JPS6155603A - 高耐久性赤外反射鏡 - Google Patents

高耐久性赤外反射鏡

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JPS6155603A
JPS6155603A JP17675684A JP17675684A JPS6155603A JP S6155603 A JPS6155603 A JP S6155603A JP 17675684 A JP17675684 A JP 17675684A JP 17675684 A JP17675684 A JP 17675684A JP S6155603 A JPS6155603 A JP S6155603A
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JP
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film
reflecting mirror
thickness
layer
tin
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JP17675684A
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Tetsuo Kuwabara
鉄夫 桑原
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Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は赤外線波長領域における反射鏡に関する。
［従来技術］ 従来、赤外線領域における反射鏡としてはガラス等の基
板上にアルミニウム、金、銀または銅等の金属のＦＪ　
Ｍを付したものが用いられている。しかしながら、これ
らの金属膜反射鏡はいづれも耐摩耗性が低く、また金膜
反射鏡を除いては化学的安定性が低いという欠点がある
。
そこで、この欠点を補うため金属膜上に赤外線領域で透
明なＭｇＦ２やＳｆＯ等の保護膜を付与することが行な
われている。しかして、この様な保護膜の付与にあって
は、薄い膜では不十分であり、かなり厚い膜を付与しな
いと＃摩耗性及び化学的安定性等のの耐久性が十分とは
ならない。このため、比較的厚い膜を付与せざるを得な
いが、保護膜の膜厚が大きくなると分光反射率の低下の
みならず膜の内部応力が大きくなり基板を変形せしめ面
精度等の光学的性能が低下するという問題があった。
［発明の目的］ 本発明は、上記の如き従来技術に鑑み、十分な耐久性と
良好な光学的性能を有する赤外反射鏡を提供することを
目的とする。
〔発明の要旨コ 本発明によれば、以上の様な目的は、基板上にＣｒ、Ｔ
ｉ、Ｃｏ及びＮｉのうちの１つ又はこれらの混合体から
なる第１ｉ目の膜が形成されており、該第２層目の膜の
上にＴｉＮからなる第２層目の膜が形成されていること
を特徴とする、高耐久性赤外反射鏡により達成される。
［発明の実施例］ 以下、添付図面を参照しながら本発明の具体的実施例を
説明する。
第１図は本発明による高耐久性赤外反射鏡の概略断面図
である１図において、ｌはガラス基板であり、２は第１
層目の■儲であり、３は第２層目のＴｉＮＩＩ！ｆ！で
ある０本実施例においては、第１層目の膜の材質として
はＴｉが用いられた。第１層目の膜２の膜厚は０．８１
Ｌｍであり、第２層目のｎλの膜厚は０．３牌ｍであっ
た。
土肥第１層目の膜形成は通常の真空蒸着法により行なわ
れ、真空度ｌＸｌ０−８Ｔｏｒｒに排気した後、基板温
度約３００″０に保った状態で電子銃蒸発源により金属
Ｔｉを膜厚０．８ルｍ蒸着した３第２層目は、窒素ガス
を反応ガスとして４×１０−’Ｔｏｒｒまで導入し、プ
ラズマ放電により活性化された状態で金属Ｔｆを電子銃
蒸発源により蒸発させイオンブレーティングすることに
よりＴｉＮ膜を膜厚０．３ルｍ形成した。
第２図は本実施例反射鏡の分光特性のグラフである。こ
れにより、本実施例反射鏡が赤外線領域において９０％
程度の良好な反射率を示し、長波長になるほど反射率が
高くなることが分る。
同様にして、第１層目の膜の材質としてＴｉ以外のＣｒ
、Ｃｏ、Ｎｉ等の金属及びＴｉを含むこれら金属の混合
体を用い、その膜厚を０　、８　ｐｍとし、第２層目の
ＴｉＮ膜の膜厚を０．３ルｍとして反射鏡を作成したと
ころ、いづれも第２図と同様な分光特性を示し、赤外線
領域において９０％程度の良好な反射率を得ることがで
きた。
ｖＪ２層目のＴｉＮ１１口３は化学的安定性及び＃摩耗
性が優れているため、本発明反射鏡は過酷な条件下にお
いても使用することができる。
本発明の反射鏡においては、第１層目の金属膜には真空
蒸着法により形成した場合引っ張り応力が存在し、一方
第２層目のＴｉＮ１ｌにはイオンブレーティングまたは
スパッタリングにより形成した場合圧縮応力が存在する
ので、第１層目の膜の膜厚と第２層目の膜のｍ厚とを適
宜設定することにより膜全体としての内部応力を小さく
することができ、これにより反射鏡の面精度低下を防止
する効果がある。このためには、ＴｉＮ膜の内部応力が
金属膜の内部応力の数倍の大きさがあることを考慮し、
本発明の反射鏡においては、第１層目の膜の膜厚と第２
層目の膜の膜厚との間には工≦（ｄｔ　／ｄ２　）≦ｌ
Ｏ の関係があるのが好ましい。
［発明の効果］ 以上の様な本発明によれば、耐摩耗性及び化学的安定性
等の耐久性が良好で且つ光学的性能の良好な赤外反射鏡
が提供される。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の赤外反射鏡の断面図であり。 第２図はその分光特性のグラフである。 １・・・基板　　　２・・・第１層目の膜３・・・第２
！Ｊ目のＴｉＮ膜

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）基板上にＣｒ、Ｔｉ、Ｃｏ及びＮｉのうちの１つ
    又はこれらの混合体からなる第１層目の膜が形成されて
    おり、該第２層目の膜の上にＴｉＮからなる第２層目の
    膜が形成されていることを特徴とする、高耐久性赤外反
    射鏡。
  2. （２）第１層目の膜の膜厚ｄ＿１と第２層目の膜の膜厚
    ｄ＿２との間に１≦（ｄ＿１／ｄ＿２）≦１０の関係が
    ある、第１項の高耐久性赤外反射鏡。
JP59176756A 1984-08-27 1984-08-27 高耐久性赤外反射鏡 Expired - Lifetime JPH0685004B2 (ja)

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