JPS6236943B2 - - Google Patents

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JPS6236943B2
JPS6236943B2 JP56050982A JP5098281A JPS6236943B2 JP S6236943 B2 JPS6236943 B2 JP S6236943B2 JP 56050982 A JP56050982 A JP 56050982A JP 5098281 A JP5098281 A JP 5098281A JP S6236943 B2 JPS6236943 B2 JP S6236943B2
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Nobutoshi Ookami
Takeshi Takada
Mikio Shoda
Yasuhiro Kurata
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
    • B65G47/24—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles
    • B65G47/244—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles by turning them about an axis substantially perpendicular to the conveying plane

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Structure Of Belt Conveyors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は円形シート状材料を搬送し位置決め
し、把持して回転を行なうための装置に係る。
〔従来の技術〕
真円またはほぼ真円の円形シート状材料を所定
の位置へ搬送し、ここでこの材料を把持し、回転
させつつ、適宜の処理をこの材料に施す場合にお
いて、この材料が真円状であるため位置決めを機
械的な手段で自動的に行なうのが難しいことがあ
る。例えば、集積回路製造のための基板、すなわ
ち、シリコンウエハー等の場合に、上記処理装置
内部での材料把持及び回転を行なう装置として、
真空吸引式のものが知られている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
この装置では材料裏面を真空ないし高度の減圧
で強く吸引することから、特に正確に位置決めし
なくとも数100rpm程度の回転を材料に与え得
る。しかし、この回転機構軸の中に減圧管を挿通
せねばならず、構造が複雑化するほか、腐食作用
を有する表面処理液が、この材料の表面へ噴射さ
れるときは前記減圧管路、真空ポンプ等が早期に
損耗するという問題があつた。
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので
あり、円形シート状材料を所定位置へ搬送し、搬
送と同時に位置決めし、位置決め手段を把持手段
としても兼用して回転させるよう構成した装置を
提供するものである。
〔問題点を解決するための手段〕
この装置は、搬送部と、位置決め把持部とから
なる。特に位置決め把持部は後述の如く真空吸引
以外の全く新規な構造を有するものである。
前記の搬送部は、円形シート状材料の直径より
小さい間隔をおいて、２条のベルト、チエーン等
の紐状体を平行に配し、これを正転のみ又は、正
逆転切換可能に駆動するよう構成されている。一
方、位置決め把持部は、回転駆動機構に連結され
た軸に支持され昇降自在で前記紐状体の間隔より
一方の幅が狭い回転基盤に、高低２種の突起を立
設したものである。これらの突起は前記円形シー
ト状材料の直径よりわずかに大きい直径の円周上
に、すなわち円形シート状材料の外周に外接し、
しかも平行な２条の紐状体の間に立設されてい
る。この円周の中心は両紐状体から等距離とする
とともに、高低２種の突起は高い方は円形シート
状材料の排出側に少なくとも２個、低い方は円形
シート状材料の受け入れ側に少なくとも１個以上
とし、それぞれ紐状体の方向と直交する方向に分
けて立設してある。
尚、望ましくは、２個の高い方の突起を、それ
ぞれ紐状体のできるだけ近く、しかもほぼこの紐
状体から等距離となるように配置することと、低
い方の突起を２個とした場合は回転基盤の中心点
に関して前記の高い方の突起とほぼ点対称となる
個所に配置することである。上記の２種の突起
を、いずれか、またはいずれも３個以上とすると
きは、上記した２個の間に適宜配設すればよい
が、これらは円形シート状材料の外周の少し外側
になければならない。また低い方の突起の距離は
円形シート状材料の直径よりは短くなければなら
ない。かつ、円形シート状材料の外周の少し外側
になければならない。さらには低い方の突起は望
ましくは頭部を球状またはテーパをつけたものの
方が円形シート状材料が高低突起間にはまり込み
やすいことはいうまでもない。
〔作用〕
この発明の装置の作動は、次の如くに制御され
るものである。
まず、搬送部が正転のみのときは、位置決め把
持部の突起付の回転基盤の高さが「高」、「中」、
「低」の３段階に切換えできることが望ましい。
円形シート状材料が搬送部供給端側で、その紐状
体に載せられて、位置決め把持部へ向かつて進行
中の状態にあつては、前記回転基盤の高さが
「中」位にあり、高い方の突起だけが紐状体より
も上方へストツパーとして突出した状態におかれ
る。円形シート状材料が、この高い突起に当接し
たことを適宜手段で検知し、回転基盤が「高」位
へ上昇させられ、これによつて低い方の突起も円
形シート状材料を包囲する高さとなる。尚、前記
の円形シート状材料の供給から突起に当接される
までに、この円形シート状材料が紐状体上で搬送
時にやや側方へ変位していたとしても、この当接
時の衝撃で自動的に芯出しが行なわれることとな
る。かくして、この円形シート状材料の外周縁は
全ての突起が形成する円周の中に正確に位置し、
この外周縁と各突起とはその間に殆ど空隙のない
十分に近接した状態になるとともに、基盤上面の
材料載置面に受支された円形シート状材料が、紐
状体から離れ、その上方に位置する。この状態の
円形シート状材料に所要の処理が施される。そし
て位置決め把持部に、回転基盤を回転させる機構
が設けてあるから、円形シート状材料に回転運動
を与えることができる。
このようにして処理ないし加工が終了すれば、
回転基盤は「低」の位置とされ、高い方の突起も
紐状体の下方へ降りるので、円形シート状材料は
紐状体に再び受支され、再び駆動開始、または駆
動継続中の紐状体に乗つた状態で送出端へ向かつ
て搬送される。このあと、回転基盤の高さが再び
「中」位へ復帰させられて１サイクルが完結す
る。以下、同様にこのサイクルが反復される。
搬送部の紐状体が正逆両方向への駆動を切換可
能とされている場合においては、位置決め把持部
の回転基板高さの制御は、上記「高」、「中」、
「低」のうち「高」、「中」のみでよい。このとき
の１サイクルは、搬送部正転、把持部上昇、処
理、把持部下降、搬送部逆転の順となり、これを
反復することとなる。また、把持部は、搬送部か
ら円形シート状材料が受け入れる際には低い方の
突起が搬送部供給側を向き、搬送部へ円形シート
状材料を排出する際には低い方の突起が搬送部排
出側を向くようにしたときにも、把持部の基盤高
さの制御は、「高」、「中」のみでよい。このとき
の１サイクルは、搬送部正転、把持部上昇、処
理、把持部下降、搬送部正転の順となり、これを
反復することとなる。
上記の各種制御のための具体的手段としては、
マイクロスイツチ、光電管等の検出器のほか、マ
イクロコンピユータ等の電子回路、シーケンス制
御回路等の電気回路などを適宜利用することがで
きる。
〔実施例〕
以下、図に示した実施例について、本件発明を
さらに詳しく説明する。
搬送部１０は、軸１１上の一対の駆動プーリ１
２，１２と、軸１３上の一対の逆転プーリ１４，
１４との間に平行に掛け渡された一対の紐状体１
５，１５を、矢印Ｃ方向への駆動と停止とを可能
に備えたものである。紐状体は例えば丸断面のコ
ムベルトである。
一方、位置決め搬送部２０は、回転基盤２１、
これを支持する軸２２、この軸線方向に同心状に
固定した広幅ギヤ２３、これを咬合する回転駆動
ピニオン２４、カツプリング２５を介して下方へ
延設した軸２２′、この表面は刻設したラツク部
２６、及びこれと咬合する昇降駆動ピニオン２７
等で構成されている。
前記カツプリング２５は、軸２２，２２′を相
対回転自在に同一軸線上に連結すべく、それぞれ
の拡径部２２Ａ，２２A′を２つ割の内向フラン
ジ付きの筒状片２８で挟さみ、ねじ２９で離脱不
能に止着したものである。
したがつて、上方の軸２２は矢印Ｔ方向の回転
と、矢印Ｌ方向の昇降が可能であり、広幅ギヤ２
３がこの昇降ストロークに見合つた幅を有するた
め該ギヤは常時ピニオン２４と咬合状態にある。
下方の軸２２′は矢印Ｌ方向の昇降のみ可能であ
る。軸２２を回転自在に、また、軸２２′を回転
不能に、それぞれ支承する軸受、及び駆動プーリ
１２とピニオン２４，２７への入力部分の詳細、
並びに位置制御手段に詳細等は図示を省略してあ
る。
次に、この例示装置の作動を説明する。
第１図左手の供給端にその対向端縁部分M′，
M′が載せられ、同図右手の送出端に向かつて
（Ｃ方向）紐状体１５，１５上を搬送される円形
シート状材料Ｍが、前記「中」位置の回転基盤２
１上の高い方の一対の突起３０，３０に当接して
自動的に中心合わせが行なわれると同時に、紐状
体が停止する。この状態を第３図に示す。ついで
ピニオン２７が回転し、軸２２が上昇させられ、
基盤が「高」位置となりその下面が紐状体１５を
含む平面より高くなる。
このあと必要に応じピニオン２４が駆動され
て、高い突起３０，３０と低い突起３１，３１に
包囲された基盤肩部３２，３２上の円形シート状
材料に回転運動が与えられる。肩部表面は適度に
粗面化され、回転の際に円形シート状材料がすべ
るのを防いでいる。この状態で円形シート状材料
表面へ薬液噴霧等の回転表面処理が行なわれ、こ
れが終了すると、回転停止、「低」位置へ基盤下
降、紐状体再駆動、及び「中」位置への基盤上昇
に順に自動操作され、該円形シート状材料は系外
へ送り出されて１サイクルが完了するのである。
以下これを反復する。
この発明は上記例のみには限定されず、これに
種々の付加、改変をなしうることは前述した通り
である。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、搬送部から把
持部への移行に伴つて自づから芯出し作用が得ら
れるので、この発明装置は、円形シート状材料の
搬送部での載置が不正確であつても、回転基盤上
において自動的に芯出しがなされることから、そ
の載置作業が容易になるとともに、位置狂いによ
つて、円形シート状材料の回転表面処理を停止し
なければならない事態が解消される。また、円形
シート状材料であるかぎり穴の有無に関係なく位
置決めを行なうことがきる。さらに、円形シート
状材料を正確かつ簡単に位置決めすることがで
き、特にその所定位置で円形シート状材料を回転
させる際に、突起によつて円形シート状材料の外
周を把持するから、真空吸引などを必要としない
のである。また、自動運転が容易なことから、作
業能率の向上がもたらされるのみならず、腐蝕性
または有害な雰囲気の中で円形シート状材料を連
続的に表面処理する装置として極めて好適なもの
である。
【図面の簡単な説明】
図はこの発明の１実施例を示し、第１図は全体
斜視図、第２図は要部拡大断面図、第３図は作動
状態を示した略示平面図である。 １０……搬送部、１５……紐状体、２０……位
置決め把持部、２１……回転基盤、２２……軸、
２３……広幅ギヤ、２４……回転駆動ピニオン、
２６……ラツク部、２７……昇降駆動ピニオン、
３０……高い突起、３１……低い突起。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ ２条の紐状体を平行に配置し、その上面に円
    形シート状材料を載せて駆動するよう構成した搬
    送部と、回転駆動機構に連結された軸に支持さ
    れ、前記２条の紐状体の間に配置され、該２条の
    紐状体の間隔よりその一方の幅が狭く、昇降自在
    の回転基盤で構成した把持部とからなり、把持部
    にて円形シート状材料を水平回転させる円形シー
    ト状材料の回転表面処理装置において、前記回転
    基盤上に高低２種の突起を、その低い突起が円形
    シート状材料の受け入れ側に少なくとも１個、排
    出側に高い突起が複数個となるよう、前記円形シ
    ート状材料の外周に外接する位置に立設して、円
    形シート状材料の中心合せのための位置決めと、
    円形シート状材料の回転表面処理時の把持とを兼
    用させたことを特徴とする円形シート状材料の回
    転表面処理装置。
JP56050982A 1981-04-03 1981-04-03 Conveyance positioning device of sheet material Granted JPS57166250A (en)

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US06/359,780 US4457419A (en) 1981-04-03 1982-03-19 Conveying/positioning apparatus for sheet material

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