JPS62196367A - 真空処理槽のクリ−ニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は主として真空蒸着、スパッタリングその他の真
空処理装置における真空処理槽内がらダスト粒子を除去
して該室内を清浄化するクリーニング装置に関する。

（従来の技術） 従来この種処理槽内のクリーニング手段としては、該処
理槽内に連なる真空ポンプその他の真空排気系を間歇的
に作動させて、排気とベントとのくり返しから成る所謂
サイクル排気を数回乃至数１０回行なわせる式のものが
知られる。

（発明が解決しようとする問題点） 然し乍ら、か）るサイクル排気によるクリーニングでは
、該槽内に多少ともダスト粒子が残存し、かくて引続く
真空処理作動に備えて該槽内を排気する場合、更にはそ
の作動後にベントする場合、該槽内の該ダスト粒子が舞
い上って該槽内のウェハ等を汚染しないように、該１ノ
ド気と該ベントとを比較的緩徐に行なわせるを要し、こ
れを換言すればスロー１Ｊｌ気と、スローベントとを必
要とし、かくてその作業が比較的艮時間となり作業能事
を損い勝ちである不都合を伴う。

（問題点を解決づるための手段） 本発明ばか箋る不都合のない装置、即ちスロー　’ｉ）
’ｒ気及びスローベントを不及とする装置を１すること
をその目的としたもので、真空ポンプその他の真空排気
系に連なる真空処理槽に、ブロアとフィルタとを有する
一側の給気通路と、その他側の排気通路とを接続させ、
該ブロアの作動によれば、空気その他の気体が、該給気
通路から該処理槽内を介して該排気通路に導かれて、該
７内のダスト粒子がこれに伴われるようにして成る。

（実施例） 木ざｔ明の実施例を別紙図面に付説明する。

第１図はその１例を示すもので、（１）は真空蒸着その
他の真空処理装置を構成すべき真空処理槽を示し、該処
理！ｅＪ（１）はこれに連なる真空ポンプその他の真空
排気系（２）と、開閉自在のリークバルブ（３）とを備
えると共に図示しないが適宜の手段により処理すべきウ
ェハその他のワークを出入自在に収容するしので、この
点は従来のものと特に異ならない。

本発明によれば、該処理槽（１）に、フィルタ（４）と
、ブロア（５）とをイ１する一側の給気通路（６）と、
その他側の排気通路（７）とを接続させ、かくて、該ブ
］コア（５）の作動によれば、空気その曲の気体が、該
給気通路（６）から、該処理Ｗ１ｃｉ＞内を介して該排
気通路（７）に導かれてこれに該Ｗ！（１）内のダスト
粒子が伴われるようにした。更に詳細には、該フィルタ
（４〉は高性能或は超高性能のフィルタから成り、これ
を該ブロア（５）の下流側に設けると共に、必要に応じ
その上流側にら略同様の高性能のフィルタ（８）を備え
るようにし、更に各通路（第３）　（７）にはこれを開
閉する各バルブ（９）　（ＩＧが介入されるようにした
。

かくて、各バルブ（９）　ｌ’ＩＯを聞いた状態から、
該ブロア（５）を作動させれば、外部の空気は該ブロア
（５）により該フィルタ（４）を介して、即ち該給気通
路（６）を介して該処理槽（１）内に比較的高速で導か
れて、該槽（１）内の壁面等に付着づるダスト粒子に舞
い上りを生じ、次いで該粒子を伴いつ）該ｌＪＦ気通路
（７）から外部に排出されるもので、これを要約すれば
該槽（１）内には所謂エアブ］コ一式のクリーニングが
与えられて、次の作動に備えられる。

この場合、該気体としては空気に代えて例えばドライＮ
２ガス等の不活性ガスを使用することが考えられるが、
例えばＮ２ガスの場合、比較的高価でありこれをそのま
）排出することは不経流であり、かくて例えば第２図示
のように構成する。即ち、この場合、該排気通路（７）
のＦ流喘を該粘気通路（６）の上流端に接続して全体と
して循環路に構成させるようにし、更にこれに該ガスの
供給源（１１）を開閉自在のバルブ０を介して接続しＣ
該循環路に該ガスの所定量が与え得られるようにした。

図面でｌ′ｌｅは圧カム！を示す。

その作動は、該ガスが循環して使用される点を除いて先
のものと特に異ならない。

（作　用） 次いでその作用を説明するに、前記の通りであり、即ら
該ブロア（５）の作動によれば、空気その他の気体が該
吸気路（６）から該処理槽（１）内に導かれて、該ＷＩ
（１）内に存するダスト粒子に舞い−Ｆりを生じ、次い
で該粒子を伴いつ１該排気通路（７）に導かれるもので
、かくて該槽（１）内は所謂エアブ［１一式のクリーニ
ング作用が与えられて、次の作動に備えられる。

尚、発明者はそのクリーニング効果を確認するため、次
の実験を行なった。

（実験例１） 真空処理槽（１）内にウェハを収容し、通常ではダスト
粒子の舞い上りを生ずる速度で排気とベントを繰り返す
ナイクル排気を５０回行なったところ、該ウェハ上には
直径０．５ミクロン以上のダスト粒子が３０個／ｃｉ付
着した状態にｌｒＦられた。

（実験例２） 該真空処理槽（１）内にウェハを入れない状態で該ブロ
ア（５）を作動させて本発明による所謂ブロ一式のクリ
ーニングを施した後、次いで該槽（１）内にウェハを収
容しＩＷｆ記実施例１と同様にサイクル排気を５０回行
なったところ、該ウェハ上に付着する直径０．５ミクロ
ン以上のダスト粒子は２個／　ｃｉであった。

以上により本発明装置によるクリーニングの効果が確認
された。

、（光用の効果） このように本発明によるとぎは、真空処し！Ｉ！槽に一
側の給気通路と、他側の排気通路とを備えて、空気その
他の気体を該給気通路から該処理槽内に、次いで該排気
通路とに強制的に導かせて、これに該槽内のダスト粒子
を伴わせるもので、所謂エアブロ一式のクリーニングを
簡単に行なわせることが出来、かくて真空蒸着その他に
備える引続く排気或は平復のベントを比較的高速となし
得て作業能率を向上することが出来その構成は簡単で廉
価に得られると共に操作は簡単且容易である等の効果を
有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の１例の説明線図、第２図はその変
形例の説明線図である。 （１）・・・真空処理槽 （２）・・・真空排気系 （４）・・・フィルタ （５）・・・ブロア （６）・・・給気通路 （７）・・・排気通路 外２名

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. １．　真空ポンプその他の真空排気系に連なる真空処理
   槽に、ブロアとフィルタとを有する一側の給気通路と、
   その他側の排気通路とを接続させ、該ブロアの作動によ
   れば、空気その他の気体が、該給気通路から該処理槽内
   を介して該排気通路に導かれて、該室内のダスト粒子が
   これに伴われるようにして成る真空処理槽のクリーニン
   グ装置。
2. ２．　該排気通路の下流端を、該給気通路の上流端に接
   続して両通路と該処理槽内とで該気体の循環路を形成さ
   せると共に、これに該気体を構成するＮ＿２ガスその他
   の不活性ガスの供給源を接続して成る特許請求の範囲第
   １項所載の真空処理槽のクリーニング装置。