JPS6281727A - 埋込型素子分離溝の形成方法 - Google Patents
埋込型素子分離溝の形成方法Info
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- JPS6281727A JPS6281727A JP60222596A JP22259685A JPS6281727A JP S6281727 A JPS6281727 A JP S6281727A JP 60222596 A JP60222596 A JP 60222596A JP 22259685 A JP22259685 A JP 22259685A JP S6281727 A JPS6281727 A JP S6281727A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
半4体集積回路の素子分離技術として、集積度の向上に
伴ってV 44あるいはU溝(以下これらを総称して溝
と呼ぶ)に絶縁層を埋め込む埋込型素子分離溝が適用さ
れつつあるが、この素子分離法ではその形成工程にてB
ird’s Beak 、 Bird’5Head等発
生の問題があり巣発生と品質の向上を阻害しているので
、本発明ではその改善を行った。
伴ってV 44あるいはU溝(以下これらを総称して溝
と呼ぶ)に絶縁層を埋め込む埋込型素子分離溝が適用さ
れつつあるが、この素子分離法ではその形成工程にてB
ird’s Beak 、 Bird’5Head等発
生の問題があり巣発生と品質の向上を阻害しているので
、本発明ではその改善を行った。
r産業上の利用分野〕
本発明は、埋込型素子分離溝の形成工程の改良に関する
。
。
集積回路の誕生と同時に各素子間を分離する技術が開発
され、最初は接合分離技術が多く用いられたが、この技
術では素子分離領域の小さくするには限界があり、集積
度の上昇と共に絶縁物分離技術が開発された。
され、最初は接合分離技術が多く用いられたが、この技
術では素子分離領域の小さくするには限界があり、集積
度の上昇と共に絶縁物分離技術が開発された。
絶縁物分離技術としては、酸化膜分離法が比較的製作が
容易であるため、LOGO3、あるいはI 5opla
narと呼ばれて広く用いられているが、選択酸化によ
って形成される酸化膜の形状に問題があり、更に集積度
を上げる方法として埋込型素子分離溝による方法が適用
されてきている。
容易であるため、LOGO3、あるいはI 5opla
narと呼ばれて広く用いられているが、選択酸化によ
って形成される酸化膜の形状に問題があり、更に集積度
を上げる方法として埋込型素子分離溝による方法が適用
されてきている。
この押込型分離法においてもB ird’ s B e
ak、Bird’s Head等が発生する問題があり
、素子分離領域の縮小、半導体表面の平坦化を阻害して
いるので、更にこれらを解決した素子分離技術の開発が
要望されている。
ak、Bird’s Head等が発生する問題があり
、素子分離領域の縮小、半導体表面の平坦化を阻害して
いるので、更にこれらを解決した素子分離技術の開発が
要望されている。
従来の技術として埋込型分離法を■溝を用いる場合につ
いて図面により更に詳しく説明する。第3図ta+〜(
flはその工程順の断面図を示す。
いて図面により更に詳しく説明する。第3図ta+〜(
flはその工程順の断面図を示す。
p−型基板1、n゛型埋込み層2、n型エピタキシアル
層3よりなる基板を用い、S i Oz膜4、Si3N
4膜5を積層し、素子分離領域6をパターンニングによ
り開口する。これを第3図(alに示す。
層3よりなる基板を用い、S i Oz膜4、Si3N
4膜5を積層し、素子分離領域6をパターンニングによ
り開口する。これを第3図(alに示す。
次に、シリコンの(100)結晶面の異方性エンチング
特性を利用して、KOT(等のアルカリ性溶液を用いて
V?114を形成する。これを第3図(b)に示す。
特性を利用して、KOT(等のアルカリ性溶液を用いて
V?114を形成する。これを第3図(b)に示す。
■溝の深さDは、幅Wに対して、
D= (1/2) ・W−tan(54,7°)=0.
7 Wの関係があり、一義的に決定される。
7 Wの関係があり、一義的に決定される。
次いで、第3図(C)のごとく、Va内を酸化して約5
000人のSiO□膜7を成長させた後、ポリシリコン
8をV溝に埋込んで約8μm成長させる。
000人のSiO□膜7を成長させた後、ポリシリコン
8をV溝に埋込んで約8μm成長させる。
次いで、ポリシリコンを5i3Na膜5をストッパとし
て使用し、ポリッシングすることにより第3図(d)を
得る。
て使用し、ポリッシングすることにより第3図(d)を
得る。
次に、S i 3 N a膜5をマスクとして■溝のポ
リシリコンの表面にS i Oz膜9を厚さ5000〜
8000人形成し、その後、Si3N4膜5を除去する
ことによりそれぞれ第3図(e)及び(f)を得る。
リシリコンの表面にS i Oz膜9を厚さ5000〜
8000人形成し、その後、Si3N4膜5を除去する
ことによりそれぞれ第3図(e)及び(f)を得る。
以上はV溝分離法による形成方法を説明したが、u ?
R分離法の場合は、溝形成をCCl 4+02ガスを用
いて反応性スパッタ・エツチング(RI E)によりU
溝を形成する。
R分離法の場合は、溝形成をCCl 4+02ガスを用
いて反応性スパッタ・エツチング(RI E)によりU
溝を形成する。
これにより基板面に対して、はぼ垂直なる溝が形成され
る。溝形成工程を除いて他の工程は先に説明せる■溝分
離法の場合とほぼ同じである。
る。溝形成工程を除いて他の工程は先に説明せる■溝分
離法の場合とほぼ同じである。
上記に述べた、従来の技術による埋込型素子分離法では
、溝内壁面の酸化工程(第3図(c))、及びポリシリ
コンの表面の酸化工程(第3図(e))においてBir
d’s BeakあるいはBird’s Head等が
発生する問題がある。
、溝内壁面の酸化工程(第3図(c))、及びポリシリ
コンの表面の酸化工程(第3図(e))においてBir
d’s BeakあるいはBird’s Head等が
発生する問題がある。
第3図の工程順断面図では、図面を簡明化するため省略
したが、■溝の周辺部のみを拡大して第4図に示す。
したが、■溝の周辺部のみを拡大して第4図に示す。
図で明らかなごとく、窒化膜がV溝に接する端部におい
て、酸化膜は膨れ上がりBird’s Head21を
形成し、溝から遠ざかると共に酸化膜の厚さが薄くなっ
てBird’s Beak 22が形成される。
て、酸化膜は膨れ上がりBird’s Head21を
形成し、溝から遠ざかると共に酸化膜の厚さが薄くなっ
てBird’s Beak 22が形成される。
この現象は酸化膜が横方向に成長して張り出して、実効
的な素子分離′a領領域幅を大きくすると共に、シリコ
ン基板上の最初に積層されている酸化膜と一緒になって
素子分離領域及びその周辺領域に表面の膨らみを生じ基
板の平坦性も失われる。
的な素子分離′a領領域幅を大きくすると共に、シリコ
ン基板上の最初に積層されている酸化膜と一緒になって
素子分離領域及びその周辺領域に表面の膨らみを生じ基
板の平坦性も失われる。
この結果、エミッタ・ベース・セルファラインを行う時
、コレクタ・エミッタ・ショートの原因となったり、あ
るいはその後の配線工程で平坦性を悪くして断線の原因
ともなる。
、コレクタ・エミッタ・ショートの原因となったり、あ
るいはその後の配線工程で平坦性を悪くして断線の原因
ともなる。
上記問題点は、爾後の分離溝形成工程での基板主面上に
おける分離溝を囲む幅の狭い領域上の酸化膜を除去し、
窒化膜を積層する工程を含む本発明の埋込型素子分離溝
の形成方法によって解決される。
おける分離溝を囲む幅の狭い領域上の酸化膜を除去し、
窒化膜を積層する工程を含む本発明の埋込型素子分離溝
の形成方法によって解決される。
素子分離溝断面が基板表面で幅が大きくなるY型分離溝
と、基板表面まで同一の幅のU型分離溝により形成方法
は下記のごとくになる。
と、基板表面まで同一の幅のU型分離溝により形成方法
は下記のごとくになる。
前者のY型分離溝については、基板上に酸化膜を形成し
た後、爾後の分離溝形成工程での基板主面上の分離溝を
囲む幅の狭い領域上の該酸化膜をエツチング除去し、窒
化膜を全面に成長させる。
た後、爾後の分離溝形成工程での基板主面上の分離溝を
囲む幅の狭い領域上の該酸化膜をエツチング除去し、窒
化膜を全面に成長させる。
次いで、爾後に形成する主分離溝の直上領域の上記窒化
膜及び前記酸化膜を選択的にエツチング除去して開口部
を形成し、該開口部の側面に残された酸化膜をサイドエ
ツチングで除去して、窒化膜による凸状の開口窓を形成
する。
膜及び前記酸化膜を選択的にエツチング除去して開口部
を形成し、該開口部の側面に残された酸化膜をサイドエ
ツチングで除去して、窒化膜による凸状の開口窓を形成
する。
更に、異方性エツチングにより前記開口窓に■溝を形成
し、前記開口窓の窒化膜膜をマスクとして、反応性スパ
ッタエツチングにより主分離溝を形成する。
し、前記開口窓の窒化膜膜をマスクとして、反応性スパ
ッタエツチングにより主分離溝を形成する。
以後、前記分離溝の内面に酸化膜を形成し、該分離溝を
ポリシリコンを埋込み平坦化の後、該ポリシリコン層の
表面に酸化膜を形成する工程は従来の方法と変わりはな
い。
ポリシリコンを埋込み平坦化の後、該ポリシリコン層の
表面に酸化膜を形成する工程は従来の方法と変わりはな
い。
また後者のU型分離溝については、基板上に酸化膜、次
いで窒化膜を形成した後、爾後の分離溝形成工程での基
板主面上の分離溝と、該分離溝を囲む幅の狭い領域上の
該酸化膜と窒化膜を選択的にエツチング除去した後、全
面に窒化膜を成長させる。
いで窒化膜を形成した後、爾後の分離溝形成工程での基
板主面上の分離溝と、該分離溝を囲む幅の狭い領域上の
該酸化膜と窒化膜を選択的にエツチング除去した後、全
面に窒化膜を成長させる。
次いで、爾後に形成する分離溝直上の該窒化膜を選択的
にエツチング除去し、該窒化膜をマスクとして反応性ス
パッタエツチングにより分離溝を形成する。
にエツチング除去し、該窒化膜をマスクとして反応性ス
パッタエツチングにより分離溝を形成する。
分離溝が形成された以後の工程は、Y型分離溝の場合と
同様である。
同様である。
半導体基板表面に最初に積層されている酸化膜と、その
後分離溝内に形成される酸化膜が相乗的に作用して、B
ird’s Beak 、あるいはBird’sHea
dの進行、拡大に寄与しているので、本発明ではこれら
が発生する領域、即ち素子分離溝を囲む幅の狭い領域上
の酸化膜を除去し、窒化膜を積層して酸化膜による相互
作用を防止する。
後分離溝内に形成される酸化膜が相乗的に作用して、B
ird’s Beak 、あるいはBird’sHea
dの進行、拡大に寄与しているので、本発明ではこれら
が発生する領域、即ち素子分離溝を囲む幅の狭い領域上
の酸化膜を除去し、窒化膜を積層して酸化膜による相互
作用を防止する。
これにより上記Bird’s BeakあるいはBir
d’5Head発生の恐れはなくなる。
d’5Head発生の恐れはなくなる。
半導体基板主面上で素子分離溝を囲む幅の狭い領域を除
いて、シリコン基板は酸化膜に覆われているので、これ
上に積層された窒化膜によるシリコン基板表面に与える
ストレスは緩和され、結晶欠陥の発生を抑えられる。
いて、シリコン基板は酸化膜に覆われているので、これ
上に積層された窒化膜によるシリコン基板表面に与える
ストレスは緩和され、結晶欠陥の発生を抑えられる。
本発明の実施例を図面により詳細説明する。実施例Iは
V溝とU溝を結合してY型の分離溝を形成する例で、こ
の工程を第1図(a)〜(Jlにて断面図で示す。以下
、図面の順に(al〜(j)項にてその工程を説明する
。
V溝とU溝を結合してY型の分離溝を形成する例で、こ
の工程を第1図(a)〜(Jlにて断面図で示す。以下
、図面の順に(al〜(j)項にてその工程を説明する
。
(a) p−型基板1、n゛型埋込み層2、n型エピ
タキシアル層3よりなる基板を用い、SiO□膜4を5
00〜1000人積層する。この工程は従来と変わりは
ない。
タキシアル層3よりなる基板を用い、SiO□膜4を5
00〜1000人積層する。この工程は従来と変わりは
ない。
(bl 素子分離講形成頌域6上のSi○2膜10全
10この領域を囲んで幅の狭い領域11上のS i O
z膜をパターンニング開口する。この領域11はBir
d’sB eak防止する領域となる。
10この領域を囲んで幅の狭い領域11上のS i O
z膜をパターンニング開口する。この領域11はBir
d’sB eak防止する領域となる。
(e)SizN−膜5を1500〜2000人成長させ
る。
る。
fdl Y型分離溝の主分離−溝となるU溝15の直
上領域12のSi、N4膜5及び酸化膜10をパターン
ニングして開口部を形成する。
上領域12のSi、N4膜5及び酸化膜10をパターン
ニングして開口部を形成する。
(e) Si3N4膜をマスクとして残されているS
iO2膜10をサイドエツチングにより除去する。凸状
の開口窓23が形成され、Si:+Na膜には部分的に
庇部13が残る。
iO2膜10をサイドエツチングにより除去する。凸状
の開口窓23が形成され、Si:+Na膜には部分的に
庇部13が残る。
ffl シリコン基板の露出せる分離溝形成領域6に
K OH等おアルカリ性溶液にて異方性エツチングによ
り■溝14を形成する。
K OH等おアルカリ性溶液にて異方性エツチングによ
り■溝14を形成する。
(gl CCL+o□ガスを用いてSi3N4膜の庇
部13をマスクとして、反応性スパッタ・エツチング(
RIE)によりU溝15を形成する。更に硼素等のp゛
不純物のイオン打込みによりチャネル・ストッパ16を
形成する。
部13をマスクとして、反応性スパッタ・エツチング(
RIE)によりU溝15を形成する。更に硼素等のp゛
不純物のイオン打込みによりチャネル・ストッパ16を
形成する。
(h):昔14,15の内面に選択的にSiO□膜17
膜厚73000〜8000人の成長を行う。図では一つ
の素子分離領域のみ拡大図示する。(以下同様)(II
SI:lN4膜の庇部13を除去し、ポリシリコン
18を成長させて溝を充填した後、ポリシリコンのポリ
ッシングを行い、ポリシリコンの表面を酸化して厚さ5
000〜8000人のSi○2膜19全19して素子分
離溝の形成は終わる。
膜厚73000〜8000人の成長を行う。図では一つ
の素子分離領域のみ拡大図示する。(以下同様)(II
SI:lN4膜の庇部13を除去し、ポリシリコン
18を成長させて溝を充填した後、ポリシリコンのポリ
ッシングを行い、ポリシリコンの表面を酸化して厚さ5
000〜8000人のSi○2膜19全19して素子分
離溝の形成は終わる。
(月 最初に基板表面に形成した543N4膜5及びS
i○2膜4を除去し、新たに表面にSi○2膜20全2
0000人成長させて機能素子形成の工程に移る。
i○2膜4を除去し、新たに表面にSi○2膜20全2
0000人成長させて機能素子形成の工程に移る。
上記実施例Iで、(hl項で説明せる溝内の酸化工程で
シリコン基板上のS i O2膜4は、Si3N4膜5
によりV溝に形成される酸化膜17.19とは上端部で
、分離溝を囲む幅の狭い領域11により隔離されている
ので、相互作用で拡大することはない。
シリコン基板上のS i O2膜4は、Si3N4膜5
によりV溝に形成される酸化膜17.19とは上端部で
、分離溝を囲む幅の狭い領域11により隔離されている
ので、相互作用で拡大することはない。
上記の実施例■は、■溝とU溝を接合した分離溝形成で
あるが、別の実施例■としてU溝のみによる素子分離法
の実施例を第2図(a)〜(h)により説明する。
あるが、別の実施例■としてU溝のみによる素子分離法
の実施例を第2図(a)〜(h)により説明する。
(a) シリコン基板にSi○2膜4を500〜10
00人、Si3N4膜5を1500〜2000人積層す
る。
00人、Si3N4膜5を1500〜2000人積層す
る。
(bl 素子分離溝形成領域6と、分離溝を囲む幅の
狭い領域11として幅3000〜5000人加えた広い
幅でSi3N、膜5.5iOzll笑4をパターンニン
グを行う。
狭い領域11として幅3000〜5000人加えた広い
幅でSi3N、膜5.5iOzll笑4をパターンニン
グを行う。
(c) Si:+N、膜5゛を厚さ3000〜500
0人全面に成長させる。
0人全面に成長させる。
(d) Si3N、膜5°に異方性エツチング(tE
)により素子分離溝形成領域6のシリコン基板を露出せ
しめる。
)により素子分離溝形成領域6のシリコン基板を露出せ
しめる。
(el CC1d+02ガスを用いてSi3N4膜を
マスクとして、反応性スパッタ・エツチング(RI E
)によりU /?!15を形成する。次いで硼素等のp
゛不純物をイオン打込みによりチャネル・ストッパ16
を形成する。
マスクとして、反応性スパッタ・エツチング(RI E
)によりU /?!15を形成する。次いで硼素等のp
゛不純物をイオン打込みによりチャネル・ストッパ16
を形成する。
(fl U溝の内側を選択酸化する。S i Ozl
l焚17の膜厚は3000〜8000人とする。図(f
)以下では一方の素子分離溝を拡大して図示している。
l焚17の膜厚は3000〜8000人とする。図(f
)以下では一方の素子分離溝を拡大して図示している。
(g)ポリシリコン18を成長させて溝内に充填し、ポ
リッシングを行った後、溝内のポリシリコンの表面を酸
化する。酸化膜■9の厚さは5000〜8000人とす
る。これで素子分離溝の形成を終わる。
リッシングを行った後、溝内のポリシリコンの表面を酸
化する。酸化膜■9の厚さは5000〜8000人とす
る。これで素子分離溝の形成を終わる。
山)表面のS i 3N−膜5,5゛及びS i O2
膜4を一旦除去し、新たに全面に約1000人のS i
Oz膜20を形成して、機能素子の形成工程に移る。
膜4を一旦除去し、新たに全面に約1000人のS i
Oz膜20を形成して、機能素子の形成工程に移る。
実施例Hにおいても、素子分離溝内に形成される5iO
z膜と、基板上に最初に形成せるSiO□膜4とはSi
3N、膜5′により溝を囲む狭い幅の領域11を隔てて
分離されているのでBird’s BeakあるいはB
ird’s Head等の問題を発生ずる恐れはない。
z膜と、基板上に最初に形成せるSiO□膜4とはSi
3N、膜5′により溝を囲む狭い幅の領域11を隔てて
分離されているのでBird’s BeakあるいはB
ird’s Head等の問題を発生ずる恐れはない。
(発明の効果〕
以上に説明せるごとく、本発明によりBird’5Be
akの発生と拡がりを押さえ、アイソレーションの実効
幅を縮小出来る。またエミッタ・ベース・セルファライ
ンも可能となり、半導体表面の平坦化も図り得る。これ
らの効果によって高密度半導体集積回路が可能となる。
akの発生と拡がりを押さえ、アイソレーションの実効
幅を縮小出来る。またエミッタ・ベース・セルファライ
ンも可能となり、半導体表面の平坦化も図り得る。これ
らの効果によって高密度半導体集積回路が可能となる。
第1図(a)〜(Jlは本発明にかかわる実施例■を説
明する工程順断面図、 第2図(al〜(hlは本発明にかかわる実施例■を説
明する工程順断面図、 第3図(al〜(flは従来の技術による埋込型素子分
離溝の形成方法を説明する工程順断面図、第4図はB
ird’s Beak 、、 B ird’s Hea
dの発生を説明する断面図、 を示す。 図面において、 1は基板、 2は埋込み層、 3はエピタキシアル層、 4 、7 、9.10,17,19.20はSiO□膜
、5.5”はS i 3 N a膜、 6は分離溝形成領域、 8.18はポリシリコン、 11は分離溝を囲む幅の狭い領域、 12は主分離溝の直上領域、 13は庇部、 14は■溝、 15は主分離溝あるいはU溝、 16はチャネル・ストッパ、 21はBird’s Head、 22はBird’s Beak 。 23は凸状開口窓、 をそれぞれ示す。 @1図 第 1 図 112図 f42 図 第3図
明する工程順断面図、 第2図(al〜(hlは本発明にかかわる実施例■を説
明する工程順断面図、 第3図(al〜(flは従来の技術による埋込型素子分
離溝の形成方法を説明する工程順断面図、第4図はB
ird’s Beak 、、 B ird’s Hea
dの発生を説明する断面図、 を示す。 図面において、 1は基板、 2は埋込み層、 3はエピタキシアル層、 4 、7 、9.10,17,19.20はSiO□膜
、5.5”はS i 3 N a膜、 6は分離溝形成領域、 8.18はポリシリコン、 11は分離溝を囲む幅の狭い領域、 12は主分離溝の直上領域、 13は庇部、 14は■溝、 15は主分離溝あるいはU溝、 16はチャネル・ストッパ、 21はBird’s Head、 22はBird’s Beak 。 23は凸状開口窓、 をそれぞれ示す。 @1図 第 1 図 112図 f42 図 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)基板上に酸化膜(4)を形成した後、爾後の分離溝
形成工程での基板主面上の分離溝を囲む幅の狭い領域(
11)上の該酸化膜をエッチング除去する工程と、 窒化膜(5)を全面に成長させる工程と、 爾後に形成する主分離溝(15)の直上領域(12)の
上記窒化膜及び前記酸化膜を選択的にエッチング除去し
て開口部を形成する工程と、 該開口部の側面に残された酸化膜をサイドエッチングで
除去して、窒化膜による凸状の開口窓を形成する工程と
、 異方性エッチングにより前記開口窓にV溝(14)を形
成する工程と、 前記開口窓の窒化膜(13)をマスクとして、反応性ス
パッタエッチングにより主分離溝を形成する工程と、 前記分離溝の内面に酸化膜(17)を形成し、該分離溝
をポリシリコン(18)を埋込み平坦化の後、該ポリシ
リコン層の表面に酸化膜(19)を形成する工程を含む
ことを特徴とする埋込型素子分離溝の形成方法。 (2)基板上に酸化膜(4)、次いで窒化膜(5)を形
成した後、爾後の分離溝形成工程での基板主面上での分
離溝形成領域(6)と、該分離溝を囲む幅の狭い領域(
11)上の該酸化膜と窒化膜を選択的にエッチング除去
する工程と、 全面に窒化膜を成長させる工程と、 爾後に形成する分離溝(15)直上の該窒化膜を選択的
にエッチング除去する工程と、 該窒化膜をマスクとして反応性スパッタエッチングによ
り分離溝を形成する工程と、 前記分離溝の内面に酸化膜(17)を形成し、該分離溝
をポリシリコン(18)を埋込み平坦化の後、該ポリシ
リコン層の表面に酸化膜(19)を形成する工程を含む
ことを特徴とする埋込型素子分離溝の形成方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60222596A JPS6281727A (ja) | 1985-10-05 | 1985-10-05 | 埋込型素子分離溝の形成方法 |
EP86113734A EP0220542B1 (en) | 1985-10-05 | 1986-10-03 | Dielectric-filled-groove isolation structures for semiconductor devices |
DE8686113734T DE3685473D1 (de) | 1985-10-05 | 1986-10-03 | Mit dielektrischem material gefuellte graeben als isolationsstruktur fuer halbleiteranordnungen. |
KR1019860008328A KR900000067B1 (ko) | 1985-10-05 | 1986-10-04 | 반도체 장치의 유전체 매입형 소자 분리홈의 형성방법 |
US07/236,319 US4866004A (en) | 1985-10-05 | 1988-08-25 | Method of forming groove isolation filled with dielectric for semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60222596A JPS6281727A (ja) | 1985-10-05 | 1985-10-05 | 埋込型素子分離溝の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6281727A true JPS6281727A (ja) | 1987-04-15 |
JPH0410740B2 JPH0410740B2 (ja) | 1992-02-26 |
Family
ID=16784948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60222596A Granted JPS6281727A (ja) | 1985-10-05 | 1985-10-05 | 埋込型素子分離溝の形成方法 |
Country Status (5)
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---|---|
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EP (1) | EP0220542B1 (ja) |
JP (1) | JPS6281727A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1985-10-05 JP JP60222596A patent/JPS6281727A/ja active Granted
-
1986
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- 1986-10-03 DE DE8686113734T patent/DE3685473D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1986-10-04 KR KR1019860008328A patent/KR900000067B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1988
- 1988-08-25 US US07/236,319 patent/US4866004A/en not_active Expired - Fee Related
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