JP2537247B2 - クリ―ンル―ム - Google Patents
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- JP2537247B2 JP2537247B2 JP62248875A JP24887587A JP2537247B2 JP 2537247 B2 JP2537247 B2 JP 2537247B2 JP 62248875 A JP62248875 A JP 62248875A JP 24887587 A JP24887587 A JP 24887587A JP 2537247 B2 JP2537247 B2 JP 2537247B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フィルタダクト方式のクリーンルームに関
する。
する。
例えば半導体ウエハーの製造を行なうクリーンルーム
は、室内空気に対して高度の清浄度が要求される。
は、室内空気に対して高度の清浄度が要求される。
従来、この種のクリーンルームとしては、例えば第13
図に示す全面ラミナーフロー方式（全面天井吹出し）や
第14図に示すコンベンショナル方式が用いられている。
図に示す全面ラミナーフロー方式（全面天井吹出し）や
第14図に示すコンベンショナル方式が用いられている。
全面ラミナーフロー方式では、第13図に示す如く、ク
リーンルームＲの上部一杯に天井チャンバTcを設け、こ
の天井チャンバTcの下面全体にフィルタＨとしてHEPA
（High Efficiency Particulate Airfilter）が敷設さ
れると共に、多数の吸出孔Yaを有する床Ｙが張られ、ク
リーンルームＲ外に設置された送風ファンＦから送気ダ
クトDs→天井チャンバTc→フィルタＨ→室内Rn→吸気孔
Ya→床下チャンバYc→排気ダクトDe→送風ファンＦの経
路により、清浄空気ａを循環させている。
リーンルームＲの上部一杯に天井チャンバTcを設け、こ
の天井チャンバTcの下面全体にフィルタＨとしてHEPA
（High Efficiency Particulate Airfilter）が敷設さ
れると共に、多数の吸出孔Yaを有する床Ｙが張られ、ク
リーンルームＲ外に設置された送風ファンＦから送気ダ
クトDs→天井チャンバTc→フィルタＨ→室内Rn→吸気孔
Ya→床下チャンバYc→排気ダクトDe→送風ファンＦの経
路により、清浄空気ａを循環させている。
又、コンベンショナル方式では、第14図に示す如く、
クリーンルームＲの上部に張設した天井板Tbの所要箇所
に、フィルタＨを下面に設けたフィルタチャンバHcを複
数個配設し、それぞれに分岐した送気ダクトDsを導き、
送気ファンＦから送気ダクトDs→フィルタチャンバHc→
（フィルタＨ）→室内Rn→室側壁Rs下部に開口した吸入
穴Ra→排気ダクトDe→送風ファンＦの経路により清浄空
気ａを循環させ、室内Rnの空気清浄度を高めている。
クリーンルームＲの上部に張設した天井板Tbの所要箇所
に、フィルタＨを下面に設けたフィルタチャンバHcを複
数個配設し、それぞれに分岐した送気ダクトDsを導き、
送気ファンＦから送気ダクトDs→フィルタチャンバHc→
（フィルタＨ）→室内Rn→室側壁Rs下部に開口した吸入
穴Ra→排気ダクトDe→送風ファンＦの経路により清浄空
気ａを循環させ、室内Rnの空気清浄度を高めている。
従来のクリーンルームは上記のように構成されている
ので、全面ラミナーフロー方式のものにあっては、清浄
空気流は、整斉とした層流となるが、天井チャンバを必
要とし、フィルタも全面敷設となるため、室内天井が低
くなるばかりか、材料費や施設工事費が高価になるとい
う不都合がある。
ので、全面ラミナーフロー方式のものにあっては、清浄
空気流は、整斉とした層流となるが、天井チャンバを必
要とし、フィルタも全面敷設となるため、室内天井が低
くなるばかりか、材料費や施設工事費が高価になるとい
う不都合がある。
一方、コンベンショナル方式のものでは、フィルタチ
ャンバのフィルタ部分が天井板下面に突出しており、而
も清浄空気の吹出しが下方の一方向だけであるため、フ
ィルタ側方に渦流が停滞して循環しないので、清浄する
ことができないという欠点がある。
ャンバのフィルタ部分が天井板下面に突出しており、而
も清浄空気の吹出しが下方の一方向だけであるため、フ
ィルタ側方に渦流が停滞して循環しないので、清浄する
ことができないという欠点がある。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為され
たもので、その目的は、天井チャンバやフィルタチャン
バを必要とせず、室内天井を高くすることができるばか
りか、低コスト化を図ることが可能であり、又、室内上
部に渦流を停滞させることなく、整斉とした上記空気の
層流が得られるフィルタダクト方式のクリーンルームを
提供することにある。
たもので、その目的は、天井チャンバやフィルタチャン
バを必要とせず、室内天井を高くすることができるばか
りか、低コスト化を図ることが可能であり、又、室内上
部に渦流を停滞させることなく、整斉とした上記空気の
層流が得られるフィルタダクト方式のクリーンルームを
提供することにある。
本発明に係るクリーンルームは、支持部材と、フィル
タと、少なくとも一側に湾曲部を有する接続用の枠体と
を有し、フィルタの長手方向の少なくとも一側部を湾曲
させて支持部材に取り付けると共に、支持部材の長手方
向両端部に接続用の枠体を取り付け、枠体内にフィルタ
を架設して成るフィルタダクトユニットを、複数台一列
に連結して構成したフィルタダクトを室内上部に所要の
間隔をもって併設すると共に、フィルタダクトの各列中
間に整流部材を設置したものである。
タと、少なくとも一側に湾曲部を有する接続用の枠体と
を有し、フィルタの長手方向の少なくとも一側部を湾曲
させて支持部材に取り付けると共に、支持部材の長手方
向両端部に接続用の枠体を取り付け、枠体内にフィルタ
を架設して成るフィルタダクトユニットを、複数台一列
に連結して構成したフィルタダクトを室内上部に所要の
間隔をもって併設すると共に、フィルタダクトの各列中
間に整流部材を設置したものである。
本発明に於ては、90度方向、又は180度方向へ清浄空
気を吹き出すフィルタダクトを室内天井に所要の間隔を
もって併設するとともに、該フィルタダクトの中間に整
流部材を設置して構成したものであるから、フィルタか
ら吹き出される清浄空気の横方向へ進むものは、整流部
材によって円滑に進路を下方向へ案内され、斜め方向へ
進むものは、両方から合流して下方へ向かい、下方へ進
むものは、そのまま床へ向かい、これらが総合されて層
流となる。
気を吹き出すフィルタダクトを室内天井に所要の間隔を
もって併設するとともに、該フィルタダクトの中間に整
流部材を設置して構成したものであるから、フィルタか
ら吹き出される清浄空気の横方向へ進むものは、整流部
材によって円滑に進路を下方向へ案内され、斜め方向へ
進むものは、両方から合流して下方へ向かい、下方へ進
むものは、そのまま床へ向かい、これらが総合されて層
流となる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図乃至第５図は本発明の第一実施例を示すもので
ある。尚、従来例と同一、又は相当部分は同一符号を用
い、その説明は省く。
ある。尚、従来例と同一、又は相当部分は同一符号を用
い、その説明は省く。
第１図に於て、１はクリーンルームを示し、２はこの
クリーンルーム１の天井1t及び側壁1sに取り付けた天井
隅用フィルタダクト、３はこの天井隅用フィルタダクト
２に対し所要の間隔をもって併設された天井用フィルタ
ダクト、４は両フィルタダクト2,3のほぼ中央に併設さ
れた照明器具５の保持を兼ねた整流部材である。そし
て、側壁1s,1sそれぞれの下部両隅付近は開口した吸出
孔1aから室内1nの清浄空気ａは、排気ダクトDeにより前
記クリーンルーム１の外部に設置された送風ファンＦに
導かれ、更に送気ダクトDsを通り、それぞれの分岐ダク
トDbを介して天井隅用フィルタダクト２及び天井用フィ
ルタダクト３へ送られるようになっている。
クリーンルーム１の天井1t及び側壁1sに取り付けた天井
隅用フィルタダクト、３はこの天井隅用フィルタダクト
２に対し所要の間隔をもって併設された天井用フィルタ
ダクト、４は両フィルタダクト2,3のほぼ中央に併設さ
れた照明器具５の保持を兼ねた整流部材である。そし
て、側壁1s,1sそれぞれの下部両隅付近は開口した吸出
孔1aから室内1nの清浄空気ａは、排気ダクトDeにより前
記クリーンルーム１の外部に設置された送風ファンＦに
導かれ、更に送気ダクトDsを通り、それぞれの分岐ダク
トDbを介して天井隅用フィルタダクト２及び天井用フィ
ルタダクト３へ送られるようになっている。
ところで、天井隅用フィルタダクト２及び天井用フィ
ルタダクト３は、それぞれ天井隅用フィルタダクトユニ
ット21及び天井用フィルタダクトユニット31が複数台一
列に連結されて構成されたものであり、一方、整流部材
４も１本又は複数本の蛍光灯等の照明器具５を有する整
流ユニット41を複数個一列に連結したものである。
ルタダクト３は、それぞれ天井隅用フィルタダクトユニ
ット21及び天井用フィルタダクトユニット31が複数台一
列に連結されて構成されたものであり、一方、整流部材
４も１本又は複数本の蛍光灯等の照明器具５を有する整
流ユニット41を複数個一列に連結したものである。
天井隅用フィルタダクトユニット21は、第２図に示す
如く、方形の平板を横断面ほぼＬ形に形成した支持部材
22の長手方向両端辺に、湾曲部23wを形成した板枠23一
対を突設し、前記湾曲部23w内に湾曲したフィルタ24を
パッキン25を介して架設し、内枠26により固定したもの
である。
如く、方形の平板を横断面ほぼＬ形に形成した支持部材
22の長手方向両端辺に、湾曲部23wを形成した板枠23一
対を突設し、前記湾曲部23w内に湾曲したフィルタ24を
パッキン25を介して架設し、内枠26により固定したもの
である。
板枠23の支持部材22に接するＬ形部23lの面には、天
井隅用フイルタダクトユニット21の連結に際し気密にす
るための管型パッキン27を挾持するパッキン溝23mが形
成されており、又、湾曲部28wの面には連結用の皿ビス2
8を取り付ける皿ビス用孔23aが適当な間隔をもって複数
個穿設されている。
井隅用フイルタダクトユニット21の連結に際し気密にす
るための管型パッキン27を挾持するパッキン溝23mが形
成されており、又、湾曲部28wの面には連結用の皿ビス2
8を取り付ける皿ビス用孔23aが適当な間隔をもって複数
個穿設されている。
又、支持部材22の横方向の両端辺部22hには、クリー
ンルーム１の側壁1s及び天井1tにそれぞれ皿ビス止めす
るための取付孔22aが複数個穿設されている。
ンルーム１の側壁1s及び天井1tにそれぞれ皿ビス止めす
るための取付孔22aが複数個穿設されている。
一方、天井用フィルタダクトユニット31は、第３図に
示す如く、長方形の平板をもって支持部材32として、長
手方向の両端辺に180度方向に湾曲部33wを形成する平面
Ｄ形の板枠33一対を突設し、湾曲部33w内に湾曲したフ
ィルタ34をパッキン35を介して架設して、内枠36により
固定したものである。
示す如く、長方形の平板をもって支持部材32として、長
手方向の両端辺に180度方向に湾曲部33wを形成する平面
Ｄ形の板枠33一対を突設し、湾曲部33w内に湾曲したフ
ィルタ34をパッキン35を介して架設して、内枠36により
固定したものである。
その他の構成は、前述の天井隅用フィルタダクトユニ
ット21と略同様で、天井1tへの取付孔32a,板枠33のパッ
キン溝33m（管型パッキン37用），連結用の皿ビス用孔3
3aがそれぞれ設けられている。
ット21と略同様で、天井1tへの取付孔32a,板枠33のパッ
キン溝33m（管型パッキン37用），連結用の皿ビス用孔3
3aがそれぞれ設けられている。
尚、第４図に示すように、支持部材と板枠とを一体に
平板から打ち抜き、破線に沿い折曲げ加工して形成すれ
ば、天井隅用フィルタダクト21（同図（ａ）参照），天
井用フィルタダクト31（同部（ｂ）参照）とも外形を極
めて簡単に作成することができる。又、要部だけを部分
的に打抜き形成しても良い。
平板から打ち抜き、破線に沿い折曲げ加工して形成すれ
ば、天井隅用フィルタダクト21（同図（ａ）参照），天
井用フィルタダクト31（同部（ｂ）参照）とも外形を極
めて簡単に作成することができる。又、要部だけを部分
的に打抜き形成しても良い。
前記両フィルタダクトユニット21,31は、叙上の構成
となっているので、それぞれ所要の個数を連結して天井
隅用フィルタダクト２及び天井用フィルタダクト３を組
み立て、それぞれの両端に位置する板枠23,23及び33,33
を第１図に見られるように送気ダクトDsの分岐ダクトDb
を接続した蓋板29,39で塞ぎ、クリーンルーム１の所定
位置に取り付けると共に、照明器具５を装備した整流部
材４を設置する。そして、清浄空気ａを送風ファンＦ→
送気ダクトDs→分ダクトDb→天井隅用フィルタダクト２
又は天井用フィルタダクト３→室内1n→吸出孔1a→排気
ダクトDe→送風ファンＦの経路で循環させると、第５図
に示すように室内1nに於ては、フィルタ24,34から吹き
出される清浄空気ａが横方向へ吹き出すものは整流部材
４によって進む方向を下方へ案内され、斜下方へ吹き出
すものは両方から合流して下方へ向かい、下方へ吹き出
すものはそのまま床へ向かって進み、これらが総合され
て層流となり、天井1t近くに停滞する渦流を発生するこ
とはない。
となっているので、それぞれ所要の個数を連結して天井
隅用フィルタダクト２及び天井用フィルタダクト３を組
み立て、それぞれの両端に位置する板枠23,23及び33,33
を第１図に見られるように送気ダクトDsの分岐ダクトDb
を接続した蓋板29,39で塞ぎ、クリーンルーム１の所定
位置に取り付けると共に、照明器具５を装備した整流部
材４を設置する。そして、清浄空気ａを送風ファンＦ→
送気ダクトDs→分ダクトDb→天井隅用フィルタダクト２
又は天井用フィルタダクト３→室内1n→吸出孔1a→排気
ダクトDe→送風ファンＦの経路で循環させると、第５図
に示すように室内1nに於ては、フィルタ24,34から吹き
出される清浄空気ａが横方向へ吹き出すものは整流部材
４によって進む方向を下方へ案内され、斜下方へ吹き出
すものは両方から合流して下方へ向かい、下方へ吹き出
すものはそのまま床へ向かって進み、これらが総合され
て層流となり、天井1t近くに停滞する渦流を発生するこ
とはない。
尚、室内1nに一点鎖線で示すように、吸出孔Yaを有す
る床Ｙを張って床下チャンバYcを設け、全面床吸込みと
した場合には、従来の全面ラミナーフロー方式と同等の
気流効果を得ることが可能となる。
る床Ｙを張って床下チャンバYcを設け、全面床吸込みと
した場合には、従来の全面ラミナーフロー方式と同等の
気流効果を得ることが可能となる。
又、本実施例では、天井用フィルタダクト３を１列だ
け設置してあるが、クリーンルーム１の大きさに応じて
複数列を配設することはいうまでもない。
け設置してあるが、クリーンルーム１の大きさに応じて
複数列を配設することはいうまでもない。
更に、板枠23,33に架設するフィルタ24,34は１枚の湾
曲形を用いたが、複数枚の平板型のフィルタを横断面が
多角形の一部を為す形に併設して、略湾曲型のフィルタ
としても良い。
曲形を用いたが、複数枚の平板型のフィルタを横断面が
多角形の一部を為す形に併設して、略湾曲型のフィルタ
としても良い。
又、天井用フィルタダクト３の代わりに、天井隅用フ
ィルタダクト２一対を背中合わせに結合して使用しても
良い。
ィルタダクト２一対を背中合わせに結合して使用しても
良い。
又、上記実施例では、整流部材４に照明器具５を装備
したが、照明器具５は天井隅用フィルタダクト２と整流
部材４との間の天井、及び天井用フィルタダクト２と整
流部材４との間の天井に埋設しても良い。
したが、照明器具５は天井隅用フィルタダクト２と整流
部材４との間の天井、及び天井用フィルタダクト２と整
流部材４との間の天井に埋設しても良い。
第６図は本発明の別の実施例に係るクリーンルーム
１′を示す。
１′を示す。
このクリーンルーム１′は、第１図に示しクリーンル
ームよりも長手方向が長くて風量が多いタイプのもので
ある。
ームよりも長手方向が長くて風量が多いタイプのもので
ある。
第７図乃至第９図は第６図に於ける天井隅用ユニット
51を示すものである。
51を示すものである。
天井隅用ユニット51は、長手方向両端辺にフランジ53
が取り付けてある断面コ字状のダクト52と、フィルタ54
と、一側に湾曲部56を有する接続用のフランジ55とを有
し、フィルタ54の長手方向の一側部を湾曲させてフラン
ジ56に取り付けてフランジ56内にパッキン60を介してフ
ィルタ54の端部を架設し、フィルタ54の湾曲部55と対向
する部位に板体57を配し、フィルタ54及び板体57の上部
に補強プレート58,59を載置し、補強プレート58,59上に
断面コ字状のダクト52を取り付けた後、補強プレート5
8,59の部位でビス61によって固着されるようになってい
る。
が取り付けてある断面コ字状のダクト52と、フィルタ54
と、一側に湾曲部56を有する接続用のフランジ55とを有
し、フィルタ54の長手方向の一側部を湾曲させてフラン
ジ56に取り付けてフランジ56内にパッキン60を介してフ
ィルタ54の端部を架設し、フィルタ54の湾曲部55と対向
する部位に板体57を配し、フィルタ54及び板体57の上部
に補強プレート58,59を載置し、補強プレート58,59上に
断面コ字状のダクト52を取り付けた後、補強プレート5
8,59の部位でビス61によって固着されるようになってい
る。
又、フランジ53及び54には、連結用の皿ビス63を取り
付ける皿ビス用孔62が適当な間隔をもって複数個穿設さ
れている。
付ける皿ビス用孔62が適当な間隔をもって複数個穿設さ
れている。
斯くして構成された天井隅用ユニット51は、パッキン
を介して各フランジ53同士が接合されると共に、皿ビス
62によって連結されて、第６図に示す如き所定長さの天
井隅用ダクト２′形成することができる。
を介して各フランジ53同士が接合されると共に、皿ビス
62によって連結されて、第６図に示す如き所定長さの天
井隅用ダクト２′形成することができる。
第10図乃至第12図は第６図に於ける天井用ユニット71
を示すものである。
を示すものである。
天井用ユニット71は、長手方向両端辺にフランジ73が
取り付けてある断面コ字状のダクト72と、フィルタ74
と、両側に湾曲部76を有する接続用のフランジ75とを有
し、フィルタ74の長手方向の両側部を湾曲させてフラン
ジ77に取り付けてフランジ77内にパッキン80を介してフ
ィルタ74の端部を架設し、フィルタ74の上部に側部に適
当間隔で複数の皿ビス取付孔82を穿設した補強プレート
78,79を載置し、補プレート78,79上に断面コ字状のダク
ト72強を取り付けた後、補強プレート78,79の部でビス8
3によって固着されるようになっている。
取り付けてある断面コ字状のダクト72と、フィルタ74
と、両側に湾曲部76を有する接続用のフランジ75とを有
し、フィルタ74の長手方向の両側部を湾曲させてフラン
ジ77に取り付けてフランジ77内にパッキン80を介してフ
ィルタ74の端部を架設し、フィルタ74の上部に側部に適
当間隔で複数の皿ビス取付孔82を穿設した補強プレート
78,79を載置し、補プレート78,79上に断面コ字状のダク
ト72強を取り付けた後、補強プレート78,79の部でビス8
3によって固着されるようになっている。
又、フランジ83及び87には、連結用の皿ビスを取り付
ける皿ビス用孔84が適当な間隔をもって複数個穿設され
ている。
ける皿ビス用孔84が適当な間隔をもって複数個穿設され
ている。
斯くして構成された天井用ユニット71は、パッキンを
介して各フランジ73同士が接合されると共に、皿ビスに
よって連結されて、第６図に示す如き所定長さの天井隅
用ダクト３′を形成することができる。
介して各フランジ73同士が接合されると共に、皿ビスに
よって連結されて、第６図に示す如き所定長さの天井隅
用ダクト３′を形成することができる。
本実施例によれば、第１図のユニット21,31に比し、
本実施例ではダクト52,72が箱断面を為しているため、
断面積が大きくなり、所定の風量を補うことが可能とな
る。
本実施例ではダクト52,72が箱断面を為しているため、
断面積が大きくなり、所定の風量を補うことが可能とな
る。
又、本実施例によれば、天井下に垂下がるフィルタ部
分をできるだけ短くしたい場合に、ダクト52,72を天井
内に入れることによって形成することができる。
分をできるだけ短くしたい場合に、ダクト52,72を天井
内に入れることによって形成することができる。
以上説明したように本発明は、フィルタダクトを併設
するとともに、それらの中間に整流部材を設置して構成
したため、ほぼ曲面を形成するフィルタから側方、斜下
方及び下方へ清浄空気を吹き出すので、処理風量が多く
なるばかりか、整流部材によりフィルタ相互間の気流干
渉をなくして下方へ流れることにより、全面天井吹出し
と同等の平面気流分布が得られる。
するとともに、それらの中間に整流部材を設置して構成
したため、ほぼ曲面を形成するフィルタから側方、斜下
方及び下方へ清浄空気を吹き出すので、処理風量が多く
なるばかりか、整流部材によりフィルタ相互間の気流干
渉をなくして下方へ流れることにより、全面天井吹出し
と同等の平面気流分布が得られる。
又、フィルタダクト方式であり、フィルタダクトの端
面に送気ダクトの分岐管を接続するので、天井板上を長
い分岐管を這わせる空積や天井チャバを設ける必要がな
いため、室内の天井を高くすることができ、而も室内か
ら装着することが可能なので取付作業も簡単容易とな
り、全般的にコストの低減を図ることができるなど数々
の効果が得られる。
面に送気ダクトの分岐管を接続するので、天井板上を長
い分岐管を這わせる空積や天井チャバを設ける必要がな
いため、室内の天井を高くすることができ、而も室内か
ら装着することが可能なので取付作業も簡単容易とな
り、全般的にコストの低減を図ることができるなど数々
の効果が得られる。
1,1′……クリーンルーム 1n……案内 2,2′……天井隅用フィルタダクト 3,3′……天井用フィルタダクト ４……整流部材 ５……照明器具 21,51……天井隅用フィルタダクトユニット 22,32……支持部材 23,33……板枠 23w,33w……湾曲部 24,34……フィルタ 31,71……天井用フィルタダクトユニット。
Claims (10)
- 【請求項１】支持部材と、フィルタと、少なくとも一側
に湾曲部を有する接続用の枠体とを有し、フィルタの長
手方向の少なくとも一側部を湾曲させて支持部材に取り
付けると共に、支持部材の長手方向両端部に接続用の枠
体を取り付け、枠体内にフィルタを架設して成るフィル
タダクトユニットを、複数台一列に連結して構成したフ
ィルタダクトを室内上部に所要の間隔をもって併設する
と共に、フィルタダクトの各列中間に整流部材を設置し
たことを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項２】整流部材は、照明機器保持部を有すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のクリーンルー
ム。 - 【請求項３】フィルタダクトユニットは、支持部材の長
手方向両端辺に、湾曲部を形成し、フィルタ保持を兼ね
る接続用の板枠一対を突設すると共に、枠体の湾曲部内
にフィルタを架設して構成されていることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。 - 【請求項４】支持部材は、長方形の平板であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。 - 【請求項５】支持部材は、方形の平板を横断面ほぼＬ形
に形成したものであることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のクリーンルーム。 - 【請求項６】支持部材は、断面コ字状のダクトであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のクリーンル
ーム。 - 【請求項７】支持部材は、長手方向両端辺にフランジが
取り付けてあることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のクリーンルーム。 - 【請求項８】枠体は、フランジであることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のクリーンルーム。 - 【請求項９】フィルタダクトユニットは、長手方向両端
辺にフランジが取り付けてある断面コ字状のダクトと、
フィルタと、一側に湾曲部を有する接続用のフランジと
を有し、フィルタの長手方向の一側部を湾曲させてフラ
ンジを取り付けてフランジ内にフィルタの端部を架設
し、フィルタの湾曲部と対向する部位に板体を配し、フ
ィルタ及び板体の上部に補強プレートを載置し、補強プ
レート上に断面コ字状のダクトを取り付けて構成したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のクリーンル
ーム。 - 【請求項１０】フィルタダクトユニットは、長手方向両
端辺にフランジが取り付けてある断面コ字状のダクト
と、フィルタと、両側に湾曲部を有する接続用のフラン
ジとを有し、フイルタの長手方向の両側部を湾曲させて
フランジを取り付けてフランジ内にフィルタの端部を架
設し、フィルタの上部に補強プレートを載置し、補強プ
レート上に断面コ字状のダクトを取り付けて構成したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のクリーンル
ーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62248875A JP2537247B2 (ja) | 1987-01-28 | 1987-10-01 | クリ―ンル―ム |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62-16163 | 1987-01-28 | ||
| JP1616387 | 1987-01-28 | ||
| JP62248875A JP2537247B2 (ja) | 1987-01-28 | 1987-10-01 | クリ―ンル―ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63294440A JPS63294440A (ja) | 1988-12-01 |
| JP2537247B2 true JP2537247B2 (ja) | 1996-09-25 |
Family
ID=26352428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62248875A Expired - Fee Related JP2537247B2 (ja) | 1987-01-28 | 1987-10-01 | クリ―ンル―ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2537247B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2004114378A1 (ja) * | 2003-06-19 | 2006-07-27 | 北海道ティー・エル・オー株式会社 | クリーンユニット、クリーンユニットシステム、機能ユニット、機能ユニットシステム、材料処理方法、素子製造方法、細胞系育成方法および植物体育成方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62252840A (ja) * | 1986-04-24 | 1987-11-04 | Nitta Kk | 筒状のフィルタ装置利用のクリ−ンル−ム |
-
1987
- 1987-10-01 JP JP62248875A patent/JP2537247B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63294440A (ja) | 1988-12-01 |
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Legal Events
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