JP2561130B2 - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JP2561130B2 JP2561130B2 JP63158366A JP15836688A JP2561130B2 JP 2561130 B2 JP2561130 B2 JP 2561130B2 JP 63158366 A JP63158366 A JP 63158366A JP 15836688 A JP15836688 A JP 15836688A JP 2561130 B2 JP2561130 B2 JP 2561130B2
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- Japan
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- magneto
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- optical recording
- thin film
- film
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
-
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- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12632—Four or more distinct components with alternate recurrence of each type component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12771—Transition metal-base component
- Y10T428/12861—Group VIII or IB metal-base component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T428/12861—Group VIII or IB metal-base component
- Y10T428/12931—Co-, Fe-, or Ni-base components, alternative to each other
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光磁気記録媒体に関し、特に記録層を改良
することにより磁気記録特性を高めた光磁気記録媒体に
関する。
することにより磁気記録特性を高めた光磁気記録媒体に
関する。
近年、光磁気記録媒体は、レーザー光による書き込み
読み出し可能光磁気デイスクとして大容量データフアイ
ル等に広く利用されている。
読み出し可能光磁気デイスクとして大容量データフアイ
ル等に広く利用されている。
この光磁気記録媒体は、ガラス、プラスチツク等の透
明基板上にスパツタ法等の方法によりエンハンス層、記
録層、保護層、接着層等を夫々数10Å乃至数10μｍの厚
さで設けた多層構造の層を有する。
明基板上にスパツタ法等の方法によりエンハンス層、記
録層、保護層、接着層等を夫々数10Å乃至数10μｍの厚
さで設けた多層構造の層を有する。
光磁気効果を示す前記記録層には希土類金属と遷移金
属の合金の単一層若しくは前記希土類金属の薄膜と前記
遷移金属の薄膜を夫々数Å乃至10数Åの厚さで交互に少
なくとも２層以上積層した層が使用されている。特に後
者の希土類金属の薄膜と遷移金属の薄膜とを交互に積層
した記録層は磁化量、保磁力、光磁気効果（カー効果）
に優れ又その特性を制御し易いという利点があり、特開
昭61−108112号公報、特開昭59−217247号公報、特開昭
62−26659号公報、特開昭62−71041号公報、特開昭62−
128041号公報及び特開昭62−137753号公報等に開示され
ている。
属の合金の単一層若しくは前記希土類金属の薄膜と前記
遷移金属の薄膜を夫々数Å乃至10数Åの厚さで交互に少
なくとも２層以上積層した層が使用されている。特に後
者の希土類金属の薄膜と遷移金属の薄膜とを交互に積層
した記録層は磁化量、保磁力、光磁気効果（カー効果）
に優れ又その特性を制御し易いという利点があり、特開
昭61−108112号公報、特開昭59−217247号公報、特開昭
62−26659号公報、特開昭62−71041号公報、特開昭62−
128041号公報及び特開昭62−137753号公報等に開示され
ている。
なかでも、Tbの薄膜とFeCo合金の薄膜を交互積層した
記録層を有する光磁気記録媒体は、最も優れた特性を示
す。しかしながら、Tbは高価であり、光磁気記録媒体の
普及という点で問題があつた。そこで、US4,727,005等
に開示されているようにTbの一部を希土類金属のなかで
も安価なDyやGdに置き換えて例えば、TbDy合金の薄膜と
FeCo合金の薄膜との交互積層膜を記録層とする光磁気記
録媒体が提案されているがカー回転角（θｋ）が大きく
ならずC/Nの高い光磁気記録媒体が得にくかつた。ま
た、Gdはカー回転角（θｋ）は大きく出来るがHcが小さ
くなつてしまいこれまたC/Nの大きな光磁気記録媒体が
得られなかつた。
記録層を有する光磁気記録媒体は、最も優れた特性を示
す。しかしながら、Tbは高価であり、光磁気記録媒体の
普及という点で問題があつた。そこで、US4,727,005等
に開示されているようにTbの一部を希土類金属のなかで
も安価なDyやGdに置き換えて例えば、TbDy合金の薄膜と
FeCo合金の薄膜との交互積層膜を記録層とする光磁気記
録媒体が提案されているがカー回転角（θｋ）が大きく
ならずC/Nの高い光磁気記録媒体が得にくかつた。ま
た、Gdはカー回転角（θｋ）は大きく出来るがHcが小さ
くなつてしまいこれまたC/Nの大きな光磁気記録媒体が
得られなかつた。
本発明は上記の従来技術の問題点を改良するためにな
されたものであり、C/N等の特性が優れかつ安価な光磁
気記録媒体を提供することを目的としている。
されたものであり、C/N等の特性が優れかつ安価な光磁
気記録媒体を提供することを目的としている。
本発明の上記の目的は、基板状に希土類金属の薄膜と
遷移金属の薄膜の積層膜からなる記録層を有する光磁気
記録媒体であって、その積層膜が、（Fe/Tb/Fe/Co/Dy/C
o）の順で積層された６層の単位積層膜が周期的に積層
されて構成されたものであることを特徴とする光磁気記
録媒体によって達成されることが明らかになった。
遷移金属の薄膜の積層膜からなる記録層を有する光磁気
記録媒体であって、その積層膜が、（Fe/Tb/Fe/Co/Dy/C
o）の順で積層された６層の単位積層膜が周期的に積層
されて構成されたものであることを特徴とする光磁気記
録媒体によって達成されることが明らかになった。
本発明においては、Dyの薄膜をCoの薄膜に隣り合わせ
ることによつてカー回転角（θｋ）を低下を抑えること
ができ、その結果Dyを用いても比較的カー回転角（θ
ｋ）が大きくC/Nの優れた光磁気記録媒体の提供を可能
にした。これは、カー回転角（θｋ）を低下される原因
と考えられるFe−Dyの結合の機会をDyの薄膜をCoの薄膜
に隣り合わせることによつて減少させた効果と推定され
る。
ることによつてカー回転角（θｋ）を低下を抑えること
ができ、その結果Dyを用いても比較的カー回転角（θ
ｋ）が大きくC/Nの優れた光磁気記録媒体の提供を可能
にした。これは、カー回転角（θｋ）を低下される原因
と考えられるFe−Dyの結合の機会をDyの薄膜をCoの薄膜
に隣り合わせることによつて減少させた効果と推定され
る。
本発明の記録層の前記単位積層膜中にはCo/Dy/Coの順
で積層した３層の薄膜以外にTbの薄膜をFeの薄膜に隣接
させたFe/Tb/Feの順で積層したを加えて、前記単位積層
膜をFe/Tb/Fe/Co/Dy/Coの順に積層した６層の薄膜から
なる構造とすることによつて、さらに保磁力の向上、角
型比の向上、が可能となり、録再特性、ビツトの安定と
もに優れた光磁気記録媒体とすることができる。
で積層した３層の薄膜以外にTbの薄膜をFeの薄膜に隣接
させたFe/Tb/Feの順で積層したを加えて、前記単位積層
膜をFe/Tb/Fe/Co/Dy/Coの順に積層した６層の薄膜から
なる構造とすることによつて、さらに保磁力の向上、角
型比の向上、が可能となり、録再特性、ビツトの安定と
もに優れた光磁気記録媒体とすることができる。
そして、その際前記記録層中の各希土類金属及び遷移
金属の組成比を（Tbl−x Dyx）ａ（Fel−y Coy）ｌ−ａ
と表した時 0.15ａ0.30 0.25ｘ0.90 0.05ｙ0.30 であることが望ましい。
金属の組成比を（Tbl−x Dyx）ａ（Fel−y Coy）ｌ−ａ
と表した時 0.15ａ0.30 0.25ｘ0.90 0.05ｙ0.30 であることが望ましい。
ａが上記の範囲よりも大きくても小さくても垂直磁化
膜が形成されない。また、ｘが0.90を越えるとHcが低下
してしまい、高C/Nの光磁気記録媒体が得られない。逆
にｘが小さいと価格の点で不利になる。そして、ｙがあ
まり小さいとカー回転角（θｋ）が低下してしまいC/N
の大きい光磁気記録媒体が得られず、逆にあまり大きく
なるとキユーリー温度（Tc）が高すぎてしまい感度が低
下してしまう。
膜が形成されない。また、ｘが0.90を越えるとHcが低下
してしまい、高C/Nの光磁気記録媒体が得られない。逆
にｘが小さいと価格の点で不利になる。そして、ｙがあ
まり小さいとカー回転角（θｋ）が低下してしまいC/N
の大きい光磁気記録媒体が得られず、逆にあまり大きく
なるとキユーリー温度（Tc）が高すぎてしまい感度が低
下してしまう。
前記単位積層膜を構成する各金属層の厚さは通常３Å
乃至30Åであれば良い。そして、前記単位積層膜の厚さ
は60Å以下であることが望ましい。前記単位積層膜の厚
さが60Åを越えると垂直磁気異方性を持つた記録層が形
成できなくなる。
乃至30Åであれば良い。そして、前記単位積層膜の厚さ
は60Å以下であることが望ましい。前記単位積層膜の厚
さが60Åを越えると垂直磁気異方性を持つた記録層が形
成できなくなる。
前記単位積層膜の厚さは通常それを構成する原子をＸ
線小角散乱法で解析したとき得られるパターンからその
１周期の大きさから求めたものである。
線小角散乱法で解析したとき得られるパターンからその
１周期の大きさから求めたものである。
本発明の前記記録層は、各金属のターゲツトを前記単
位積層膜の積層される順に並べて、スパツタリングする
ことによつて前記基板上に成膜することができる。最も
一般的な方法としては、デイスク状のホルダーに固定さ
れた基板をホルダーの回転に従つて前述の積層順に並べ
られたターゲツト上を通過させて多元同時スパツタを行
う事により前記単位積層膜が繰り返し積層された記録層
を得る方法がある。
位積層膜の積層される順に並べて、スパツタリングする
ことによつて前記基板上に成膜することができる。最も
一般的な方法としては、デイスク状のホルダーに固定さ
れた基板をホルダーの回転に従つて前述の積層順に並べ
られたターゲツト上を通過させて多元同時スパツタを行
う事により前記単位積層膜が繰り返し積層された記録層
を得る方法がある。
前記記録層は、基板上に直接成膜しても良いし、窒化
ケイ素、酸化ケイ素、窒化アルミ等各種の窒化物、酸化
物、硫化物及びそれらの混合物等のエンハンス層もしく
は保護層を基板上に設けた後にその上に成膜してもよ
い。さらに、記録層の上に窒化ケイ素、酸化ケイ素、窒
化アルミ等各種の窒化物、酸化物、硫化物及びそれらの
混合物、高分子被膜等の保護層を設けることもできる。
ケイ素、酸化ケイ素、窒化アルミ等各種の窒化物、酸化
物、硫化物及びそれらの混合物等のエンハンス層もしく
は保護層を基板上に設けた後にその上に成膜してもよ
い。さらに、記録層の上に窒化ケイ素、酸化ケイ素、窒
化アルミ等各種の窒化物、酸化物、硫化物及びそれらの
混合物、高分子被膜等の保護層を設けることもできる。
前記基板としては、ポリカーボネート、ポリメチルメ
タクリレート、エポキシ各種オレフイン系樹脂、ガラス
等が用いられる。
タクリレート、エポキシ各種オレフイン系樹脂、ガラス
等が用いられる。
本発明の特徴を以下の実施例でさらに具体的に説明す
る。
る。
〔実施例−１〕 基板として射出成形された厚さ1.2mm、130φのポリカ
ーボネートを用意し、その上にマグトロンスパツタ用の
８″カソードを５ケ備えたスパツタ装置によつて以下の
ようにエンハンス層、記録層及び保護層を順次成膜して
光磁気記録媒体を作成した。
ーボネートを用意し、その上にマグトロンスパツタ用の
８″カソードを５ケ備えたスパツタ装置によつて以下の
ようにエンハンス層、記録層及び保護層を順次成膜して
光磁気記録媒体を作成した。
前記基板をスパツタ装置内のホルダーにセツトし、ス
パツタ槽内の真空度を５×10-7Torr以下まで排気した後
アルゴンガスを槽内の真空度が5mTorrになるまで導入
し、RF電力として1.5kWを窒化けい素のターゲツトに投
入してまずエンハンス層としてSiNの層を800Å成膜し
た。しかる後、Tb、Fe、Co及びDyの各ターゲツトにDC電
力として400W投入して、記録層の成膜を行つた。その
際、記録層の各原子の組成比が（Tbl−x Dyx）ａ（Fel
−y Coy）ｌ−ａの組成式においてｘ＝0.5、ｙ＝0.15及
びａ＝0.22となるように各ターゲツト上のシヤツタ開口
時間を制御した。そして、前記単位積層膜がFe/Tb/Fe/C
o/Dy/Coの順で積層されるようにかつ前記単位積層膜の
膜厚が40Åとなるようにターゲツト上のシヤツターの開
口順序と開口時間を制御して全厚1000Åの記録層を成膜
した。さらに、その上にエンハンス層の成膜と同一の条
件で保護層としてSiNの薄膜を1000Å成膜した。
パツタ槽内の真空度を５×10-7Torr以下まで排気した後
アルゴンガスを槽内の真空度が5mTorrになるまで導入
し、RF電力として1.5kWを窒化けい素のターゲツトに投
入してまずエンハンス層としてSiNの層を800Å成膜し
た。しかる後、Tb、Fe、Co及びDyの各ターゲツトにDC電
力として400W投入して、記録層の成膜を行つた。その
際、記録層の各原子の組成比が（Tbl−x Dyx）ａ（Fel
−y Coy）ｌ−ａの組成式においてｘ＝0.5、ｙ＝0.15及
びａ＝0.22となるように各ターゲツト上のシヤツタ開口
時間を制御した。そして、前記単位積層膜がFe/Tb/Fe/C
o/Dy/Coの順で積層されるようにかつ前記単位積層膜の
膜厚が40Åとなるようにターゲツト上のシヤツターの開
口順序と開口時間を制御して全厚1000Åの記録層を成膜
した。さらに、その上にエンハンス層の成膜と同一の条
件で保護層としてSiNの薄膜を1000Å成膜した。
〔実施例−２〕 実施例−１において、ｘ＝0.8、ｙ＝0.15及びａ＝0.2
2となるように各ターゲツト上のシヤツター開口時間の
条件をかえて他は実施例−１と同一の条件で光磁気記録
媒体を作成した。
2となるように各ターゲツト上のシヤツター開口時間の
条件をかえて他は実施例−１と同一の条件で光磁気記録
媒体を作成した。
〔比較例−１〕 実施例−１において、記録層用ターゲツトとしてTb50
Dy50及びFe85Co15の２種類のターゲツトを使用してTbDy
合金の薄膜とFeCo合金の薄膜の２層の積層膜を単位積層
膜とする記録層を成膜した。そして各ターゲツト上のシ
ヤツター開口時間を制御してTb50Dy50とFe85Co15の組成
比とした。
Dy50及びFe85Co15の２種類のターゲツトを使用してTbDy
合金の薄膜とFeCo合金の薄膜の２層の積層膜を単位積層
膜とする記録層を成膜した。そして各ターゲツト上のシ
ヤツター開口時間を制御してTb50Dy50とFe85Co15の組成
比とした。
他の条件は実施例−１と同一にして光磁気記録媒体を
作成した。
作成した。
〔比較例−２〕 実施例−１において、Coのターゲツトだけ除いてFe/T
b/Fe/Dyの順で積層された、積層膜を単位積層膜とする
光磁気記録媒体を作成した。
b/Fe/Dyの順で積層された、積層膜を単位積層膜とする
光磁気記録媒体を作成した。
他の条件は実施例−１と同一にして光磁気記録媒体を
作成した。
作成した。
以上のようにして得られた実施例及び比較例の光磁気
記録媒体の試料のカー回転角（θｋ）及びC/Nを以下の
ような方法で測定した。
記録媒体の試料のカー回転角（θｋ）及びC/Nを以下の
ような方法で測定した。
その結果が、第１表である。
カー回転角（θｋ）：カー・ヒシテリシス・ループ測定
装置。印加磁界15kOe C/N:pin差変動検出pick/upを用いたドライブで、1800rp
mで、光磁気記録媒体を回転させキヤリヤー3.7MHzの単
一周波数でレーザー光をパルス照射して、測定した。
装置。印加磁界15kOe C/N:pin差変動検出pick/upを用いたドライブで、1800rp
mで、光磁気記録媒体を回転させキヤリヤー3.7MHzの単
一周波数でレーザー光をパルス照射して、測定した。
Dyの薄膜にCoの薄膜を隣合わせ、Tbの薄膜にFeの薄膜
を隣合わせた構成の単位積層膜である本発明の実施例−
１及び実施例−２の光磁気記録媒体において、TbDyの合
金の薄膜とFeCoの合金の薄膜の２層を積層単位とする比
較例−１の光磁気記録媒体の試料に比べカー回転角及び
C/Nともに大きな値を示し、Tbに比べ安価なDyを用いて
も優れた特性の光磁気記録媒体が得られた。
を隣合わせた構成の単位積層膜である本発明の実施例−
１及び実施例−２の光磁気記録媒体において、TbDyの合
金の薄膜とFeCoの合金の薄膜の２層を積層単位とする比
較例−１の光磁気記録媒体の試料に比べカー回転角及び
C/Nともに大きな値を示し、Tbに比べ安価なDyを用いて
も優れた特性の光磁気記録媒体が得られた。
また、Dyの薄膜にFeの薄膜を隣合わせた比較例−２で
はこれまた特性がかなり低下してしまつた。
はこれまた特性がかなり低下してしまつた。
Claims (1)
- 【請求項１】基板状に希土類金属の薄膜と遷移金属の薄
膜の積層膜からなる記録層を有する光磁気記録媒体であ
って、 その積層膜が、（Fe/Tb/Fe/Co/Dy/Co）の順で積層され
た６層の単位積層膜が周期的に積層されて構成されたも
のであることを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63158366A JP2561130B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 光磁気記録媒体 |
| US07/369,622 US4992336A (en) | 1988-06-27 | 1989-06-21 | Magneto-optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63158366A JP2561130B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH027253A JPH027253A (ja) | 1990-01-11 |
| JP2561130B2 true JP2561130B2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=15670115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63158366A Expired - Lifetime JP2561130B2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4992336A (ja) |
| JP (1) | JP2561130B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5814400A (en) * | 1990-05-18 | 1998-09-29 | Hitachi, Ltd. | Magneto-optical recording medium and method |
| JP3029485B2 (ja) * | 1991-07-22 | 2000-04-04 | キヤノン株式会社 | 光磁気記録媒体 |
| US5851643A (en) * | 1993-11-11 | 1998-12-22 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording media and magnetic recording read-back system which uses such media |
| KR100222095B1 (ko) * | 1997-01-06 | 1999-10-01 | 윤덕용 | 니켈-백금 다층막으로 형성된 광자기 기록매체 |
| DE60003427T2 (de) * | 1999-06-07 | 2004-05-19 | Imation Corp., Saint Paul | Verfahren zur herstellung einer optischen platte mit reduziertem kantenkeil |
| US6611365B2 (en) | 2001-03-20 | 2003-08-26 | Imation Corp. | Thermoplastic substrates for holographic data storage media |
| US6961950B2 (en) * | 2001-09-04 | 2005-11-01 | Imation Corp. | Variable thickness stamper for creation of flat molded substrates |
| US7455889B2 (en) * | 2004-03-24 | 2008-11-25 | Imation Corp. | Holographic media fabrication techniques |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4293621A (en) * | 1978-10-12 | 1981-10-06 | Nippon Hoso Kyokai | Recording medium |
| CA1185013A (en) * | 1981-01-14 | 1985-04-02 | Kenji Ohta | Magneto-optic memory medium |
| JPH0670858B2 (ja) * | 1983-05-25 | 1994-09-07 | ソニー株式会社 | 光磁気記録媒体とその製法 |
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-
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