JPS6255575A - 導体パタ−ンの欠陥検出装置 - Google Patents
導体パタ−ンの欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS6255575A JPS6255575A JP60196967A JP19696785A JPS6255575A JP S6255575 A JPS6255575 A JP S6255575A JP 60196967 A JP60196967 A JP 60196967A JP 19696785 A JP19696785 A JP 19696785A JP S6255575 A JPS6255575 A JP S6255575A
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- JP
- Japan
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- resistance
- resistance value
- conductor patterns
- conductive rubber
- defect
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、混成集積回路における導体パターンの欠陥
を検出する装置に関するものである。
を検出する装置に関するものである。
第3図は従来の検出方法である。図において、(1)は
基板、(2a)(2b)はパターニングされた導体、(
lO)は照射光を発するランプ、α1)は顕微鏡である
。
基板、(2a)(2b)はパターニングされた導体、(
lO)は照射光を発するランプ、α1)は顕微鏡である
。
次に動作について説明する。ランプαυにより基板11
)上にパターニングされている導体(2a)(2b)に
光を照射し、顕微釧(101で目視する。
)上にパターニングされている導体(2a)(2b)に
光を照射し、顕微釧(101で目視する。
基板上に付加さ、hて贋るパターンは各々が分離されて
いる為、電気的に導通がなく、目視によってショート、
断線等の欠陥を判定する。又、他の方法として、導体パ
ターンの両@全各々ブローバの針にて接触させ、その間
の導通Sこより欠陥の検出する方法もある。
いる為、電気的に導通がなく、目視によってショート、
断線等の欠陥を判定する。又、他の方法として、導体パ
ターンの両@全各々ブローバの針にて接触させ、その間
の導通Sこより欠陥の検出する方法もある。
従来の装置は以上のように構成されているので、1産に
対して人数及び時間が多くかかる。又、人による判定の
為、欠陥個所の発見漏れか定量的Sこ発生するなどの問
題点があった。
対して人数及び時間が多くかかる。又、人による判定の
為、欠陥個所の発見漏れか定量的Sこ発生するなどの問
題点があった。
又、導体の両端を多くのブローμの針で行う方法は高密
度パターンの場合は実質上不可能である問題もあった。
度パターンの場合は実質上不可能である問題もあった。
この発明は上記のような問題点と解消するためになさh
たもので、人間の目視による判定を自動的に機械化でき
る装置を得ることを目的としている。
たもので、人間の目視による判定を自動的に機械化でき
る装置を得ることを目的としている。
この発明に係る検出装置は、導体パターンに抵抗全有す
る導電性物質全圧接したものである。
る導電性物質全圧接したものである。
この発明に卦ける装置は、圧接により電気的抵抗を生じ
、その値により24体パターンの欠陥の有無を発見する
ものである。
、その値により24体パターンの欠陥の有無を発見する
ものである。
以下、この発明の一実楕例を図について説明する。第1
図において、基板[11上に、同一形状の導体バターy
(2a)(2b)がある。(2a)と(2b)は、個別
の独立されている導体であり、夫々の導体パターンの一
端に可とう性を有する導電性物質、例えば導’I−(を
性金属粉、カーボン粉を入ねた導電性ゴム13+か圧着
さハている。導体パターンのもう一端h (2a)(2
b)上(ごプローバ(41によって接触さね、゛その間
全抵抗測定器(6)によって抵抗を測定する。
図において、基板[11上に、同一形状の導体バターy
(2a)(2b)がある。(2a)と(2b)は、個別
の独立されている導体であり、夫々の導体パターンの一
端に可とう性を有する導電性物質、例えば導’I−(を
性金属粉、カーボン粉を入ねた導電性ゴム13+か圧着
さハている。導体パターンのもう一端h (2a)(2
b)上(ごプローバ(41によって接触さね、゛その間
全抵抗測定器(6)によって抵抗を測定する。
駆動テーブル(5)によって基板(1)の任意の場所が
選択できる。
選択できる。
第2図は第1図の電気回路の構成である。(7)けリレ
ースイッチ、(8)は抵抗計、(9)ハブリンターであ
る。
ースイッチ、(8)は抵抗計、(9)ハブリンターであ
る。
基板+11に付加さhた導体パターン(2a)と(2b
)の間に、導t(ir、性ゴム(3)の圧着によって適
当な抵抗が生じる。導体パターンに断線や他の導体との
短絡等の欠陥がある場合、抵抗値が無限大、もしくは正
常抵抗値より著しく減少ま1こけ短絡抵抗値となり欠陥
が判定出来る。通常、抵抗値は導電性ゴムのンートti
抗及びパターン間のギャップIこよって決まる。導体パ
ターンの数が多欲あり、導体パターンに生じた抵抗をプ
ローバ(4)に接触させ、抵抗測定器(6)により抵抗
をはかる。
)の間に、導t(ir、性ゴム(3)の圧着によって適
当な抵抗が生じる。導体パターンに断線や他の導体との
短絡等の欠陥がある場合、抵抗値が無限大、もしくは正
常抵抗値より著しく減少ま1こけ短絡抵抗値となり欠陥
が判定出来る。通常、抵抗値は導電性ゴムのンートti
抗及びパターン間のギャップIこよって決まる。導体パ
ターンの数が多欲あり、導体パターンに生じた抵抗をプ
ローバ(4)に接触させ、抵抗測定器(6)により抵抗
をはかる。
駆動テーブル(5)により、基板(11k動かし、任意
の場所の抵抗を測定する。特にサーマルヘラFのような
導体パターンに、同一パターンが繰返さhでいる為同−
ブローバにて能率的に処理が出来る。
の場所の抵抗を測定する。特にサーマルヘラFのような
導体パターンに、同一パターンが繰返さhでいる為同−
ブローバにて能率的に処理が出来る。
第2図は電気回路を示したものである。ブローバに生じ
た多数の抵抗をスイッチリレー(7)によって特定場所
選択し、抵抗計(8)によって測定を実施する。抵抗値
はプリンター(9)により記碌さねる。
た多数の抵抗をスイッチリレー(7)によって特定場所
選択し、抵抗計(8)によって測定を実施する。抵抗値
はプリンター(9)により記碌さねる。
なお、上記実晦例では、可とり性の導電性ゴムを使用し
rが、ゴムの中に棒状性の細線を入fまた構造番こして
も同様の効果を奏する。
rが、ゴムの中に棒状性の細線を入fまた構造番こして
も同様の効果を奏する。
以上の様1こ、この発明によれば、自動的に電気的回路
構成としたので、人間による誤判定が除去でき、高密度
に配線さtまた導体パターンの欠陥ヲ短時間に正確に判
定出来る効果がある。
構成としたので、人間による誤判定が除去でき、高密度
に配線さtまた導体パターンの欠陥ヲ短時間に正確に判
定出来る効果がある。
第1図はこの発明の導体パターンの欠陥検出装置の一実
殉例を示す構造図、第2図は第1図の電気回路図、第3
[!SrIは従来の欠陥検出装置の一例を示す構成図で
ある。 図において、(Ilj基板、(2a)(2b)け導体パ
ターン、(3)は導電性ゴム、(41はプローバ、(7
)にスイッチリレー、(8)は抵抗計である。 なお、図中、同−符J8は同−又は相当部分を示す。
殉例を示す構造図、第2図は第1図の電気回路図、第3
[!SrIは従来の欠陥検出装置の一例を示す構成図で
ある。 図において、(Ilj基板、(2a)(2b)け導体パ
ターン、(3)は導電性ゴム、(41はプローバ、(7
)にスイッチリレー、(8)は抵抗計である。 なお、図中、同−符J8は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 基板上に形成された互いに独立な複数の導体パターンの
一端に共通に圧着される導電性ゴムと、前記導体パター
ンの他端に夫々接続されたプローバと、これらのプロー
バのうち1つに選択的に電気接続するリレースイッチと
、このリレースイッチと前記導電性ゴムとの間の抵抗を
測定する抵抗計とを備えた導体パターンの欠陥検出装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60196967A JPS6255575A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 導体パタ−ンの欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60196967A JPS6255575A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 導体パタ−ンの欠陥検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6255575A true JPS6255575A (ja) | 1987-03-11 |
Family
ID=16366625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60196967A Pending JPS6255575A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 導体パタ−ンの欠陥検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6255575A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5844199A (en) * | 1993-12-24 | 1998-12-01 | Tokyo Electron Ltd | Conductor pattern check apparatus for locating and repairing short and open circuits |
JP2006056046A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Rohm Co Ltd | サーマルプリントヘッドの製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59190673A (ja) * | 1983-04-12 | 1984-10-29 | Toppan Printing Co Ltd | 配線板の導通検査装置 |
-
1985
- 1985-09-04 JP JP60196967A patent/JPS6255575A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59190673A (ja) * | 1983-04-12 | 1984-10-29 | Toppan Printing Co Ltd | 配線板の導通検査装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5844199A (en) * | 1993-12-24 | 1998-12-01 | Tokyo Electron Ltd | Conductor pattern check apparatus for locating and repairing short and open circuits |
JP2006056046A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Rohm Co Ltd | サーマルプリントヘッドの製造方法 |
JP4515858B2 (ja) * | 2004-08-18 | 2010-08-04 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッドの製造方法 |
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