリ
ウ１、のうらの少なくとも１種とペロブスカイト型ある
い（□目（合ペロブスカイト型化合物との絹合わゼの組
成である為に、得られる誘電体磁器が還元や変質を受け
ず、更には焼結性が良く、緻密なセラミックスが得られ
、また誘電体磁器にした時に、高い誘電率と絶縁抵抗、
低い誘電正接という、優れた誘電特性が安定して得られ
、更に圧電特性としても、大きな電気ａ械結合定数、圧
電歪定数等が得られるのである。
要するに、ぺし１ブスカイト型あるいは複合ペロブスカ
イト型化合物が低酸素分圧雰囲気中で焼成されると、＝
一般に、それが部分的に還元されたり、変質したりする
こ、しに、１、って、誘’＋１１ｉ４失、絶縁自１圧等
の劣化を来たす傾向があるのであるが、本発明に従って
ＣＸ１（１，、Ｓｒ（’１２あるいはＢ ａ Ｏ７とい
うアルカリ１．類過酸化物を加えることによって、この
還元や変？ｒを効果的に１月１−せしめる、二とが出来
るのである。
イト型化合物が低酸素分圧雰囲気中で焼成されると、＝
一般に、それが部分的に還元されたり、変質したりする
こ、しに、１、って、誘’＋１１ｉ４失、絶縁自１圧等
の劣化を来たす傾向があるのであるが、本発明に従って
ＣＸ１（１，、Ｓｒ（’１２あるいはＢ ａ Ｏ７とい
うアルカリ１．類過酸化物を加えることによって、この
還元や変？ｒを効果的に１月１−せしめる、二とが出来
るのである。
なお、この１１合ね−〇の効果は、恐らく、ペロブスカ
イト型という特別の構造と、ＣａＯ２、Ｓ’ｒＯ□、Ｂ
ａＯ□というアルカリ上類無機過酸化物独自の物性との
相７ｆ作用によるものと考えられている。
イト型という特別の構造と、ＣａＯ２、Ｓ’ｒＯ□、Ｂ
ａＯ□というアルカリ上類無機過酸化物独自の物性との
相７ｆ作用によるものと考えられている。
（構成の具体的な説明）
ところで、かかる本発明に従うセラミック組成物を構成
するペロブスカイト型あるいは複合ぺ１１ブス力イト型
化合物としては、従来より、厚膜コンデンサ材料、セラ
ミックコンデンサ材料、或いはセラミック圧電材１１と
して使用されている何れのものをも用いることが出来る
。面して、その中で好ましい化合物としては、［１ａ
Ｔｉ ０３ 、Ｍ ｇＴｉＯ＋ 、ＣａＴｉ０ａ 、Ｓ
ｒ′ｒｉｎ、、 、、ＢａＺｒ０． ．０ａＺｒ（）３
、 （（Ｒａ、−Ｘ ＣａＸ）０１ ｍ （１’
１Ｉ−ｙ Ｚｒ、）Ｏｚ 、１１ａＳｎ（１３、Ｃ
ａ５ｎＯ：＋ 、 （（ｎａ＋ｔ ｅａ、ｓ ｒｚ
）ｏｌ ｍ（”Ｔ” ｉ ｎ Ｚ ｒ ＋−，
ｌ） ０２ 、Ｐ ｂ Ｔ ｉ Ｏ３、Ｐ ｂＺｒ
Ｏ，、、Ｐｂ （Ｆｅ２７ａ Ｗ＋／３ ）０３
、Ｐ−ｂ（Ｆ ６ｇｙｚ Ｗ＋／３ ’） Ｉ−
Ｘ Ｔ Ｌ ０３ 、 （ＰｂＸＢ ａ 、 ）
Ｔ ｉ （）ｚ 、 （Ｐｂ、ｌ Ｃａ、）Ｔ ｉ
ｏ、 、Ｐ ｂ （Ｆ ｅｔｙ３ＷＩｙａ ） ｗ
・（Ｚｒ＋＋７＋ Ｎｂｚｚ＋）１−ｘ（’）ｌ、
（Ｐ ｂｘ Ｓ ｒ ｙ ） Ｔ ｉ０３ 、 （Ｐ
ｂＸＭｇｙ ）ＴｉＯ＋ 、（１−ｘ−ｙ）Ｐｂ （
Ｎｉ＋ｚ３Ｎｂｚｙ３＞０３ ｘＰｂＺｒｏ３ ｙ
ＰｂＴｉＯ３、Ｐ ｂ （Ｆ ｅｚｙ３Ｗｌ／３ ）
０３ Ｐ ｂ （Ｆ ｅｌ／２Ｎｔｌｌ／２
）０３ Ｐｂ（Ｚｎ＋ｚ３Ｎｂｚ／３）０３等があ幻
、特にその中でも、Ｃａ ％ Ｓ ｒ ％ Ｂ ａ等を
含むペロブスカイト型化合物や、（（Ｂａ＋−Ｃａ１１
） ０１ ｍ （Ｔ Ｉ ＋−ｙ Ｚ ｒｙ ）
Ｏｚ、（（Ｂａ、ＩＣａ、Ｓｒｇ ）Ｏ） ｍ （Ｔ
ｉ、Ｉ Ｚｒ＋−ｎ ）０２、Ｐｂ （Ｆ（３ｚ／３Ｗ
＋／３ ） ０３ 、Ｐｂ （Ｆｅｚｙ３Ｗｌ／３ ）
Ｉ−Ｘ Ｔｉｘ ０３ 、Ｐｂ （Ｆｅｚｚ＋ Ｗ＋
／３）Ｘ （Ｚｎｌ／３ Ｎｂｚｙｚ Ｌ−ＸＯ３、
（１−ｘ−ｙ）Ｐｈ （Ｎ１１／３ Ｎ＋１ｚｚＪ
）０３−ＸＰｔ）Ｚｒ０３ｙ１）ｂＴｉ（’）３ 、
Ｉｌｌ （Ｆｅ２．Ｊ Ｗ＋／３ ）０゜Ｐ ｂ
（Ｆ ｅＩｙｚ Ｎｈ＋ｚｚ ） （’）３ −
Ｐ ｔｌ （Ｚｎ１７ＩＮ ｂ ｚｙ、ｌ）０３等の
複合ぺＩ：Ｉブス力・イト型化合１１クツが、焼結Ｍ、
電気Ｉｌ！Ｉ’ ｌ’ｌのｔｉｌ１点、１、幻、ｉＪｉ
に６７まし、いノ、ｃノ）である。そし′（ま人二、そ
の中でも、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ＃を含むぺＩＩゾスカ４１
．、４ｐ＋化合物あるいδ５１ル合ベロブスカイｌ型化
合物ば、同じアルカリ目「（の元素を持つＣｒｊ（１２
、Ｓ ｒ ｎ□及び／ｖ、は１木ａ０２をぺ「Ｊジスカ
イ１型化合物あるい＆；ｔ： ？Ｕ合ぺ「Ｉブスカイト
型化合物の構成成分の一部に用いる、二とができ、誘電
体＋１１ ’Ａ’Ａ （ハ化学絹成の制御か容易である
とご７）から、［１欅の電気特性が正確に′ム′定して
得られ、特にり「まｊ７いものである。即ら、・（１１
ブスカイトまた（１１？υ合ぺ亀」シスカイ１をＩ「５
成するアルカリ上類酸化物原料として、過酸化物を用い
ることも好ましい。
するペロブスカイト型あるいは複合ぺ１１ブス力イト型
化合物としては、従来より、厚膜コンデンサ材料、セラ
ミックコンデンサ材料、或いはセラミック圧電材１１と
して使用されている何れのものをも用いることが出来る
。面して、その中で好ましい化合物としては、［１ａ
Ｔｉ ０３ 、Ｍ ｇＴｉＯ＋ 、ＣａＴｉ０ａ 、Ｓ
ｒ′ｒｉｎ、、 、、ＢａＺｒ０． ．０ａＺｒ（）３
、 （（Ｒａ、−Ｘ ＣａＸ）０１ ｍ （１’
１Ｉ−ｙ Ｚｒ、）Ｏｚ 、１１ａＳｎ（１３、Ｃ
ａ５ｎＯ：＋ 、 （（ｎａ＋ｔ ｅａ、ｓ ｒｚ
）ｏｌ ｍ（”Ｔ” ｉ ｎ Ｚ ｒ ＋−，
ｌ） ０２ 、Ｐ ｂ Ｔ ｉ Ｏ３、Ｐ ｂＺｒ
Ｏ，、、Ｐｂ （Ｆｅ２７ａ Ｗ＋／３ ）０３
、Ｐ−ｂ（Ｆ ６ｇｙｚ Ｗ＋／３ ’） Ｉ−
Ｘ Ｔ Ｌ ０３ 、 （ＰｂＸＢ ａ 、 ）
Ｔ ｉ （）ｚ 、 （Ｐｂ、ｌ Ｃａ、）Ｔ ｉ
ｏ、 、Ｐ ｂ （Ｆ ｅｔｙ３ＷＩｙａ ） ｗ
・（Ｚｒ＋＋７＋ Ｎｂｚｚ＋）１−ｘ（’）ｌ、
（Ｐ ｂｘ Ｓ ｒ ｙ ） Ｔ ｉ０３ 、 （Ｐ
ｂＸＭｇｙ ）ＴｉＯ＋ 、（１−ｘ−ｙ）Ｐｂ （
Ｎｉ＋ｚ３Ｎｂｚｙ３＞０３ ｘＰｂＺｒｏ３ ｙ
ＰｂＴｉＯ３、Ｐ ｂ （Ｆ ｅｚｙ３Ｗｌ／３ ）
０３ Ｐ ｂ （Ｆ ｅｌ／２Ｎｔｌｌ／２
）０３ Ｐｂ（Ｚｎ＋ｚ３Ｎｂｚ／３）０３等があ幻
、特にその中でも、Ｃａ ％ Ｓ ｒ ％ Ｂ ａ等を
含むペロブスカイト型化合物や、（（Ｂａ＋−Ｃａ１１
） ０１ ｍ （Ｔ Ｉ ＋−ｙ Ｚ ｒｙ ）
Ｏｚ、（（Ｂａ、ＩＣａ、Ｓｒｇ ）Ｏ） ｍ （Ｔ
ｉ、Ｉ Ｚｒ＋−ｎ ）０２、Ｐｂ （Ｆ（３ｚ／３Ｗ
＋／３ ） ０３ 、Ｐｂ （Ｆｅｚｙ３Ｗｌ／３ ）
Ｉ−Ｘ Ｔｉｘ ０３ 、Ｐｂ （Ｆｅｚｚ＋ Ｗ＋
／３）Ｘ （Ｚｎｌ／３ Ｎｂｚｙｚ Ｌ−ＸＯ３、
（１−ｘ−ｙ）Ｐｈ （Ｎ１１／３ Ｎ＋１ｚｚＪ
）０３−ＸＰｔ）Ｚｒ０３ｙ１）ｂＴｉ（’）３ 、
Ｉｌｌ （Ｆｅ２．Ｊ Ｗ＋／３ ）０゜Ｐ ｂ
（Ｆ ｅＩｙｚ Ｎｈ＋ｚｚ ） （’）３ −
Ｐ ｔｌ （Ｚｎ１７ＩＮ ｂ ｚｙ、ｌ）０３等の
複合ぺＩ：Ｉブス力・イト型化合１１クツが、焼結Ｍ、
電気Ｉｌ！Ｉ’ ｌ’ｌのｔｉｌ１点、１、幻、ｉＪｉ
に６７まし、いノ、ｃノ）である。そし′（ま人二、そ
の中でも、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ＃を含むぺＩＩゾスカ４１
．、４ｐ＋化合物あるいδ５１ル合ベロブスカイｌ型化
合物ば、同じアルカリ目「（の元素を持つＣｒｊ（１２
、Ｓ ｒ ｎ□及び／ｖ、は１木ａ０２をぺ「Ｊジスカ
イ１型化合物あるい＆；ｔ： ？Ｕ合ぺ「Ｉブスカイト
型化合物の構成成分の一部に用いる、二とができ、誘電
体＋１１ ’Ａ’Ａ （ハ化学絹成の制御か容易である
とご７）から、［１欅の電気特性が正確に′ム′定して
得られ、特にり「まｊ７いものである。即ら、・（１１
ブスカイトまた（１１？υ合ぺ亀」シスカイ１をＩ「５
成するアルカリ上類酸化物原料として、過酸化物を用い
ることも好ましい。
また、本発明に係るセラミックＳ、■酸物を（ｈ成する
無機過酸化物とし’（４，１、Ｃ，ａｎ□、５ｒ０２、
ＢａＯ２の・うち少なくとも］ ｉＪｉが用いられるが
、その中でも焼結性、電気特性の観点より５ｒ０２が好
ましい。そし′（、これらの無機過酸化物の含有ｉｔ
（総■）は、ぺ１，１プスカイ［型化合物あるいは複合
ペロプスカイト型化合物を１００重量部とした時、０．
１〜４０重量部となるようにすることが、焼結１７１．
電気特性の観点より好ましく、更に好ましくは１へ・３
０重量部である。また、その平均ｉＪｉ径は、０．１〜
１０μｍ程度が焼結性の観点より好ましい。
無機過酸化物とし’（４，１、Ｃ，ａｎ□、５ｒ０２、
ＢａＯ２の・うち少なくとも］ ｉＪｉが用いられるが
、その中でも焼結性、電気特性の観点より５ｒ０２が好
ましい。そし′（、これらの無機過酸化物の含有ｉｔ
（総■）は、ぺ１，１プスカイ［型化合物あるいは複合
ペロプスカイト型化合物を１００重量部とした時、０．
１〜４０重量部となるようにすることが、焼結１７１．
電気特性の観点より好ましく、更に好ましくは１へ・３
０重量部である。また、その平均ｉＪｉ径は、０．１〜
１０μｍ程度が焼結性の観点より好ましい。
さらに、本発明の誘電体磁器用セラミック組成におい７
は、焼結助剤として、必要に応じて５ｉ（）２．１．ｉ
、ｚ ０１ＢａＯ，、ＳｒＯ，、Ｃａｂ、Ｂｚ０３、Ｐ
ｈ０１Ｍｇ０１ＡＮｚ ０３ 、ＺｎＱ。
は、焼結助剤として、必要に応じて５ｉ（）２．１．ｉ
、ｚ ０１ＢａＯ，、ＳｒＯ，、Ｃａｂ、Ｂｚ０３、Ｐ
ｈ０１Ｍｇ０１ＡＮｚ ０３ 、ＺｎＱ。
’ｒ” ｉ ｎ、 、Ｎａ２Ｏ、■＜２０、ＺｒＯ，か
らなる群より選ばれた少ｉｒ くとも１種の酸化物を含
むガラスが適当Ｍ含有させられてもよく、また必要に応
じてカルシラＪ１、ストロンチウム、マンガン、プラセ
オジウム、勺マリウム、ビスマス、ニオブ、ｊｌＴｉ鉛
、鉛、コバルト、白金族元素等の酸化物や化合物を含有
させても、何隻差支えない。
らなる群より選ばれた少ｉｒ くとも１種の酸化物を含
むガラスが適当Ｍ含有させられてもよく、また必要に応
じてカルシラＪ１、ストロンチウム、マンガン、プラセ
オジウム、勺マリウム、ビスマス、ニオブ、ｊｌＴｉ鉛
、鉛、コバルト、白金族元素等の酸化物や化合物を含有
させても、何隻差支えない。
そして、このような本発明に（ｌＬうセラミックｋｉｎ
酸物を用いて、好適に、積層セラミソクコンデンザ、厚
膜コンデン′す゛、積層セラミックアクチュエータ等を
製作することかできるのである。この時、先ず、セラミ
ックグリーンシー１や加圧成形等による成形体やセラミ
ックペースＩ等に関しては、予め仮焼等によって形成し
たべ「１ブスカイ］・型あるいは複合ペロプスカイト型
化合物と所定の無機過酸化物とを含む本発明のセラミッ
ク組成物を用い、有機バインダ等と共に公知の手法に基
づいて作製しても、或いは焼成によってぺ１コブス力イ
ト型化合物あるいし、１複合ペロゾノ、カー（１型化合
物を生成し得る、例えば炭酸塩、水酸化物、塩化物、硝
酸塩、酸化物等の混合物と該無機過酸化物とを含む本発
明のセラミック組成物を用い、有機バインダ等と共に公
知の手法に基づいて作製してもよいが、予め仮焼によっ
てべ目シスカイト型あるいは複合ベロブス力・イト型化
合物を形成して、本発明のセラミック組成物を作製する
方が、優れた電気特性を有する（ｉ多翼を得ることが出
来、好ましい。
酸物を用いて、好適に、積層セラミソクコンデンザ、厚
膜コンデン′す゛、積層セラミックアクチュエータ等を
製作することかできるのである。この時、先ず、セラミ
ックグリーンシー１や加圧成形等による成形体やセラミ
ックペースＩ等に関しては、予め仮焼等によって形成し
たべ「１ブスカイ］・型あるいは複合ペロプスカイト型
化合物と所定の無機過酸化物とを含む本発明のセラミッ
ク組成物を用い、有機バインダ等と共に公知の手法に基
づいて作製しても、或いは焼成によってぺ１コブス力イ
ト型化合物あるいし、１複合ペロゾノ、カー（１型化合
物を生成し得る、例えば炭酸塩、水酸化物、塩化物、硝
酸塩、酸化物等の混合物と該無機過酸化物とを含む本発
明のセラミック組成物を用い、有機バインダ等と共に公
知の手法に基づいて作製してもよいが、予め仮焼によっ
てべ目シスカイト型あるいは複合ベロブス力・イト型化
合物を形成して、本発明のセラミック組成物を作製する
方が、優れた電気特性を有する（ｉ多翼を得ることが出
来、好ましい。
Ω
次いで、本発明に従うセラミック組成物を用いて作製さ
れたセラミックグリーンシートや、厚膜誘電体やその他
の成形体には、金属粉末を含有する導電性ベーストが付
与されることとなるが、この導電性ペース１−とじては
県金属粉末を含有するペーストを用いることができ、少
なくともニッケル、銅、モリブデン、タングステンの何
れかの金属、合金及び／又は化合物の粉末を含有する導
電性ペーストが好ましく、その中でも特にニッケルが好
ましい。
れたセラミックグリーンシートや、厚膜誘電体やその他
の成形体には、金属粉末を含有する導電性ベーストが付
与されることとなるが、この導電性ペース１−とじては
県金属粉末を含有するペーストを用いることができ、少
なくともニッケル、銅、モリブデン、タングステンの何
れかの金属、合金及び／又は化合物の粉末を含有する導
電性ペーストが好ましく、その中でも特にニッケルが好
ましい。
そして、この金属粉末を付与したセラミックグリーンシ
ートや厚膜誘電体やその他の成形体を、必要に応じて公
知の方法で積層或いは印刷によって多層した後、焼成す
るが、本発明のセラミック組成物を用いた場合は、Ｎ２
雰囲気、微少酸素を含むＮ２雰囲気、Ｎ２ Ｎ２雰囲
気、Ｎ、−Ｈ。
ートや厚膜誘電体やその他の成形体を、必要に応じて公
知の方法で積層或いは印刷によって多層した後、焼成す
るが、本発明のセラミック組成物を用いた場合は、Ｎ２
雰囲気、微少酸素を含むＮ２雰囲気、Ｎ２ Ｎ２雰囲
気、Ｎ、−Ｈ。
−ＨｚＯ雰囲気等の非酸化性雰囲気中で好適に焼成でき
るが、勿論、空気等の酸化性雰囲気中で焼成しても誘電
体としては問題はない。
るが、勿論、空気等の酸化性雰囲気中で焼成しても誘電
体としては問題はない。
また、１−記の焼成工程における具体的な焼成操作とし
ては、例えば室温から５００℃〜６００℃程度まで空気
中で焼成し、その後必要な焼成温度まで微少酸素を含む
Ｎ２雰囲気、Ｎｚ Ｈｚ雰囲気、あるいはＮｚ Ｈ
ｚ ＨｚＯ雰囲気等で焼成するというように、焼成温
度範囲別に雰囲気を変えて焼成することも可能である。
ては、例えば室温から５００℃〜６００℃程度まで空気
中で焼成し、その後必要な焼成温度まで微少酸素を含む
Ｎ２雰囲気、Ｎｚ Ｈｚ雰囲気、あるいはＮｚ Ｈ
ｚ ＨｚＯ雰囲気等で焼成するというように、焼成温
度範囲別に雰囲気を変えて焼成することも可能である。
即ち、本発明の焼成雰囲気としては、導電性ペーストが
焼成後、酸化によって電極や導体としての作用に問題を
起こさなければよく、電極材料を考慮して、焼成雰囲気
を適宜に選定することができる。
焼成後、酸化によって電極や導体としての作用に問題を
起こさなければよく、電極材料を考慮して、焼成雰囲気
を適宜に選定することができる。
（実施例）
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発
明の幾つかの実施例を示すが、本発明がそのような実施
例の記載によって何隻制限的に解釈されるものでないこ
とは、言うまでもないところである。
明の幾つかの実施例を示すが、本発明がそのような実施
例の記載によって何隻制限的に解釈されるものでないこ
とは、言うまでもないところである。
なお、本発明〉よ、上述した本発明の詳細な説明並びに
以下の実施例の他にも各種の態様において実施され得る
ものであり、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、
当業者の知識に基づいて実施され得る種々なる態様のも
のが何れも本発明の範晴に属するものと理、解されるべ
きである。
以下の実施例の他にも各種の態様において実施され得る
ものであり、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、
当業者の知識に基づいて実施され得る種々なる態様のも
のが何れも本発明の範晴に属するものと理、解されるべ
きである。
先ず、出発原料として、ＢａＣＯ３、ＣａＣＯ２、Ｔｉ
Ｏ２、ＺｒＯ２、ＰｂＯ１Ｆｅ、０３、Ｎｉ０１Ｗ０３
、ｚｎＯ１Ｎｂ２０３．５ｒＣＯ８等を第１表に示した
配合比に秤量し、ボールミルで混合、粉砕した後に乾燥
し、６００℃〜１２００℃で仮焼し、基本成分を得た。
Ｏ２、ＺｒＯ２、ＰｂＯ１Ｆｅ、０３、Ｎｉ０１Ｗ０３
、ｚｎＯ１Ｎｂ２０３．５ｒＣＯ８等を第１表に示した
配合比に秤量し、ボールミルで混合、粉砕した後に乾燥
し、６００℃〜１２００℃で仮焼し、基本成分を得た。
次いで、この基本成分の１００重量部に対してＣａＯ□
、ＳｒＯ□、ＢａＯ□等の過酸化物を第１表に示す割合
になるように添加し、更に必要に応じて、第１表に示す
ガラスや酸化物を添加して、第１表に記載された如き本
発明に従うセラミック組成物を得た。ただし、第１表の
試料菫３に関しては、ＴｉＯ２、ＢａＯ□、ＢａＯ等を
第１表に記載した配合比に秤量し、更にガラスを添加し
て、ボールミルで混合、粉砕し、本発明のセラミック組
成物を得たものである。この時、Ｔｉ０ｚ、ＢａＯ２、
ＢａＯの配合モル比は、ＴｉＯ２：Ｂａ０ｚ ： Ｂ
ａ０＝１ ： ０．５ ： ０．５である。
、ＳｒＯ□、ＢａＯ□等の過酸化物を第１表に示す割合
になるように添加し、更に必要に応じて、第１表に示す
ガラスや酸化物を添加して、第１表に記載された如き本
発明に従うセラミック組成物を得た。ただし、第１表の
試料菫３に関しては、ＴｉＯ２、ＢａＯ□、ＢａＯ等を
第１表に記載した配合比に秤量し、更にガラスを添加し
て、ボールミルで混合、粉砕し、本発明のセラミック組
成物を得たものである。この時、Ｔｉ０ｚ、ＢａＯ２、
ＢａＯの配合モル比は、ＴｉＯ２：Ｂａ０ｚ ： Ｂ
ａ０＝１ ： ０．５ ： ０．５である。
なお、第１表には、比較のために、本発明の範囲外のセ
ラミック＆：Ｉｌ酸物も含まれている。
ラミック＆：Ｉｌ酸物も含まれている。
そして、この第１表記載のセラミック組成物に対してア
クリル酸エステルポリマー、グリセリン、縮合リン酸塩
等からなる有機バインダを加え、ボールミルにて混合、
粉砕し、ドクターブレード法で６０μｍ厚のグリーンシ
ートを成形した。また、第１表のセラミック組成物にポ
リビニルアルコールからなる有機バインダを加え、約１
ｔｏｎ／ｒｎ”の圧力で成形して、直径１６龍、厚さＱ
、 ５ ｍｓの円板状成形物を得た。次に、得られたグ
リーンシー］・に、ニッケル金属粉末を主成分とする導
電ペーストと、該グリーンシートと同じセラミック組成
物よりなる厚膜誘電体ペーストとを交互に印刷し、電極
等を付与しつつ、ｌ０ＴＰｉまで印刷多層した。
クリル酸エステルポリマー、グリセリン、縮合リン酸塩
等からなる有機バインダを加え、ボールミルにて混合、
粉砕し、ドクターブレード法で６０μｍ厚のグリーンシ
ートを成形した。また、第１表のセラミック組成物にポ
リビニルアルコールからなる有機バインダを加え、約１
ｔｏｎ／ｒｎ”の圧力で成形して、直径１６龍、厚さＱ
、 ５ ｍｓの円板状成形物を得た。次に、得られたグ
リーンシー］・に、ニッケル金属粉末を主成分とする導
電ペーストと、該グリーンシートと同じセラミック組成
物よりなる厚膜誘電体ペーストとを交互に印刷し、電極
等を付与しつつ、ｌ０ＴＰｉまで印刷多層した。
一方、円板状成形体の両面には、ニッケルを主成分とす
る導電ペーストを印刷した。
る導電ペーストを印刷した。
かくして得られたセラミック積層体及び円板状成形体を
５００℃まで微少酸素を含むＮ２ガス（酸素濃度２％）
中で加熱し、そのｉｌｔ Ｎ ｚ雰囲気下で第２表記載
の焼成温度まで昇温して、焼成を行なうことにより、第
２表記載のセラミック積層体及び円板を得た。
５００℃まで微少酸素を含むＮ２ガス（酸素濃度２％）
中で加熱し、そのｉｌｔ Ｎ ｚ雰囲気下で第２表記載
の焼成温度まで昇温して、焼成を行なうことにより、第
２表記載のセラミック積層体及び円板を得た。
ここで、誘電率及び誘電正接は］ Ｋ ｆｌ ｚで測定
し、比抵抗はｒ）Ｃ１００Ｖを印加して室温で測定した
。また、電気機械結合係数、圧電歪定数は、それぞれ９
０℃の油中にて２〜４ｋＶ／＋ｎの直流電界を印加し、
分極した試料について共振周波数、***振周波数を測定
して、所定の方法で算出した。
し、比抵抗はｒ）Ｃ１００Ｖを印加して室温で測定した
。また、電気機械結合係数、圧電歪定数は、それぞれ９
０℃の油中にて２〜４ｋＶ／＋ｎの直流電界を印加し、
分極した試料について共振周波数、***振周波数を測定
して、所定の方法で算出した。
ｌ５
第 ２ 表
第 ３ 表
かかる第２表及び第３表の結果に見られるように、Ｃａ
Ｏ２，５ｒ０２及びＢａＯ２のうちの１種或いはそれら
を組み合わせて含む本発明に従うセラミック組成物を用
いた誘電体磁器にあっては、それが１１酸化性雰囲気中
で焼成して製造されても、優れた焼結性、電気特性を得
ることが出来るのである。
Ｏ２，５ｒ０２及びＢａＯ２のうちの１種或いはそれら
を組み合わせて含む本発明に従うセラミック組成物を用
いた誘電体磁器にあっては、それが１１酸化性雰囲気中
で焼成して製造されても、優れた焼結性、電気特性を得
ることが出来るのである。
以−１二、説明したように、本発明のセラミック組成物
はセラミックー１ンデンサ、厚膜コンデンサ、セラミッ
ク圧電アクチュエータ等をはじめ、広く電子部品の分野
で誘電体磁器用組成物として好適に用いられるものであ
る。
はセラミックー１ンデンサ、厚膜コンデンサ、セラミッ
ク圧電アクチュエータ等をはじめ、広く電子部品の分野
で誘電体磁器用組成物として好適に用いられるものであ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ペロブスカイト型あるいは複合ペロブスカイト型化合
物を主成分とする誘電体磁器を形成するセラミック組成
物において、 過酸化カルシウム、過酸化ストロンチウム及び過酸化バ
リウムからなる群より選ばれた少なくとも１種の無機過
酸化物を含むことを特徴とする誘電体磁器用セラミック
組成物。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60227239A JPS6287456A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 誘電体磁器用セラミツク組成物 |
| US06/915,540 US4755493A (en) | 1985-10-11 | 1986-10-06 | Ceramic composition for dielectric ceramic bodies |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60227239A JPS6287456A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | 誘電体磁器用セラミツク組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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