JPS62235803A - 高周波発生器 - Google Patents
高周波発生器Info
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- JPS62235803A JPS62235803A JP62059091A JP5909187A JPS62235803A JP S62235803 A JPS62235803 A JP S62235803A JP 62059091 A JP62059091 A JP 62059091A JP 5909187 A JP5909187 A JP 5909187A JP S62235803 A JPS62235803 A JP S62235803A
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/04—Sources of current
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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- H05B6/02—Induction heating
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- Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)
- General Induction Heating (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子管発振器回路を具え、電子管グリッドが
この発振器回路の正帰還回路に接続され、電子管陽極が
直流電源に接続されている高周波加熱用高周波発生器に
関するものである。
この発振器回路の正帰還回路に接続され、電子管陽極が
直流電源に接続されている高周波加熱用高周波発生器に
関するものである。
本発明は特に、数キロワットから高メガワットまでの範
囲の工業システムの為の高周波発生器に関するものであ
る。工業的に用いられている高周波発生器はもっばら電
子管として通常の二極管を用いて動作せしめられている
。四極管も市販されてい゛るという事実にもかかわらず
、四極管は高周波発生器或いは誘導熱発生器に用いられ
ていない。
囲の工業システムの為の高周波発生器に関するものであ
る。工業的に用いられている高周波発生器はもっばら電
子管として通常の二極管を用いて動作せしめられている
。四極管も市販されてい゛るという事実にもかかわらず
、四極管は高周波発生器或いは誘導熱発生器に用いられ
ていない。
その理由は、同程度の電力値の場合、高周波発生器に四
極管を設けるよりも三極管を設ける方が可成り安くてす
む為である。
極管を設けるよりも三極管を設ける方が可成り安くてす
む為である。
本発明は、価格を比較する場合、発振器回路のみではな
く高周波発生器全体を考慮する必要があるという認識を
基に成したものである。
く高周波発生器全体を考慮する必要があるという認識を
基に成したものである。
二極管の極めて効率のよい電力制御にはサイリスク制御
器が必要であり、このサイリスク制御器は500ボルト
末での電圧に対してのみ簡単に設けうるにすぎない。し
かし、極めて効率良く用いる為には、このような同様な
三極管に必要とする電圧は10〜50KVであり、従っ
てサイリスク制御器の後に高電圧変圧器を設ける必要が
ある。
器が必要であり、このサイリスク制御器は500ボルト
末での電圧に対してのみ簡単に設けうるにすぎない。し
かし、極めて効率良く用いる為には、このような同様な
三極管に必要とする電圧は10〜50KVであり、従っ
てサイリスク制御器の後に高電圧変圧器を設ける必要が
ある。
サイリスク制御器を用いる結果として、既知の高周波発
生器の価格は、サイリスク制御器を省略しうるとした場
合よりも高くなるばかりではなく、更に工業的なシステ
ムにおいては殆どの場合サイリスク制御器の為に高電圧
整流器の出力端にフィルタを設ける必要性を生じ、この
フィルタは高価であるばかりではなく、ここに生じる高
電圧の為に大型である。この点で、プラズマの発生には
必然的に上述した種類のフィルタを用いる必要があるこ
とに注意すべきである。その理由は、フィルタを用いな
いと、プラズマ炎中のエネルギー変化により耳をつんざ
くような雑音を生じるおそれがある為である。
生器の価格は、サイリスク制御器を省略しうるとした場
合よりも高くなるばかりではなく、更に工業的なシステ
ムにおいては殆どの場合サイリスク制御器の為に高電圧
整流器の出力端にフィルタを設ける必要性を生じ、この
フィルタは高価であるばかりではなく、ここに生じる高
電圧の為に大型である。この点で、プラズマの発生には
必然的に上述した種類のフィルタを用いる必要があるこ
とに注意すべきである。その理由は、フィルタを用いな
いと、プラズマ炎中のエネルギー変化により耳をつんざ
くような雑音を生じるおそれがある為である。
本発明の目的は、サイリスク制御器を必要としない高周
波発生・器を提供せんとするにある。
波発生・器を提供せんとするにある。
本発明は、電子管発振器回路を具え、電子管グリッドが
この発振器回路の正帰還回路に接続され、電子管陽極が
直流電源に接続されている高周波加熱用高周波発生器に
おいて、この高周波発生器が、追加のグリッドを有する
電子管と、低電圧制御回路とを具え、この低電圧制御回
路は、高周波発生器の出力を設定するか或いは制御する
か或いはこれらの双方を行う為に前記の追加のグリッド
に接続されているか或いは、前記の正帰還回路に接続さ
れた前記の電子管グリッドに接続されており、この低電
圧制御回路が、正帰還回路に接続されている前記の電子
管グリッドに接続される場合には、前記の追加のグリッ
ドに設定電圧が印加されるようになっており、前記の直
流電源は非制御直流電源であることを特徴とする。
この発振器回路の正帰還回路に接続され、電子管陽極が
直流電源に接続されている高周波加熱用高周波発生器に
おいて、この高周波発生器が、追加のグリッドを有する
電子管と、低電圧制御回路とを具え、この低電圧制御回
路は、高周波発生器の出力を設定するか或いは制御する
か或いはこれらの双方を行う為に前記の追加のグリッド
に接続されているか或いは、前記の正帰還回路に接続さ
れた前記の電子管グリッドに接続されており、この低電
圧制御回路が、正帰還回路に接続されている前記の電子
管グリッドに接続される場合には、前記の追加のグリッ
ドに設定電圧が印加されるようになっており、前記の直
流電源は非制御直流電源であることを特徴とする。
追加のグリッドを有する電子管を本発明による高周波発
生器に設けると、この追加のグリッドに接続されるか或
いは、発振器帰還回路に接続されている電子管グリッド
に接続される低電圧制御回路において低制御電力で高周
波発生器の出力を制御できる。この低電圧制御回路は、
従来の高周波発生器における通常の二極管のグリッドに
接続された高電圧制御回路或いはチョッパの代わりに振
幅制御をおこなう。
生器に設けると、この追加のグリッドに接続されるか或
いは、発振器帰還回路に接続されている電子管グリッド
に接続される低電圧制御回路において低制御電力で高周
波発生器の出力を制御できる。この低電圧制御回路は、
従来の高周波発生器における通常の二極管のグリッドに
接続された高電圧制御回路或いはチョッパの代わりに振
幅制御をおこなう。
低電圧制御回路はその製造費が廉価であるばかりではな
く、一層大きく一層正確な制御範囲を得ることができる
。
く、一層大きく一層正確な制御範囲を得ることができる
。
ある場合には、高周波発生器を整流器を経て10KVの
高電圧主電源に接続することができる。
高電圧主電源に接続することができる。
本発明による高周波発生器の電子管グリッドに接続され
る低電圧制御回路には、例えば100ワツト程度の比較
的低い電力値用のトランジスタを設けることができ、こ
のトランジスタの制御電極には、高周波発生器から或い
はこれに接続された外部回路から生じる帰還信号と基準
信号との比較の結果の制御信号を供給しろる。
る低電圧制御回路には、例えば100ワツト程度の比較
的低い電力値用のトランジスタを設けることができ、こ
のトランジスタの制御電極には、高周波発生器から或い
はこれに接続された外部回路から生じる帰還信号と基準
信号との比較の結果の制御信号を供給しろる。
本発明による高周波発生器の出力は、従来の高周波発生
器と相違して、プラズマ発生分野に特に有利な100M
)!Zまでの周波数範囲内に容易に制御しうる。
器と相違して、プラズマ発生分野に特に有利な100M
)!Zまでの周波数範囲内に容易に制御しうる。
図面につき本発明を説明する。
第1図は、例えばl0KVの交流電圧を生じる主電源端
子2と、例えば1つ或いは複数個の加熱用インダクク或
いは加工用コイル(図示せず)又はプラズマトーチ(図
示せず)を有する外部回路3との間に設けられた本発明
を構成する高周波発生器1を示す。高周波発生器を工業
用に使用する場合や、本発明による高周波発生器1を図
示のように適用する場合には、主電源端子2と高周波発
生器1との間に高電圧変圧器4が設けられ、これにより
主電源端子2におけるl0KV主電源電圧を380ボル
ト3相(電力)電圧に逓降させる。
子2と、例えば1つ或いは複数個の加熱用インダクク或
いは加工用コイル(図示せず)又はプラズマトーチ(図
示せず)を有する外部回路3との間に設けられた本発明
を構成する高周波発生器1を示す。高周波発生器を工業
用に使用する場合や、本発明による高周波発生器1を図
示のように適用する場合には、主電源端子2と高周波発
生器1との間に高電圧変圧器4が設けられ、これにより
主電源端子2におけるl0KV主電源電圧を380ボル
ト3相(電力)電圧に逓降させる。
高周波発生器1は、自明な目的の為に、スイッチ12と
、380ボルトの電圧を例えば10〜15KVの高電圧
に逓昇させる高電圧変圧器13とを有している。本発明
による高周波発生器1と相違して、工業的に適用する既
知の高周波発生器は、スイッチ12と高電圧変圧器13
との間にサイリスク制御器を有し、高電圧変圧器13の
後にフィルタが設けられている。本発明による高周波発
生器は、高電圧変圧器4および13を省略し、これらを
第1図において相互接続ラインと置換えることができる
という利点を有する。この場合、スイッチ12が例えば
l0KVの主電源電圧を整流器14に直接供給する。高
電圧変圧器を省略しない場合には、整流器14は高電圧
変圧器13に接続される。
、380ボルトの電圧を例えば10〜15KVの高電圧
に逓昇させる高電圧変圧器13とを有している。本発明
による高周波発生器1と相違して、工業的に適用する既
知の高周波発生器は、スイッチ12と高電圧変圧器13
との間にサイリスク制御器を有し、高電圧変圧器13の
後にフィルタが設けられている。本発明による高周波発
生器は、高電圧変圧器4および13を省略し、これらを
第1図において相互接続ラインと置換えることができる
という利点を有する。この場合、スイッチ12が例えば
l0KVの主電源電圧を整流器14に直接供給する。高
電圧変圧器を省略しない場合には、整流器14は高電圧
変圧器13に接続される。
高周波発生器1は発振器回路15’、15を有し、この
回路のうち、部分15′は一般に知られている部分であ
る為、電子管、この場合四極管15のみを第1図に描い
である。四極管15の陽極151は整流器14に且つ発
振器回路の部分15′に接続され、第1グリツド153
は発振器回路の部分15′の正帰還回路(図示せず)に
接続され、この場合四極管15の第2の、すなわち追加
のグリッド152は、第2図につき詳細に説明する低電
圧制御回路16に接続されている。本発明により使用す
る電子管は1つの追加のグリッドを有する変形管にも、
1つよりも多い追加のグリッドを有する電子管、例えば
三極管にもすることができることに注意すべきである。
回路のうち、部分15′は一般に知られている部分であ
る為、電子管、この場合四極管15のみを第1図に描い
である。四極管15の陽極151は整流器14に且つ発
振器回路の部分15′に接続され、第1グリツド153
は発振器回路の部分15′の正帰還回路(図示せず)に
接続され、この場合四極管15の第2の、すなわち追加
のグリッド152は、第2図につき詳細に説明する低電
圧制御回路16に接続されている。本発明により使用す
る電子管は1つの追加のグリッドを有する変形管にも、
1つよりも多い追加のグリッドを有する電子管、例えば
三極管にもすることができることに注意すべきである。
第1図に示すのとは相違し、低電圧制御回路は第1図に
示すようにグリッド152にではなくグリッド153に
接続することもでき、この場合グリッド152に設定(
セット)電圧を印加する。
示すようにグリッド152にではなくグリッド153に
接続することもでき、この場合グリッド152に設定(
セット)電圧を印加する。
端子2を経て主電源に接続しうる、高電圧変圧器4およ
び13と整流器14とを有する或いは整流器14のみを
有する直列回路は、従来のサイリスク制御器と相違して
定電圧の非制御直流電圧源とみなしうる。上述した本発
明によれば、サイリスク制御器を使用する必要がなくな
るばかりか、成る場合には高価でかさばるフィルタ回路
を使用する必要がなくなる。
び13と整流器14とを有する或いは整流器14のみを
有する直列回路は、従来のサイリスク制御器と相違して
定電圧の非制御直流電圧源とみなしうる。上述した本発
明によれば、サイリスク制御器を使用する必要がなくな
るばかりか、成る場合には高価でかさばるフィルタ回路
を使用する必要がなくなる。
換言すれば、動作中例えば10〜15KVの直流高電圧
が従来技術の場合のように電子管15の陽極151に印
加される。この電圧は本発明によれば根本的に一定の高
電圧であり、この高電圧は自然に設定されるものであり
、しかも高周波発生器1の出力電力を制御するのに用い
られない。
が従来技術の場合のように電子管15の陽極151に印
加される。この電圧は本発明によれば根本的に一定の高
電圧であり、この高電圧は自然に設定されるものであり
、しかも高周波発生器1の出力電力を制御するのに用い
られない。
本発明によれば、高周波発生器1の出力電力を電子管1
5のグリッド153或いは追加のグリッド152に接続
された低電圧制御回路によって制御できる。この低電圧
制御回路の機能は可制御振幅を有する信号を生せしめる
ことにある。この点で、出力周波数を、例えば基本的に
異なる制御手段を伴う水晶によって固定とせずに、負荷
に依有するようにすることが重要である。本発明による
低電圧電力制御によれば、従来の高電圧電力制御と相違
して、高周波発生器1を、例えば特別に形成した石英管
から光ファイバを製造する際のプラズマトーチに用いる
場合にも、このような適用分野に必要とする正確な制御
を容易に得ることができる。更に、システム全体の効率
を高めることができ、更に設ける素子数が少なくなる為
システムを小型にしうる。四極管の立上り時間は三極管
よりも短い為、本発明による高周波発生器1は高電力で
調整されるレーザに用いるのが有利である。
5のグリッド153或いは追加のグリッド152に接続
された低電圧制御回路によって制御できる。この低電圧
制御回路の機能は可制御振幅を有する信号を生せしめる
ことにある。この点で、出力周波数を、例えば基本的に
異なる制御手段を伴う水晶によって固定とせずに、負荷
に依有するようにすることが重要である。本発明による
低電圧電力制御によれば、従来の高電圧電力制御と相違
して、高周波発生器1を、例えば特別に形成した石英管
から光ファイバを製造する際のプラズマトーチに用いる
場合にも、このような適用分野に必要とする正確な制御
を容易に得ることができる。更に、システム全体の効率
を高めることができ、更に設ける素子数が少なくなる為
システムを小型にしうる。四極管の立上り時間は三極管
よりも短い為、本発明による高周波発生器1は高電力で
調整されるレーザに用いるのが有利である。
高電圧変圧器4および13を用いない場合には、変圧器
における損失が生じない為に効率が更に改善される。
における損失が生じない為に効率が更に改善される。
前述したように第2図は低電圧制御回路16の一実施例
を示す。本例では、この低電圧制御回路16は制御トラ
ンジスタ160を有し、その制御電極161は比較回路
170の出力端171にi続されている。この比較回路
170の第1入力端172には設定信号が供給され、そ
の第2入力端173には高周波発生器1から、場合によ
っては第1図の発振器回路部分15′から帰還信号が供
給される。比較回路170の出力端171は゛この比較
回路170の入力端172における設定信号とこの比較
回路170の入力端173における帰還信号との比較の
結果である制御信号を生じる。
を示す。本例では、この低電圧制御回路16は制御トラ
ンジスタ160を有し、その制御電極161は比較回路
170の出力端171にi続されている。この比較回路
170の第1入力端172には設定信号が供給され、そ
の第2入力端173には高周波発生器1から、場合によ
っては第1図の発振器回路部分15′から帰還信号が供
給される。比較回路170の出力端171は゛この比較
回路170の入力端172における設定信号とこの比較
回路170の入力端173における帰還信号との比較の
結果である制御信号を生じる。
制御トランジスタ160の第1主電極162は抵抗16
3を経て第1図における電子管15の追加の電極152
或いは電極153に接続されている。制御トランジスタ
160の第2主電極164は好ましくは第1図に示す電
子管15の陰極と同様に例えば接地する。第1図におけ
る電子管15の例えば追加のグリッド152の電圧レベ
ルは制御トランジスタ160の制御電極161における
制御電圧の振幅に比例すること明かである。
3を経て第1図における電子管15の追加の電極152
或いは電極153に接続されている。制御トランジスタ
160の第2主電極164は好ましくは第1図に示す電
子管15の陰極と同様に例えば接地する。第1図におけ
る電子管15の例えば追加のグリッド152の電圧レベ
ルは制御トランジスタ160の制御電極161における
制御電圧の振幅に比例すること明かである。
簡単に言えば、追加のグリッドを有する電子管、例えば
四極管を用いることにより、サイリスク制御器が用いら
れている場合に6個或いは12個の高エネルギーサイリ
スタを有するサイリスク制御器、と、第1図における整
流器14により生ぜしめられる高電圧を平滑化するかさ
ばるフィルタとを基本的に低電圧制御回路160.17
0における(このセットアツプでは)1個のみの低電圧
トランジスタで置換えることができる。
四極管を用いることにより、サイリスク制御器が用いら
れている場合に6個或いは12個の高エネルギーサイリ
スタを有するサイリスク制御器、と、第1図における整
流器14により生ぜしめられる高電圧を平滑化するかさ
ばるフィルタとを基本的に低電圧制御回路160.17
0における(このセットアツプでは)1個のみの低電圧
トランジスタで置換えることができる。
上述したように本発明によれば、高周波発生器を廉価に
するばかりではなく、その製造を簡単にする。
するばかりではなく、その製造を簡単にする。
第1図は、本発明による高周波発生器の一例を簡単に示
す線図、 第2図は、第1図の高周波発生器に用いる低電圧制御回
路の一例を示す回路図である。 1・・・高周波発生器 2・・・主電源端子 3・・・外部回路4.13・
・・高電圧変圧器 12・・・スイッチ 14・・・整流器(15,1
5’)・・・発振器回路 16・・・低電圧制御回路 特許出願人 エヌ・ベー・フィリップス・フルーイ
ランペンファブリケン
す線図、 第2図は、第1図の高周波発生器に用いる低電圧制御回
路の一例を示す回路図である。 1・・・高周波発生器 2・・・主電源端子 3・・・外部回路4.13・
・・高電圧変圧器 12・・・スイッチ 14・・・整流器(15,1
5’)・・・発振器回路 16・・・低電圧制御回路 特許出願人 エヌ・ベー・フィリップス・フルーイ
ランペンファブリケン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、電子管発振器回路を具え、電子管グリッドがこの発
振器回路の正帰還回路に接続され、電子管陽極が直流電
源に接続されている高周波加熱用高周波発生器において
、この高周波発生器が、追加のグリッドを有する電子管
と、低電圧制御回路とを具え、この低電圧制御回路は、
高周波発生器の出力を設定するか或いは制御するか或い
はこれらの双方を行う為に前記の追加のグリッドに接続
されているか或いは、前記の正帰還回路に接続された前
記の電子管グリッドに接続されており、この低電圧制御
回路が、正帰還回路に接続されている前記の電子管グリ
ッドに接続される場合には、前記の追加のグリッドに設
定電圧が印加されるようになっており、前記の直流電源
は非制御直流電源であることを特徴とする高周波発生器
。 2、特許請求の範囲第1項に記載の高周波発生器におい
て、前記の電子管は四極管であることを特徴とする高周
波発生器。 3、特許請求の範囲第1項または第2項に記載の高周波
発生器において、前記の低電圧制御回路がトランジスタ
を具え、このトランジスタの第1主電極が電子管の前記
の追加の電極に接続されているか或いは、前記の正帰還
回路に接続された前記の電子管グリッドに接続されてお
り、前記のトランジスタの第2主電極は動作中基準電位
にあり、前記の低電圧制御回路が更に比較回路を具え、
この比較回路の入力端には、高周波発生器或いはこれに
接続すべき外部回路からの帰還信号と設定信号とがそれ
ぞれ供給され、前記のトランジスタの制御電極に接続さ
れた前記の比較回路の出力端には、前記の帰還信号と前
記の設定信号との比較の結果に対応する出力信号が生じ
るようになっていることを特徴とする高周波発生器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL8600673A NL8600673A (nl) | 1986-03-17 | 1986-03-17 | Generator voor hoogfrequent verhitten, voorzien van een elektronenbuis met meer dan een rooster. |
NL8600673 | 1986-03-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62235803A true JPS62235803A (ja) | 1987-10-16 |
Family
ID=19847721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62059091A Pending JPS62235803A (ja) | 1986-03-17 | 1987-03-16 | 高周波発生器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4761618A (ja) |
EP (1) | EP0238122A1 (ja) |
JP (1) | JPS62235803A (ja) |
KR (1) | KR940005463B1 (ja) |
NL (1) | NL8600673A (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL8701678A (nl) * | 1987-07-16 | 1989-02-16 | Philips Nv | Hoogfrekwent generator. |
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