JPS63281239A - 情報記録原盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光学的に情報を記録・再生するディスクメモ
リーシステムに使用される情報記録原盤に関する。

〔従来の技術〕

従来レプリカディスクの形成は、特開昭５８−５０６３
５号に記載のように、基板上のホトレジストにピットま
たは案内溝の凹凸を形成した情報記録原盤にＮｉめつき
を施し、剥離してスタンバ−とした後、これを用いてイ
ンジェクション法、ホトポリマー法、ホトキャスト法に
よって行なっていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

近年、情報の転送速度の増加に伴い、装置のディスク回
転数が高くなっている。このような場合には、レプリカ
ディスクは、高速回転における耐破壊性が必要である。

従来は、このレプリカディスクにプラスチック基板やガ
ラス基板が使われていたが、その耐破壊性はＡΩやＣｕ
等の金属基板に優るものではない、上記従来技術のうち
、とくにホトポリマー法やホトキャスト法において、金
属基板を用いると、紫外線が透過しないので紫外線硬化
樹脂が硬化せず、したがって、これらの方法により、金
属基板にピットや案内溝等の凹凸が形成できない問題が
あった。

本発明の目的は、基板が金属等の不透明なものであって
も、上記ホトポリマー法やホトキャスト法等によりピッ
トや案内溝を形成できる手法を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、紫外線を透過する材料で上記情報記録原盤
作製することにより達成される。

〔作用〕

情報記録原盤を紫外線を透過する材料で作製すると、紫
外線を上記原盤側から照射できるので、ホトポリマー法
において基板が金属等の不透明材料であっても紫外線硬
化樹脂を硬化させることができる。

また、ホトキャスト法による場合には、紫外線硬化樹脂
の両面から紫外線を照射できる。

〔実施例〕

以下１本発明の一実施例を第１図から第５図により説明
する。

第１図において、１は精度よく研磨された原盤用ガラス
基板、２はホトレジスト層であり、アルゴンレーザ光を
開口数の大きなレンズでガラス基板１上に集束させ、光
変調器で光を断続させて情報を記録・現像し、ピットや
案内溝３を形成させたものである。ホトレジスト２は、
シラプレー社のＡＺ１３５０を使用した。これをエツチ
ングした後の状態を第２図に示す、エツチングは、ウェ
ットとドライのどちらでもよい。４は、エツチングによ
り形成されたピットと案内溝である。第３図は、ホトレ
ジストを除去して形成した情報記録原盤６を示すもので
ある。５は、レプリカに転写する目的のピットと案内溝
である。深さは、例えばピットが約１４０ｎｍ、案内溝
が約７０ｎｍである。

こうして形成された情報記録原盤を用いたレプリカディ
スクの作製法は次の通りである。第４図は、ホトポリマ
ー法における金属基板への転写を示す、情報記録原盤６
上に紫外線硬化樹脂７を形成し、さらに金属基板８を形
成する。そして、情報記録原盤６側から紫外線９を照射
する。情報記録原盤６は、例えば石英ガラス基板である
ので。

紫外線９を透過する。したがって紫外線９は、紫外線硬
化樹脂７に達することが可能となる。紫外線９を照射さ
れた紫外線硬化樹脂７は、硬化し。

その際に、情報記録原盤６のピットや案内溝５が形成さ
れ、また金属基板８と接着する。第５図は、情報記録原
盤６から剥離して、完成した金属基板によるレプリカデ
ィスクを示すものである。

レプリカディスクの金属基板８は、ＡＱ、Ｃｕ。

Ｆｅ、セラミック等である。情報記録原盤のガラス基板
１は、紫外線を透過するものであり、特に石英ガラスが
よい、紫外線硬化樹脂７は、波長が３００ｎｍ〜４００
ｎｍが最つとも吸収が大きいので、ガラス基板１は、こ
の波長を透過するものであればよい、透過率は、５０％
以上、好ましくは７０％以上がよい。

本発明はホトキャスト法にも利用することができ、る、
従来、ホトキャスト法のレプリカディスクは、Ｎｉめつ
き膜に紫外線硬化樹脂をのせ、さらにその上に石英板を
置き、石英板とＮｉめつき膜の間隔が所定の厚さく例え
ば１．２ｎｍ）になるように調整した後１石英板側から
紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化していた。この
方法では、紫外線硬化樹脂の紫外線の吸収が大きいため
、厚さ方向に対する紫外線の吸収が一様でなくなり、硬
化が均一でなかった。本発明を利用した場合、紫外線硬
化樹脂に対して情報記録原盤側からも照射が同時に行え
るので、紫外線の吸収が一様になり、硬化が均一になり
１品質が向上するという効果もある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、紫外線を透過する情報記録原盤を得る
ことができる。これにより、不透明基板を用いたレプリ
カディスクにピットや案内溝等の凹凸を形成することが
でき、高い耐破壊性をもつレプリカディスクが得られる
という効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本発明の一実施例における情報記
録原盤の作成プロセスを示す図、第４図および第５図は
、本発明を利用したレプリカディスクの作成方法の一例
を示す図である。 １・・・ガラス基板、２・・・ホトレジスト、４，５・
・・エツチングにより形成されたピットまたは案内溝、
６・・・エツチング後のガラス基板、７・・・紫外線硬
化樹脂、８・・・不透明基板、９・・・紫外線。 第　１　図 第　　Ｚ　図 り　　エ・す千ジグＬｚＪＩ）肴１へされＴ；ビ・１ト
ス１１楽内１１ 第３図 茅　＋　図 γ　ビ１ミダトｆ七泉

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ピットあるいは案内溝等の凹凸が形成された情報記
   録原盤において、上記情報記録原盤が紫外線透過性であ
   ることを特徴とする情報記録原盤。 ２、上記情報記録原盤がガラス製であることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載の情報記録原盤。