JPS62200334A - エレクトロクロミツク表示素子 - Google Patents

エレクトロクロミツク表示素子

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JPS62200334A
JPS62200334A JP61042868A JP4286886A JPS62200334A JP S62200334 A JPS62200334 A JP S62200334A JP 61042868 A JP61042868 A JP 61042868A JP 4286886 A JP4286886 A JP 4286886A JP S62200334 A JPS62200334 A JP S62200334A
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JP
Japan
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display
electrode
layer
electrochromic
display element
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Pending
Application number
JP61042868A
Other languages
English (en)
Inventor
Shuichi Wada
秀一 和田
Tsunemi Oiwa
大岩 恒美
Akira Kawakami
章 川上
Toshikatsu Manabe
真辺 俊勝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はエレクトロクロミック物質の着消色変化によ
って各種ディスプレイの文字や模様などを表示するエレ
クトロクロミック表示素子に関する。
〔従来の技術〕
この種表示素子の代表的なものとして、たとえば第3図
で示すように、透光性である表示側基板1の内面に表示
電極2aを介してエレクトロクロミック物質層2bを設
けて所要パターンを構成するセグメントに分画された表
示極2とし、対向側基板3の内面に対向電極4aを介し
て対極物質層4bを設けて対向極4とし、対向配置させ
た側基板1.3の両極2.4間に電解液5を封入した素
子が知られる。なお、図中の6は表示電極2aの保護膜
、7は対向極4%と表示極2との間に設けられた背景材
、8はリード端子、9は対向電極4aと対同極例のリー
ド端子8とを電気的に接続する導電層、10は側基板1
.3間の周辺部に介在させたスペーサである。
このような表示素子にあっては、対向電極4aを共通電
極として所要の表示電極2aに電圧を印加することによ
り、エレクトロクロミック物質と対極物質との電解液5
を介した反応物質の着色変化、たとえばエレクトロクロ
ミック物質が酸化タングステンで電解液の電解質がリチ
ウム塩であるとき、WOl(透明) +nL i” +
n e−;L、 i nWOff(青色)の反応による
着消色変化にて所要パターンの表示がなされる。
ところで、表示電極2aとしては、これを通してエレク
トロクロミック物質層2bの着色変化を視認する必要が
あるため、従来よりITOと称されるインジウム−スズ
複合酸化物や酸化スズなどの透明導電膜が用いられてお
り、とくに前者の複合酸化物からなる透明導電膜がこの
種表示素子として有用な低い電気抵抗値を示すことから
一般的に汎用されている。そして上記複合酸化物にて表
示電極を構成した表示素子では、この複合酸化物が電気
化学的に不安定で表示素子の駆動の繰り返しによって次
第に電解液に侵されて劣化する性質を有するため、既述
した第3図で示す構成のように表示電極2aのエレクト
ロクロミック物質層2bで覆われていない部分を保護膜
6で被覆して電解液5から遮断することにより長寿命化
を図るのが普通である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上記従来構成の表示素子では、表示側基
板1の内面にインジウム−スズ複合酸化物の透明導電膜
を設けてこれをエツチングにてパターン化して表示電極
2aとしたのち、保護膜6を形成するためにSiO□な
どを全面蒸着し、この蒸着膜の表示パターン部分つまり
エレクトロクロミック物質層2bを形成すべき部分をエ
ツチングにて除去するという繁雑な工程が必要となり、
その製作に多大の労力および時間を費してコスト高とな
る問題点があった。
なお、保護膜6を形成しない表示素子も製作されている
が、これは素子の駆動電圧をかなり低く設定しないと寿
命が著しく短かくなるため、用途的に極めて限定される
。また表示電極2aを酸化スズにて構成した表示素子で
は、酸化スズが電気化学的に安定であるために保護膜6
を省略できるが、表示電極2aの電気抵抗値が高く性能
的に劣り、やはり用途面で限定される欠点がある。
したがって、この発明は、表示電極にインジウム−スズ
複合酸化物を使用するエレクトロクロミック表示素子に
おいて、その寿命の短縮および表示性能の低下を招来す
ることなく製作工程の大幅な簡略化とこれに伴うコスト
低減を図ることを目的としている。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明は、上記の目的を達成するために、表示電極を
インジウム−スズ複合酸化物からなる下層と酸化スズか
らなる上層との2層構造としたものである。
〔発明の構成・作用〕
この発明の表示素子は、表示電極が上述の如く2層構造
であるため、従来のように保護膜を設けなくてもすぐれ
た表示性能を具備してかつ長寿命である。
すなわち、上記表示電極は、その下層が電気抵抗値の低
いインジウム−スズ複合酸化物にて構成されているので
素子のすぐれた表示性能に必要な良好な導電性を示し、
しかも上層を構成する酸化スズが電気化学的に安定で電
解液に侵されにくいため、この上層が電解液に侵されや
すいインジウム−スズ複合酸化物からなる下層の表面を
保護する保護膜の機能を果たす。
この下層を構成するインジウム−スズ複合酸化物は、従
来よりITOと称されるもので、その厚みとしては従来
の同様複合酸化物からなる単層構造の表示電極と同程度
、一般には2,000〜2,500人程度に設定するの
がよく、薄すぎると表示電極全体としての導電性が低下
して素子の表示性能が悪(なる。また、酸化スズからな
る上層の厚さは、200Å以上、望ましくは200−1
,000人程度、と(に好適には400〜600人程度
とするのがより、薄すぎると保護膜としての機能が不充
分になり、逆に厚すぎる場合は上層とエレクトロクロミ
ック物質層との間の電気抵抗が太きくなって表示性能の
低下を招(。
第1図は、この発明に係るエレクトロクロミック表示素
子の構造例を示す・ 図中の11はガラスなどの透光性材料からなる表示側基
板、12は透光性または非透光性材料からなる対向側基
板、13はインジウム−スズ複合酸化物からなる下Jl
l 4aおよび酸化スズからなる上Jli14bの2層
構造を有する表示電極14とエレクトロクロミック物質
層15とで構成される表示極、16は対向電極17とそ
の上に設けられた対極物質層18とで構成される対向極
、19は背景材、20は電解液、21はリード端子、2
2は導電層、23はスペーサである。
ここで、表示極13を形成するには、第2図(A)で示
すように表示側基板11の一面側に下層14aのインジ
ウム−スズ複合酸化物と上層14bの酸化スズを真空蒸
着法、スパッタ法、イオンブレーティング法などの既存
の薄膜形成技術によって順次被着させたのち、この二重
被着層を従来の1層構造の表示電極の場合と同様に第2
図(B)ノ如り所要パターンにエツチングして表示電極
14を形成する。なお、このエツチングにおいては下層
14aが上N14bよりもエツチング液に侵されやすい
ため、下層14aの周辺部が凹状となる。つぎに表示電
極14を形成した基板11の全面にフォトレジストを塗
着して表示パターン部分のレジスト膜を除去したのち、
残るレジスト膜をマスクとしてエレクトロクロミック物
質を上記同様の薄膜形成技術によって被着させ、この被
着層の表示パターン部分以外を除去して第2図(C)の
如くエレクトロクロミック物質層15を形成する。
エレクトロクロミック物質1i15および電解液20と
しては、表示色に応じて種々の材料の組み合わせが存在
するが、最も汎用される青色表示の場合、エレクトロク
ロミック物質層15として酸化タングステン(W Oi
)、電解液20としてLiClO4などのリチウム塩を
プロピレンカーボネートなどの非水系溶媒に溶解したも
のが代表的に使用される。
また対向電極17は、インジウム−スズ複合酸化物など
の透明性導電膜を前記同様の薄膜形成技術によって被着
形成するか、もしくは金、白金などの貴金属またはこれ
らと他の金属との合金からなる箔状物を圧着あるいは接
着して形成される。
さらに対極物質N18は、活性炭素繊維からなるシート
を貼着するか、もしくはタングステン酸鉄(F e z
 Ox ・3 WO3)、酸化タングステン、二酸化マ
ンガン(MnO□)などの対極物質と結合剤と必要に応
じてカーボンブラックなどの導電助剤を含む塗料をスク
リーン印刷法などで塗布して硬化させることにより形成
される。
なお、背景材19は、対同極16を隠蔽してそれ自身の
色調を表示の背景とするもので、顔料と電解液とのゲル
体をスクリーン印刷法などで塗着したり、顔料とポリテ
トラフルオルエチレン粉末などの結合剤との混合物をシ
ート状に成形したものが使用される。また導電層22と
しては銀ペーストなどが用いられる。
〔発明の効果〕
この発明に係るエレクトロクロミック表示素子は、表示
極の表示電極がインジウム−スズ複合酸化物からなる下
層と酸化スズからなる上層との2層構造であり、この表
示電極の導電性が電気抵抗値の低い下層にて主体的に担
われて非常に良好であるためにすぐれた表示性能を示し
、しかも上層が下層の保護膜として機能するから、表示
電極が電解液にて侵されて劣化することがな(長寿命で
あり、その製作において従来のように繁雑な工程による
保護膜の形成を行う必要がないので製作工程の大幅な簡
略化およびコスト低減を図ることができる。
〔実施例〕
以下、この発明の実施例を比較例と対比して説明する。
実施例1 縦127N、横127N、厚さ1.1 nの透明ガラス
からなる表示側基板の一面側にインジウム−スズ複合酸
化物を2.000人の厚さに真空蒸着し、さらにこの上
に酸化スズ(SnO□)を100人の厚さに真空蒸着し
たのち、両蒸着膜を所定パターンにエツチングして上下
2層構造の透明導電膜からなる表示電極を形成した。
つぎに、この基板の表示電極を設けた一面側全面にフォ
トレジストを塗着して所定の表示パターンを形成し、こ
のパターン部分のみを除去したレジスト膜をマスクとし
て酸化タングステンを5,000人の厚さに真空蒸着し
、パターン部分以外の蒸着膜およびレジスト膜を除去し
てエレクトロクロミック物質層を形成した。
一方、縦127鶴、横127fi、厚さ1.1 mvs
の透明ガラスからなる対向側基板の一面側全面にインジ
ウム−スズ複合酸化物を2.500人の厚さに真空蒸着
して対向電極を形成したのち、この対向電極上に厚さ5
00μmの活性炭素繊維からなるシート(クラレ社製の
商品名CH−20)を貼着して対極物質層を形成し、さ
らにこの上に二酸化チタン50重量部とポリテトラフル
オルエチレン粉末50重量部の混合物からなる厚さ30
0μmのシート状成形物を貼着して背景材を形成した。
そして、上記側基板を表示極と対向極とが向かい合う形
で周辺部に厚さ750μmのガラス製方形環状スペーサ
を介在して対向配置して接着封止するとともに、内部に
1モル濃度のL i Cl’Oaを含むプロピレンカー
ボネート溶液に1重量%の純水を添加してなる電解液3
m1lを封入し、さらにリード端子の取付けと銀ペース
ト塗布による導電層の形成を行い、第1図で示す構成の
エレクトロクロミック表示素子を作製した。
実施例2 表示電極の酸化スズからなる上層の厚さを200人とし
た以外は実施例1と同様にしてエレクトロクロミック表
示素子を作製した。
実施例3 表示電極の酸化スズからなる上層の厚さを500人とし
た以外は実施例1と同様にしてエレクトロクロミック表
示素子を作製した。
実施例4 表示電極の酸化スズからなる上層の厚さを1,000人
とした以外は実施例1と同様にしてエレクトロクロミッ
ク表示素子を作製した。
比較例1 表示側基板の一面側にインジウム−スズ複合酸化物を2
.000人の厚さに真空蒸着し、この蒸着膜を実施例1
と同様にエツチングして単層構造の表示電極を形成した
のち、この形成面全面に5tO2を5.000人の厚さ
に真空蒸着して保護膜を形成し、さらにこの保護膜の表
示パターンを形成すべき部分をエツチングによって除去
し、つぎに実施例1と同様にフォトレジストによる表示
パターンの形成を行い、以降は実施例1と同様にしてエ
レクトロクロミック表示素子を作製した。
比較例2 表示電極をインジウム−スズ複合酸化物からなる厚さ2
.000人の単層構造とした以外は実施例1と同様にし
てエレクトロクロミック表示素子を作製した。
以上の実施例および比較例の表示素子を各複数個用いて
1.4V、2Hzの条件で着消色駆動を行い、各駆動回
数ごとに表示素子を分解して表示電極の状態を調べた。
その結果を下表に示す。なお、表中の評価はつぎのとお
りである。
○・・・異常なし Δ・・・一部溶解が認められる ×・・・全体的に溶解が認められる 上記の結果から明らかなように、この発明に係るエレク
トロクロミック表示素子(実施例1〜4)は、100万
回の駆動後でも表示電極に異常が認められず、とくに表
示電極の上層の厚みが200Å以上のもの(実施例2〜
4)では従来の5tO2からなる保護膜を設けたもの(
比較例1)と同等に200万回以上の駆動後でも異常が
なく、非常に長寿命であることが判る。これに対して表
示電極がインジウム−スズ複合酸化物の単層構造でSi
O□の保護膜を設けていない表示素子(比較例2)では
100万回の駆動後でも表示電極の溶解を生じることが
判る。なお、この試験過程の表示電極に異常がない状態
においては、各素子の青色表示の色調には目視観察上で
全く差異がなかった。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明のエレクトロクコミック表示素子の構
造例を示す縦断面図、第2図(A)〜(C)は同表示素
子の表示極の形成工程を順次示す要部縦断面図、第3図
は従来のエレクトロクロミック表示素子の縦断面図であ
る。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)少なくとも表示側が透光性である一対の基板が対
    向配置され、表示側基板の内面に表示電極を介してエレ
    クトロクロミック物質層を設けてなる表示極が形成され
    、対向側基板の内面に対向極が形成され、上記両極間に
    電解液が封入されてなるエレクトロクロミック表示素子
    において、上記表示電極がインジウム−スズ複合酸化物
    からなる下層と酸化スズからなる上層との2層構造であ
    ることを特徴とするエレクトロクロミック表示素子。
  2. (2)酸化スズからなる上層の厚みが200Å以上であ
    る特許請求の範囲第(1)項記載のエレクトロクロミッ
    ク表示素子。
  3. (3)エレクトロクロミック物質層が酸化タングステン
    からなる特許請求の範囲第(1)項または第(2)項記
    載のエレクトロクロミック表示素子。
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