JPS62219348A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS62219348A JPS62219348A JP61063371A JP6337186A JPS62219348A JP S62219348 A JPS62219348 A JP S62219348A JP 61063371 A JP61063371 A JP 61063371A JP 6337186 A JP6337186 A JP 6337186A JP S62219348 A JPS62219348 A JP S62219348A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/90—Magnetic feature
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用力a>
本発明は消去、再記録が可能で大容量データファイル等
に使用される光磁気ディスク等の光磁気記録媒体に関し
、詳しくはこの光磁気記録媒体の保vft層の改良に関
するものである。
に使用される光磁気ディスク等の光磁気記録媒体に関し
、詳しくはこの光磁気記録媒体の保vft層の改良に関
するものである。
(従来技術)
高密度、大容量あるいはヘッドと媒体との非接触性等多
くの特長を有する光記録媒体の中でも消去、再記録が容
易ということから光磁気記録媒体が注目されている。
くの特長を有する光記録媒体の中でも消去、再記録が容
易ということから光磁気記録媒体が注目されている。
この光磁気記録媒体は記録媒体として磁性体を用いこの
磁性体の磁化の変化により情報を記録する。この磁性体
としては例えば、Gd 、 Tb 、 DV等の希土類
金171(RE)とFe、Co、N;等の遷移金属を組
み合わせた非晶質(アモルファス)磁性体を用い、これ
らの磁性体を層状にして記録層としている。そしてこの
ような磁性体、とくに希土類金属は酸化されやすく酸化
されると保磁力等の磁気特性が劣化してしまうので、上
記記録層を空中酸素から隔離するためにこの記録層を誘
電体等からなる保護層により被覆している。
磁性体の磁化の変化により情報を記録する。この磁性体
としては例えば、Gd 、 Tb 、 DV等の希土類
金171(RE)とFe、Co、N;等の遷移金属を組
み合わせた非晶質(アモルファス)磁性体を用い、これ
らの磁性体を層状にして記録層としている。そしてこの
ような磁性体、とくに希土類金属は酸化されやすく酸化
されると保磁力等の磁気特性が劣化してしまうので、上
記記録層を空中酸素から隔離するためにこの記録層を誘
電体等からなる保護層により被覆している。
しかしながら、この保r!Ig!1はスパッタリング法
等を用いて形成されるが、そのスパッタリング中に発生
した遊離酸素が記録層表面に付着し、さらに記録層内部
に侵入して磁性体が酸化されるという問題があり、酸化
防止のための保護層を形成する際にかえって酸化が促進
されてしまうという結果になっていた。
等を用いて形成されるが、そのスパッタリング中に発生
した遊離酸素が記録層表面に付着し、さらに記録層内部
に侵入して磁性体が酸化されるという問題があり、酸化
防止のための保護層を形成する際にかえって酸化が促進
されてしまうという結果になっていた。
(発明の目的)
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであ
り、保mu形成中に発生したMt11酸素による磁性体
の酸化を防止し、これにより磁気特性の劣化を防止し得
る光磁気記録媒体を提供することを目的とするものであ
る。
り、保mu形成中に発生したMt11酸素による磁性体
の酸化を防止し、これにより磁気特性の劣化を防止し得
る光磁気記録媒体を提供することを目的とするものであ
る。
(発明の構成)
本発明の光磁気記録媒体は、磁性体からなる記録層上に
、同時スパッタリング法または同時蒸着法を用いて誘電
体と酸素の吸収力が大なる希土類金属とを混合した保護
層を形成し、スパッタリング中または蒸着中に生じた遊
ll1lI酸素を記録層側で吸収される前に保護層側で
吸収することを特徴とするものである。
、同時スパッタリング法または同時蒸着法を用いて誘電
体と酸素の吸収力が大なる希土類金属とを混合した保護
層を形成し、スパッタリング中または蒸着中に生じた遊
ll1lI酸素を記録層側で吸収される前に保護層側で
吸収することを特徴とするものである。
上記同時スパッタリング法とは一般に、物質の異なる複
数のターゲットを設け、それに印加する電力を変えてス
パッタリングの割合を制御し、所望の組成比の薄膜を形
成する方法であり、本発明の場合には希土類金属をマグ
ネトロンスパッタリング等により、また誘電体を高周波
スパッタリング等により同時に1つの基板に対して行な
うスパッタリング法を意味するものとする。
数のターゲットを設け、それに印加する電力を変えてス
パッタリングの割合を制御し、所望の組成比の薄膜を形
成する方法であり、本発明の場合には希土類金属をマグ
ネトロンスパッタリング等により、また誘電体を高周波
スパッタリング等により同時に1つの基板に対して行な
うスパッタリング法を意味するものとする。
また、同時蒸着法とは物質の異なる複数の蒸発源を設け
、それらに照射する電子線銃に印加する電流、あるいは
上記蒸発源に直接印加する電流を変えて蒸着分を制御し
、所望の組成比を有する薄膜を形成する方法である。
、それらに照射する電子線銃に印加する電流、あるいは
上記蒸発源に直接印加する電流を変えて蒸着分を制御し
、所望の組成比を有する薄膜を形成する方法である。
また、上記誘電体としては、例えばst o、 5i0
z、5i3Na、A9JzOs、ALN、ZnS等があ
る。
z、5i3Na、A9JzOs、ALN、ZnS等があ
る。
また、上記希土類金属とは、希土類金属単体の状態であ
ってもよいし、例えば遷移金属等と合金を形成するよう
な化合物の状態であってもよ(1%aさらに、上記保護
層は記録層に隣接していることが必要であるが、本発明
においてはこの保護層が記録層の片面に形成されている
場合および両面に形成されている場合の双方を含むもの
とする。
ってもよいし、例えば遷移金属等と合金を形成するよう
な化合物の状態であってもよ(1%aさらに、上記保護
層は記録層に隣接していることが必要であるが、本発明
においてはこの保護層が記録層の片面に形成されている
場合および両面に形成されている場合の双方を含むもの
とする。
(発明の効果)
本発明の光磁気記録媒体によれば、保護層中に希土類金
属を混合せしめてスパッタリング中または蒸着中に発生
したyn岨酸素を吸収するようにしているから、これら
の*tnm素が記録層内部に侵入゛する虞れは小さく磁
性体が酸化するのを防止することができる。これにより
酸化による保磁力等の劣化を防止することができる。
属を混合せしめてスパッタリング中または蒸着中に発生
したyn岨酸素を吸収するようにしているから、これら
の*tnm素が記録層内部に侵入゛する虞れは小さく磁
性体が酸化するのを防止することができる。これにより
酸化による保磁力等の劣化を防止することができる。
しかも、この希土類金属と誘電体の1iWA形成を同時
スパッタリング法または同時蒸着法により行なっている
から両者が均一に混合し、酸素の吸収においてむらが生
じることはない。
スパッタリング法または同時蒸着法により行なっている
から両者が均一に混合し、酸素の吸収においてむらが生
じることはない。
(実施態様〉
以下、本発明の実施態様について図面を用いて説明する
。
。
第2図は、本発明の一実施態様による光磁気記録媒体の
積層状態を示す一部側断面図である。
積層状態を示す一部側断面図である。
この光磁気記録媒体の一例である光磁気ディスク1は、
書込側非磁性透明基板2上に第1保護層3、記録層4.
第2保護層59反射層6を順次形成し、これらを接着層
7により外部非磁性透明基板8と貼り合わせて形成した
ものである。
書込側非磁性透明基板2上に第1保護層3、記録層4.
第2保護層59反射層6を順次形成し、これらを接着層
7により外部非磁性透明基板8と貼り合わせて形成した
ものである。
ここで非磁性透明基板2,8はガラスまたはアクリル系
樹脂等の透明プラスチック(例えばPMMA)からなり
厚さが1#!I11程度となるように形成されている。
樹脂等の透明プラスチック(例えばPMMA)からなり
厚さが1#!I11程度となるように形成されている。
また、第1および第2保護層3.5は希土類−;a移金
属合金等の希土類系金属と、誘電体との混合層を500
〜30GOA程度の厚さに形成したものである。希土類
金属単体の場合はGd 、 Tb 、 Dy 。
属合金等の希土類系金属と、誘電体との混合層を500
〜30GOA程度の厚さに形成したものである。希土類
金属単体の場合はGd 、 Tb 、 Dy 。
Ce等が使用され、希土類−遷移金属合金の場合はGd
Fe 、 Tb Fe 、 D’l l”e 、 G
d Tb Fe 。
Fe 、 Tb Fe 、 D’l l”e 、 G
d Tb Fe 。
Tb Dy Fe 、 Tb Fe Co 、 Gd
Fe Co 、 GdTbC0等の合金が使用される。
Fe Co 、 GdTbC0等の合金が使用される。
誘電体とじてはSt O,Sf 02 、S! 3 N
4 、Zn S等が使用される。
4 、Zn S等が使用される。
記録層4としては、非晶質希土類−遷移金属合金等の磁
性体が使用されるが、元素としては上述した保11i2
13.5で使用されるものと同種のものであってもよい
し、異種のものであってもよい。
性体が使用されるが、元素としては上述した保11i2
13.5で使用されるものと同種のものであってもよい
し、異種のものであってもよい。
なお、この記録層4の厚さは例えば2ooA程度に形成
される。
される。
反射層6はアルミニウム、金、銀、チタン等の金属ある
いはそれらの合金を例えば1oooAの厚さに形成した
ものである。これは、ディスク1の棗込面側にレーザ光
を反射せしめるためのものである。
いはそれらの合金を例えば1oooAの厚さに形成した
ものである。これは、ディスク1の棗込面側にレーザ光
を反射せしめるためのものである。
接着層7はシリコーン系接着剤(例えば東しシリコーン
(株)製3 E 7700ン等を10μmの厚さに塗布
したものである。
(株)製3 E 7700ン等を10μmの厚さに塗布
したものである。
ところで、本発明の光磁気ディスクは保護層中に酸素吸
収力が大である希土類系金属を混合せしめ、スパッタリ
ング中あるいは蒸着中に発生した遊離酸素をこの希土類
系金属と結合せしめることにより、M離酸素が記録層内
に侵入するのを防止している。以下、第2図に示す実施
態様において保護層5が形成される過程を第1図(a
)、(b )を用いて説明する。
収力が大である希土類系金属を混合せしめ、スパッタリ
ング中あるいは蒸着中に発生した遊離酸素をこの希土類
系金属と結合せしめることにより、M離酸素が記録層内
に侵入するのを防止している。以下、第2図に示す実施
態様において保護層5が形成される過程を第1図(a
)、(b )を用いて説明する。
第1図(a )は同時スパッタリング法を示すものであ
る。10′5Tor+程度まで排気した真空チェンバ中
にアルゴンガスを導入して10476?P程度とし、そ
の雰囲気中に希土類−遷移金属合金ターゲット9とLi
ffi体ターゲット10を配設し、これら両ターゲッ
ト9.10の下方に、非磁性透明基板2上に保護層3と
記録層4をこの順に積層してなるものを配設する。
る。10′5Tor+程度まで排気した真空チェンバ中
にアルゴンガスを導入して10476?P程度とし、そ
の雰囲気中に希土類−遷移金属合金ターゲット9とLi
ffi体ターゲット10を配設し、これら両ターゲッ
ト9.10の下方に、非磁性透明基板2上に保護層3と
記録層4をこの順に積層してなるものを配設する。
希土類−遷移金属合金ターゲット9に対してはマグネト
ロンスパッタリング法を用い、誘電体ターゲット10に
対しては高周波スパッタリング法を用い、両ターゲット
9.10に対して同時に電圧を印加し、記録層4上に所
定の厚さの771層(例えば1000△)が形成された
時点で両ターゲット9,1゜に対する電力の印加を停止
する。
ロンスパッタリング法を用い、誘電体ターゲット10に
対しては高周波スパッタリング法を用い、両ターゲット
9.10に対して同時に電圧を印加し、記録層4上に所
定の厚さの771層(例えば1000△)が形成された
時点で両ターゲット9,1゜に対する電力の印加を停止
する。
この保護層5の組成比は両ターゲット9.10に印加す
る電力の大きさの比を変えることにより所望の値に設定
することができる。
る電力の大きさの比を変えることにより所望の値に設定
することができる。
次に第1図(b)は同時蒸着法を示すものである。10
4Top>程度まで排気した真空チャンバ中に希土類遷
移金属合金の蒸着材11と誘電体の蒸着材12を配し、
この両蒸着材11.12の記録層4に対する蒸着が同時
に行なわれるようにする。抵抗加熱型であれば両蒸着材
11.12に密着せしめた両蒸着源13.14に対して
同時に電流を印加し、電子VfI撃型てあれば、両蒸着
材11.12のそれぞれに対応する2つの電子線銃に対
して同時に電流を印加する。
4Top>程度まで排気した真空チャンバ中に希土類遷
移金属合金の蒸着材11と誘電体の蒸着材12を配し、
この両蒸着材11.12の記録層4に対する蒸着が同時
に行なわれるようにする。抵抗加熱型であれば両蒸着材
11.12に密着せしめた両蒸着源13.14に対して
同時に電流を印加し、電子VfI撃型てあれば、両蒸着
材11.12のそれぞれに対応する2つの電子線銃に対
して同時に電流を印加する。
そして、記録層4上に所定の厚さの薄層(例えば1oo
oA >が形成された時点で上記電流の印加を停止する
。
oA >が形成された時点で上記電流の印加を停止する
。
両蒸谷源13.14あるいは両電子線銃に印加す、る電
流の大きさの比を変えることにより保1115の組成比
を変えることができる。
流の大きさの比を変えることにより保1115の組成比
を変えることができる。
なお、保護層3も保護層5と同様の方法にて形成すれば
よいが、本発明の光磁気記録媒体においてはこの保護層
3の形成を省略してもよい。
よいが、本発明の光磁気記録媒体においてはこの保護層
3の形成を省略してもよい。
なお、本発明の光磁気記録媒体はいわゆる「溝付きディ
スク」および「溝なしディスク」のいずれにも適用する
ことができる。
スク」および「溝なしディスク」のいずれにも適用する
ことができる。
第1図は本発明の一実施態様に係る光磁気記録媒体の保
護層が形成される様子を示す側断面図であって、(a
)は同時スパッタリング法によるもの、(b)は同時M
W法によるものを示すものであり、 第2図は第1図の光磁気記録媒体の積層構造を示すため
の一部側断面図である。 1・・・光磁気記録媒体(光磁気ディスク)2.8・・
・非磁性透明基板 3.5・・・保護層 4・・・記録層9・・・希
土類−遷移金属合金ターゲット10・・・誘電体ターゲ
ット
護層が形成される様子を示す側断面図であって、(a
)は同時スパッタリング法によるもの、(b)は同時M
W法によるものを示すものであり、 第2図は第1図の光磁気記録媒体の積層構造を示すため
の一部側断面図である。 1・・・光磁気記録媒体(光磁気ディスク)2.8・・
・非磁性透明基板 3.5・・・保護層 4・・・記録層9・・・希
土類−遷移金属合金ターゲット10・・・誘電体ターゲ
ット
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)非磁性透明基板上に光学磁気記録層および保護層を
積層してなる光磁気記録媒体において、該保護層が、希
土類金属および誘電体の混合層からなることを特徴とす
る光磁気記録媒体。 2)前記保護層が同時スパッタリング法、あるいは同時
蒸着法により形成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61063371A JPS62219348A (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | 光磁気記録媒体 |
US07/231,613 US4897320A (en) | 1986-03-20 | 1988-08-11 | Magneto-optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61063371A JPS62219348A (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62219348A true JPS62219348A (ja) | 1987-09-26 |
Family
ID=13227358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61063371A Pending JPS62219348A (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4897320A (ja) |
JP (1) | JPS62219348A (ja) |
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- 1986-03-20 JP JP61063371A patent/JPS62219348A/ja active Pending
-
1988
- 1988-08-11 US US07/231,613 patent/US4897320A/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
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US4897320A (en) | 1990-01-30 |
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