JPS6224933Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6224933Y2 JPS6224933Y2 JP1980150733U JP15073380U JPS6224933Y2 JP S6224933 Y2 JPS6224933 Y2 JP S6224933Y2 JP 1980150733 U JP1980150733 U JP 1980150733U JP 15073380 U JP15073380 U JP 15073380U JP S6224933 Y2 JPS6224933 Y2 JP S6224933Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- sample
- deflection coil
- objective lens
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は透過電子顕微鏡にX線分析装置を付加
した装置の改良に関する。
した装置の改良に関する。
近年、透過電子顕微鏡の対物レンズによる強磁
場内に試料を配置し、該試料に電子線を照射する
ことにより該試料から発生したX線をエネルギー
分散型のX線検出器によつて検出し、該試料のX
線分析を可能となしている。ここで試料から発生
するX線を対物レンズの上磁極片に穿たれた電子
線通過孔から検出する場合には、検出効率を上げ
るためにX線検出器は対物レンズの上磁極片に接
近して設置される。一方対物レンズの上磁極片付
近には試料の前方に形成される対物レンズの前方
磁場と組み合わされて電子線を試料上で二次元的
に走査させるための偏向磁場を発生させる偏向コ
イルが配置される。
場内に試料を配置し、該試料に電子線を照射する
ことにより該試料から発生したX線をエネルギー
分散型のX線検出器によつて検出し、該試料のX
線分析を可能となしている。ここで試料から発生
するX線を対物レンズの上磁極片に穿たれた電子
線通過孔から検出する場合には、検出効率を上げ
るためにX線検出器は対物レンズの上磁極片に接
近して設置される。一方対物レンズの上磁極片付
近には試料の前方に形成される対物レンズの前方
磁場と組み合わされて電子線を試料上で二次元的
に走査させるための偏向磁場を発生させる偏向コ
イルが配置される。
そこで面分析を行なうために偏向コイルに走査
信号を供給して試料上の一定領域を電子線で走査
させた場合、偏向コイルからの動磁場がX線検出
器に影響を及ぼすことが判明した。これは以下の
ような理由によるものと思われる。即ち、前記エ
ネルギー分散型のX線検出器は、半導体検出部と
初段プリアンプはFET(電界効果トランジスタ
ー)等により構成されているが、前記偏向コイル
からの動磁場が前記半導体検出部を貫通すると、
前記半導体検出部にうず電流が発生し、このうず
電流に起因してゴーストピークを生じたり、又低
エネルギー部分のピークがカツトされる等の不都
合が生じるため、試料の同定を正確に行なうこと
ができなくなる。
信号を供給して試料上の一定領域を電子線で走査
させた場合、偏向コイルからの動磁場がX線検出
器に影響を及ぼすことが判明した。これは以下の
ような理由によるものと思われる。即ち、前記エ
ネルギー分散型のX線検出器は、半導体検出部と
初段プリアンプはFET(電界効果トランジスタ
ー)等により構成されているが、前記偏向コイル
からの動磁場が前記半導体検出部を貫通すると、
前記半導体検出部にうず電流が発生し、このうず
電流に起因してゴーストピークを生じたり、又低
エネルギー部分のピークがカツトされる等の不都
合が生じるため、試料の同定を正確に行なうこと
ができなくなる。
本考案は斯様な欠点を解決することを目的とす
るもので、以下図面に基づき詳説する。
るもので、以下図面に基づき詳説する。
第1図は本考案の一実施例装置要部の概略を示
すものである。図中1及び2は夫々対物レンズの
上磁極片と下磁極片で光軸Zに関して対称な形状
の電子線通過孔3,4が夫々穿たれており、又該
上磁極片と下磁極片とは非磁性体製のスペーサー
5により一体化されている。更に該上磁極片1と
下磁極片2との間の略中央には試料6が設置され
ている。通常の対物レンズは強励磁で使用される
ため、試料の前方に形成される対物レンズの前方
磁場が試料を照射する電子線に対する最終段の集
束レンズとして機能し、試料の後方に形成される
対物レンズの後方磁場が本来の対物レンズの機能
を果すことになる。7は対物レンズの磁路を構成
するヨークである。
すものである。図中1及び2は夫々対物レンズの
上磁極片と下磁極片で光軸Zに関して対称な形状
の電子線通過孔3,4が夫々穿たれており、又該
上磁極片と下磁極片とは非磁性体製のスペーサー
5により一体化されている。更に該上磁極片1と
下磁極片2との間の略中央には試料6が設置され
ている。通常の対物レンズは強励磁で使用される
ため、試料の前方に形成される対物レンズの前方
磁場が試料を照射する電子線に対する最終段の集
束レンズとして機能し、試料の後方に形成される
対物レンズの後方磁場が本来の対物レンズの機能
を果すことになる。7は対物レンズの磁路を構成
するヨークである。
8は前記対物レンズの前方磁場と組み合わされ
て電子線を試料6上で二次元的に走査させるため
の偏向コイルで、該偏向コイルはヨーク7に固定
された例えばステンレス鋼や青銅の如き非磁性金
属製のコイル枠9により対物レンズの前方磁場に
よるレンズの前焦点面或いはその近傍に設置され
ている。
て電子線を試料6上で二次元的に走査させるため
の偏向コイルで、該偏向コイルはヨーク7に固定
された例えばステンレス鋼や青銅の如き非磁性金
属製のコイル枠9により対物レンズの前方磁場に
よるレンズの前焦点面或いはその近傍に設置され
ている。
10は前記試料6に電子線が照射されることに
より発生するX線の内、前記上磁極1の電子線通
過孔3を通過したX線Xを検出するため半導体よ
り成るエネルギー分散型X線検出器で、該X線検
出器は検出効率を上げるために前記偏向コイル8
に接近して設置されている。
より発生するX線の内、前記上磁極1の電子線通
過孔3を通過したX線Xを検出するため半導体よ
り成るエネルギー分散型X線検出器で、該X線検
出器は検出効率を上げるために前記偏向コイル8
に接近して設置されている。
11は前記偏向コイル8によつて形成される磁
場がX線検出器10に及ぶのを防止するための例
えばパーマロイの如き磁性体で形成された磁気シ
ールド板で、コイル枠9に固定されており、又該
磁気シールド板の中央部には電子線及びX線を通
過させるための穴12が形成してある。尚X線検
出器10の前方には図示しないが、コリメーター
が設置されている。
場がX線検出器10に及ぶのを防止するための例
えばパーマロイの如き磁性体で形成された磁気シ
ールド板で、コイル枠9に固定されており、又該
磁気シールド板の中央部には電子線及びX線を通
過させるための穴12が形成してある。尚X線検
出器10の前方には図示しないが、コリメーター
が設置されている。
斯様な構成となせば、偏向コイル8から発生し
て上方に漏洩する磁場は磁気シールド板11によ
つてシールドされるため、X線検出器10に到達
しない。そのためX線検出器は偏向コイルによる
動磁場の影響を受けることがなくなるので、従来
のように本来あつてはならないゴーストピークを
生じたり、又低エネルギー部分のピークがカツト
されることがなくなり、試料の同定を正確に行な
うことができる。
て上方に漏洩する磁場は磁気シールド板11によ
つてシールドされるため、X線検出器10に到達
しない。そのためX線検出器は偏向コイルによる
動磁場の影響を受けることがなくなるので、従来
のように本来あつてはならないゴーストピークを
生じたり、又低エネルギー部分のピークがカツト
されることがなくなり、試料の同定を正確に行な
うことができる。
尚前述の説明では偏向コイル8の上方のみに磁
気シールド板を設置したが、これに限定されるこ
となく第2図に示すように穴13を有した断面コ
の字状の磁気シールド板14を設置することによ
り偏向コイル8の上方及び側面をシールドするよ
うに構成してもよい。
気シールド板を設置したが、これに限定されるこ
となく第2図に示すように穴13を有した断面コ
の字状の磁気シールド板14を設置することによ
り偏向コイル8の上方及び側面をシールドするよ
うに構成してもよい。
又1段の偏向コイル8を対物レンズの前方磁場
によるレンズの前焦点面に設置した場合を示した
が、2段の偏向コイルをX線検出器10の上方に
設置し、2段の偏向コイルによつて常に電子線を
対物レンズの前方磁場によるレンズの前焦点を通
るように偏向させるように構成した場合において
も偏向コイルの下方に磁気シールド体を設置すれ
ばよい。
によるレンズの前焦点面に設置した場合を示した
が、2段の偏向コイルをX線検出器10の上方に
設置し、2段の偏向コイルによつて常に電子線を
対物レンズの前方磁場によるレンズの前焦点を通
るように偏向させるように構成した場合において
も偏向コイルの下方に磁気シールド体を設置すれ
ばよい。
第1図は本考案の一実施例装置の要部を示す略
図、第2図は本考案の他の実施例を示す略図であ
る。 1:上磁極片、2:下磁極片、3及び4:電子
線通過孔、5:スペーサー、6:試料、7:ヨー
ク、8:偏向コイル、9:コイル枠、10:X線
検出器、11:磁気シールド板、12:穴。
図、第2図は本考案の他の実施例を示す略図であ
る。 1:上磁極片、2:下磁極片、3及び4:電子
線通過孔、5:スペーサー、6:試料、7:ヨー
ク、8:偏向コイル、9:コイル枠、10:X線
検出器、11:磁気シールド板、12:穴。
Claims (1)
- 透過電子顕微鏡に用いられる対物レンズの上磁
極片と下磁極片との間隙内に設置される試料に電
子線を照射することにより発生するX線のうち上
磁極片の電子線通過孔を通過するX線を検出する
エネルギー分散型半導体X線検出手段と、前記試
料上の電子線照射位置を走査するための偏向コイ
ルとを備え、前記偏向コイルとエネルギー分散型
半導体X線検出手段との間に磁性体からなる磁気
シールド体を設けてなるX線分析装置を備えた電
子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1980150733U JPS6224933Y2 (ja) | 1980-10-22 | 1980-10-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1980150733U JPS6224933Y2 (ja) | 1980-10-22 | 1980-10-22 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5773858U JPS5773858U (ja) | 1982-05-07 |
JPS6224933Y2 true JPS6224933Y2 (ja) | 1987-06-25 |
Family
ID=29510084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1980150733U Expired JPS6224933Y2 (ja) | 1980-10-22 | 1980-10-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6224933Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10269536B2 (en) | 2015-03-25 | 2019-04-23 | Hitachi High-Technologies Corporation | Electron microscope |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS524747B2 (ja) * | 1972-11-22 | 1977-02-07 | ||
JPS5258355A (en) * | 1975-11-07 | 1977-05-13 | Hitachi Ltd | X-ray detecting unit for electronic microscope |
JPS53104152A (en) * | 1977-02-24 | 1978-09-11 | Hitachi Ltd | Electronic microscope |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS49150284U (ja) * | 1973-04-27 | 1974-12-26 | ||
JPS524747U (ja) * | 1975-06-24 | 1977-01-13 |
-
1980
- 1980-10-22 JP JP1980150733U patent/JPS6224933Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS524747B2 (ja) * | 1972-11-22 | 1977-02-07 | ||
JPS5258355A (en) * | 1975-11-07 | 1977-05-13 | Hitachi Ltd | X-ray detecting unit for electronic microscope |
JPS53104152A (en) * | 1977-02-24 | 1978-09-11 | Hitachi Ltd | Electronic microscope |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5773858U (ja) | 1982-05-07 |
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