JPS614234A - 半導体素子の樹脂モ−ルド成形方法及び半導体リ−ドフレ−ム - Google Patents
半導体素子の樹脂モ−ルド成形方法及び半導体リ−ドフレ−ムInfo
- Publication number
- JPS614234A JPS614234A JP12583284A JP12583284A JPS614234A JP S614234 A JPS614234 A JP S614234A JP 12583284 A JP12583284 A JP 12583284A JP 12583284 A JP12583284 A JP 12583284A JP S614234 A JPS614234 A JP S614234A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate opening
- resin
- lead frame
- gate
- cavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/14—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles
- B29C45/14639—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components
- B29C45/14655—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor incorporating preformed parts or layers, e.g. injection moulding around inserts or for coating articles for obtaining an insulating effect, e.g. for electrical components connected to or mounted on a carrier, e.g. lead frame
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、リードフレーム上に取イ]けた半導体素子を
樹脂モールド成形する方法とこれに用いられる半導体リ
ードフレームの改良に関するものであシ、この種の樹脂
モールド成形技術産業の分野において利用されるもので
ある。
樹脂モールド成形する方法とこれに用いられる半導体リ
ードフレームの改良に関するものであシ、この種の樹脂
モールド成形技術産業の分野において利用されるもので
ある。
(従来技術とその問題点)
半導体素子の樹脂モールド成形用金型は、通常、第1図
乃至第4図に示すよ、うに、固定上型に対設した可動下
型2とから構成されている。 また、該両型のパーティ
ングライン(P−L)面における上型1側には成形樹脂
体の上半体を成形する上キャビティ3が設けられると共
に、下型2側にはその下半体を成形する下キャビティ4
が対向配置下 され、また、化キャビティ4側には溶融樹脂の移送用ラ
ンチ5側と連通するゲート6のゲート口6□が連通開設
されておシ、更に、下キャビティ4の上面部には半導体
リードフレームAのセット用凹所7が設けられると共に
、該凹所と連通ずるパーティングライン面には所要のエ
アベント8が形成されておシ、9−・・9は上記キャビ
ティ3・4とランプ5及びゲート6の各部にて成形され
る樹脂体の押出用エジェクタービンである。
乃至第4図に示すよ、うに、固定上型に対設した可動下
型2とから構成されている。 また、該両型のパーティ
ングライン(P−L)面における上型1側には成形樹脂
体の上半体を成形する上キャビティ3が設けられると共
に、下型2側にはその下半体を成形する下キャビティ4
が対向配置下 され、また、化キャビティ4側には溶融樹脂の移送用ラ
ンチ5側と連通するゲート6のゲート口6□が連通開設
されておシ、更に、下キャビティ4の上面部には半導体
リードフレームAのセット用凹所7が設けられると共に
、該凹所と連通ずるパーティングライン面には所要のエ
アベント8が形成されておシ、9−・・9は上記キャビ
ティ3・4とランプ5及びゲート6の各部にて成形され
る樹脂体の押出用エジェクタービンである。
また、上記樹脂モールド成形に用いられる半導体リード
フレームAは、通常、所要間隔を保って平行に配置させ
た両縁枠10・10.と、該両縁枠の中間部にタブリー
ド11を介して配置さゼた半導体素子12の取付用タブ
13と、一端側を上記タブ18側に他端側を上記両縁枠
10・10゜に沿って夫々平行に配置させ°た所要複数
本の外部用リード14−・・14と、該各外部用り−1
114間と両縁枠10・10□間との夫々を一体に連結
させたタイバー15とから構成されておシ、上記半導体
素子12と列部用リード14−14とけリードワイヤ1
6−・・16を介して接続されている。
フレームAは、通常、所要間隔を保って平行に配置させ
た両縁枠10・10.と、該両縁枠の中間部にタブリー
ド11を介して配置さゼた半導体素子12の取付用タブ
13と、一端側を上記タブ18側に他端側を上記両縁枠
10・10゜に沿って夫々平行に配置させ°た所要複数
本の外部用リード14−・・14と、該各外部用り−1
114間と両縁枠10・10□間との夫々を一体に連結
させたタイバー15とから構成されておシ、上記半導体
素子12と列部用リード14−14とけリードワイヤ1
6−・・16を介して接続されている。
上記した従来の半導体リードフレームAを用いてそのも
゛パ脂モールド成形を行なう場合は、該リードフレーム
の両M、枠10・101を金型側の凹所7に保合セット
して第1図に示すように型締めを行ない、次に、第4図
に示すように、溶融樹脂17をランナ5とゲート6及び
そのゲート口6□を通して上下キャビティ3・4内に加
圧注入することにkるのであるが、この場合に、キャビ
ティ3・4にて成形される樹脂体、特に、上記したゲー
1−「161附近にボイド(気泡)による欠損部が生じ
易いといった成形」二の重大な欠点がみられると共に、
この欠損部は成形樹脂体の外観を損うことになシ、また
、該欠損部から水分が浸入して内部の半導体素子の機能
を損う等、この種製品の耐水(湿)性若しくは耐久性を
低下させる要因となっている。
゛パ脂モールド成形を行なう場合は、該リードフレーム
の両M、枠10・101を金型側の凹所7に保合セット
して第1図に示すように型締めを行ない、次に、第4図
に示すように、溶融樹脂17をランナ5とゲート6及び
そのゲート口6□を通して上下キャビティ3・4内に加
圧注入することにkるのであるが、この場合に、キャビ
ティ3・4にて成形される樹脂体、特に、上記したゲー
1−「161附近にボイド(気泡)による欠損部が生じ
易いといった成形」二の重大な欠点がみられると共に、
この欠損部は成形樹脂体の外観を損うことになシ、また
、該欠損部から水分が浸入して内部の半導体素子の機能
を損う等、この種製品の耐水(湿)性若しくは耐久性を
低下させる要因となっている。
」二連したような従来の弊害は、次のような原因に基づ
いて発生するものと考えられる。
いて発生するものと考えられる。
即ち、上記ゲート口61を通してキャビティ3・4空間
内に注入された最初の樹脂は、該空間内への注入と同時
にその注入加圧力から一時的に開放されること、また、
第3図に示すように、上記ゲートロ63部に保合セット
されるリードフレームの縁辺101 と該ゲート口の前
方に配置される外部用リード141との間、及び、ゲー
1061と該外部用リード141との間には所要の間隙
L1・L2が構成されることから、第4図に示すよ゛う
に、ゲート口6□を通してキャビティ3・4空間内に最
初に注入される断面長方形状の樹脂先端部171は、ま
ず、上記間隙L□ ・し1.を通して上キャビティ3側
に向い、その後自重等によって下キャビティ4側に向う
といった流入作用を受けることになる。 従って、この
とき、ゲート口61附近の空気18が該樹脂先端部17
□によシ巻き込まれることになシ、この空気18が樹脂
充用後において効率良く外部に排出されないととから、
ゲートロ61位置に対応する樹脂成形体の内部或は外表
面にボイドを形成するとととなるのである。
内に注入された最初の樹脂は、該空間内への注入と同時
にその注入加圧力から一時的に開放されること、また、
第3図に示すように、上記ゲートロ63部に保合セット
されるリードフレームの縁辺101 と該ゲート口の前
方に配置される外部用リード141との間、及び、ゲー
1061と該外部用リード141との間には所要の間隙
L1・L2が構成されることから、第4図に示すよ゛う
に、ゲート口6□を通してキャビティ3・4空間内に最
初に注入される断面長方形状の樹脂先端部171は、ま
ず、上記間隙L□ ・し1.を通して上キャビティ3側
に向い、その後自重等によって下キャビティ4側に向う
といった流入作用を受けることになる。 従って、この
とき、ゲート口61附近の空気18が該樹脂先端部17
□によシ巻き込まれることになシ、この空気18が樹脂
充用後において効率良く外部に排出されないととから、
ゲートロ61位置に対応する樹脂成形体の内部或は外表
面にボイドを形成するとととなるのである。
なお、上述した間に8点は、ランナ5−ゲート6及びゲ
ート口63等が上型1側に設けられている逆の配置態様
(第1図に示す金型の上型1と下型2とを反対に配設し
た構成)の金型においても同様に発生する。1 即ち、
その上型ゲート口を通してキャピテイ空商内に最初に注
入される断面長方形状の樹脂先端部は、まず、間隙(し
い ・Lりを通して下キャビティ側に所要の加圧力を受
けて斜下方へ注入された後に、自重等によって下方の下
キャビティ面に流下することになるため、このとき、上
記ゲートロ附近の空気を巻き込むことになるのである。
ート口63等が上型1側に設けられている逆の配置態様
(第1図に示す金型の上型1と下型2とを反対に配設し
た構成)の金型においても同様に発生する。1 即ち、
その上型ゲート口を通してキャピテイ空商内に最初に注
入される断面長方形状の樹脂先端部は、まず、間隙(し
い ・Lりを通して下キャビティ側に所要の加圧力を受
けて斜下方へ注入された後に、自重等によって下方の下
キャビティ面に流下することになるため、このとき、上
記ゲートロ附近の空気を巻き込むことになるのである。
(本発明の目的)
本発明は、ゲート口を通してキャビティ空間内に最初に
注入される樹脂の流入作用を改善することによってゲー
ト口ボイドの発生を防止できる樹脂モールド成形方法と
、この成形方法に用いることができる半導体リードフレ
ームを提供することによシ5、上述した従来の弊害を確
実に解消することを目的とするものである。
注入される樹脂の流入作用を改善することによってゲー
ト口ボイドの発生を防止できる樹脂モールド成形方法と
、この成形方法に用いることができる半導体リードフレ
ームを提供することによシ5、上述した従来の弊害を確
実に解消することを目的とするものである。
(本発明の方法及び構成)
本発明方法は、半導体素子をリードフレームを介して上
下両型間のキャビティ部にセットすると共に、溶融樹脂
をゲート口を通して上記ギャビテイ部に加圧注入するこ
とによシ上記1′導体素子を樹脂モールド成形する方法
において、上記リード・ フレームの外部用リード部に
延設した突片を上記ゲート口の前方位置に対向配置させ
て該ゲート口と上記外部用リード部との間の間隙が狭少
となるように設定することにより、上記ゲート口からキ
ャビ−ティ部に最初に加圧注入される溶融樹脂を下キャ
ビティ面に沼って流下させるようにしたことを特徴とす
るものである。
下両型間のキャビティ部にセットすると共に、溶融樹脂
をゲート口を通して上記ギャビテイ部に加圧注入するこ
とによシ上記1′導体素子を樹脂モールド成形する方法
において、上記リード・ フレームの外部用リード部に
延設した突片を上記ゲート口の前方位置に対向配置させ
て該ゲート口と上記外部用リード部との間の間隙が狭少
となるように設定することにより、上記ゲート口からキ
ャビ−ティ部に最初に加圧注入される溶融樹脂を下キャ
ビティ面に沼って流下させるようにしたことを特徴とす
るものである。
また、本発明方法に用いられる半511体リードフレー
ムは、縁枠にタブリードを介して配置させた半導体素子
の取付用タグと、一端側を上記タブ側に向って配置させ
た所要複数本の外部用リードと1、 *4!
rl’p@l=Mv−rr15.Th1Ei!?I’J
I&C’1l−Kに連結させたタイバーとから成る半導
体リードフレームにおいて、上記縁枠に対向配置される
外部膜しで形成した溶融樹脂の流入抑制用突片が設けら
れていることをr÷徴とするものである。
ムは、縁枠にタブリードを介して配置させた半導体素子
の取付用タグと、一端側を上記タブ側に向って配置させ
た所要複数本の外部用リードと1、 *4!
rl’p@l=Mv−rr15.Th1Ei!?I’J
I&C’1l−Kに連結させたタイバーとから成る半導
体リードフレームにおいて、上記縁枠に対向配置される
外部膜しで形成した溶融樹脂の流入抑制用突片が設けら
れていることをr÷徴とするものである。
(実施例)
以下、本発明を第5図乃至第9図に示す実施例図に基づ
いて説明する。
いて説明する。
第5図は、本発明方法に用いられる半導体リードフレー
ムを示しておシ、該リードフレームは所要の間隔を保っ
て平行に配置させた両縁枠2o・20□と、該両縁枠の
中間部にタグリード21を介して配置させた半導体素子
22の取付用タブ′23と、一端側を上記タブ23側に
他端側を上記両縁枠20・20□に沿って夫々平行に配
置させた所要複数本の外部用リード24・・・24と、
該番外部用リード24間と両縁枠20・201間との夫
々を一体に連結さゼたタイバー25と、上記半導体素子
22と外部用リード24・・・24とを接続させたリー
ドワイヤ26・・・26とから構成されておシ、また、
第8図及び第9図に示す樹脂モールド成型用金−型の下
キャビティ4側に連通開設するゲート口61の前方位置
、即ち、上記縁枠20□に対向配置される外部用リード
24□に、該リードを上記ゲート口61側となる縁枠2
01(lllに向って延設し、て形成した溶融樹脂の上
キャビティ3側への流入抑制用突片27が設けられてい
る。 寸だ、上記縁枠201と外部用リード241との
間隙は、前述した従来のものめ間隙り、と略同−に形成
されるが、該縁枠20□ と上記突片27とのI7i’
iには上記間隙L1よシも狭少となる間隙J、1が構成
されると共に、金型の上記ゲート口6□と上記突ハ27
との間には、前述した従来のものの間隙1.、/2よυ
も狭少となる間@ J−2が構成されることになる。
なお、第8図及び第9図に示す金型の具体的構成は前述
した従来金型の構成と実質的に同一であるため、これと
対応する構成部材には同一の符−号を付している。
ムを示しておシ、該リードフレームは所要の間隔を保っ
て平行に配置させた両縁枠2o・20□と、該両縁枠の
中間部にタグリード21を介して配置させた半導体素子
22の取付用タブ′23と、一端側を上記タブ23側に
他端側を上記両縁枠20・20□に沿って夫々平行に配
置させた所要複数本の外部用リード24・・・24と、
該番外部用リード24間と両縁枠20・201間との夫
々を一体に連結さゼたタイバー25と、上記半導体素子
22と外部用リード24・・・24とを接続させたリー
ドワイヤ26・・・26とから構成されておシ、また、
第8図及び第9図に示す樹脂モールド成型用金−型の下
キャビティ4側に連通開設するゲート口61の前方位置
、即ち、上記縁枠20□に対向配置される外部用リード
24□に、該リードを上記ゲート口61側となる縁枠2
01(lllに向って延設し、て形成した溶融樹脂の上
キャビティ3側への流入抑制用突片27が設けられてい
る。 寸だ、上記縁枠201と外部用リード241との
間隙は、前述した従来のものめ間隙り、と略同−に形成
されるが、該縁枠20□ と上記突片27とのI7i’
iには上記間隙L1よシも狭少となる間隙J、1が構成
されると共に、金型の上記ゲート口6□と上記突ハ27
との間には、前述した従来のものの間隙1.、/2よυ
も狭少となる間@ J−2が構成されることになる。
なお、第8図及び第9図に示す金型の具体的構成は前述
した従来金型の構成と実質的に同一であるため、これと
対応する構成部材には同一の符−号を付している。
また、上記突片27は、溶副1樹脂17の上キャビティ
3側へ、の流入を完全にl!11止させるものではシ・
いから、第7図に示すように、該突片27に所要の切欠
部27エ・・・271を形成して、ゲート10口61か
ら流入する溶融樹脂の一部を、該切欠部を通して上キー
rビテイ8(Iliへ同時に流入させるように1.′J
成してもよい。
3側へ、の流入を完全にl!11止させるものではシ・
いから、第7図に示すように、該突片27に所要の切欠
部27エ・・・271を形成して、ゲート10口61か
ら流入する溶融樹脂の一部を、該切欠部を通して上キー
rビテイ8(Iliへ同時に流入させるように1.′J
成してもよい。
また、第5図に/i−′1.たり一ドフレームは、両縁
枠20・201と、該両縁枠間にクジジード21番介し
てタブ23を配fW描成したものを図示しているが、同
図に示した一方の縁枠20を省略した構成を有するもの
、或は、同じく、一方何の縁枠208、省略すると共に
、タイバー25を介して他方の縁枠201に連結したタ
ブリード(図示なし)の先端部にタブ(23)を一体に
形成する構成を採用しても差支えない。
枠20・201と、該両縁枠間にクジジード21番介し
てタブ23を配fW描成したものを図示しているが、同
図に示した一方の縁枠20を省略した構成を有するもの
、或は、同じく、一方何の縁枠208、省略すると共に
、タイバー25を介して他方の縁枠201に連結したタ
ブリード(図示なし)の先端部にタブ(23)を一体に
形成する構成を採用しても差支えない。
次に、本発明の詳細な説明する。
本発明の半導体リードフレームは、前述した従来のもの
と同様に、金型側の凹所7に係合セットした後に型間f
めを行ない、次に、第9図に示すように、溶融υd脂1
7をランナ5とゲート6及びゲート口61を通して上下
キャビティ3・4内に加圧注入することになる。 しか
しながら、本発明においては、ゲート口6工とリードフ
レームの突片27との間VIi、、L、が狭少に構成さ
れることになるから、ゲート口61を通してキ4ビテイ
3・4空間内に最初に注入される断面長方形状の樹脂先
端部17□け、上記突片27によって」ニキャビテイ3
側への流入作用を抑制されて該ゲート口から下キャビテ
ィ面に沿って流下することになるのである。 捷た、こ
のような溶融樹脂(17□)の最初の注入作用に連続し
て行なわれる溶θ、!11樹脂17のキャビティ3・4
内への加圧注入作用は、該溶融樹脂がゲート口61から
エアベント(8)側へ順次流入して該キャビティ3・4
内を充填した後に終了することになるが、上述し7たよ
うにゲート1161附近の空気(18)の樹脂先端部、
17.による巻込作用は発生せず、また、キャビティ3
・4空間内の他の空気は上記した溶融樹脂の充填時にエ
アベント(8)を通して外部へ押し出されるから、結局
、キャビティ3・4によって成形される樹脂体の内部或
はゲート口部その他の列表面にボイドを形成することが
ないのである。
と同様に、金型側の凹所7に係合セットした後に型間f
めを行ない、次に、第9図に示すように、溶融υd脂1
7をランナ5とゲート6及びゲート口61を通して上下
キャビティ3・4内に加圧注入することになる。 しか
しながら、本発明においては、ゲート口6工とリードフ
レームの突片27との間VIi、、L、が狭少に構成さ
れることになるから、ゲート口61を通してキ4ビテイ
3・4空間内に最初に注入される断面長方形状の樹脂先
端部17□け、上記突片27によって」ニキャビテイ3
側への流入作用を抑制されて該ゲート口から下キャビテ
ィ面に沿って流下することになるのである。 捷た、こ
のような溶融樹脂(17□)の最初の注入作用に連続し
て行なわれる溶θ、!11樹脂17のキャビティ3・4
内への加圧注入作用は、該溶融樹脂がゲート口61から
エアベント(8)側へ順次流入して該キャビティ3・4
内を充填した後に終了することになるが、上述し7たよ
うにゲート1161附近の空気(18)の樹脂先端部、
17.による巻込作用は発生せず、また、キャビティ3
・4空間内の他の空気は上記した溶融樹脂の充填時にエ
アベント(8)を通して外部へ押し出されるから、結局
、キャビティ3・4によって成形される樹脂体の内部或
はゲート口部その他の列表面にボイドを形成することが
ないのである。
なお、前述し、たように、上型1と下型2とが反対に配
置された金型(図示なし、)においては、ゲート口(6
エ)が上型1側に設けられるが、この場合にもゲート口
附近の空気巻込作用は発生しない。
置された金型(図示なし、)においては、ゲート口(6
エ)が上型1側に設けられるが、この場合にもゲート口
附近の空気巻込作用は発生しない。
即チ、ゲート1コ(6t)を通し7てキャビティ(3・
4)空間内に最初に注入される断面長方形状の樹脂先端
部は、リードフレームの突片(27)によって、下キャ
ビティ(4)側へ向う斜下方への流入作用が抑制される
ことになシ、その結果として、上記樹脂先端部はゲート
口(6□)から下キャビティ、(4)面に沿って流下す
ることとなるのである。 寸だ、その他のキャビティ(
3・4)「内への樹脂性ノm作用は、上述した図例のも
のと略同様に行なわれるものである。
4)空間内に最初に注入される断面長方形状の樹脂先端
部は、リードフレームの突片(27)によって、下キャ
ビティ(4)側へ向う斜下方への流入作用が抑制される
ことになシ、その結果として、上記樹脂先端部はゲート
口(6□)から下キャビティ、(4)面に沿って流下す
ることとなるのである。 寸だ、その他のキャビティ(
3・4)「内への樹脂性ノm作用は、上述した図例のも
のと略同様に行なわれるものである。
(′A発明の作用・効果)
本発明方法によるときは、ゲート口を通してキャビティ
空間内に最初に注メされる樹脂がゲート口附近の空気を
巻き込まないので、該巻込空気の残溜に起因したゲート
ロポイドの発生を確実に防止することができる。 従っ
て、成形樹脂体のゲート口附近には欠損部が形成されな
いため、従来の成形樹脂体のように該欠損部から内部に
水分が浸入して樹脂モールド成形品の耐水(湿)性・1
nrJ久性を低下させることがなく、また、成形樹脂体
の外観を損う等の弊害を確実に解消できるといった優れ
た効果を奏するものである。
空間内に最初に注メされる樹脂がゲート口附近の空気を
巻き込まないので、該巻込空気の残溜に起因したゲート
ロポイドの発生を確実に防止することができる。 従っ
て、成形樹脂体のゲート口附近には欠損部が形成されな
いため、従来の成形樹脂体のように該欠損部から内部に
水分が浸入して樹脂モールド成形品の耐水(湿)性・1
nrJ久性を低下させることがなく、また、成形樹脂体
の外観を損う等の弊害を確実に解消できるといった優れ
た効果を奏するものである。
また、本発明方法に用いられる゛しj″す什す−ドフ溶
融樹脂の流入抑制用突片を′lL設するものであるから
、例えば、長尺の板材からリードフレームを打抜形成す
る工程において同時に形成することができてその製作が
容易である。 また、このリードフレームを用いて樹脂
モールド成形を行なうときは、上記突片によって、ゲー
1−111を通してキャビティ空間内に最初に注入され
る樹脂を、該ゲート口から下キャビティ面に沿って流]
:させるどいつだ流入抑制作用が得られるため、従来の
リードフレームを用いた場合のように上記樹脂による空
気の巻き込みがなく、従って一成形樹脂体の内部或はゲ
ート口部その他の外表面に巻込空気の残溜に起因したボ
イド・欠損部が形成されるのを確実に防止することがで
きるといった優れた効果を奏するものである。
融樹脂の流入抑制用突片を′lL設するものであるから
、例えば、長尺の板材からリードフレームを打抜形成す
る工程において同時に形成することができてその製作が
容易である。 また、このリードフレームを用いて樹脂
モールド成形を行なうときは、上記突片によって、ゲー
1−111を通してキャビティ空間内に最初に注入され
る樹脂を、該ゲート口から下キャビティ面に沿って流]
:させるどいつだ流入抑制作用が得られるため、従来の
リードフレームを用いた場合のように上記樹脂による空
気の巻き込みがなく、従って一成形樹脂体の内部或はゲ
ート口部その他の外表面に巻込空気の残溜に起因したボ
イド・欠損部が形成されるのを確実に防止することがで
きるといった優れた効果を奏するものである。
第1図乃至第4図は、従来の半導体リードフレームを用
いた場合のトランスファー樹脂モールド成形例を示すも
ので、第1図はその金型要部の縦断面図、第2図及び第
3図はその下型の平面図及び拡大317面図、第4図は
その成形作用説明図である。 第5図乃至第9図は、本発明の実施例を示すものであシ
、第5図はその半導体リードフレームの一部切欠平面図
、第6図は該リードフレームの要部拡大平面図、第7図
は該リードフレームの他の実施例の要部を示す平面図、
第8図及び第9図はその成形作用説明図である。 1・・・上型、 2・・・下型、 3・・・上キャビテ
ィ、4v・下キャビティ、 6・・・ゲート、 6□・
・・ゲート口、 17・・・溶融樹脂、 20・20工
・・・縁枠、 21・・・タブリード、 22・・・半
導体素子、 23・・・クプ、 24・24□・・・外
部用リード、 25・・・ クイバー、 27・・・
突片、上、・・・間隙。 第5図
いた場合のトランスファー樹脂モールド成形例を示すも
ので、第1図はその金型要部の縦断面図、第2図及び第
3図はその下型の平面図及び拡大317面図、第4図は
その成形作用説明図である。 第5図乃至第9図は、本発明の実施例を示すものであシ
、第5図はその半導体リードフレームの一部切欠平面図
、第6図は該リードフレームの要部拡大平面図、第7図
は該リードフレームの他の実施例の要部を示す平面図、
第8図及び第9図はその成形作用説明図である。 1・・・上型、 2・・・下型、 3・・・上キャビテ
ィ、4v・下キャビティ、 6・・・ゲート、 6□・
・・ゲート口、 17・・・溶融樹脂、 20・20工
・・・縁枠、 21・・・タブリード、 22・・・半
導体素子、 23・・・クプ、 24・24□・・・外
部用リード、 25・・・ クイバー、 27・・・
突片、上、・・・間隙。 第5図
Claims (2)
- (1)半導体素子をリードフレームを介して上下両型間
のキャビティ部にセットすると共に、溶融樹脂をゲート
口を通して上記キャビティ部に加圧注入することにより
上記半導体素子を樹脂モールド成形する方法において、
上記リードフレームの外部用リード部に延設した突片を
上記ゲート口の前方位置に対向配置させて該ゲート口と
上記外部用リード部との間の間隙が狭少となるように設
定することにより、上記ゲート口からキャビティ部に最
初に加圧注入される溶融樹脂を下キャビティ面に沿って
流下させるようにしたことを特徴とする半導体素子の樹
脂モールド成形方法。 - (2)縁枠にタブリードを介して配置させた半導体素子
の取付用タブと、一端側を上記タブ側に向って配置させ
た所要複数本の外用部リードと、該各外部用リード間と
上記縁枠間との夫々を一体に連結させたタイバーとから
成る半導体リードフレームにおいて、上記縁枠に対向配
置される外部用リード部に、該リード側から縁枠側に向
って延設して形成した溶融樹脂の流入抑制用突片が設け
られていることを特徴とする半導体リードフレーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12583284A JPS614234A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 半導体素子の樹脂モ−ルド成形方法及び半導体リ−ドフレ−ム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12583284A JPS614234A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 半導体素子の樹脂モ−ルド成形方法及び半導体リ−ドフレ−ム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS614234A true JPS614234A (ja) | 1986-01-10 |
Family
ID=14920038
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12583284A Pending JPS614234A (ja) | 1984-06-19 | 1984-06-19 | 半導体素子の樹脂モ−ルド成形方法及び半導体リ−ドフレ−ム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS614234A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6471270A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-16 | Nec Corp | Level adjusting device |
US4862586A (en) * | 1985-02-28 | 1989-09-05 | Michio Osada | Lead frame for enclosing semiconductor chips with resin |
US4946633A (en) * | 1987-04-27 | 1990-08-07 | Hitachi, Ltd. | Method of producing semiconductor devices |
US4954308A (en) * | 1988-03-04 | 1990-09-04 | Citizen Watch Co., Ltd. | Resin encapsulating method |
US5071612A (en) * | 1988-12-12 | 1991-12-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for sealingly molding semiconductor electronic components |
US5094937A (en) * | 1989-07-31 | 1992-03-10 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method for processing silver halide color photographic material |
US5197183A (en) * | 1991-11-05 | 1993-03-30 | Lsi Logic Corporation | Modified lead frame for reducing wire wash in transfer molding of IC packages |
US5371044A (en) * | 1991-05-27 | 1994-12-06 | Hitachi, Ltd. | Method of uniformly encapsulating a semiconductor device in resin |
US5891384A (en) * | 1994-11-21 | 1999-04-06 | Apic Yamada Corporation | Method of operating a molding machine with release film |
JP2008060193A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | New Japan Radio Co Ltd | リードフレームおよびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
-
1984
- 1984-06-19 JP JP12583284A patent/JPS614234A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4862586A (en) * | 1985-02-28 | 1989-09-05 | Michio Osada | Lead frame for enclosing semiconductor chips with resin |
US4946633A (en) * | 1987-04-27 | 1990-08-07 | Hitachi, Ltd. | Method of producing semiconductor devices |
JPS6471270A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-16 | Nec Corp | Level adjusting device |
US4954308A (en) * | 1988-03-04 | 1990-09-04 | Citizen Watch Co., Ltd. | Resin encapsulating method |
US5071612A (en) * | 1988-12-12 | 1991-12-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for sealingly molding semiconductor electronic components |
US5094937A (en) * | 1989-07-31 | 1992-03-10 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method for processing silver halide color photographic material |
US5371044A (en) * | 1991-05-27 | 1994-12-06 | Hitachi, Ltd. | Method of uniformly encapsulating a semiconductor device in resin |
US5197183A (en) * | 1991-11-05 | 1993-03-30 | Lsi Logic Corporation | Modified lead frame for reducing wire wash in transfer molding of IC packages |
US5891384A (en) * | 1994-11-21 | 1999-04-06 | Apic Yamada Corporation | Method of operating a molding machine with release film |
JP2008060193A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | New Japan Radio Co Ltd | リードフレームおよびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
JP4763554B2 (ja) * | 2006-08-30 | 2011-08-31 | 新日本無線株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS614234A (ja) | 半導体素子の樹脂モ−ルド成形方法及び半導体リ−ドフレ−ム | |
KR970003930B1 (ko) | 멀티플런저 금형 | |
JP3016661B2 (ja) | リードフレーム | |
JPS6228723Y2 (ja) | ||
JPS6012781B2 (ja) | 発光ダイオ−ド素子の樹脂封止成形方法及びその金型装置 | |
JPH058106Y2 (ja) | ||
JPS5994428A (ja) | 半導体用樹脂封止金型 | |
JPS6311723Y2 (ja) | ||
JP3527026B2 (ja) | 広口壜のプラグ付き中栓とその成形用金型 | |
KR940006189Y1 (ko) | 리드프레임 | |
JPS5951133B2 (ja) | パツケ−ジング方法 | |
JPS59201429A (ja) | 半導体樹脂封止装置 | |
JPH0430182B2 (ja) | ||
JP2560007Y2 (ja) | Rtm成形型用樹脂注入ノズル | |
JPS63228631A (ja) | 半導体素子を樹脂封止する金型装置 | |
JPH0126110Y2 (ja) | ||
JPS6349413A (ja) | 半導体装置用樹脂モ−ルド金型装置 | |
JPS61144033A (ja) | 半導体装置の樹脂封止成形方法 | |
KR0122888Y1 (ko) | 반도체 팩키지 성형용 몰드 | |
JPS5839868Y2 (ja) | 樹脂封止金型 | |
JPH05218122A (ja) | 樹脂封止型半導体装置の樹脂封止金型 | |
JPS5911441U (ja) | 半導体パツケ−ジ用モ−ルド金型 | |
JPS59101842A (ja) | 樹脂封止用金型 | |
JP2782639B2 (ja) | 樹脂封止形半導体素子のトランスファ成形用金型 | |
JPS6024025A (ja) | 半導体装置の樹脂モ−ルド方法 |