JPS62202099A - プリント基板のメツキ装置 - Google Patents

プリント基板のメツキ装置

Info

Publication number
JPS62202099A
JPS62202099A JP4364986A JP4364986A JPS62202099A JP S62202099 A JPS62202099 A JP S62202099A JP 4364986 A JP4364986 A JP 4364986A JP 4364986 A JP4364986 A JP 4364986A JP S62202099 A JPS62202099 A JP S62202099A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed circuit
circuit board
plating
bubbling
air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4364986A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Kato
浩二 加藤
Ryoji Koshio
小塩 良次
Toshio Yamadera
山寺 利夫
Masayuki Kojima
正行 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Plant Technologies Ltd
Original Assignee
Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Plant Technologies Ltd filed Critical Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority to JP4364986A priority Critical patent/JPS62202099A/ja
Publication of JPS62202099A publication Critical patent/JPS62202099A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0085Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor
    • H05K3/0088Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor for treatment of holes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/241Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はプリント基板のメッキ装置に係り、特に、多数
のスルーホールを有するプリント基板に適用するのに最
適なプリント基板のメッキ装置に関する。
〔発明の背景〕
電子機器等に用いられるプリント基板は、両面又は多層
にプリント基板を設けた場合、両面又は多層間の回路は
スルーホールを用いて接続されるが、このスルーホール
内のメッキは、電子回路の誤動作や不動作を防止するた
めには確実且つ十分に行なわていることが要求される。
特に、スルーホールのメツキネ良は外部から識別するこ
とが難しく、部品等を装着した後ではチェックの方法が
無いため、充分なメッキを事前に施すことは極めて重要
である。
近年、プリント基板に対する需要が広範囲になり、且つ
経済性、信願性にイ)れた高密度で高精度のプリント基
板が要求されている。例えば、高密度化に対しては、ア
スペクト比(プリント基板の厚さ/スルーホール径)が
従来の1〜2に対し、5或いは10程度の高アスペクト
比を有する基板が要求されている。このような極めて小
径のスルーボール内部をメッキする方法としては、無電
解による化学メッキがある。かかる、化学メッキでは、
数10μInのメッキ厚を得るためには長時間を要する
ことから、最初にスルーホール内部の絶縁部に無電解メ
ッキによって約0.5μmの厚さにし、その後に電気メ
ッキで約35μmの厚さにする処理が施されている。し
かし、スルーホールの径が極めて小さいため、メッキ液
の供給が不十分となり、メッキ厚が不均一になるという
問題がある。
また、電気メッキを高速化し、量産性を高めるためには
、電流密度を大きくすることによって達成されるが、メ
ッキ反応(電極反応)においては限界電流密度があるた
め、この値以上に大きくすることができない。この限界
電流密度は電解条件によって変わることから、最適電解
条件を選定し、限界電流密度を大きくしてやることによ
り、高速化を図ることができる。電気メツキ反応におけ
る限界電流密度idは、金属イオンの拡散に基づく濃度
分極によって決り、次式で表わされる。
1d=nXFXDXC/δ 但し、 n:金属イオンの荷電B (e q u i v/mo
 I)F:ファラデ一定数 (Coul/equiv)
D:金属イオンの拡i1シ係B (cut/ s e 
c )C:バルクの金属イオン濃度(m、ol/c+d
)δ:拡散層の厚さく cm ) 前記の式より明らかなように、限界電流密度Idを大き
くするためには、Cを大きくするか、もしくはδを小さ
くすることによって実現できる6Cはメッキ液中の金属
イオンが上限に設定されているので、変えることはでき
ず、δのみを小さくすることが可能である。このδはメ
ッキ液を攪拌することによって実現できる。
この問題及び前記メ、 =l= lゾの不均一の問題を
解決するため、従来、メッキ液の攪拌にバブリング装置
がメッキ装置に用いられる。第6図は従来のメッキ装置
で、図に示すようにメッキ電解槽10には調整した酸性
硫酸銅液(CuSO475g/N、HgSO4を190
g/6、その他の添加剤)等によるメッキ液12が満さ
れ、電解槽10の中央にプリント基板14がメッキ液1
2に浸され、クランプ冶具16によって係止される。又
、基板14はクランプ治具16を介して電源18の陰極
に接続される。一方、糟10内の両側面の付近にチタン
ハスケソI−で形成され銅ポールが挿入される陽極板2
0が設けられ、電源18に接続される。これにより、電
流が陽極板20からプリント基板14に流れ、プリント
基板14が電気メッキされる。又、この時に槽10の底
面に設けたバブリング攪拌装置22によってメッキ液は
攪拌される。
又、プリント基板14は、第7図に示すように、エポキ
シ樹脂等を用いた絶縁板24 (内部に銅7fj26が
多層に形成されている)にスルーホール28が形成され
、その外表面及びスルーホール28内には化学銅メッキ
層30が施され、更に、該メッキ層30の表面に電気銅
メッート層32が施される。
しかしながら、単純なエアバブリング方式による前記メ
ッキ装置による場合には、スルーホール28内のメッキ
厚は、化学銅メッキ層30が一定であるのに対し、電気
銅メッキ層32は、メッキ液の移動が小さいいため、第
7図に示すようにスルーホール28のエツジ部にメッキ
が集中し、厚みが不均一になる。又、プリント基板に垂
直あるいは斜め方向から高速水流を噴射したり、プリン
ト基板に機械的振動を加え、槽内でプリント基板を揺動
させたり、槽内で題名波振動を発生させ、プリント基板
の表面の液を振動させたりしても不具合は解消されない
〔発明の目的〕
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ス
ルーホール内のメソ;)−を均一に且つ高速に行なうこ
とのできるプリント基板のメ7・キ装置を提案すること
を目n勺としている。
〔発明の4既要〕 本発明は前記目的を達成する為に、メッキ槽のメッキ液
中にプリン)5板を浸して直流電圧を印加し、電気メッ
キを施すプリント基板のメッキ装置に於いて、前記メッ
キ槽内のプリント基板の下方に配置され、プリン1一基
板を境界面とする両側のメッキ’t(7j、を交互にガ
スでバブリング攪拌するバブリング装置を設けたことを
特徴とする。
〔実施例〕
以下、添付図面に従って本発明に係るプリント基板のメ
ッキ装置の好ましい実施例を詳説する。
第1図は本発明に係るメッキ装置の斜視図である。第1
図に示すようにメッキ装置は長形状のメッキ槽40から
なり、メッキ槽40はその上部40Δの一部か開口され
ている。メッキ槽40内にはメッキ液12に浸されたプ
リント基板14が配置され、プリント基板14はメッキ
槽40の開口42から挿入され、クランプ16の下端に
吊り下げられている。クランプ16の上端は移動コンベ
ア44に保持され、コンヘア44はメッキ槽40の」こ
方長手方向に配設されるレール46上に移動可能に保持
されている。これにより、プリント基板はクランプ16
に吊り下げられた状態でメッキ槽40内を長手方向に沿
って矢印の方向に移動する。
第1図及び第2図に示すようにメッキ液12中のプリン
ト基板14の両側には、チタンハスケソト20.20が
配置されバスケット20内には図示しない銅ボールが収
納されている。バスケット20は電源18に接続され、
バスケット20内の消ボールはバスケット20と共に陽
極に荷電される。またメッキ槽40の上面40Aの所定
間隔にはバスケット20内に銅ボールを供給するだめの
補給口52が形成される。一方、移動コンベア44の下
方には一定間隔にカーボンブラシ54が設けられ、カー
ボンブラシ54は電源18の陰極に接続される。プリン
ト基板14のクランプ16は移動に際してカーボンブラ
シ54と摺接し、この摺接によってクランプ16を介し
てプリント基板14が電源18の陰極に通電される。こ
のようにプリント基板14は移動可能な状fフで通電さ
れ、プリント基板14にはメッキが施される。
メッキ槽40の底面40Bの中央には仕切り板58が取
付られ、仕切り板58の上端には断面がコの字状のガイ
ドレール60が設けられる。この仕切り板58及びガイ
トレール60は基板14の移動方向に沿って設けられる
。プリント基板14の端部はガ・イドレール60のコの
字形状内に配置され、吊り下げられたプリント基板14
が左右にt1?)動しないようになっている。また仕切
り板58の両側にはエアバブリングノズル62L、62
Rが設けられ、バブリングノズル62L、62Rは仕切
り板58及びガイドレール60と同様にプリン1−恭板
14の移動方向に沿って設けられている。エアハゲリン
グノズル62L、62Rは管64L、64Rを介して3
方バルブ66に接続され、3方バブル66はブロアー6
8に接続される。ブロアー68からはバブリング用エア
が送られ、ブロアー68からのエアは3方バルブ66で
調節されて交互にノズル62丁、又はノズル62Rに送
られる。3方バルブ66でのバブリングエアの供給切り
換えはバルブ切換1凋整装置70によって自動的に行わ
れる。
前記の如く構成された本発明に係わるプリント基板のメ
ッキ装置によれば、プリント基板14はクランプ16を
介してメッキ槽40内に吊り下げられコンベア18によ
ってメッキ槽40内を移動する。プリント基板14には
電源18の陰極が通電され、泪ボール入りのチタンハケ
ソト20には電源18の陽極が通電され、プリント基板
14はその基板面のスルーホール28内にメッキが施さ
れる。プリン1一基板14のメッキが進むに従ってチタ
ンバケット20内の銅ポールが消費され定期的に補給口
52から銅ボールが補給される。
メッキ槽40の底面40B上のエアバブリングノズル6
2L及び62Rからはバブリングエアが噴出され、バブ
リングエアはブロア68から3方コツクロロを介して送
られる。3方バルブ66はバルブ切換調節装置70によ
って周期的に切換られ、ブロア68からのバブリングエ
アをノズル62L、6217に交互に周1■的に送る。
噴出されるバブリングエアは移動するプリント基板14
の両側のメッキ液を交互に攪拌する。
第3図はプリント基板14の左側のエアノズル62Lか
らのバブリングエアを噴出させたときのプリント基板1
4の断面を示すものである。第3図に示すようにエアバ
ブリングによって攪拌される左側のノブキ液I2中の拡
t’r’I P5は薄くなり、メッキ速度が犬き(なる
。このためスルーホール28内のメソ−1一層32は拡
散層に反比例してバブリング側で厚(、攪拌しない右側
に行くに従って薄くなる。一方、第4図はプリント基板
14の右側をバブリングしたもので、第3図の場合と逆
に拡散層が右側で薄くなり、スルーホール28内のメッ
キ層32はバブリングされる右側で厚く施され、左側で
河く施される。ノズル62L、62Rのバブリングエア
はバブル66によって周期的に交互に噴出されるので、
第5図に示すようにプリント基板14のスルーポール2
8内の拡散槽θを相対的に平均させ、スルーホール内の
メッキ層32か高速に且つ均一に施すことができる。
またこのように行う場合において、バルブ切換調節装置
70のバブリングエアの切換時間を15秒乃至60秒の
周回で変換し、且つメッキ電流密度を10 A、 /d
 tn、メッキay間を18分としてメッキを施すと、
約35μm厚の均一な電気メッキ層を形成することがで
きる。これは従来の装β′に比べて約3倍以上の高速化
が図れることきなる。
以上においては、プリント基板のスルーホールにメッキ
をする場合を例に説明したが、スルーホール以外に物、
例えば、金E+S、プラス千ツク板等に対するメッキに
も適用可能である。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明に係るプリン1一基板のメッ
キ装置によれば、メッキ槽液中にガスを発生させてプリ
ント基板を境界面とする両側のメ・7キ液を交互にバブ
リング攪拌するバブリング装置を設けたので、プリント
基板のスルーホール内を均一な厚みのメッキを施すこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係わるプリント基板のメッキ装置の斜
視図、第2図は本発明に係わるプリンl−基板のメッキ
装置の断面図、第3図、第4図及び第5図は本発明に係
わるプリント基板のメッキ装置で処理したときのプリン
ト基板の拡大断面図、第6図は従来のプリン)l板のメ
ッキ装置の断面図、第7図は従来のプリント基板のメッ
キ装置で処理したときのプリント基板の拡大断面図であ
る12・・・メッキ液、  14・・・プリント基板、
  40・・・メソ;1一槽、  60・・・ガイドブ
レート、62L、62R・・・エアバブリングノズル、
  66・・・3方バルブ、 68・・・ブL7ア、 
70・・・バルブ切換調節装置。 出願人    日立プラント建設株式会社第2図 第3図 告 告 第4図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)メッキ槽のメッキ液中にプリント基板を浸して直
    流電圧を印加し、電気メッキを施すプリント基板のメッ
    キ装置に於いて、前記メッキ槽内のプリント基板の下方
    に配置され、プリント基板を境界面とする両側のメッキ
    液を交互にガスでバブリング攪拌するバブリング装置を
    設けたことを特徴とするプリント基板のメッキ装置。
  2. (2)前記バブリング装置のガス発生ノズルはプリント
    基板を境界面として両側に設けられ、両側のノズルから
    交互に周期的にガスを発生させることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項記載のプリント基板のメッキ装置。
JP4364986A 1986-02-28 1986-02-28 プリント基板のメツキ装置 Pending JPS62202099A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4364986A JPS62202099A (ja) 1986-02-28 1986-02-28 プリント基板のメツキ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4364986A JPS62202099A (ja) 1986-02-28 1986-02-28 プリント基板のメツキ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62202099A true JPS62202099A (ja) 1987-09-05

Family

ID=12669711

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4364986A Pending JPS62202099A (ja) 1986-02-28 1986-02-28 プリント基板のメツキ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62202099A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0290591A (ja) * 1988-09-28 1990-03-30 Hitachi Ltd 孔内処理用治具
KR20020065711A (ko) * 2001-02-07 2002-08-14 차성욱 피씨비 동도금 방법
JP2009102699A (ja) * 2007-10-24 2009-05-14 Daisho Denshi:Kk めっき電流遮蔽体、めっき用治具、めっき装置、めっき基板の製造方法
KR101070841B1 (ko) 2011-06-02 2011-10-06 장병원 박판 인쇄 회로 기판의 동 도금라인에 있어서, 박판 인쇄 회로 기판의 도금방법 및 그 장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0290591A (ja) * 1988-09-28 1990-03-30 Hitachi Ltd 孔内処理用治具
KR20020065711A (ko) * 2001-02-07 2002-08-14 차성욱 피씨비 동도금 방법
JP2009102699A (ja) * 2007-10-24 2009-05-14 Daisho Denshi:Kk めっき電流遮蔽体、めっき用治具、めっき装置、めっき基板の製造方法
KR101070841B1 (ko) 2011-06-02 2011-10-06 장병원 박판 인쇄 회로 기판의 동 도금라인에 있어서, 박판 인쇄 회로 기판의 도금방법 및 그 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8801912B2 (en) Continuous copper electroplating method
US20060151328A1 (en) Method of electroplating a workpiece having high-aspect ratio holes
CZ278956B6 (en) Process for cleaning and/or metal coating of bored holes in horizontally guided guide plates and device for carrying out said process
JP4826756B2 (ja) 電気めっき方法
EP1438446B1 (en) System and method for electrolytic plating
JPS62202099A (ja) プリント基板のメツキ装置
JPH0354887A (ja) プリント基板の微小孔処理方法及びその装置
US20070144896A1 (en) Plating process enhanced by squeegee roller apparatus
CA2079033A1 (en) Electroplating means for perforated printed circuit boards to be treated in a horizontal pass
US4969985A (en) Device for transporting agitatable material having a vibrator which is submerged in a liquid
JPH0241873Y2 (ja)
JPS6277494A (ja) プリント基板のメツキ装置
JPS6277495A (ja) プリント基板のメツキ装置
US20240141534A1 (en) Distribution system for a process fluid for chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate
JPH10172974A (ja) 半導体ウエハのめっき方法及びその装置
KR102263628B1 (ko) 용해조
JP3265529B2 (ja) プリント配線板の製造方法
JPH049500A (ja) 電気めっき装置
JP3450179B2 (ja) 表面処理装置
JP3264175B2 (ja) 電気めっき装置および電気めっき方法
JPH0243399A (ja) 電気めっき槽
JPH03158498A (ja) 電気めっき装置及び電気めっき方法
JP2004332094A (ja) ブラインドビアホールを有する基板のビアフィリングめっき方法およびその装置
JPH0458196B2 (ja)
JPH031390B2 (ja)