JPS6251561A - ウエハ保護シ−ト貼付装置 - Google Patents
ウエハ保護シ−ト貼付装置Info
- Publication number
- JPS6251561A JPS6251561A JP60187609A JP18760985A JPS6251561A JP S6251561 A JPS6251561 A JP S6251561A JP 60187609 A JP60187609 A JP 60187609A JP 18760985 A JP18760985 A JP 18760985A JP S6251561 A JPS6251561 A JP S6251561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- wafer
- roller
- paper
- defoliation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Collation Of Sheets And Webs (AREA)
- Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造装置に関し、特にウェハを保護シー
トと離型紙の間に挿入するウェハ保護シート貼付装置に
関する・ 〔従来の技術〕 半導体素子を形成されたウェハーはスクライブラインに
そって切溝を入れた後、ローラによりブレーキングされ
１個々の素子に分割される。ここで、ブレーキングを行
う際には、ウェハー表面に保護シートをかぶせた状態で
行う。
トと離型紙の間に挿入するウェハ保護シート貼付装置に
関する・ 〔従来の技術〕 半導体素子を形成されたウェハーはスクライブラインに
そって切溝を入れた後、ローラによりブレーキングされ
１個々の素子に分割される。ここで、ブレーキングを行
う際には、ウェハー表面に保護シートをかぶせた状態で
行う。
従来、ウェハー表面に保護シートをかぶせる工程におい
ては第２図（α） 、 （ｂ）に示す方法により行われ
る。
ては第２図（α） 、 （ｂ）に示す方法により行われ
る。
すなわち、ロール状としてセットされたシート２と離型
紙３とはローラガイド６を介して分離され、シート２は
ゴムローラ１へ引き込まれ、また離型紙３は離型紙ガイ
ド７を介した後、ゴムローラ１へ引き込まれる。つ′エ
バー８はシート２と離型紙３の空間に挿入され、ゴムロ
ーラ１によシ離型紙３とシート２にはさみ込み圧着され
る。
紙３とはローラガイド６を介して分離され、シート２は
ゴムローラ１へ引き込まれ、また離型紙３は離型紙ガイ
ド７を介した後、ゴムローラ１へ引き込まれる。つ′エ
バー８はシート２と離型紙３の空間に挿入され、ゴムロ
ーラ１によシ離型紙３とシート２にはさみ込み圧着され
る。
上述した従来のウェハ保護シート貼付装置では、離型紙
とシートの分離が駆動機能をもつゴムローラ１にてシー
トを引っばることにより行われる為、分離の際に必要な
力がシート２に加わることになる。よって、伸張性をも
つシートが供給された長さよシ長くなる。またウエノ１
−圧着時においても、シート２がゴムローラ１により押
し付けられる為、上記現象を助長する。したがって、一
体として供給されたシートと離型紙は分離点から圧着点
間で最初に設定した長さに違いを生じる。よって、シー
トと離型紙との間にウェハーを挿入するのに必要な空間
が確保できなくなる為、シートを切断して再度空間を持
たせた状態でセットをやりなおす必要があり念。
とシートの分離が駆動機能をもつゴムローラ１にてシー
トを引っばることにより行われる為、分離の際に必要な
力がシート２に加わることになる。よって、伸張性をも
つシートが供給された長さよシ長くなる。またウエノ１
−圧着時においても、シート２がゴムローラ１により押
し付けられる為、上記現象を助長する。したがって、一
体として供給されたシートと離型紙は分離点から圧着点
間で最初に設定した長さに違いを生じる。よって、シー
トと離型紙との間にウェハーを挿入するのに必要な空間
が確保できなくなる為、シートを切断して再度空間を持
たせた状態でセットをやりなおす必要があり念。
本発明は保護シートと離型紙とを再び積ね合せる前に、
保護シートの伸びを吸収するウェハ保護シート貼付装置
を提供するものである。
保護シートの伸びを吸収するウェハ保護シート貼付装置
を提供するものである。
本発明のウェハ保護シート貼付装置は保護シートと離型
紙との分離点より圧着点までのシートの経路上に、シー
トの伸びを吸収させる伸び吸収機構を設けたことを特徴
とするものである。
紙との分離点より圧着点までのシートの経路上に、シー
トの伸びを吸収させる伸び吸収機構を設けたことを特徴
とするものである。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図において、一体の保護シート２と離型紙３とを巻
回したロールの繰出し側にローラガイド６を設け、ロー
ラガイド６の水平方向前方に２個の支持ローラ５，５を
一定間隔あけて設置するとともに、ローラガイド６に対
して垂直下方に離型紙ガイド７を設置し、さらにガイド
７の水平方向前方に分離した保護シート２と離型紙３と
を再び圧着する対のゴムローラ１，１を設置する。
回したロールの繰出し側にローラガイド６を設け、ロー
ラガイド６の水平方向前方に２個の支持ローラ５，５を
一定間隔あけて設置するとともに、ローラガイド６に対
して垂直下方に離型紙ガイド７を設置し、さらにガイド
７の水平方向前方に分離した保護シート２と離型紙３と
を再び圧着する対のゴムローラ１，１を設置する。
さらに、２個の支持ローラ５，５０間に中間ローラ４を
上下動可能に設置する。ここに、２個の支持ローラ５，
５と、２個の支持ローラ５，５間でシート２の伸び景に
比例して上下動しシート２にテンションを加える中間ロ
ーラ４との組合せにより保護シート２の伸びを吸収させ
る伸び吸収機構を構成する。
上下動可能に設置する。ここに、２個の支持ローラ５，
５と、２個の支持ローラ５，５間でシート２の伸び景に
比例して上下動しシート２にテンションを加える中間ロ
ーラ４との組合せにより保護シート２の伸びを吸収させ
る伸び吸収機構を構成する。
第１図において、ロール状態で供給された保護シート２
と離型紙３とはローラガイド６を介して分離され、シー
ト２は支持ローラ５と中間ローラ４を介してゴムローラ
１に導かれ、また離型紙３は離型紙ガイド７を介してゴ
ムローラ１に導かれる・ゴムローラ１は駆動部（図示し
ない）に取付けられ、シート２と離型紙３との送りと同
時にウェハー８へのシート圧着を行う。支持ローラ５は
固定され、両者の間に配置した中間ローラ４は上下方向
に移動可能な軸に取付けら、シート２の伸び量に比例し
た量をモータにより下降させ、保護シート２の伸びを吸
収する。
と離型紙３とはローラガイド６を介して分離され、シー
ト２は支持ローラ５と中間ローラ４を介してゴムローラ
１に導かれ、また離型紙３は離型紙ガイド７を介してゴ
ムローラ１に導かれる・ゴムローラ１は駆動部（図示し
ない）に取付けられ、シート２と離型紙３との送りと同
時にウェハー８へのシート圧着を行う。支持ローラ５は
固定され、両者の間に配置した中間ローラ４は上下方向
に移動可能な軸に取付けら、シート２の伸び量に比例し
た量をモータにより下降させ、保護シート２の伸びを吸
収する。
以上説明したように本発明は保護シートと離型紙との分
離及び圧着の際に生じる保護シートの伸びを吸収するよ
うにしたため、シートと離型紙との間のウェハー挿入に
必要な空間を常に確保し、安定した稼動を行うことがで
きる効果を有するものである。
離及び圧着の際に生じる保護シートの伸びを吸収するよ
うにしたため、シートと離型紙との間のウェハー挿入に
必要な空間を常に確保し、安定した稼動を行うことがで
きる効果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例を示す側面図、第２図（α）
は従来の方式の概略を示す側面図、第２図（ｂ）は従来
の方式の概略を示す見取図である。 ｌ・・・ゴムローラ、２・・・シート、３・・・離型紙
、４・・・中間ローラ、５・・・支持ローラ、６・・・
ローラガイド、７・・・離型紙ガイド、８・・・ウエノ
・−第１図 第２図（ａ）
は従来の方式の概略を示す側面図、第２図（ｂ）は従来
の方式の概略を示す見取図である。 ｌ・・・ゴムローラ、２・・・シート、３・・・離型紙
、４・・・中間ローラ、５・・・支持ローラ、６・・・
ローラガイド、７・・・離型紙ガイド、８・・・ウエノ
・−第１図 第２図（ａ）
Claims (1)
- （１）一体に重ね合された保護シートと離型紙とを一旦
分離し、その両紙間にウェハーを挿入し、再び一体に重
ね合せてウェハーを保護シートと離型紙とではさみ込む
装置において、離型紙から分離される保護シートの経路
に、ウェハーを挿入した後ふたたび重ね合せる際に生じ
る保護シートの伸びを吸収させる伸び吸収機構を設けた
ことを特徴とするウェハ保護シート貼付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18760985A JPH0615380B2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 | ウエハ保護シ−ト貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18760985A JPH0615380B2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 | ウエハ保護シ−ト貼付装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6251561A true JPS6251561A (ja) | 1987-03-06 |
| JPH0615380B2 JPH0615380B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=16209103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18760985A Expired - Lifetime JPH0615380B2 (ja) | 1985-08-27 | 1985-08-27 | ウエハ保護シ−ト貼付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0615380B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0384949A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-10 | Nitto Denko Corp | ウエハと粘着テープの貼り合わせ方法 |
| WO2006100931A1 (ja) * | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Lintec Corporation | フイルム貼付装置、およびフイルム貼付方法 |
| WO2006100932A1 (ja) * | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Lintec Corporation | 巻取装置、および巻取方法 |
| JP2009029572A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 材料供給装置およびこれを用いた積層板の製造装置 |
| JP2009126672A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 材料供給装置およびこれを用いる積層板の製造装置 |
| JP2009126671A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 材料供給装置およびこれを用いる積層板の製造装置 |
| JP2009154999A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 材料供給装置およびこれを用いる積層板の製造装置 |
-
1985
- 1985-08-27 JP JP18760985A patent/JPH0615380B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0384949A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-10 | Nitto Denko Corp | ウエハと粘着テープの貼り合わせ方法 |
| WO2006100931A1 (ja) * | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Lintec Corporation | フイルム貼付装置、およびフイルム貼付方法 |
| WO2006100932A1 (ja) * | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Lintec Corporation | 巻取装置、および巻取方法 |
| JP2006264895A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Lintec Corp | 巻取装置、および巻取方法 |
| JP2006269723A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Lintec Corp | フイルム貼付装置、およびフイルム貼付方法 |
| JP4656634B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2011-03-23 | リンテック株式会社 | フイルム貼付装置、およびフイルム貼付方法 |
| JP2009029572A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 材料供給装置およびこれを用いた積層板の製造装置 |
| JP2009126672A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 材料供給装置およびこれを用いる積層板の製造装置 |
| JP2009126671A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 材料供給装置およびこれを用いる積層板の製造装置 |
| JP2009154999A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 材料供給装置およびこれを用いる積層板の製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0615380B2 (ja) | 1994-03-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101661294B1 (ko) | 주름 및 에어포켓 방지형 연단기 및 그 연단방법 | |
| KR101300494B1 (ko) | 테이프 첩부 장치 및 첩부 방법 | |
| US4050361A (en) | Plow folding and heat sealer apparatus for continuous business forms | |
| EP1326266B1 (en) | Protective tape applying and separating method | |
| JP3197351B2 (ja) | 薄片状ストリップからハニカムコアを製造する方法、その方法を遂行するための装置、およびハニカムコアを有する複合板材を連続的に製造するための装置の用法 | |
| US5810967A (en) | Method and apparatus for an improved roller system for calender machines | |
| JPS6251561A (ja) | ウエハ保護シ−ト貼付装置 | |
| JPH0233062A (ja) | テープ張付け方法および装置 | |
| ITMI20012454A1 (it) | Dispositivo per l'immagazzinamento e lo svolgimento di rulli di materiale in macchine per legatoria | |
| US8500057B2 (en) | Method and apparatus for threading a fibrous material web in a winder | |
| CN116374719A (zh) | 一种双面胶辊贴机 | |
| KR20230008266A (ko) | 파우치형 이차전지 테이핑 장치용 테이프 공급 유닛 | |
| US1995077A (en) | Method for making corn plasters | |
| CN108609422A (zh) | 放卷不停机接纸工艺及装置 | |
| JP2882750B2 (ja) | 紙葉類大束結束機 | |
| JP2003200494A (ja) | 基板にフィルムをラミネートする方法およびラミネータ | |
| JP2793782B2 (ja) | シート積層体のふち切り装置 | |
| KR102505163B1 (ko) | 파우치형 이차전지 테이핑 장치용 테이프 공급 유닛 | |
| CN217123265U (zh) | 一种干膜分切机用导料结构 | |
| CN213415742U (zh) | 一种自动送收卷张紧装置及烫金机 | |
| CN116002444A (zh) | 一种双面胶辊贴方法 | |
| JPH052519Y2 (ja) | ||
| JPH08282625A (ja) | 包装装置 | |
| JP3629980B2 (ja) | 積層体製造用積層ブロックの作製方法及びその装置 | |
| JPH033400Y2 (ja) |