JPS6279644A - Ｉｃピンの検査装置 - Google Patents
Ｉｃピンの検査装置Info
- Publication number
- JPS6279644A JPS6279644A JP60220960A JP22096085A JPS6279644A JP S6279644 A JPS6279644 A JP S6279644A JP 60220960 A JP60220960 A JP 60220960A JP 22096085 A JP22096085 A JP 22096085A JP S6279644 A JPS6279644 A JP S6279644A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pins
- pin
- pitch
- constant speed
- bend
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業−【二の利用分野）
本発明は、ＩＣのピンの並び方向とピッ１方向の曲がり
や間隔、欠落等の異状を、同時に判別づるための検査装
置に関するものである。
や間隔、欠落等の異状を、同時に判別づるための検査装
置に関するものである。
（従来の技術）
例えばＤＩＰ型のＩＣはパッケージの両側に多数のピン
を有し、またＦ［へ■型のＩＣ（１４辺に多数のピンを
右するが、それが欠落していたり曲がっていたつづると
、その後の１−稈で支障を生ずる。従来、ＤＩＰ型１ｃ
についてはピン状態を機械的に検査Ｊることも行なわれ
たが、高速度で正確な検査を行なう装置は存在せず、ま
たＦＬＡＴ型ＩＣではそうした装置は使用されていなか
った。
を有し、またＦ［へ■型のＩＣ（１４辺に多数のピンを
右するが、それが欠落していたり曲がっていたつづると
、その後の１−稈で支障を生ずる。従来、ＤＩＰ型１ｃ
についてはピン状態を機械的に検査Ｊることも行なわれ
たが、高速度で正確な検査を行なう装置は存在せず、ま
たＦＬＡＴ型ＩＣではそうした装置は使用されていなか
った。
（技術的課題）
そこで本発明はＩＣピンの曲がりや欠落笠の異状を高速
度で正確に検出することができるＩＣピンの検査装置を
提供するもので、特にピンの並び方向と、ピッチ方向の
曲がりや間隔異状、欠落簀を同１１．１に検査Ｊる装置
の提供を目的とするしのである。
度で正確に検出することができるＩＣピンの検査装置を
提供するもので、特にピンの並び方向と、ピッチ方向の
曲がりや間隔異状、欠落簀を同１１．１に検査Ｊる装置
の提供を目的とするしのである。
（技術的手段）
前記目的を達づる本発明は、ガイド部材により一定の速
咽て・移動りる′、＋７速移動機構と、ＩＣのピンの並
び方向及びピッチ方向におｔＪる曲がりＡｔ）欠落等の
異状を判別ＪるＩこめ、ＩＣのピンの側方がらじ一１１
光を照射する投光器、及びＩＣのピンにより反則したビ
ーム光を受光してピンまでの距離を知る１次元光位置検
出器からなるピン状！との検出器構とを有づるＩＣピン
の検査装置ぐある。
咽て・移動りる′、＋７速移動機構と、ＩＣのピンの並
び方向及びピッチ方向におｔＪる曲がりＡｔ）欠落等の
異状を判別ＪるＩこめ、ＩＣのピンの側方がらじ一１１
光を照射する投光器、及びＩＣのピンにより反則したビ
ーム光を受光してピンまでの距離を知る１次元光位置検
出器からなるピン状！との検出器構とを有づるＩＣピン
の検査装置ぐある。
（発明の作用）
本発明は、等連邦動機構と、ピン状態の検出は構を有す
るため、相対的に等連邦動するＩＣのピンにより反則さ
れ、１次元光位置検出器ぐ受光されるビームのパルスは
ピン間隔が揃っていれば常に一定で、異状の検出も容易
になる。またビーム光の投光位置の調整を可能とり゛る
ことにより、最も検出しやすい位置を選んで最適の検査
が行なえる。１安に等連邦動機構で設定するＩＣの相対
移動速度Ｃ正確なＩＣピンの状態の検査が行なえるもの
である。
るため、相対的に等連邦動するＩＣのピンにより反則さ
れ、１次元光位置検出器ぐ受光されるビームのパルスは
ピン間隔が揃っていれば常に一定で、異状の検出も容易
になる。またビーム光の投光位置の調整を可能とり゛る
ことにより、最も検出しやすい位置を選んで最適の検査
が行なえる。１安に等連邦動機構で設定するＩＣの相対
移動速度Ｃ正確なＩＣピンの状態の検査が行なえるもの
である。
（実施例）
本弁明を実施例により−Ｔ細に説明すると、第１図乃至
第７図はＤＩＰ型［Ｃのピンの検査装置に関づ°るｂの
であり、１は装置基台１１上に設置したガイド部材とし
くのレール、２は等連邦ｆｉＪｍ構３のベルト、４．４
は駆動用−プーリで、ガイドレール１十に跨架状態で送
給されるＤＩρ型Ｉ０５をベル１−２に五り−・定速度
で走行させる。実施例のものはコッグドベルト式の前記
ベルｉ〜２の歯２ａとかみあう爾４ａを有し、モータ１
２により駆動される。
第７図はＤＩＰ型［Ｃのピンの検査装置に関づ°るｂの
であり、１は装置基台１１上に設置したガイド部材とし
くのレール、２は等連邦ｆｉＪｍ構３のベルト、４．４
は駆動用−プーリで、ガイドレール１十に跨架状態で送
給されるＤＩρ型Ｉ０５をベル１−２に五り−・定速度
で走行させる。実施例のものはコッグドベルト式の前記
ベルｉ〜２の歯２ａとかみあう爾４ａを有し、モータ１
２により駆動される。
２ｂはＩＣ５の移動を容易にするためベルト周面に添設
したスポンジその他の柔軟（イを示１ｏレール１の前後
両側には図示しないレジ１ノボデイを設（］、Ｉ Ｃ５
が検出機構６の領域に入ったこと及びダｊ域外へ出たこ
とを検出する。
したスポンジその他の柔軟（イを示１ｏレール１の前後
両側には図示しないレジ１ノボデイを設（］、Ｉ Ｃ５
が検出機構６の領域に入ったこと及びダｊ域外へ出たこ
とを検出する。
６ａ、６ｂはＩＣ５の左右のピン５ａ、５ｂに対し左Ｃ
ｊ両側からビーム光を照射する投光器で、逆開型に形成
されたフレーム１３の内側に対向配室しである（第２図
参照）。この投光器６（６ａ、６ｂ）としては光ファイ
バーを用いる透過型のものを使用している。７．８は１
次元光位首検出器テコれはＰＳＤ（Ｉ’ｏｓｉｔｉｏｎ
５ｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）とし略
称され、実施例では旧Ｐ ！−’！ ｌ Ｃ５の両側の
ピン５ａ、５ｂに対し両側に配置している３、このＰＳ
Ｄ７．８の配置により各ピン５ａ、５ｂまでの距離が分
るから、対向ピン間の幅ら判明する。なお９は各ＰＳＤ
７．８に反則光を収束Ｊるレンズを示づ−０ １０はビーム情買の調整機構で、実施例のしのは１１４
記逆閂Ｖシフレーム１３と一体的に設置ノられており、
微動装置のスライダ１４に結合されている。１５は調整
摘みで、スライダ１４を上下動させるものである。
ｊ両側からビーム光を照射する投光器で、逆開型に形成
されたフレーム１３の内側に対向配室しである（第２図
参照）。この投光器６（６ａ、６ｂ）としては光ファイ
バーを用いる透過型のものを使用している。７．８は１
次元光位首検出器テコれはＰＳＤ（Ｉ’ｏｓｉｔｉｏｎ
５ｅｎｓｉｔｉｖｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）とし略
称され、実施例では旧Ｐ ！−’！ ｌ Ｃ５の両側の
ピン５ａ、５ｂに対し両側に配置している３、このＰＳ
Ｄ７．８の配置により各ピン５ａ、５ｂまでの距離が分
るから、対向ピン間の幅ら判明する。なお９は各ＰＳＤ
７．８に反則光を収束Ｊるレンズを示づ−０ １０はビーム情買の調整機構で、実施例のしのは１１４
記逆閂Ｖシフレーム１３と一体的に設置ノられており、
微動装置のスライダ１４に結合されている。１５は調整
摘みで、スライダ１４を上下動させるものである。
また各図中１Ｇは取付スデーを示す。
以上の構成に４３いて、ＤＩＰ型ＩＣ５が本案装置に送
給されると、センリ゛ボディにより検出された（（、等
連邦動機構３に入り、（の柔軟材２ｂによりガイドレー
ル１上を一定の速度で走行さけられる結果、そのピン５
ａ、５ｂに欠落がなく、並び方向の幅りど、ピッｆｎ向
の配列間隔Ｐが完全であれば第１０図のイのように整然
と１薗っだパルスとして表示手段に表示される。ビーム
光が照射されるＭｎはピン５ａ、５ｂの先端に近い方が
、結果はよりｊ１１イｒて゛ある３、シかして、第４図
に鎖線図示の如く、−・側のピン５ｂにピッチＩｊ向の
曲がりがある場合は隣接りるピンとの間隔１）が変って
いるから、正常なピン配り１１による場合とビーム光を
疏ｌ１７ｉする時間間隔ら変わるため、パルスの旧聞間
隔に相違が生じ、′；：ｆ４６図のようにピッｙ−Ｄ、
Ｄ′の）Ｑいとしてあられれる。また−側のピン５ Ｅ
）が内方に曲がり、ビン間隔Ｂに５１ｄ状がある場合（
よパルスの波高Ｐ、β′が辺ってくる。この場合）Ｌ右
のピン間隔Ｄ ｂ Ｄ ”に変わる。
給されると、センリ゛ボディにより検出された（（、等
連邦動機構３に入り、（の柔軟材２ｂによりガイドレー
ル１上を一定の速度で走行さけられる結果、そのピン５
ａ、５ｂに欠落がなく、並び方向の幅りど、ピッｆｎ向
の配列間隔Ｐが完全であれば第１０図のイのように整然
と１薗っだパルスとして表示手段に表示される。ビーム
光が照射されるＭｎはピン５ａ、５ｂの先端に近い方が
、結果はよりｊ１１イｒて゛ある３、シかして、第４図
に鎖線図示の如く、−・側のピン５ｂにピッチＩｊ向の
曲がりがある場合は隣接りるピンとの間隔１）が変って
いるから、正常なピン配り１１による場合とビーム光を
疏ｌ１７ｉする時間間隔ら変わるため、パルスの旧聞間
隔に相違が生じ、′；：ｆ４６図のようにピッｙ−Ｄ、
Ｄ′の）Ｑいとしてあられれる。また−側のピン５ Ｅ
）が内方に曲がり、ビン間隔Ｂに５１ｄ状がある場合（
よパルスの波高Ｐ、β′が辺ってくる。この場合）Ｌ右
のピン間隔Ｄ ｂ Ｄ ”に変わる。
第８図乃至第１０図はＦＬＡＴ型ＩＣ２０のピンの検査
装置Ｍに関するちので、この１０２０は四角な肩中パッ
ケージの四辺より突出する多数のピン９１ｊ２０ａ、２
０ｂ 、２０ｃ 、２０ｄをイ１し、ピッチＰ方向の曲
がりと上下方向（第８図では紙面に重直な方向）の２方
向の曲りを検出しなりればならない。この場合、検出装
置はＰＳＤ ２１をＸ−Ｙテーブル２２に取付ｔ」、Ｆ
ＩＡＩ”ｌ’！ Ｉ （、２０の各ピン２０８〜２０ｄ
列にス・１し定速で相対移動さけることとなる。逆にＰ
ＳＤ ２１をＸ−Ｙテーブル等により定速移動さけても
良い、２３は役尤器、２４はレールを示す。Ｆ １．Ａ
Ｔ型１ｃ２０で（よ標準的には全てのピンの先が同一
平面上にあるので１個のＰＳＤ ２１のみで前記２方向
の曲りを検査することかでさ、出力波形は第１０図のよ
うになる。図面中、イの部分は正常なピン列、口の部分
（まピッチ４Ｐ方向の曲り、ハの部分はピン先のに下方
向の曲りＥを示す。
装置Ｍに関するちので、この１０２０は四角な肩中パッ
ケージの四辺より突出する多数のピン９１ｊ２０ａ、２
０ｂ 、２０ｃ 、２０ｄをイ１し、ピッチＰ方向の曲
がりと上下方向（第８図では紙面に重直な方向）の２方
向の曲りを検出しなりればならない。この場合、検出装
置はＰＳＤ ２１をＸ−Ｙテーブル２２に取付ｔ」、Ｆ
ＩＡＩ”ｌ’！ Ｉ （、２０の各ピン２０８〜２０ｄ
列にス・１し定速で相対移動さけることとなる。逆にＰ
ＳＤ ２１をＸ−Ｙテーブル等により定速移動さけても
良い、２３は役尤器、２４はレールを示す。Ｆ １．Ａ
Ｔ型１ｃ２０で（よ標準的には全てのピンの先が同一
平面上にあるので１個のＰＳＤ ２１のみで前記２方向
の曲りを検査することかでさ、出力波形は第１０図のよ
うになる。図面中、イの部分は正常なピン列、口の部分
（まピッチ４Ｐ方向の曲り、ハの部分はピン先のに下方
向の曲りＥを示す。
〈発明の効果）
従って本発明によれば、ＩＣはピン状態を１次元光位置
検出器（ＰＳＤＩで検出するので、ピンのピッヂ方向の
曲りとス・１白ピン間の間隔（ＤＩＰ型の場合）或いｔ
よ上下方向の曲り（ＦＬ八へ型の場合）の２方向の曲り
を同（時にＩ′Ｔ確に検査することができ、特にＰＳＤ
はピンまでの距囮［を非接触で測定でき、ＣＣＤ ！Ｊ
の画像方式より分解能が高く、測定のために複雑な機械
制御を心数としイヱい特徴／）；あり、Ｊ：た測定値を
処理するソフトウＴ１ノにより、Ｖ［ｌ！ 離だｔ」で
なく、ピン曲りの方向や標県からずれを正確にＯ出づる
ことがでさる効果がある。さらに検出機構はビーム光の
位置調整門構に」、リピンの良さ方向に移動できるため
、最す正（イ「に検査し背るピン先端にビーム光の黒用
ＩＱ胃を合わけて史【こ止１ｉ（ｆを明りことができ、
また被検ＩＣの種類が変わっても僅かな調整で支障なく
検査がｉ”ｌ ’、’；えるなど穎菖イｒ効果がある。
検出器（ＰＳＤＩで検出するので、ピンのピッヂ方向の
曲りとス・１白ピン間の間隔（ＤＩＰ型の場合）或いｔ
よ上下方向の曲り（ＦＬ八へ型の場合）の２方向の曲り
を同（時にＩ′Ｔ確に検査することができ、特にＰＳＤ
はピンまでの距囮［を非接触で測定でき、ＣＣＤ ！Ｊ
の画像方式より分解能が高く、測定のために複雑な機械
制御を心数としイヱい特徴／）；あり、Ｊ：た測定値を
処理するソフトウＴ１ノにより、Ｖ［ｌ！ 離だｔ」で
なく、ピン曲りの方向や標県からずれを正確にＯ出づる
ことがでさる効果がある。さらに検出機構はビーム光の
位置調整門構に」、リピンの良さ方向に移動できるため
、最す正（イ「に検査し背るピン先端にビーム光の黒用
ＩＱ胃を合わけて史【こ止１ｉ（ｆを明りことができ、
また被検ＩＣの種類が変わっても僅かな調整で支障なく
検査がｉ”ｌ ’、’；えるなど穎菖イｒ効果がある。
図面は本発明に係るＩＣピンの検査装置の１実施例を承
りもので第１図は第１実施例の側面図、第２図は要部正
面図、第３図は平面図、第４図はＤ［Ｐ型ＩＣの側面図
、第５図はその正面図、第６図、第７図は出力波形の説
明図、第８図はＦＬＡＴ型ＩＧの平面図、第９図ｔま第
２実施例の概念図、第１０図は出力波形の説明図である
。 １・・・ガイドレール、２・・・ベルト、３・・・等連
邦動１幾構、５・・・ＩＣ１６・・・投光器、７．８・
・・１次元光位冒検出器、１０・・・ビーム位置の調整
機構。 特 許 出 願 人 三和エレクトロニクス株式会社 代理人 弁理上 井 沢 同第１ 図
りもので第１図は第１実施例の側面図、第２図は要部正
面図、第３図は平面図、第４図はＤ［Ｐ型ＩＣの側面図
、第５図はその正面図、第６図、第７図は出力波形の説
明図、第８図はＦＬＡＴ型ＩＧの平面図、第９図ｔま第
２実施例の概念図、第１０図は出力波形の説明図である
。 １・・・ガイドレール、２・・・ベルト、３・・・等連
邦動１幾構、５・・・ＩＣ１６・・・投光器、７．８・
・・１次元光位冒検出器、１０・・・ビーム位置の調整
機構。 特 許 出 願 人 三和エレクトロニクス株式会社 代理人 弁理上 井 沢 同第１ 図
Claims (4)
- （１）ガイド部材により一定の速度で移動する等速移動
機構と、ＩＣのピンの並び方向及びピッチ方向における
曲がりや欠落等の異状を判別するため、ＩＣのピンの側
方からビーム光を照射する投光器、及びＩＣのピンによ
り反射したビーム光を受光してピンまでの距離を知る１
次元光位置検出器からなるピン状態の検出器構とを有す
るＩＣピンの検査装置。 - （２）検出機構の全体或いは投光器を支持し、ピンの基
端から先端までの適当な位置にビーム光の照射位置を変
えるビーム位置調整機構を有する特許請求の範囲第１項
記載のＩＣピンの検査装置。 - （３）ＩＣがＤＩＰ型であり、等速移動機構により一定
の速度で検査領域を移動するところの特許請求の範囲第
１項又は第２項記載のＩＣピンの検査装置。 - （４）ＩＣがＦＬＡＴ型であり、検出機構がＸＹテーブ
ル等のガイド部材により等速移動する特許請求の範囲第
１項又は第２項記載のＩＣピンの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60220960A JPS6279644A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | Ｉｃピンの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60220960A JPS6279644A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | Ｉｃピンの検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6279644A true JPS6279644A (ja) | 1987-04-13 |
Family
ID=16759251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60220960A Pending JPS6279644A (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | Ｉｃピンの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6279644A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01272126A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-31 | Sony Corp | 半導体装置のリード曲り検査装置 |
| US5208463A (en) * | 1990-08-24 | 1993-05-04 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for detecting deformations of leads of semiconductor device |
| US5859924A (en) * | 1996-07-12 | 1999-01-12 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for measuring object features |
| US6075883A (en) * | 1996-11-12 | 2000-06-13 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for imaging an object or pattern |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5663275A (en) * | 1979-10-30 | 1981-05-29 | Nec Kyushu Ltd | Lead testing device for semiconductor device |
-
1985
- 1985-10-02 JP JP60220960A patent/JPS6279644A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5663275A (en) * | 1979-10-30 | 1981-05-29 | Nec Kyushu Ltd | Lead testing device for semiconductor device |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01272126A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-31 | Sony Corp | 半導体装置のリード曲り検査装置 |
| US5208463A (en) * | 1990-08-24 | 1993-05-04 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for detecting deformations of leads of semiconductor device |
| US5859924A (en) * | 1996-07-12 | 1999-01-12 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for measuring object features |
| US6075883A (en) * | 1996-11-12 | 2000-06-13 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for imaging an object or pattern |
| US6603874B1 (en) | 1996-11-12 | 2003-08-05 | Robotic Vision Systems, Inc. | Method and system for imaging an object or pattern |
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