JPS6275951A - 光メモリ素子用基板の作製方法 - Google Patents

光メモリ素子用基板の作製方法

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Publication number
JPS6275951A
JPS6275951A JP21569485A JP21569485A JPS6275951A JP S6275951 A JPS6275951 A JP S6275951A JP 21569485 A JP21569485 A JP 21569485A JP 21569485 A JP21569485 A JP 21569485A JP S6275951 A JPS6275951 A JP S6275951A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
curing
stamper
plate
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP21569485A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuo Ban
和夫 伴
Kenji Oota
賢司 太田
Shoshichi Kato
加藤 昭七
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Publication of JPS6275951A publication Critical patent/JPS6275951A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈発明の技術分野〉 本発明はレーザー光等の光により情報の記録・再生・消
去等を行う光メモリ素子用基板の作製方法に関するもの
である。
〈発明の技術的背景とその問題点〉 近年、大容量、高密度、高速アクセス化の可能な記憶素
子への要望が高まる中で、光メモリ素子の研究開発が活
発に行なわれている。
一般に、このような光メモリ素子には、レーザー光等の
光学的方法によシ形成される情報ピット又はレーザー案
内溝を持つ基板が用いられる。このような基板の1つに
、ガラス板又はアクリル樹脂等合成樹脂からなる板の上
に上記情報ピット又はレーザー案内溝が形成されている
合成樹脂層を設けたものがあり、一般には次の様な方法
で製造される。即ち、ガラス板又はアクリル樹脂等合成
樹脂からなる板の上に、光硬化性樹脂をスピナー法又は
浸漬法又はスプレー法等により塗布し、この光硬化性樹
脂の上に上記情報ピット又は案内溝が形成されたスタン
パ−を押しつけた後、光によシ上記光硬化性樹脂を硬化
させる事によシ上記の情報ピット又は案内溝が形成され
た合成樹脂層を持った基板を作成する方法である。
しかし、この方法ではガラス板又はアクリル樹脂等合成
樹脂板との接着性が良い光硬化性樹脂を      ・
1用いた場合、樹脂硬化後この光硬化性樹脂とスタンハ
ートの間の剥離性が悪く、その為スタンパ−を剥離した
後で硬化した樹脂層に欠陥が生じるという問題がある。
その為上記剥離性を改善するべくヌタンパー側に剥離剤
を塗布する方法も提案されているが、この方法では硬化
樹脂層表面に剥離剤が残シ、この硬化樹脂上にレーザー
に光学的変化を写材する反射層又は記録層等を形成する
場合に障害になるという問題があった。
〈発明の目的及び構成〉 本発明は、上記の問題点を改善するためになされたもの
であり、ガラス板又はアクリル樹脂等合成樹脂板の上に
形成された光硬化性樹脂層とスタンパ−との間の剥離性
を向上させる良好な作成方法を提供することを目的とす
る。
〈発明の実施例〉 以下、本発明に係る光メモリ素子用基板の作成方法の一
実施例について、図面を用いて詳細に説明する。
まず、第1図に示すようにガラス板又はアクリル樹脂等
合成樹脂板1の上に光硬化性樹脂2を数μmから数十μ
mの厚みにヌピナー法又は浸漬法等により塗布する。こ
の板1の形は円板は一般的であるが円板に限るものでは
ない。尚、上記光硬化性樹脂2の塗布前にガラス板又は
アクIJ /し樹脂等合成樹脂板1の表面を、光硬化性
樹脂との接着性を向上させるためシランカップリング剤
等により処理する事も効果的である。
次に、エネルギーの小さい紫外線等の光を第2図の10
又は10’の矢印方向から照射しくあるいはヒータによ
る加熱を行ない)、光硬化樹脂を予備硬化させる。この
場合、光硬化性樹脂の硬化反応がラジカル重合反応の場
合、空気中でこの操作を行う事は、空気中の酸素が樹脂
表面での硬化反応に対し抑制剤的な作用を及ぼし表面の
硬化が押えられるため効果的である。この予備硬化によ
り、ガラス板又はアクIJ /し樹脂等合成樹脂板1付
近の樹脂2はある程度硬化が進み基板1と光硬化性樹脂
2との間の接着性も出現しているが、樹脂2の表面では
硬化不十分であり、ある程度の粘弾性を持つという状態
が出現する。
この状態において第3図に示すように樹脂2の表面に情
報ピット又は案内溝等が形成されているメタンパー3を
押しつけ、同図の矢印20の方向から紫外線等の光を照
射し、樹脂2を完全に硬化させる。
次にスタンパ−3を除去すれば第4図に示すように情報
ピット又は案内溝が形成された樹脂層2を持つ光メモリ
素子用基板を得る。光メモリ素子を形成するには、この
上に反射層又は記録層等を被覆すればよい。
〈発明の効果〉 以上の本発明によれば、光硬化性樹脂の予備硬化を行な
い、ある程度硬化している樹脂にスタンパ−を押しつけ
、その後樹脂を紫外線照射によって完全に硬化させる事
によシ、スタンパ−と樹脂の間の接着性を抑制すること
で、剥離性が非常に向上するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第4図は本発明に係る光メモリ素子用基板の
作製方法の一実施例を示す断面図である。 1・・・ガラス板又はアクIJ /し樹脂等合成樹脂か
らなる板、  2・・・光硬化性樹脂、  3・・スタ
ンパ−14・・・中心孔、 10.10’、 20・・
・紫外線等の光の照射方向を示す矢印。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、ガラス板又はアクリル樹脂等合成樹脂からなる板の
    上に光硬化性樹脂を塗布し、該光硬化性樹脂を予備硬化
    させた後、凸凹を形成したスタンパーを押しつけた状態
    で、紫外線等の光により上記光硬化性樹脂を完全に硬化
    させることを特徴とする光メモリ素子用基板の作製方法
JP21569485A 1985-09-27 1985-09-27 光メモリ素子用基板の作製方法 Pending JPS6275951A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01235628A (ja) * 1988-03-16 1989-09-20 Sekisui Seikei Kogyo Kk 光ディスク用原板連続体及び光ディスクの製造方法
US5090982A (en) * 1987-12-03 1992-02-25 Pilkington Plc Method of producing a surface microstructure on glass
EP0668584B1 (fr) * 1994-02-21 2002-07-03 OTB Group B.V. Procédé de fabrication d'un disque maítre ou d' un disque optique

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