JP3266335B2 - 裏面反射鏡 - Google Patents
裏面反射鏡Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は裏面反射鏡に関する。
この発明の裏面反射鏡は自動車用ミラー等に利用でき
る。
この発明の裏面反射鏡は自動車用ミラー等に利用でき
る。
【0002】
【従来の技術】光学素子としての反射鏡には、その使用
目的に応じ、特定の分光反射率が要求されることが多
い。また反射鏡は自然環境下において使用されることが
多く、反射鏡は対湿性や対候性に優れていることが望ま
しい。
目的に応じ、特定の分光反射率が要求されることが多
い。また反射鏡は自然環境下において使用されることが
多く、反射鏡は対湿性や対候性に優れていることが望ま
しい。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上述した事
情に鑑みてなされたものであって、対湿性や対候性等の
実用耐久性に優れた裏面反射鏡の提供を目的とする。
情に鑑みてなされたものであって、対湿性や対候性等の
実用耐久性に優れた裏面反射鏡の提供を目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】この発明の裏面反射鏡
は、図1に示すように「透明基板10の裏面に、金属膜
11、2層の誘電体膜13,15、金属膜17、誘電体
膜19を、透明基板10の側から上記順序に積層してな
り、所望の分光反射率を得るように各膜11,13,1
5,17,19の材料および厚さを定めてなり、透明基
板10の表面側を光入射側とした」ことを特徴とする。
は、図1に示すように「透明基板10の裏面に、金属膜
11、2層の誘電体膜13,15、金属膜17、誘電体
膜19を、透明基板10の側から上記順序に積層してな
り、所望の分光反射率を得るように各膜11,13,1
5,17,19の材料および厚さを定めてなり、透明基
板10の表面側を光入射側とした」ことを特徴とする。
【0005】透明基板10の裏面に形成される5層の薄
膜は、透明基板10の側から順次、Cr,Yb2O3,T
iO2,Al,SiOを材料とする薄膜として形成する
ことができる(請求項1)。また、上記5層の薄膜を、
透明基板10の側から順次、Cr,Yb2O3,Ti
O2,Al,Yb2O3を材料とする薄膜として形成して
もよいし(請求項2)、さらに、上記5層の薄膜を、透
明基板10の側から順次、Cr,Al2O3,TiO2,
Al,SiOを材料として形成してもよい(請求項
3)。なお、透明基板10としては、各種透明ガラス板
を好適に用いることができる。
膜は、透明基板10の側から順次、Cr,Yb2O3,T
iO2,Al,SiOを材料とする薄膜として形成する
ことができる(請求項1)。また、上記5層の薄膜を、
透明基板10の側から順次、Cr,Yb2O3,Ti
O2,Al,Yb2O3を材料とする薄膜として形成して
もよいし(請求項2)、さらに、上記5層の薄膜を、透
明基板10の側から順次、Cr,Al2O3,TiO2,
Al,SiOを材料として形成してもよい(請求項
3)。なお、透明基板10としては、各種透明ガラス板
を好適に用いることができる。
【0006】
【作用】上記のように、この発明の裏面反射鏡では、反
射機能の実態部分をなす積層薄膜が透明基板の裏面側に
形成され、光は透明基板の表面側から入射するので、上
記積層薄膜は反射鏡の使用状況下において、大気中に
「剥き出し」となることがない。このため5層の薄膜は
外部に対して保護される。
射機能の実態部分をなす積層薄膜が透明基板の裏面側に
形成され、光は透明基板の表面側から入射するので、上
記積層薄膜は反射鏡の使用状況下において、大気中に
「剥き出し」となることがない。このため5層の薄膜は
外部に対して保護される。
【0007】各膜の材料・厚さを調整することにより所
望の分光反射率を得ることができるが、その際に、2層
の金属膜に挾まれている2層の誘電体膜の厚さを調整す
ることにより、分光反射率特性における「中心波長」を
設定できる。
望の分光反射率を得ることができるが、その際に、2層
の金属膜に挾まれている2層の誘電体膜の厚さを調整す
ることにより、分光反射率特性における「中心波長」を
設定できる。
【0008】また、誘電体膜の膜厚を調整することによ
り、反射光のP偏光成分とS偏光成分との間に、所望の
位相差を与えることもできる。
り、反射光のP偏光成分とS偏光成分との間に、所望の
位相差を与えることもできる。
【0009】
【実施例】実施例1 図1における透明基板10としてガラス基板を用いた。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面側
(入射側と逆の面)に金属:Crを厚さ:0.13λ0
(λ0=ND/RAMD)に真空蒸着して金属膜11と
した。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面側
(入射側と逆の面)に金属:Crを厚さ:0.13λ0
(λ0=ND/RAMD)に真空蒸着して金属膜11と
した。
【0010】Crによる金属膜11上に、酸素ガスを
1.7×10~2Paの圧力に導入された真空槽内で誘電
体:Yb2O3(屈折率:1.83)を厚さ:0.290
8λ0に蒸着して誘電体膜13とし、その上に誘電体:
TiO2(屈折率:2.33)を誘電体層13と同じ酸
素ガス圧力下で厚さ:0.28889λ0に蒸着して誘
電体膜15とした。
1.7×10~2Paの圧力に導入された真空槽内で誘電
体:Yb2O3(屈折率:1.83)を厚さ:0.290
8λ0に蒸着して誘電体膜13とし、その上に誘電体:
TiO2(屈折率:2.33)を誘電体層13と同じ酸
素ガス圧力下で厚さ:0.28889λ0に蒸着して誘
電体膜15とした。
【0011】次いで、真空槽内を4.0×10~3Pa以
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.06372λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:SiO(屈折
率:1.63)を厚さ:0.10373λ0に蒸着して
誘電体膜19とした。
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.06372λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:SiO(屈折
率:1.63)を厚さ:0.10373λ0に蒸着して
誘電体膜19とした。
【0012】このようにして形成された裏面反射鏡の分
光反射率特性を図2に示す。入射角は30度である。分
光反射特性のため、鏡面に写った鏡像は淡い黄色(所謂
ゴールド)に見える。
光反射率特性を図2に示す。入射角は30度である。分
光反射特性のため、鏡面に写った鏡像は淡い黄色(所謂
ゴールド)に見える。
【0013】実施例2 図1における透明基板10としてガラス基板を用いた。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面側
に金属:Crを厚さ:0.02599λ0に真空蒸着し
て金属膜11とした。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面側
に金属:Crを厚さ:0.02599λ0に真空蒸着し
て金属膜11とした。
【0014】Crによる金属膜11上に、酸素ガスを
1.7×10~2Paの圧力に導入された真空槽内で誘電
体:Yb2O3を厚さ:0.2908λ0に蒸着して誘電
体膜13とし、その上に、誘電体:TiO2を誘電体層
13と同じ酸素ガス圧力下で厚さ:0.28889λ0
に蒸着して誘電体膜15とした。
1.7×10~2Paの圧力に導入された真空槽内で誘電
体:Yb2O3を厚さ:0.2908λ0に蒸着して誘電
体膜13とし、その上に、誘電体:TiO2を誘電体層
13と同じ酸素ガス圧力下で厚さ:0.28889λ0
に蒸着して誘電体膜15とした。
【0015】次いで、真空槽内を4.0×10~3Pa以
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.11635λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:SiOを厚
さ:0.105λ0に蒸着して誘電体膜19とした。
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.11635λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:SiOを厚
さ:0.105λ0に蒸着して誘電体膜19とした。
【0016】このようにして形成された裏面反射鏡の分
光反射率特性を図3に示す。入射角は30度である。分
光反射特性のため、鏡面に写った鏡像は実施例1の裏面
反射鏡と同様、ゴールド色に見える。
光反射率特性を図3に示す。入射角は30度である。分
光反射特性のため、鏡面に写った鏡像は実施例1の裏面
反射鏡と同様、ゴールド色に見える。
【0017】実施例3 図1における透明基板10としてガラス基板を用いた。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面側
に、金属:Crを厚さ:0.013λ0に真空蒸着して
金属膜11とした。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面側
に、金属:Crを厚さ:0.013λ0に真空蒸着して
金属膜11とした。
【0018】Crによる金属膜11上に、酸素ガスを
1.7×10~2Paの圧力に導入された真空槽内で誘電
体:Yb2O3を厚さ:0.2908λ0に蒸着して誘電
体膜13とし、その上に誘電体:TiO2を誘電体層1
3と同じ酸素ガス圧力下で厚さ:0.28889λ0に
蒸着して誘電体膜15とした。
1.7×10~2Paの圧力に導入された真空槽内で誘電
体:Yb2O3を厚さ:0.2908λ0に蒸着して誘電
体膜13とし、その上に誘電体:TiO2を誘電体層1
3と同じ酸素ガス圧力下で厚さ:0.28889λ0に
蒸着して誘電体膜15とした。
【0019】次いで、真空槽内を4.0×10~3Pa以
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.11635λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:SiOを厚
さ:0.105λ0に蒸着して誘電体膜19とした。
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.11635λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:SiOを厚
さ:0.105λ0に蒸着して誘電体膜19とした。
【0020】このようにして形成された裏面反射鏡の分
光反射率特性を図4に示す。入射角は30度である。分
光反射特性のため、鏡面に写った鏡像は実施例1,2の
裏面反射鏡と同様、ゴールド色に見える。
光反射率特性を図4に示す。入射角は30度である。分
光反射特性のため、鏡面に写った鏡像は実施例1,2の
裏面反射鏡と同様、ゴールド色に見える。
【0021】実施例4 図1における透明基板10としてガラス基板を用いた。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面側
に金属:Crを厚さ:0.02599λ0に真空蒸着し
て金属膜11とした。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面側
に金属:Crを厚さ:0.02599λ0に真空蒸着し
て金属膜11とした。
【0022】Crによる金属膜11上に、酸素ガスを
1.7×10~2Paの圧力に導入された真空槽内で誘電
体:Yb2O3を厚さ:0.2908λ0に蒸着して誘電
体膜13とし、その上に誘電体:TiO2を誘電体層1
3と同じ酸素ガス圧力下で厚さ:0.28889λ0に
蒸着して誘電体膜15とした。
1.7×10~2Paの圧力に導入された真空槽内で誘電
体:Yb2O3を厚さ:0.2908λ0に蒸着して誘電
体膜13とし、その上に誘電体:TiO2を誘電体層1
3と同じ酸素ガス圧力下で厚さ:0.28889λ0に
蒸着して誘電体膜15とした。
【0023】次いで、真空槽内を4.0×10~3Pa以
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.06372λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:SiOを厚
さ:0.10373λ0に蒸着して誘電体膜19とし
た。
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.06372λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:SiOを厚
さ:0.10373λ0に蒸着して誘電体膜19とし
た。
【0024】このようにして形成された裏面反射鏡の分
光反射率特性を図5に示す。入射角は30度である。分
光反射特性のため、鏡面に写った鏡像はピンク色に見え
る。
光反射率特性を図5に示す。入射角は30度である。分
光反射特性のため、鏡面に写った鏡像はピンク色に見え
る。
【0025】実施例5 図1における透明基板10としてガラス基板を用いた。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面
側、に金属:Crを厚さ:0.130λ0に真空蒸着し
て金属膜11とした。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面
側、に金属:Crを厚さ:0.130λ0に真空蒸着し
て金属膜11とした。
【0026】Crによる金属膜11上に、酸素ガスを
1.7×10~2Paの圧力に導入された真空槽内で誘電
体:Yb2O3を厚さ:0.32275λ0に蒸着して誘
電体膜13とし、その上に誘電体:TiO2を誘電体層
13と同じ酸素ガス圧力下で厚さ:0.32071λ0
に蒸着して誘電体膜15とした。
1.7×10~2Paの圧力に導入された真空槽内で誘電
体:Yb2O3を厚さ:0.32275λ0に蒸着して誘
電体膜13とし、その上に誘電体:TiO2を誘電体層
13と同じ酸素ガス圧力下で厚さ:0.32071λ0
に蒸着して誘電体膜15とした。
【0027】次いで、真空槽内を4.0×10~3Pa以
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.06372λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:Yb2O3を厚
さ:0.11645λ0に蒸着して誘電体膜19とし
た。
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.06372λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:Yb2O3を厚
さ:0.11645λ0に蒸着して誘電体膜19とし
た。
【0028】このようにして形成された裏面反射鏡の分
光反射率特性を図6に示す。入射角は30度である。分
光反射特性のため、鏡面に写った鏡像はバイオレット色
に見える。
光反射率特性を図6に示す。入射角は30度である。分
光反射特性のため、鏡面に写った鏡像はバイオレット色
に見える。
【0029】実施例6 図1における透明基板10としてガラス基板を用いた。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面側
に金属:Crを厚さ:0.00433λ0に真空蒸着し
て金属膜11とした。Crによる金属膜11上に、誘電
体:Al2O3(屈折率:1.65)を厚さ:0.102
λ0に蒸着して誘電体膜13とした。
真空槽内を4.0×10~3Pa以下に排気し、十分に清
浄で平滑な表面をもつガラス基板を配備し、その裏面側
に金属:Crを厚さ:0.00433λ0に真空蒸着し
て金属膜11とした。Crによる金属膜11上に、誘電
体:Al2O3(屈折率:1.65)を厚さ:0.102
λ0に蒸着して誘電体膜13とした。
【0030】次いで、酸素ガスを1.7×10~2Paの
圧力に導入された真空槽内で誘電体:TiO2を厚さ:
0.12727λ0に蒸着して誘電体膜15とした。
圧力に導入された真空槽内で誘電体:TiO2を厚さ:
0.12727λ0に蒸着して誘電体膜15とした。
【0031】次ぎに、真空槽内を4.0×10~3Pa以
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.06233λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:SiOを厚
さ:0.114314λ0に蒸着して誘電体膜19とし
た。
下に排気し、金属:Alを厚さ:0.06233λ0に
蒸着して金属膜17とし、さらに誘電体:SiOを厚
さ:0.114314λ0に蒸着して誘電体膜19とし
た。
【0032】このようにして形成された裏面反射鏡の分
光反射率特性を図7に示す。入射角は30度である。分
光反射率は、波長に関係無く可視領域で略一定してお
り、鏡面に写った鏡像は銀色を呈している。
光反射率特性を図7に示す。入射角は30度である。分
光反射率は、波長に関係無く可視領域で略一定してお
り、鏡面に写った鏡像は銀色を呈している。
【0033】実施例1〜6の裏面反射鏡は、いずれも、
使用状況において反射機能を持つ膜が透明基板により外
部に対し保護されるので、優れた耐環境性を有する。ま
た実施例1〜5の裏面反射鏡は、これを自動車のインナ
ーミラーやアウターミラーに適する極めて良好な妨眩性
が認められた。なお、図2〜図7の分光反射率の図にお
いて、Rs,RpはそれぞれS,P偏光成分に関する反
射率であり、RHは、これらの平均に関する反射率を示
す。
使用状況において反射機能を持つ膜が透明基板により外
部に対し保護されるので、優れた耐環境性を有する。ま
た実施例1〜5の裏面反射鏡は、これを自動車のインナ
ーミラーやアウターミラーに適する極めて良好な妨眩性
が認められた。なお、図2〜図7の分光反射率の図にお
いて、Rs,RpはそれぞれS,P偏光成分に関する反
射率であり、RHは、これらの平均に関する反射率を示
す。
【0034】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば新規な
裏面反射鏡を提供できる。この発明の裏面反射鏡は上記
の如き構成となっているから、所望の分光反射率を有す
るものが容易に実現でき、しかも極めて良好な実用耐久
性を有している。
裏面反射鏡を提供できる。この発明の裏面反射鏡は上記
の如き構成となっているから、所望の分光反射率を有す
るものが容易に実現でき、しかも極めて良好な実用耐久
性を有している。
【図1】この発明の裏面反射鏡の構成を説明するための
図である。
図である。
【図2】実施例1の裏面反射鏡に関する分光反射率を示
す図である。
す図である。
【図3】実施例2の裏面反射鏡に関する分光反射率を示
す図である。
す図である。
【図4】実施例3の裏面反射鏡に関する分光反射率を示
す図である。
す図である。
【図5】実施例4の裏面反射鏡に関する分光反射率を示
す図である。
す図である。
【図6】実施例5の裏面反射鏡に関する分光反射率を示
す図である。
す図である。
【図7】実施例6の裏面反射鏡に関する分光反射率を示
す図である。
す図である。
10 基板 11 金属膜 13 誘電体
膜 15 誘電体膜 17 金属膜 19
誘電体膜
膜 15 誘電体膜 17 金属膜 19
誘電体膜
Claims (3)
- 【請求項1】透明基板の裏面に、金属膜、2層の誘電体
膜、金属膜、誘電体膜を、上記順序に積層してなり、所
望の分光反射率を得るように、上記各膜の材料および厚
さを定めてなり、 透明基板の裏面に形成される5層の薄膜が透明基板側か
ら順次、Cr,Yb2O3,TiO2,Al,SiOを材
料とする薄膜であって、上記透明基板の表面側を光入射
側としたことを特徴とする裏面反射鏡。 - 【請求項2】透明基板の裏面に、金属膜、2層の誘電体
膜、金属膜、誘電体膜を、上記順序に積層してなり、所
望の分光反射率を得るように、上記各膜の材料および厚
さを定めてなり、 透明基板の裏面に形成される5層の薄膜が透明基板側か
ら順次、Cr,Yb2O3,TiO2,Al,Yb2O3を
材料とする薄膜であって、上記透明基板の表面側を光入
射側としたことを特徴とする裏面反射鏡。 - 【請求項3】透明基板の裏面に、金属膜、2層の誘電体
膜、金属膜、誘電体膜を、上記順序に積層してなり、所
望の分光反射率を得るように、上記各膜の材料および厚
さを定めてなり、 透明基板の裏面に形成される5層の薄膜が透明基板側か
ら順次、Cr,Al2O3,TiO2,Al,SiOを材
料とする薄膜であって、上記透明基板の表面側を光入射
側としたことを特徴とする裏面反射鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP29429092A JP3266335B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | 裏面反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29429092A JP3266335B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | 裏面反射鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06148409A JPH06148409A (ja) | 1994-05-27 |
JP3266335B2 true JP3266335B2 (ja) | 2002-03-18 |
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ID=17805789
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
JP (1) | JP3266335B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
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---|---|---|---|---|
WO2006048940A1 (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-11 | Murakami Corporation | 防眩・防曇素子及び自動車用ミラー |
JP4528104B2 (ja) * | 2004-11-29 | 2010-08-18 | 株式会社村上開明堂 | 車両用ミラー |
-
1992
- 1992-11-02 JP JP29429092A patent/JP3266335B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JPH06148409A (ja) | 1994-05-27 |
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