JPS6188449A - 反射体用保護膜 - Google Patents
反射体用保護膜Info
- Publication number
- JPS6188449A JPS6188449A JP20983284A JP20983284A JPS6188449A JP S6188449 A JPS6188449 A JP S6188449A JP 20983284 A JP20983284 A JP 20983284A JP 20983284 A JP20983284 A JP 20983284A JP S6188449 A JPS6188449 A JP S6188449A
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- JP
- Japan
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- reflector
- protective film
- film
- glass
- refractive index
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明:禾たとえば高出力ハロゲン電球の反射体に仮着
さnる多ノ1カ光学fB7の耐久性化向上させる反射体
用保護膜に口する。
さnる多ノ1カ光学fB7の耐久性化向上させる反射体
用保護膜に口する。
し発明の技術面背景とその問題点〕
従来、反射体としてたとえばハロゲン電球用のレフレク
タにはその中央fこ装貴さねた高圧力ランプからのり視
光を効果的に反射させ、かつ、熱保を吸収するため1反
射面にたとえばZnS−AlgF、 、またはZnS−
8in!のようC:高屈折率蒸着H料と、低重折率蒸着
材料とを交互t:槓、:藝さセてなる多層膜が被着され
ている。ところが、この多層B分はランプ点灯時の高熱
のためそり朗久注f二影“、噂を支はすりで、こnを防
止するため一七C二下把のような手段が採用さねている
。
タにはその中央fこ装貴さねた高圧力ランプからのり視
光を効果的に反射させ、かつ、熱保を吸収するため1反
射面にたとえばZnS−AlgF、 、またはZnS−
8in!のようC:高屈折率蒸着H料と、低重折率蒸着
材料とを交互t:槓、:藝さセてなる多層膜が被着され
ている。ところが、この多層B分はランプ点灯時の高熱
のためそり朗久注f二影“、噂を支はすりで、こnを防
止するため一七C二下把のような手段が採用さねている
。
(1) 具窄蒸岩後の多層膜に熱処理を、延こす。
(2) 特開昭58−5958.号C二開示さ【てい
るようC二真空蒸看後レフレクタをSi 02 溶ン
夜l二&7賃、あるいは溶液を噴射したのち刀0品、石
史化させ多層膜を硬い8i02層で保護する。
るようC二真空蒸看後レフレクタをSi 02 溶ン
夜l二&7賃、あるいは溶液を噴射したのち刀0品、石
史化させ多層膜を硬い8i02層で保護する。
しかしながら、上記fil 、 +21の手段はいずn
も低出力ハロゲンランプ、たとえば12V、50W程度
のものに対しては効果的であるが、高出力ハロゲンラン
プ、たとえば100 V 360 Wのものシ一対して
は、多層膜の耐久性を低下させて以下に述べる欠、(を
主じさせる。
も低出力ハロゲンランプ、たとえば12V、50W程度
のものに対しては効果的であるが、高出力ハロゲンラン
プ、たとえば100 V 360 Wのものシ一対して
は、多層膜の耐久性を低下させて以下に述べる欠、(を
主じさせる。
1、 ランプ点灯時にレフレクタの温度が・・L分的に
最高約580℃まで上昇し、多層膜の4’+In、l’
Jクラック、膜表面の白濁、現象等を生じさせる。
最高約580℃まで上昇し、多層膜の4’+In、l’
Jクラック、膜表面の白濁、現象等を生じさせる。
2、 M1j述した(2)の手段では真空蒸着後レフ
レクタを大気中に露出させ、七ののちS10!処理を行
なうので多層股上にじんあいの付着、ピンホール等の発
生を招くこととなる。また、近時多層膜の構成材料とし
てTiO2−810,、またはZrO,−Sin!系の
高耐久性多層膜を使用したハロゲン電球用反射体の開発
がなさr、ているが、このものにあっても以下(二述べ
る欠点を有しているっ l、 多、−膜を被おすべきレフレクタの凹状面が深い
場合、被膜のまわり込みが少なく向−に被着させること
が困1である。
レクタを大気中に露出させ、七ののちS10!処理を行
なうので多層股上にじんあいの付着、ピンホール等の発
生を招くこととなる。また、近時多層膜の構成材料とし
てTiO2−810,、またはZrO,−Sin!系の
高耐久性多層膜を使用したハロゲン電球用反射体の開発
がなさr、ているが、このものにあっても以下(二述べ
る欠点を有しているっ l、 多、−膜を被おすべきレフレクタの凹状面が深い
場合、被膜のまわり込みが少なく向−に被着させること
が困1である。
2、 ZnS −MgF2. ZnS −Sin、系
ト比F3 L テ[F18 (膜厚)を1.3ないし1
,5倍必要としてフストり上昇を招く。
ト比F3 L テ[F18 (膜厚)を1.3ないし1
,5倍必要としてフストり上昇を招く。
3T10□、 ZrO,は薫看条件等C二よっては被膜
−吸収を生じさせたり、または低級酸化膜となり被り=
特性としての安定性を損なわせる。
−吸収を生じさせたり、または低級酸化膜となり被り=
特性としての安定性を損なわせる。
4 被l’sを除去して再生恭板として使用することが
できない。
できない。
aJffl力ランプの点灯(=よっても多層膜の膜剥れ
、膜クラツク、表面白濁を生じさせることなく、高耐久
性を可能とし、しかも簡易かつ安価に得らnる反射体用
保護膜を提供することを目的とする。
、膜クラツク、表面白濁を生じさせることなく、高耐久
性を可能とし、しかも簡易かつ安価に得らnる反射体用
保護膜を提供することを目的とする。
一面(二条層膜を被着した反射体の多層膜上C:仮仮着
nた反射体用保護膜において、前記保護膜は8i0!8
0ないし85 重量囁1人/2O31.5ないし4.0
重置%を含有し、かつ熱膨張係数20ないし30 X
IF ” / ℃、屈折率1.46ないし1.47の(
1〕j珪酸ガラスを被着したのち、この(Mn酸ガラス
C二350℃以上転移点以下の温斐で270熱処理を施
してなる反射体用件WL膜である。
nた反射体用保護膜において、前記保護膜は8i0!8
0ないし85 重量囁1人/2O31.5ないし4.0
重置%を含有し、かつ熱膨張係数20ないし30 X
IF ” / ℃、屈折率1.46ないし1.47の(
1〕j珪酸ガラスを被着したのち、この(Mn酸ガラス
C二350℃以上転移点以下の温斐で270熱処理を施
してなる反射体用件WL膜である。
以下、本発明の詳細を一実施例C二ついて図面を参照し
て説明する。(1)は反射体、たとえば/%l Oゲン
ランプ用レフレクタのガラス基板で、−面を回転放物面
状の凹面+21 (:形成してなる。(3)は凹面+2
1C:被るさnた多iM膜テ、 ZnS −MgF’1
まり!i ZnS −810、構成の21盾からなる光
学膜厚1/4λの又互層(λ1〜1s = 600 n
m 、λ1.〜n = 450nm)である。
て説明する。(1)は反射体、たとえば/%l Oゲン
ランプ用レフレクタのガラス基板で、−面を回転放物面
状の凹面+21 (:形成してなる。(3)は凹面+2
1C:被るさnた多iM膜テ、 ZnS −MgF’1
まり!i ZnS −810、構成の21盾からなる光
学膜厚1/4λの又互層(λ1〜1s = 600 n
m 、λ1.〜n = 450nm)である。
すなわち、ZnSからなる高屈折率材料を(H)としM
gF 2または5in2からなる低屈折率材料を(L
)とした場合、この(H)と(L)とを文旦【二6回計
重2層被るし、さら【:(Hンを1居付加して計131
1!Iとし。
gF 2または5in2からなる低屈折率材料を(L
)とした場合、この(H)と(L)とを文旦【二6回計
重2層被るし、さら【:(Hンを1居付加して計131
1!Iとし。
さらC(L)と(H)とを又互C:4回、計8層を積層
被イ1し、その最外層C二保護膜(4)となる4ijj
址酸ガラスを被着させたものである。そして、これら?
8!膜の形成はすべて真空蒸着(:よって行なわする。
被イ1し、その最外層C二保護膜(4)となる4ijj
址酸ガラスを被着させたものである。そして、これら?
8!膜の形成はすべて真空蒸着(:よって行なわする。
蒸@条件としては真空度s x 10−’ないし1Xl
(J”Torr で基板温度は100ないし300℃
であった。
(J”Torr で基板温度は100ないし300℃
であった。
セして保護膜(4)を形成する硼珪酸ガラスは以下ζ;
示す組成ならびに物理的性質を備えている。
示す組成ならびに物理的性質を備えている。
組成 物理的性質
8i02・・・・・・84重重鼠 ル5膨侭率α=
25Xlυ 7℃B2O3・・・・・・11〃
光屈折率N=1.47AllO3・・・・ 3 〃
転移点Tg = 590℃NえよO 参う嘔・・・・・ 2〃 上記硼珪酸ガラスは光学膜厚1/2λ’ 、u’=55
Qnmのものを電子銃に二より前述した蒸着条件のもと
て蒸着した。蒸着完了後は熱処理を施す。すなわち。
25Xlυ 7℃B2O3・・・・・・11〃
光屈折率N=1.47AllO3・・・・ 3 〃
転移点Tg = 590℃NえよO 参う嘔・・・・・ 2〃 上記硼珪酸ガラスは光学膜厚1/2λ’ 、u’=55
Qnmのものを電子銃に二より前述した蒸着条件のもと
て蒸着した。蒸着完了後は熱処理を施す。すなわち。
反射体(1)を電気炉中C二人nて450℃% 1時間
の1熱処理を行なって被着を完了することかでさた。
の1熱処理を行なって被着を完了することかでさた。
次表は多層膜(3)の耐久性(二関して保護11弥(4
)を有していない従来のものと1本発明に関するものと
の各種テストの比較実験データを示す。
)を有していない従来のものと1本発明に関するものと
の各種テストの比較実験データを示す。
(以下余白)
表 1
評価記号
0−変化なし
X=膜剥n
Y=膜ツクラン
ク重表面白濁、干渉むら
試験方法
+IL6.07− ス) 反射体mc too V
、 360 W ノハロゲン電球(5)を装着し10分
間点灯%10分間/@却を反覆して全体で100時間経
過後の評価。
、 360 W ノハロゲン電球(5)を装着し10分
間点灯%10分間/@却を反覆して全体で100時間経
過後の評価。
(2)熱衝撃テスト 反射体+1]を600℃の中性雰
囲気の電気炉中に二5分分間−た後、大気中ζ二X装置
した場合の評価。
囲気の電気炉中に二5分分間−た後、大気中ζ二X装置
した場合の評価。
(3)煮沸テスト 反射体(1)を100℃の市水中に
10分間浸漬後の評価。
10分間浸漬後の評価。
(4)引張りテスト 保護膜f4) t:0600のス
コッチテープ幅1/2インチ、長さ10%のものを貼着
し急激(二引剥した場合の評価。
コッチテープ幅1/2インチ、長さ10%のものを貼着
し急激(二引剥した場合の評価。
本発明は表−1から明らかなよ5にユ多層Hi31の最
外層I:保設膜(4)として人1itOs含有の硼珪酸
ガラスを被着させたものは保護膜(4)を有していない
ものとはもち論のこと、 8i0. を被着させた従
来のものと比較して各テストを通じて已めて艮好な結果
を4る二とができた。
外層I:保設膜(4)として人1itOs含有の硼珪酸
ガラスを被着させたものは保護膜(4)を有していない
ものとはもち論のこと、 8i0. を被着させた従
来のものと比較して各テストを通じて已めて艮好な結果
を4る二とができた。
このことはC8,護膜(4)の構造がガラス特有のアモ
ルファス層となるため、 8i0.層より緻密に構成さ
れるからと思わnる。
ルファス層となるため、 8i0.層より緻密に構成さ
れるからと思わnる。
久(ニー珪酸ガラスの組成、ならび≦二物理的性質C:
関する限定理由(二ついて述べる。まずSin、は80
ないし85.を叡%、 AI!ys 1.5ないし4.
0型皿%と限定シy= コトハ多m 族系(ZnS −
mgF’、、 ZnS −8i0.)に対応する適正な
熱応力、黙膨弘率が得らするようC二考慮したもので、
さらC:破看後脆処理工程を導入する必要があるので特
C’4 r久性の保護層を構成するためである。また上
記組成内では熱庇張率α=ルないし3oqO−17℃で
あることが週当である。すなわち、αが20 X II
J−’/T:を下回る場合は所望のガラスそのものの作
成が困燕であるとともに:ys m v;<テスト【二
おいて多層に系との熱膨張率の差が生じ膜クラツクの発
生を招く。またαが30XIO’/℃を上回ると8i0
. 、人!、0.以外のガラス構成成分としてアルカリ
(ソーダライム)およびBzOs等が大−に二含まnて
くるため耐湿性に、劣り引張りテスト、煮沸テストで膜
異常、表面白濁が発生する。
関する限定理由(二ついて述べる。まずSin、は80
ないし85.を叡%、 AI!ys 1.5ないし4.
0型皿%と限定シy= コトハ多m 族系(ZnS −
mgF’、、 ZnS −8i0.)に対応する適正な
熱応力、黙膨弘率が得らするようC二考慮したもので、
さらC:破看後脆処理工程を導入する必要があるので特
C’4 r久性の保護層を構成するためである。また上
記組成内では熱庇張率α=ルないし3oqO−17℃で
あることが週当である。すなわち、αが20 X II
J−’/T:を下回る場合は所望のガラスそのものの作
成が困燕であるとともに:ys m v;<テスト【二
おいて多層に系との熱膨張率の差が生じ膜クラツクの発
生を招く。またαが30XIO’/℃を上回ると8i0
. 、人!、0.以外のガラス構成成分としてアルカリ
(ソーダライム)およびBzOs等が大−に二含まnて
くるため耐湿性に、劣り引張りテスト、煮沸テストで膜
異常、表面白濁が発生する。
なお、使用する萩逗ガラスはガラス化状T5のものがよ
く焼結晶のものでは電子銃との適合性が悪く好ましくな
い。さらl二は前記人tzosを1.5ないし4.0重
に%C二限定した理由をさら2:付言すると、・1膨張
率との関連のみならずお処理工程【二2ける強化力の向
上を得るためである。
く焼結晶のものでは電子銃との適合性が悪く好ましくな
い。さらl二は前記人tzosを1.5ないし4.0重
に%C二限定した理由をさら2:付言すると、・1膨張
率との関連のみならずお処理工程【二2ける強化力の向
上を得るためである。
また、熱処理工程C二あっては表−1から明らかなよう
に;350℃ないしカラスの転移点温間以内の七〜・込
理イ係度が最適であることを見出した。すなわち、35
0°Cを下回ると従来のものよりは則7..5 <j7
は良いが高出力ランプ用としては不十分となる。まy:
@:移点渇以を上口ると保護膜(4)の変形が失じク
ラック発生f二いたるおそnがあり、さらC二はZnS
が7.noO)酸化上にする二とがX線回折(二より判
り弓しているため光学T、テ性が短波長側Cニシフトし
、干渉むらを生じさせることとなる。なお、使用]する
+−LX t、:: カラy、 (Il、) j& 折
率N ハ1.46fx イL 1.47−Cj’e学的
l二安定しているため多’11:i>系の光学的特性に
影響を与えることはない。
に;350℃ないしカラスの転移点温間以内の七〜・込
理イ係度が最適であることを見出した。すなわち、35
0°Cを下回ると従来のものよりは則7..5 <j7
は良いが高出力ランプ用としては不十分となる。まy:
@:移点渇以を上口ると保護膜(4)の変形が失じク
ラック発生f二いたるおそnがあり、さらC二はZnS
が7.noO)酸化上にする二とがX線回折(二より判
り弓しているため光学T、テ性が短波長側Cニシフトし
、干渉むらを生じさせることとなる。なお、使用]する
+−LX t、:: カラy、 (Il、) j& 折
率N ハ1.46fx イL 1.47−Cj’e学的
l二安定しているため多’11:i>系の光学的特性に
影響を与えることはない。
本発明は以上詳述したように多層膜上C二被着さnる保
護膜1−18!0.80ないし85重H”L (y、、
人7t031.5ないし4.0 塩2%含有し、かつ熱
膨張仔数20ないし30刈υ−7/で、屈折率1.46
ないし1.47の硼珪酸ガラスからなり、この硼珪酸ガ
ラスに350℃以上で転移点以下の温ヴで加熱処理を施
こすこと(二より形成さnるようζ二した反射体用保護
膜であるから。
護膜1−18!0.80ないし85重H”L (y、、
人7t031.5ないし4.0 塩2%含有し、かつ熱
膨張仔数20ないし30刈υ−7/で、屈折率1.46
ないし1.47の硼珪酸ガラスからなり、この硼珪酸ガ
ラスに350℃以上で転移点以下の温ヴで加熱処理を施
こすこと(二より形成さnるようζ二した反射体用保護
膜であるから。
この反射体C二たとえば高畠力のへロゲンランブを装石
1点灯した場合、その高熱(二よっても多層膜C二はた
んらの変化を生じさせることなく高効率の点灯を保持で
きるすぐtた利点を有する。
1点灯した場合、その高熱(二よっても多層膜C二はた
んらの変化を生じさせることなく高効率の点灯を保持で
きるすぐtた利点を有する。
さら(二渫護膜は耐久性【二すぐtているととも【二。
その格成もすこぶる簡単であるから安価に得ることがで
きる利点をも有する。なお1不実施?+1では保護膜の
被着方法として電子銃による蒸着手段を採用したが本発
明はこnに限らずスパッタリング。
きる利点をも有する。なお1不実施?+1では保護膜の
被着方法として電子銃による蒸着手段を採用したが本発
明はこnに限らずスパッタリング。
イオンブレーティング等の手段を用いてもよい。
4 巳 a!] リ :)1)単 〒r LH61
とIA−は本発明り犬話νす’5’ J:すもので、へ
ロゲ/λ球用レフレクタに適用した一部切欠析面Xであ
る。
とIA−は本発明り犬話νす’5’ J:すもので、へ
ロゲ/λ球用レフレクタに適用した一部切欠析面Xであ
る。
ill・・・反射体 )3)・多層膜、4)
・・・(呆1.”i 6’;< 。
・・・(呆1.”i 6’;< 。
Claims (1)
- 一面に多層膜を被着した反射体の多層膜上に被着された
反射体用保護膜において、前記保護膜はSiO_280
ないし85重量%、Al_2O_31.5ないし4.0
重量%を含有し、かつ、熱膨張係数20ないし30×1
0^−^7/℃、屈折率1.46ないし1.47の硼珪
酸ガラスを被着したのちこの硼珪酸ガラスに350℃以
上転移点以下の温度で加熱処理してなることを特徴とす
る反射体用保護膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20983284A JPS6188449A (ja) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | 反射体用保護膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20983284A JPS6188449A (ja) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | 反射体用保護膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6188449A true JPS6188449A (ja) | 1986-05-06 |
JPH036619B2 JPH036619B2 (ja) | 1991-01-30 |
Family
ID=16579353
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20983284A Granted JPS6188449A (ja) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | 反射体用保護膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6188449A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01319244A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-25 | Ushio Inc | 電球の製造方法 |
JPH02161403A (ja) * | 1988-12-15 | 1990-06-21 | Toshiba Glass Co Ltd | 多層干渉膜 |
EP0702395A3 (en) * | 1994-09-13 | 1997-01-29 | Gen Electric | Lamp with a protective coating made of silicon oxide |
-
1984
- 1984-10-08 JP JP20983284A patent/JPS6188449A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01319244A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-25 | Ushio Inc | 電球の製造方法 |
JPH02161403A (ja) * | 1988-12-15 | 1990-06-21 | Toshiba Glass Co Ltd | 多層干渉膜 |
EP0702395A3 (en) * | 1994-09-13 | 1997-01-29 | Gen Electric | Lamp with a protective coating made of silicon oxide |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH036619B2 (ja) | 1991-01-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |