JPS6270291A - GaAs単結晶の製造方法及び装置 - Google Patents
GaAs単結晶の製造方法及び装置Info
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- JPS6270291A JPS6270291A JP60205319A JP20531985A JPS6270291A JP S6270291 A JPS6270291 A JP S6270291A JP 60205319 A JP60205319 A JP 60205319A JP 20531985 A JP20531985 A JP 20531985A JP S6270291 A JPS6270291 A JP S6270291A
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- gaas
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/02—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the melt
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- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分計]
本発明は液体封止高圧引上法(LH,C法)によりGa
As単結晶を引上げ製造する方法および装置に係り、特
に引上げ中のGaAsの融液組成(G n /Asモル
比)を一定に制御して頭部から尾部まで電気的特性の均
一な高品質単結晶を得る方法および装置に関するもので
ある。
As単結晶を引上げ製造する方法および装置に係り、特
に引上げ中のGaAsの融液組成(G n /Asモル
比)を一定に制御して頭部から尾部まで電気的特性の均
一な高品質単結晶を得る方法および装置に関するもので
ある。
GaAs単結晶はSi単結晶に比べて室温での電子移動
度が数倍大きいため、近年超高速IC用基板として盛ん
に使用されてきている。IC用基板としては、半絶縁性
で電気的特性の均一なものが要求されるが、なかでもP
BMルツボを用いた直接合成アンドープ半絶縁性GaA
s単結晶が高純度で高移a度を示すことから盛んに開発
が行なわれている。しかし、このアンドープ結晶におい
て。
度が数倍大きいため、近年超高速IC用基板として盛ん
に使用されてきている。IC用基板としては、半絶縁性
で電気的特性の均一なものが要求されるが、なかでもP
BMルツボを用いた直接合成アンドープ半絶縁性GaA
s単結晶が高純度で高移a度を示すことから盛んに開発
が行なわれている。しかし、このアンドープ結晶におい
て。
半絶縁性という性質は組成(G a / A sモル比
〕に非常に敏感であり1例えば以下に述べるような結晶
の性質と組成の関係が公知な事実として一般Iこ知られ
ている。
〕に非常に敏感であり1例えば以下に述べるような結晶
の性質と組成の関係が公知な事実として一般Iこ知られ
ている。
一例(例1)として組成と半絶縁性の抵抗値、移動度及
び導電型の関係を第6図に示す(出典R、N 、 Th
omas、etall(1984)、 In@5eni
eonduc−tors and 8omimeta
ls″、vol 20.chap 1.I A’cad
emiePress 、Naw Yorkノ。この第6
図から組成がGaリッチ寄+7になると抵抗値が低くな
り、移動度も下るごとが判る。ま九別の例即ちガ2とし
て結晶材料の融液組成と結晶成長後の固化率lこ対する
抵抗値の関係を第7図Iこ示す(出典は例mと同じ〕。
び導電型の関係を第6図に示す(出典R、N 、 Th
omas、etall(1984)、 In@5eni
eonduc−tors and 8omimeta
ls″、vol 20.chap 1.I A’cad
emiePress 、Naw Yorkノ。この第6
図から組成がGaリッチ寄+7になると抵抗値が低くな
り、移動度も下るごとが判る。ま九別の例即ちガ2とし
て結晶材料の融液組成と結晶成長後の固化率lこ対する
抵抗値の関係を第7図Iこ示す(出典は例mと同じ〕。
この第7図から組成、すなわちGa/Asの比が1以上
の結晶は結晶全体が半絶縁性にならないことが判り、こ
れに伴い結晶から得ることのできるウェハ一枚数は減る
。それのみならず、次の例即ち例3に示すようにGa過
剰の結晶は熱的安定性が悪く半導体装置、即ちMESF
ET (ショットキ接合型電界効果トランジスタ)%集
積デバイス等への使用に耐え得ない。この例3は半絶縁
性抵抗に関する熱的安定性と組成の関係を示すもので、
これを第8図に示す(出典は列(1)と同じノ。この第
8図からGa/Asの比が1以上になると安定性が悪く
なることが判る。
の結晶は結晶全体が半絶縁性にならないことが判り、こ
れに伴い結晶から得ることのできるウェハ一枚数は減る
。それのみならず、次の例即ち例3に示すようにGa過
剰の結晶は熱的安定性が悪く半導体装置、即ちMESF
ET (ショットキ接合型電界効果トランジスタ)%集
積デバイス等への使用に耐え得ない。この例3は半絶縁
性抵抗に関する熱的安定性と組成の関係を示すもので、
これを第8図に示す(出典は列(1)と同じノ。この第
8図からGa/Asの比が1以上になると安定性が悪く
なることが判る。
以上の例に示されたように結晶成長過程において結晶組
成の制九が非常に重要であることがわかる。そこで通常
、安定して半41!3縁性結晶を得るために、初期融液
組成を若干As−rich 9111(Ga/As<1
)に設定して単結晶引上げが行なわれている。
成の制九が非常に重要であることがわかる。そこで通常
、安定して半41!3縁性結晶を得るために、初期融液
組成を若干As−rich 9111(Ga/As<1
)に設定して単結晶引上げが行なわれている。
しかしながら結晶の組成が結晶の電気的特性を支配して
おシ、かつ成長していく結晶の組成は基本的に成長時の
融液組成iこよフ決定されることから、半絶縁性は得ら
れても電気的均一性に関しては。
おシ、かつ成長していく結晶の組成は基本的に成長時の
融液組成iこよフ決定されることから、半絶縁性は得ら
れても電気的均一性に関しては。
超高速、超高密度IC用基板として十分とは言えない問
題点があった。すなわち、As−rich な初期融
液組成から引上げを開始した場合、成長につれて残留融
液組成はよりA s −r ich側にシフトしていく
。このため、結晶の頭部から尾部にかけて半絶縁性を支
配すると言われている深い準位(EL2)の密度が変化
し、比抵抗が低下する。さらにウェハー面内のバラツキ
が増大する等の不均一が生じ、はなはだしい1会には半
絶縁性にならない((10’Ωcm)、セル成長により
多結晶化する。
題点があった。すなわち、As−rich な初期融
液組成から引上げを開始した場合、成長につれて残留融
液組成はよりA s −r ich側にシフトしていく
。このため、結晶の頭部から尾部にかけて半絶縁性を支
配すると言われている深い準位(EL2)の密度が変化
し、比抵抗が低下する。さらにウェハー面内のバラツキ
が増大する等の不均一が生じ、はなはだしい1会には半
絶縁性にならない((10’Ωcm)、セル成長により
多結晶化する。
等の欠点があり、均一性の高いIC用基板が再現性よく
得られなかった。これに対して初期融液組成をGi−r
ich l1llに設定しておき、融液にA3蒸気を注
入することにより融液組成を制御することが試みられて
いるが、融液組成を直接検出することが不可能であるこ
と%A3の注入量も測定困鼎であることなど、精密な組
放澗御が錐しく、IC用として十分均一性の高い基板が
得られてい壜い。
得られなかった。これに対して初期融液組成をGi−r
ich l1llに設定しておき、融液にA3蒸気を注
入することにより融液組成を制御することが試みられて
いるが、融液組成を直接検出することが不可能であるこ
と%A3の注入量も測定困鼎であることなど、精密な組
放澗御が錐しく、IC用として十分均一性の高い基板が
得られてい壜い。
この発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
であり、その目的は結晶引上げ中の融液組成比を所定の
値に制御して結晶の頭部から尾部まで電気的特性の均一
な単結晶を得る方法および装置を提供するものである。
であり、その目的は結晶引上げ中の融液組成比を所定の
値に制御して結晶の頭部から尾部まで電気的特性の均一
な単結晶を得る方法および装置を提供するものである。
本発明者等は結晶の電気的特性を支配している結晶組成
と初期融液組成との関係をクーロメトリ−法により精密
に検討した結果、初期融液組成と結晶組成が1=1に対
応し、ある融液組成から作取した結晶では、ウェハー内
の結晶組成のバラツキが最少になることを見い出した。
と初期融液組成との関係をクーロメトリ−法により精密
に検討した結果、初期融液組成と結晶組成が1=1に対
応し、ある融液組成から作取した結晶では、ウェハー内
の結晶組成のバラツキが最少になることを見い出した。
即ち、vJ期融液組成と結晶組成の対応は第2図に示す
ようであり、As−richな融液から作成した結晶の
方が融液組成の変動に対して結晶組成の変化が少ないこ
とが判明した。また初期融液組成と結晶頭部のウェハー
内の結晶組成のバラツキは第3図Iこ示すようであり、
初期融液組成が0.97近辺が最も少なくなることが判
明した。そこで組成のバラツキがなく均一か結晶を作成
するためにはこの融液組成から結晶を作成すれば良い。
ようであり、As−richな融液から作成した結晶の
方が融液組成の変動に対して結晶組成の変化が少ないこ
とが判明した。また初期融液組成と結晶頭部のウェハー
内の結晶組成のバラツキは第3図Iこ示すようであり、
初期融液組成が0.97近辺が最も少なくなることが判
明した。そこで組成のバラツキがなく均一か結晶を作成
するためにはこの融液組成から結晶を作成すれば良い。
しかし初期融液組成がストイキヨメトリ−(Ga/As
−1)からずれている念め、引上げにつれて残留融液組
成はよシAs−rich側にシフトしていく。そのため
結晶全体にわたって組成の均一な結晶が得られず、ひい
ては電気的特性の均一性も得られないことになる。従っ
て、引上げ巾の、融g!i、組成をAs−r i cl
lで一定に抑えることができれば、組成の均一な結晶が
得られ、頭部から尾部まで一気的特性の均一化が可能と
なる。すなわち不足成分であるGaを外部から供給すれ
ば良いことになる。
−1)からずれている念め、引上げにつれて残留融液組
成はよシAs−rich側にシフトしていく。そのため
結晶全体にわたって組成の均一な結晶が得られず、ひい
ては電気的特性の均一性も得られないことになる。従っ
て、引上げ巾の、融g!i、組成をAs−r i cl
lで一定に抑えることができれば、組成の均一な結晶が
得られ、頭部から尾部まで一気的特性の均一化が可能と
なる。すなわち不足成分であるGaを外部から供給すれ
ば良いことになる。
本究明(まこのような点に着目し、
11)直接合成LEC法ζこよpGaAs単結晶を製造
する方法lこおいて、初期融液組成(Ga/Asモル比
)を1より小さく設定する工侵と、結晶引上げ反量から
残留融i’im成を推定して前記初期融液組成との偏差
を検出し、前記偏差を零にするために必要なGa重量を
算出する工程と、前記G a )f−融F?/Iこ供給
する工程を備え、常に前記伐留融液組成を1iiJ記初
期融液組成と同−fこ医って単結晶引上げを行なうこと
を特徴きするG;lAs単結晶の製造方法。
する方法lこおいて、初期融液組成(Ga/Asモル比
)を1より小さく設定する工侵と、結晶引上げ反量から
残留融i’im成を推定して前記初期融液組成との偏差
を検出し、前記偏差を零にするために必要なGa重量を
算出する工程と、前記G a )f−融F?/Iこ供給
する工程を備え、常に前記伐留融液組成を1iiJ記初
期融液組成と同−fこ医って単結晶引上げを行なうこと
を特徴きするG;lAs単結晶の製造方法。
(2)前記初期融液組成を0.96〜0.98JC設定
したことを特徴とする前記第一項記載の単結晶の#漬方
法。
したことを特徴とする前記第一項記載の単結晶の#漬方
法。
(3)直接脅威LEC法によりG a A s単結晶を
製造する装置において前記結晶引上げ重量から残留ra
液組成を推定して前記初期融液組成との偏差を検出し前
記偏差を零にするために必要なGa重量を算出する計W
、機と前記融液に供給するGaの流量を検出・調節する
流惟制@機構を備えたことを特徴とするGaAs単結晶
の製造装置。
製造する装置において前記結晶引上げ重量から残留ra
液組成を推定して前記初期融液組成との偏差を検出し前
記偏差を零にするために必要なGa重量を算出する計W
、機と前記融液に供給するGaの流量を検出・調節する
流惟制@機構を備えたことを特徴とするGaAs単結晶
の製造装置。
を提倶するもので、ある。
以上説明し念ように本発明の方法および装置fこよれば
、As−richで常に組成の一定な融液からGaAs
単結晶を引上げることができるので。
、As−richで常に組成の一定な融液からGaAs
単結晶を引上げることができるので。
(1)1頭部から尾部まで組成の一定した単@品が得ら
れる。
れる。
(2)、初期融液組成を0.95〜0.97の間に設定
することにより、頭部から尾部まで、ウェハー内の組成
変動の最も少ない単結晶が得られる。
することにより、頭部から尾部まで、ウェハー内の組成
変動の最も少ない単結晶が得られる。
(3)、よりAs−richな初期融液組成から引上げ
を行なってもセル成長によジ多結晶化することはなく完
全な単結晶が得られる。
を行なってもセル成長によジ多結晶化することはなく完
全な単結晶が得られる。
(4)、頭部から尾部まで電気的特性の均一な単結晶が
得られる。
得られる。
(5)%単結晶製造の再現性及び安定性が向上し、工業
・的に適用することによフ生産性が向上する。
・的に適用することによフ生産性が向上する。
等の効果が得られる。
以下本発明の一実施例を図面に基づき詳細に説明する。
第1図は本発明による単結晶製造装置を示す概略構成1
gである。図において、1は高圧容器%2は引上げ軸、
3は加熱ヒータ、4はルツボ軸、5は結晶、6は溶液、
7は封止剤、8は外ルツボ、9は内ルツボ、10は重量
検出器% 11は計算機、12はG+1溜め、13はG
a 加熱ヒータ(低温用)、14はGa供給管、15
はGa流量噴出器、16はGa流量調節弁、17はGa
加熱ヒータ(高温用)、18は金[Gaである。引上げ
部本体1〜8は従来と同様であるが、容器lにはGa供
給部12〜18が内蔵されている。
gである。図において、1は高圧容器%2は引上げ軸、
3は加熱ヒータ、4はルツボ軸、5は結晶、6は溶液、
7は封止剤、8は外ルツボ、9は内ルツボ、10は重量
検出器% 11は計算機、12はG+1溜め、13はG
a 加熱ヒータ(低温用)、14はGa供給管、15
はGa流量噴出器、16はGa流量調節弁、17はGa
加熱ヒータ(高温用)、18は金[Gaである。引上げ
部本体1〜8は従来と同様であるが、容器lにはGa供
給部12〜18が内蔵されている。
ここでは、Ga溜め121こG a 18を収納し、加
熱ヒータ(低温用)13ζこよジ加熱され液体になって
いるG a 18をGa供給管14iこより融液6に供
給する。Ga供給管14には流量検出器15と流量調節
弁16が設けられており、Ga供給量をコントロールす
ることができる。流量調節弁16を通過したGa18は
加熱ヒータ(高温用)17によりG a A s融液6
とほぼ等しい温度(〜1300℃)まで加熱され、外ル
ツボ8と内ルツボ9の間に供給される。円ルツボ9には
下部に多数の***が設けられており、供給されたGaが
融液6とゆっくり混会される。なおGa供給g14は2
重量こなりておりGaの保温および、炉内の熱環境への
影響を防ぐようになっている。引上げ輔2の上部には引
上げ結晶5の重量を測定する重量検出器10が設けられ
ており、重量信号を計算機11に出力する。計算機11
は重量信号より固化室を求め、残留強液組成を推定し、
予め定めた初期融液組成との偏差を検出し、上記偏差を
零にするために必要なGa重量を算出する。次に計算機
11の指令によりGa流量調節弁16を開いて所定量の
Ga18を融液6に供給する。倶給破はGa流量検出5
15 lこよりモニターされ所定量供給すると弁■6が
閉じられる。
熱ヒータ(低温用)13ζこよジ加熱され液体になって
いるG a 18をGa供給管14iこより融液6に供
給する。Ga供給管14には流量検出器15と流量調節
弁16が設けられており、Ga供給量をコントロールす
ることができる。流量調節弁16を通過したGa18は
加熱ヒータ(高温用)17によりG a A s融液6
とほぼ等しい温度(〜1300℃)まで加熱され、外ル
ツボ8と内ルツボ9の間に供給される。円ルツボ9には
下部に多数の***が設けられており、供給されたGaが
融液6とゆっくり混会される。なおGa供給g14は2
重量こなりておりGaの保温および、炉内の熱環境への
影響を防ぐようになっている。引上げ輔2の上部には引
上げ結晶5の重量を測定する重量検出器10が設けられ
ており、重量信号を計算機11に出力する。計算機11
は重量信号より固化室を求め、残留強液組成を推定し、
予め定めた初期融液組成との偏差を検出し、上記偏差を
零にするために必要なGa重量を算出する。次に計算機
11の指令によりGa流量調節弁16を開いて所定量の
Ga18を融液6に供給する。倶給破はGa流量検出5
15 lこよりモニターされ所定量供給すると弁■6が
閉じられる。
以凌、一定の周期でこの動作をくり返すことにより上記
残留融液組成を初期融液組成と同一に保って単結晶引上
げを行なうことができる。
残留融液組成を初期融液組成と同一に保って単結晶引上
げを行なうことができる。
次lこ具体的に、残留融液組成および供給Ga量の算出
方法について説明する。単債晶引上げ時にはストイキョ
メトリーな結晶が育成されると仮定すると固化率Iでの
残留融液組成は次式で表わさここで。
方法について説明する。単債晶引上げ時にはストイキョ
メトリーな結晶が育成されると仮定すると固化率Iでの
残留融液組成は次式で表わさここで。
X:初期融液組成1M:初期GaAs融液の重量1.9
)MGa:初期GaAs融液中のGa 4f#) 、
MA S :初期GaAs)J液中のA s fil(
9) 、 ZGa :Gaの原子t(69,72)、Z
As: A sの原子ff1(74,92,)である。
)MGa:初期GaAs融液中のGa 4f#) 、
MA S :初期GaAs)J液中のA s fil(
9) 、 ZGa :Gaの原子t(69,72)、Z
As: A sの原子ff1(74,92,)である。
但し、引上げ中に蒸発するAs量は簡単のためにここで
は無視している。
は無視している。
そこで固化率IItこおける残留融液組成を初期融液組
成と等しくするために供給すべき化Ga重量(△MGa
)は、見かけ上初期融液組成が1になれば良いから、X
臨0.97として、 よりM−1としてΔMGa= 0.01549 とな
る。
成と等しくするために供給すべき化Ga重量(△MGa
)は、見かけ上初期融液組成が1になれば良いから、X
臨0.97として、 よりM−1としてΔMGa= 0.01549 とな
る。
また簡単な計算により1固化軍資化分Δgに対して供給
すべきGa量(6mGa)は、 △mGa處ΔMGa・△I ・・−・・・・・
f3)となる。すなわち固化率の変化に対して△moa
だけ融液61こGa18を供給すれば良い。これらの関
係をまとめて第4図a ”−cに示す。(1)式による
初期融液組成X−0,971こおける固化率と残留融液
組成の関係をaに示す。この関係は一般に公知のもので
ある。(3)式より固化率2のとき残留融液組成を0.
97 にする几めに必要なGa1iはbのようlこなる
。この結果、Cに示すようlこ残留融液組成を常lこ一
定に保つことができる。図5cこ上述した一連の制御@
I吻作を計算機11により実行するためのフローチャー
トを示す。
すべきGa量(6mGa)は、 △mGa處ΔMGa・△I ・・−・・・・・
f3)となる。すなわち固化率の変化に対して△moa
だけ融液61こGa18を供給すれば良い。これらの関
係をまとめて第4図a ”−cに示す。(1)式による
初期融液組成X−0,971こおける固化率と残留融液
組成の関係をaに示す。この関係は一般に公知のもので
ある。(3)式より固化率2のとき残留融液組成を0.
97 にする几めに必要なGa1iはbのようlこなる
。この結果、Cに示すようlこ残留融液組成を常lこ一
定に保つことができる。図5cこ上述した一連の制御@
I吻作を計算機11により実行するためのフローチャー
トを示す。
次によりA体内にGaAs単結晶を製造する場合につい
て詳しく説明する。内径150 mmφのPBN製ルツ
ルツボ8内GaとAsを原料仕込組成が〜0.95 に
なるようlこ会計〜3kgと封止剤であるB、0゜を〜
600I入れて高圧容器内に収容し直接合成法により、
融液組成比〜0.97のGaAs黴液6含液6゜一方、
G a 3め12にはGaIBを〜100g入れ刀Ω熱
ヒータ13によV俗解させた。
て詳しく説明する。内径150 mmφのPBN製ルツ
ルツボ8内GaとAsを原料仕込組成が〜0.95 に
なるようlこ会計〜3kgと封止剤であるB、0゜を〜
600I入れて高圧容器内に収容し直接合成法により、
融液組成比〜0.97のGaAs黴液6含液6゜一方、
G a 3め12にはGaIBを〜100g入れ刀Ω熱
ヒータ13によV俗解させた。
その後、種結晶を回転させながら融液させ引き上げをS
1始した。引上げ結晶の本号は点!検出器10によシ測
定され、計算機11に入力される。
1始した。引上げ結晶の本号は点!検出器10によシ測
定され、計算機11に入力される。
計算機115こは第5図のフローチャートlこ示すよう
な、初期データおよび制御卸プログラムが格納されてお
り、それに従って実行を開始する。すなわち、入力され
た重量信号より、BtO,の浮力等を補正して正しい重
量を求め固化率91および固化率の増分Δ91を求める
。gi、△91)i’fflれば(1)式より現在の残
留融液組成が求められ、それを初期融液組成Xと同一に
保つtめに必冴なGa量へmGaがわかる。そこで弁1
6を開いて供@管14を通して融液6にGaを供給する
。ここでは肩作りを行なったのち所定径〜8Qmmφで
、固化率〜0.85まで成長させた。
な、初期データおよび制御卸プログラムが格納されてお
り、それに従って実行を開始する。すなわち、入力され
た重量信号より、BtO,の浮力等を補正して正しい重
量を求め固化率91および固化率の増分Δ91を求める
。gi、△91)i’fflれば(1)式より現在の残
留融液組成が求められ、それを初期融液組成Xと同一に
保つtめに必冴なGa量へmGaがわかる。そこで弁1
6を開いて供@管14を通して融液6にGaを供給する
。ここでは肩作りを行なったのち所定径〜8Qmmφで
、固化率〜0.85まで成長させた。
得られた単結晶をウェハーに切断し、Head #Ce
nter 、 Ta1lの3点で、それぞれウェハーの
浩晶組成を測定したところ、いずれも〜0.99994
であり、組成のバラツキも±0.00001以FとHe
adからTa目まで極めて組成の均一な結晶であること
がわかっ念。また比抵抗もHeadからTa11まで〜
5xioフΩ・cmを示し固化率の大きい部分での比抵
抗の低rも生じなかった。
nter 、 Ta1lの3点で、それぞれウェハーの
浩晶組成を測定したところ、いずれも〜0.99994
であり、組成のバラツキも±0.00001以FとHe
adからTa目まで極めて組成の均一な結晶であること
がわかっ念。また比抵抗もHeadからTa11まで〜
5xioフΩ・cmを示し固化率の大きい部分での比抵
抗の低rも生じなかった。
さらに、加速電圧150Kevでシリコンヲ2.5XI
Q I! C,n−3イオン注入して活成層を形成し
、MESFETを作製してそのしきい値電圧を調べたと
ころいずれもVth 〜−3,5VでバラツキaVth
≦50mVl、a下と良好なる特注が得られた。
Q I! C,n−3イオン注入して活成層を形成し
、MESFETを作製してそのしきい値電圧を調べたと
ころいずれもVth 〜−3,5VでバラツキaVth
≦50mVl、a下と良好なる特注が得られた。
以上説明し比ように本発明の単結晶の製造方法および装
置によれば、固化率に関係なく、一定のAs−rich
な組成の融液から単結晶が作成できるのであるから、H
ead力\らTa1l fで特性の均一な単結晶が得ら
れる。さらlこ融液組成を0.97とすることIこより
最も結晶組成のバラツキが少なく電気的特性の均一な単
結晶が得られる、等の利点を有している。
置によれば、固化率に関係なく、一定のAs−rich
な組成の融液から単結晶が作成できるのであるから、H
ead力\らTa1l fで特性の均一な単結晶が得ら
れる。さらlこ融液組成を0.97とすることIこより
最も結晶組成のバラツキが少なく電気的特性の均一な単
結晶が得られる、等の利点を有している。
尚、Ga供給部12〜18Fよび演算式f1) 〜(3
)は本実施例に限定されるものではなり、融液組成が一
定になるようlこGaを融液に供給できるものであれば
良く、種々変形して実施することができる。またGaA
s単結晶lこ限らず同じ■−v族単結晶である■ロpJ
ロAs、Garb等でもV族元素richな融液から引
上げを行なう鴨曾にも適宜変形して適用することが出き
る。
)は本実施例に限定されるものではなり、融液組成が一
定になるようlこGaを融液に供給できるものであれば
良く、種々変形して実施することができる。またGaA
s単結晶lこ限らず同じ■−v族単結晶である■ロpJ
ロAs、Garb等でもV族元素richな融液から引
上げを行なう鴨曾にも適宜変形して適用することが出き
る。
第1図は本発明の単結晶の製造方法および装置を説明す
るための図、第2図は初期融液組成と結晶組成の関係を
説明するための図、第3図は初期融液組成とウェハー内
結晶組成の変動を説明するための図、第4図は固化率と
融液組成および融液組成を一定に保つためのGa供給と
の関係を説明するための図、第5図は計算機による組成
制御の動作を説明するための概略の流れ図、第6図は融
液組成と抵抗値の関係を説明するための図、第7図は固
化率と抵抗値の関係を説明する九めの図、第8図は融液
組成とアニール後の抵抗値との関係を説明するための図
である。 1・・・高圧容器、2・・・引上げ軸、3・・・加熱ヒ
ータ、4・・・ルツボ軸、5・・・結晶、6・・・溶液
、7・・・封止剤、8・・・外ルツボ、9・・・内ルツ
ボ% 10・・・重装検出器、11・・・計算機、12
・・・Ga溜め、13・・・Ga710熱ヒータ、14
・、、Ga供給号、15・・・Ga流量検出器% 16
・・・Ga流流調調節弁17・・・Ga加熱ヒータ、1
8・・・金にGa0 代理人 弁理士 則 近 慾 重 囲 竹 花 喜久男 第 1 図 初其目hsζ烏1刀く(0〜43モル比)第 2 図 初期融涜組べ(眞/Asモル比) 第 3 図 固 イど13 (J) 第 4 図 [−−−対 □−−−尤一 初版Σ( 一−−T− 一一一一−」−一 =]= −ぜ【 B l i=’f −一二に L−m−」ミュゐ ] 不正口 =コ 〉
るための図、第2図は初期融液組成と結晶組成の関係を
説明するための図、第3図は初期融液組成とウェハー内
結晶組成の変動を説明するための図、第4図は固化率と
融液組成および融液組成を一定に保つためのGa供給と
の関係を説明するための図、第5図は計算機による組成
制御の動作を説明するための概略の流れ図、第6図は融
液組成と抵抗値の関係を説明するための図、第7図は固
化率と抵抗値の関係を説明する九めの図、第8図は融液
組成とアニール後の抵抗値との関係を説明するための図
である。 1・・・高圧容器、2・・・引上げ軸、3・・・加熱ヒ
ータ、4・・・ルツボ軸、5・・・結晶、6・・・溶液
、7・・・封止剤、8・・・外ルツボ、9・・・内ルツ
ボ% 10・・・重装検出器、11・・・計算機、12
・・・Ga溜め、13・・・Ga710熱ヒータ、14
・、、Ga供給号、15・・・Ga流量検出器% 16
・・・Ga流流調調節弁17・・・Ga加熱ヒータ、1
8・・・金にGa0 代理人 弁理士 則 近 慾 重 囲 竹 花 喜久男 第 1 図 初其目hsζ烏1刀く(0〜43モル比)第 2 図 初期融涜組べ(眞/Asモル比) 第 3 図 固 イど13 (J) 第 4 図 [−−−対 □−−−尤一 初版Σ( 一−−T− 一一一一−」−一 =]= −ぜ【 B l i=’f −一二に L−m−」ミュゐ ] 不正口 =コ 〉
Claims (3)
- (1)直接合成LEC法によりGaAs単結晶を製造す
る方法において、初期融液組成(Ga/Asモル比)を
1より小さく設定する工程と、結晶引上げ重量から残留
融液組成を推定して前記初期融液組成との偏差を検出し
、前記偏差を零にするために必要なGa重量を算出する
工程と、前記Gaを融液に供給する工程を備え、常に前
記残留融液組成を前記初期融液組成と同一に保って単結
晶引上げを行なうことを特徴とするGaAs単結晶の製
造方法。 - (2)前記初期融液組成を0.96〜0.98に設定し
たことを特徴とする前記第一項記載の単結晶の製造方法
。 - (3)直接合成LEC法によりGaAs単結晶を製造す
る装置において、前記結晶引上げ重量から残留融液組成
を推定して前記初期融液組成との偏差を検出し前記偏差
を零にするために必要なGa重量を算出する計算機と前
記融液に供給するGaの流量を検出・調節する流量制御
機構を備えたことを特徴とするGaAs単結晶の製造装
置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60205319A JPS6270291A (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | GaAs単結晶の製造方法及び装置 |
GB8621763A GB2180469B (en) | 1985-09-19 | 1986-09-10 | Methods of manufacturing compound semiconductor crystals and apparatus for the same |
US06/908,985 US5030315A (en) | 1985-09-19 | 1986-09-18 | Methods of manufacturing compound semiconductor crystals and apparatus for the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60205319A JPS6270291A (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | GaAs単結晶の製造方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6270291A true JPS6270291A (ja) | 1987-03-31 |
Family
ID=16504976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60205319A Pending JPS6270291A (ja) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | GaAs単結晶の製造方法及び装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5030315A (ja) |
JP (1) | JPS6270291A (ja) |
GB (1) | GB2180469B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0230696A (ja) * | 1987-12-07 | 1990-02-01 | Nippon Mining Co Ltd | 化合物半導体単結晶の製造方法 |
JP2018177568A (ja) * | 2017-04-07 | 2018-11-15 | 株式会社福田結晶技術研究所 | 高性能・高均な大型Fe−Ga基合金単結晶の製造方法及び製造装置 |
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JPH0733305B2 (ja) * | 1987-03-20 | 1995-04-12 | 三菱マテリアル株式会社 | 石英製二重ルツボの製造方法 |
DE3712668A1 (de) * | 1987-04-14 | 1988-10-27 | Hans J Scheel | Verfahren und vorrichtung zur zuechtung von kristallen nach der czochralski-methode |
CA1305909C (en) * | 1987-06-01 | 1992-08-04 | Michio Kida | Apparatus and process for growing crystals of semiconductor materials |
JPH085740B2 (ja) * | 1988-02-25 | 1996-01-24 | 株式会社東芝 | 半導体の結晶引上げ方法 |
DE69122599T2 (de) * | 1990-07-26 | 1997-04-03 | Sumitomo Electric Industries | Verfahren und gerät zur herstellung von einkristallen |
US5047112A (en) * | 1990-08-14 | 1991-09-10 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Method for preparing homogeneous single crystal ternary III-V alloys |
DE4106589C2 (de) * | 1991-03-01 | 1997-04-24 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Kontinuierliches Nachchargierverfahren mit flüssigem Silicium beim Tiegelziehen nach Czochralski |
US5314667A (en) * | 1991-03-04 | 1994-05-24 | Lim John C | Method and apparatus for single crystal silicon production |
DE4123336A1 (de) * | 1991-07-15 | 1993-01-21 | Leybold Ag | Kristallziehverfahren und vorrichtung zu seiner durchfuehrung |
DE4318184A1 (de) * | 1993-06-01 | 1994-12-08 | Wacker Chemitronic | Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen |
US5474022A (en) * | 1994-04-21 | 1995-12-12 | Mitsubishi Materials Corporation | Double crucible for growing a silicon single crystal |
US5690734A (en) * | 1995-03-22 | 1997-11-25 | Ngk Insulators, Ltd. | Single crystal growing method |
TW440613B (en) * | 1996-01-11 | 2001-06-16 | Mitsubishi Material Silicon | Method for pulling single crystal |
JPH10158088A (ja) * | 1996-11-25 | 1998-06-16 | Ebara Corp | 固体材料の製造方法及びその製造装置 |
US6019841A (en) * | 1997-03-24 | 2000-02-01 | G.T. Equuipment Technologies Inc. | Method and apparatus for synthesis and growth of semiconductor crystals |
DE102006050901A1 (de) * | 2005-11-17 | 2007-05-31 | Solarworld Industries Deutschland Gmbh | Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterkörpers und zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung |
CN115976626B (zh) * | 2022-12-15 | 2024-01-19 | 常州臻晶半导体有限公司 | 一种液相法碳化硅单晶生长的连续加硅料装置及加料方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB797950A (en) * | 1954-06-10 | 1958-07-09 | Rca Corp | Semi-conductor alloys |
US2892739A (en) * | 1954-10-01 | 1959-06-30 | Honeywell Regulator Co | Crystal growing procedure |
US3198606A (en) * | 1961-01-23 | 1965-08-03 | Ibm | Apparatus for growing crystals |
DE2420899A1 (de) * | 1974-04-30 | 1975-12-11 | Wacker Chemitronic | Verfahren zur herstellung von einkristallinem galliumarsenid |
JPS57179095A (en) * | 1981-04-28 | 1982-11-04 | Tohoku Metal Ind Ltd | Method and apparatus for manufacturing single crystal |
JPS58181799A (ja) * | 1982-04-16 | 1983-10-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 硼素を添加したGaAs単結晶の製造方法 |
JPS60122798A (ja) * | 1983-12-01 | 1985-07-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 砒化ガリウム単結晶とその製造方法 |
JPS60137891A (ja) * | 1983-12-24 | 1985-07-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 化合物半導体単結晶引き上げ方法と装置 |
US4594173A (en) * | 1984-04-19 | 1986-06-10 | Westinghouse Electric Corp. | Indium doped gallium arsenide crystals and method of preparation |
-
1985
- 1985-09-19 JP JP60205319A patent/JPS6270291A/ja active Pending
-
1986
- 1986-09-10 GB GB8621763A patent/GB2180469B/en not_active Expired
- 1986-09-18 US US06/908,985 patent/US5030315A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0230696A (ja) * | 1987-12-07 | 1990-02-01 | Nippon Mining Co Ltd | 化合物半導体単結晶の製造方法 |
JP2018177568A (ja) * | 2017-04-07 | 2018-11-15 | 株式会社福田結晶技術研究所 | 高性能・高均な大型Fe−Ga基合金単結晶の製造方法及び製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB8621763D0 (en) | 1986-10-15 |
GB2180469A (en) | 1987-04-01 |
US5030315A (en) | 1991-07-09 |
GB2180469B (en) | 1989-08-31 |
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