JPS62500744A - 能動マトリクスデイスプレイスクリ−ン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 能動マトリクスディスプレイスクリーン本発明は、能動マトリクスディスプレイ スクリーンに関し、より詳細には、２重アドレッシング能動マトリクスディスプ レイスクリーンに関するものである。

能動マトリクスディスプレイスクリーンは支持体の表面すべてにわたって分布さ れたメモリ点のモザイクにより形成されるデバイスである。これらのメモリ点は 像が表示される時間中ビデオ信号を記憶する。電子変換器（例えば液晶）は各メ モリ点と接触している。この変換器は像の存続時間にわ之って付勢されるが、電 子メモリを持たない装置において、変換器はその点が付勢される時間についての み作動される。したがって光学的作用およびマルチプレキシング率が改善される 。

薄膜トランジスタ（以下ＴＰＴと呼ぶ）はこの種のデバイスの実行に良く適合さ れる。各メモリ点はその場合にアドレッシング列および行の交点に置かれそして アドレッシングＴＰＴおよびコンデンサからなる。変換器が液晶であるときコン デンサ板は液晶セルの電極自体からなる。しｔがってメモリ点はＴＰＴおよびそ の一方の板が液晶を収容するセルの一壁に蒸着された電極によって形成されるコ ンデンサに減少される。他の板はセルの地壁に配置され之対向電極からなる。

このような構造は第１図に示される。一方で、導電性列１２および導電性行１４ を支持する下方壁１０、ＴＦＴ２０およびトランジスタ電極２２および他方で、 また透明である対向電極２６によって被覆され友上方壁２４が見られる。

この種のデバイスは以下の方法でアドレスされる。行１ｄ　Ｔ　Ｆ　Ｔ　ｆオン するのに必要とされるグリッド電圧に対応する電位で結果として付勢される。

この電位が行に印加される限りにおいてはビデオ信号は種々の列に連続して印加 され、その作用は行中のすべての表示点（マ之ハビクセル）を励起することであ る。１つの行の付勢が一旦行なわれると次の行の付勢が開始される。

し之がって像は一点一点表示され、各点は各ピクセルのコンデンサ構造によって 受容される励起のメモリ全保持する。電荷の損失はアドレッシングトランジスタ がオフされるときこれを流れる漏洩電流から単に結果として生じる。しかしなが らこのトランジスタの等価抵抗はこの作用が事実上影響ないように一般に非常に 高い（１０オーム）。

ＴＰＴおよびコンデンサを使用する能動マトリクスを製作する方法は多数知られ ている。第２図は、例として、１９８１年に［アプライド・フイジツクスｊ、２ ４，３５７〜３６２に発表された「アドレス可能な液晶表示パネルへのアモルフ ァスシリコン電界効果トランジスタの応用」と題する論文においてニー・ジエイ 拳スネル等によって記載された技術を示す。ＴＰＴは絶縁基板６０上に蒸着され たクロムからなるグリッドＧ１アモルファスシリコン（ａＳｉ）からなる層６４ 、ドレインＤおよびアルミニウムソースＳによって形成される。コンデンサの下 方板はスズおよびインジウム酸化物からなる層によって形成される。ＴＰＴおよ び板との間の接続は接触ホール４２を使用する耳片４０によって延長されるドレ インＤによってなされる。回路全体はマ）　ＩＪクス形状に配列された複数のこ のような構造から作られる。グリッドｏＨ接続行４４およびソースの列４６から なる。

前記と異なる他の公知の製作技術において、ＴＰＴは下方部にそのソースとドレ イン接点をかつその上方部にそのグリッドを有する。この技術は「工ＦＥＥ議事 録」、１９８０年１０月の第６８「アモルファスシリコン集積回路」と題する論 文においてエヌ・マツムラ等によって記載されている。

他の公知の製造方法は、上述しｔ２つの方法における場合のように、５または６ 以上よりむしろ２つのレベルのマスキングのみを必要とするトイう意味において 前述した２つの方法より有効でちる。この技術は「薄膜トランジスタおよびコン デンサを基覧とした電子回路の製造方法」と題する公告され几フランス特許第２ ，５３３，０７２号に記載されている。

この方法の種々の作業は得られるスクリーンの種々の中間状態を示す第６図に示 されている。これらの作業は以下の通りである。すなわち、例えば、物理化学的 洗浄により、商標コーニング７０５９によって市販されるようなガラス基板１０ ０を調製し、 透明導電性材料、例えばスズおよびインジウム酸化物からなる層１０２を蒸着し く、）、層１０２を列１０４および突起１０８″ｆ：、持つパッド１０６に形成 すべくフォトエツチングしくｂ）、水素化したアモルファスシリコンからなる層 １１０、シリカ層１１２およびアルミニウム層１１４全蒸着し、各蒸着作業は約 ２５０℃（またはＣＶＤプラズマ技術が使用されるならばより高い）の温度で行 なわれ（Ｃ）、 突起１０８に重なり合う行１１６を画成すべくフォトエツチングしかつＴＰＴ’ ｉ画成しくｄ）、＄１０　からなる層を蒸着する全体のノくツシベーションかも なる。

この種の技術を使用すると、ＴＦＴｆ１行１１６および列１０４の重複区域に集 中される。ソースおよびドレインはそれぞれ突起１０８および行１１６の下に置 かれ九列１０４の部分からなり、制御グリッドは突起１０８と列１０４との間に 配置された行１１６の部分からなる。

能動マトリクスを製造するためのこれらすべての方法においては各表示点につい てアドレッシング列とピクセルを画成する電極との間を接続する単一のアドレッ シングトランジスタが存することが記憶されねばならない。

このようなデバイスは幾つかの点において適切であるけれども、それにも拘らず 、それらは幾つかの列が微小スクラッチによって破壊されるかも知れないという 事実に関した欠点を有する。結果として、ピクセルの列の全部または一部がアド レスされることができない。これは結果として、とぐに目に不快な、ディスプレ イの型式に依存して白背景上への黒線ま念は黒背景上への白線の出現を生じる。

本発明の目的はこの欠点を軽減することにある。

このため、本発明はピクセル当り１つではなく２つのアドレッシングトランジス タの使用を要求し、２つのトランジスタは隣接する行および列に接続される。

より正確には、行Ｌｎおよび列ＣｐにアドレッシングトランジスタＴｍ、ｐによ って普通に結合される電極Ｐｍ＊ｐ！また、Ｔｎ＋１　、’ｐ＋１で示される第 ２のトランジスタによって次の行Ｌ　ｎ　−）−１および次の列ｃｐ＋ｉに接続 される（この表記においてｎおよびｐは、ＮおよびＰがディスプレイ中の行およ び列の数である場合に、１とＮおよびＰとの間の整数である）。

この配置の利点はアドレッシング列の１つが破壊されたとしてもそれにも拘らず ピクセルは他の列によって励起されることができるということである。利用でき ないようなどクセルについては、したがってその統計的な可能性が非常に低い、 同必要となる。

この配置はとにかぐディスプレイスクリーンを製造する方法を複雑にしない。そ の配置はその幾つかが簡単に前述された公知の方法のいずれかに。

おいて各コンデンサについて第２のＴＰＴ’ｉ設けることで十分である。

第２のＴＰＴの存在はもちろん、従来技術におけるような行Ｌｎおよび列ｃｐに 対応する励起を記憶するよりむしろ励起され乏点Ｐｎ、ｐが行Ｌ　ｎ　＋　１お よび列：ｐ＋１に対応する受容され之最後の励起（この場合に、破壊がないなら ば、第２の励起）を記憶するという意味において各ピクセルをアドレスする方法 を僅かに変更する。多くの場合において、この変更はこれが単に１つの行間隔お よび１つの列間隔だけ表示された像を移動するのに等しいので重要ではない。

本発明の特徴は限定されない単なる説明例として付与される本発明の実施例につ いての以下の説明からより良好に明らかとなる。

第１図は能動マトリクスディスプレイスクリーンを示す概略図、 第２図は公知の能動マトリクスの製造方法を示す概略断面図、 第６図（ａ）　、　（ｂ）　、　（ｃ）　、　（ｄ）は他の公知の能動マトリク スの製造方法を示す概略断面図、 第４図は本発明によるディスプレイスクリーンの動作原理を説明する概略図、 第５図はこの種のスクリーンの代表的な実施を示す断面図である。

第４図（・ス本発明による能動マトリクスディスプレイスクリ−′ンの動作原理 を略示する。この図は並びｎおよびｎ＋１の２つのアドレッシング行および並び ｐおよびｐ＋１の２つの列のみを示す。

これらの行および列はＬｎ　ｊ　Ｌｎ＋１およびｃ　ｐ。

Ｃｐ　＋　１で示される。表示点は２重の添え字で表わされ、第１はそれに重な る行にかつ第２はそれに先行する列に関する。かくして、Ｐｍ、ｐで示される表 示点また：はビクセル（画素）は行Ｌｎの下にかつ列Ｃｐの右方に置かれｈ点で ある。

同一の決まりが表示点を行Ｌｎおよび列Ｃｐに接続するアドレッシングトランジ スタＴｎ、ｐにも使用される。

本発明によれば、各表示点Ｐｎ、ｐは２つのアドレッシングトランジスタ、すな わちこれｆ　Ｌ　ｎに接続する第１のトランジスタＴｎ、ｐおよびこれをＬｎ＋ １およびＣｐ＋１に接続する第２のトランジスタＴｎ＋１．ｐ＋１に接続される 。

アドレッシングは以下の方法で行なわれる。行Ｌｎが能動であるとき、”ｍｐは 列ｃｐが適当なビデオ信号を受信するときＴｎ、ｐを介して励起される。しかし ながら、Ｐ　ｎｘ　ｐは行Ｌｎ＋１が能動でありかつ列Ｃｐ＋１がビデオ信号を 受信する２回目に励起される。それゆえ最後に記憶される第２の励起である。し たがって最終分析において、Ｐｎ、ｐにおいて表示された情報が実際に従来のデ バイスにおいて、Ｐｎ＋１．１）＋１において表示される情報であるので、２つ の隣接行および隣接列によって設定された正方形の対角線に等しいベクトルによ り像の変形を生じる。

２つの列Ｃｐまたはｃｐ＋ｉの１つが破壊されるならば、点Ｐｎ、ｐはそれにも 拘らず完全である２つの列の点によって励起される。

幾つかの場合においてスクリーンの列は、それがスクリーンの頂部にまたは底部 に位置される接続によってアドレッシング回路に交互に接続される意味において 、インターリーブされても良い。

２つのアドレッシング装置半休の一方に隣接する２つの列は実際に全部の装置に 隣接しない。これは、例えば列Ｃｎ＋１．Ｃｎ＋３またはＣｎおよびＣｎ　＋　 ２に適用される。この場合に２つの隣接する列の破壊の作用は除去される。

上述し友方法のいずれもビクセル当り１つのトランジスタに代えて２つのトラン ジスタを備えてなる変更をもって、本発明によるディスプレイスクリーンを製造 するのに使用されることができる。

好都合な実施例において２つのマスキングレベルのみを必要とする上述した最後 の方法を使用するのが好ましい。この場合にマトリクスは第５図に示された形状 力）らなる。符号は既述したフランス特許第２，５３３，０７２号に使用された 符号を使用する。

各表示点は２つの隣接列１１４に沿って延びかつ２つの隣接行１１６の下にある ２つの突起１０８と１０８”ｋ有する長方形のバンド１０６からなる。

第１のアドレッシングトランジスタは行１１６および列１１４と第１の突起１０ ８との重複区域にある。第２のトランジスタは次の行および第２の突起１０８＊ と次の列との間の重複区域にある。

ＡＮＮＥＸ　Ｔｏ　ＴＨＥ　ＩＮＴＥＲ）ＩＡＴＩＯＮＡＬ　５ＥＡＲＣＨｌ’ １ｌＪＯＲＴ　ＯＮ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）多数の表示点、およびこれらの点の間のアドレッシング行およびアドレツ シング列からなるマトリクスからなり、各点が薄膜トランジスタによつて行およ び列に接続されている能動マトリクスデイスプレイスクリーンにおいて、各点が さらに第２のトランジスタによつて次の行および次の列に接続されることを特徴 とする能動マトリクスデイスプレイスクリーン。
2. （２）各表示点がこの点に対応するアドレツシング行の下に挿入される突起に接 合されかつこの点に対応するアドレツシング列の近傍に延びる導電性材料の長方 形パツドからなり、各点のアドレツシングトランジスタは対応するアドレツシン グ行とこの突起および対応する列との間の重複区域に配置され、前記長方形パツ ドが前記次のアドレツシング行の下に挿入されかつ前記次のアドレツシング列の 近傍に延びる第２の突起からなり、第２のアトレツシングトランジスタが同一ア ドレツシング点に関して、前記次の行と、前記第２の突起および前記次の列との 間の重複区域に形成されることを特徴とする、請求の範囲第１項に記載の能動マ トリクスデイスプレイスクリーン。