JPS61294453A - 感光体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

イ、産業上の利用分野 本発明は感光体、例えば電子写真感光体に関するもので
ある。 口、従来技術 従来、電子写真感光体として、Ｓｅ又はＳｅにＡｓ、、
’ｒｅ％　ｓｂ等をドープした感光体、ＺｎＯやＣｄＳ
を樹脂バインダーに分散させた感光体等が知られている
。しかしながらこれらの感光体は、環境汚染性、熱的安
定性、機械的強度の点で問題がある。 一方、アモルファスシリコン（ａ−３ｉ）を母体として
用いた電子写真感光体が近年になって提案されている。 ａ−３ｉは、Ｓ　ｉ−３ｉの結合手が切れたいわゆるダ
ングリングボンドを有しており、この欠陥に起因してエ
ネルギーギャップ内に多くの局在準位が存在する。この
ために、熱励起担体のホッピング伝導が生じて暗抵抗が
小さく、また光励起担体が局在準位にトラップされて光
伝導性が悪くなっている。そこで、上記欠陥を水素原子
（Ｈ）で補償してＳｔにＨを結合させることによって、
ダングリングボンドを埋めることが行われる。 このようなアモルファス水素化シリコン（以下、ａ−３
ｉ：Ｈと称する。）の暗所での抵抗率は、１０８〜１０
９Ω−ロであって、アモルファスＳｅと比較すれば約１
万分の１も低い。従って、ａ−３ｉ：Ｈの単層からなる
感光体は表面電位の暗減衰速度が大きく、初期帯電電位
が低いという問題点を有している。 しかし、他方では、可視及び赤外領域の光を照射すると
抵抗率が大きく減少するため、感光体の感光層として極
めて優れた特性を有している。 第８図には、上記のａ−３ｉ：Ｈを母材としたａ−３ｔ
系悪感光９を組込んだ電子写真複写機が示されている。 この複写機によれば、キャビネット１の上部には、原稿
２を載せるガラス製原稿載１台３と、原稿２を覆うプラ
テンカバー４とが配されている。原稿台３の下方では、
光Ｒ５及び第１反射用ミラー６を具備した第１ミラーユ
ニツト７からなる光学走査台が図面左右方向へ直線移動
可能に設けられており、原稿走査点と感光体との光路長
を一定にするための第２ミラーユニツト２゜が第１ミラ
ーユニツトの速度に応じて移動し、原稿台３側からの反
射光がレンズ２１、反射用ミラー８を介して像担持体と
しての感光体ドラム９上へスリット状に入射するように
なっている。ドラム９の周囲には、コロナ帯電器１０、
現像器１１、転写部１２、分離部１３、クリーニング部
１４が夫々配置されており、給紙箱１５から各給紙ロー
ラー１６．１７を経て送られる複写紙１８はドラム９の
トナー像の転写後に更に定着部１９で定着され、トレイ
３５へ排紙される。定着部１９では、ヒーター２２を内
臓した加熱ローラー２３と圧着ローラー２４との間に現
像済みの複写紙を通して定着操作を行なう。 しかしながら、ａ−５ｉ：Ｈを表面とする感光体は、長
期に亘って大気や湿気に曝されることによる影響、コロ
ナ放電で生成される化学種の影響等の如き表面の化学的
安定性に関して、これまで十分な検討がなされていない
。例えば１力月以上放置したものは湿気の影響を受け、
受容電位が著しく低下することが分っている。一方、ア
モルファス水素化炭化シリコン（以下、ａ−ＳｉＣ：Ｈ
と称スる。）について、その製法や存在が”　Ｐｈ１１
．　　Ｍａｇ、　Ｖｏｌ、　３５”　　（１９７８）等
に記載されており、その特性として、耐熱性や表面硬度
が高いこと、ａ−３ｉ：Ｈと比較して高い暗所抵抗率（
１０”〜１ｏ１’ｌｌΩ−ロ）を有すること、炭素量に
より光学的エネルギーギャップが１．６〜２．８ｅＶの
範囲に亘って変化すること等が知られている。 但、炭素の含有によりバンドギャップが拡がるために長
波長感度が不良となるという欠点がある。 こうしたａ−３ｉＣ：Ｈとａ−３ｉ：Ｈとを組合せた電
子写真感光体は例えば特開昭５５−１２７０８３号公報
において提案されている。これによれば、ａ−３ｉ：Ｈ
層を電荷発生（光導電）層とし、この電荷発生層下にａ
−３ｉＣ：Ｈ層を設け、上層のａ−３ｉ：Ｈにより広い
波長域での光感度を得、かつａ−３ｉ：ＨＮとへテロ接
合を形成する下層のａ−３ｉＣ：Ｈにより帯電電位の向
上を図っている。しかしながら、ａ−３ｔ：Ｈ層の暗減
衰を充分に防止できず、帯電電位はなお不充分であって
実用性のあるものとはならない上に、表面にａ−３ｉｓ
Ｈ層が存在していることにより化学的安定性や機械的強
度、耐熱性等が不良となる。 一方、特開昭５７−１７９５２号公報には、ａ−３ｉ：
Ｈからなる電荷発生層上に第１のａ−３ｉＣ：ＨＪ！Ｊ
を表面改質層として形成し、裏面上（支持体電極側）に
第２のａ−３ｉＣ：Ｈ層を形成している。 また、この公知技術に関連したものとして、実開昭５７
−２３５４３号公報にみられる如く、上記の電荷発生層
と上記第１及び第２のａ−３ｉＣ：Ｈ層との間に傾斜層
（ａ　−Ｓ　ｉ　＋−ｘ　Ｃｘ　　：　Ｈ）を設け、こ
の傾斜層においてａ−３ｉ：Ｈ側でＸ＝０とし、ａ−８
ｉＣｓＨ層側でＸ＝０．５とした感光体が知られている
。 しかしながら、上記の公知の感光体について本発明者が
検討を加えたところ、表面改質層を設けたことによる効
果は特に連続繰返し使用において、それ程発揮されない
ことが判明した。即ち、２０〜３０万回の連続ランニン
グ時に表面のａ−３ｉＣ層が７〜８万回程度で機械的に
損傷され、これに起因する白スジや白ボｌが画像欠陥と
して生じるため、耐剛性が充分ではない。しかも、繰返
し使用時の耐光疲労が生じ、画像流れも生じる上に、電
気的・光学的特性が常時安定せず、使用環境（温度、湿
度）による影響を無視できない。また、表面改質層と電
荷発生層との接着性も更に改善する必要がある。 ハ１発明の目的 本発明の目的は、表面改質層と電荷発生層との接着性に
優れ、機械的損傷に強くかつ耐剛性に優れている上に、
画像流れのない安定な画質が得られ、繰返し使用時の光
疲労が少なく、残留電位も低く、かつ特性が使用環境（
温度、湿度）によらずに安定している感光体を提供する
ことにある。 二０発明の構成及びその作用効果 即ち、本発明は、周期表第ｍａ族元素がドープされかつ
炭素原子、窒素原子及び酸素原子のうちの少なくとも１
つを含有するアモルファス水素化及び／又はフッ素化シ
リコンからなる電荷ブロッキング層と；真性化されかつ
窒素原子及び酸素原子を含有するアモルファス水素化及
び／又はフッ素化シリコンからなる電荷輸送層と；アモ
ルファス水素化及び／フッ素化シリコンからなる電荷発
生層と；周期表第ｍａ族又は第Ｖａ族元素がドープされ
かつアモルファス水素化及び／又はフッ素化シリコンか
らなる中間層と；炭素原子、窒素原子及び酸素原子のう
ちの少なくとも１つを含有しかつアモルファス水素化及
び／又はフッ素化シリコンからなる表面改質層とが順次
積層されてなる感光体に係るものである。 本発明によれば、表面改質層は炭素、窒素及び酸素の少
なくとも１つの原子を含有しているために、機械的損傷
に対して強くなり、白スジ発生等による画質の劣化がな
く、耐剛性が優れたものとなる。また、本発明におル１
ては、表面改質層と電荷発生層との間に不純物ドープド
中間層を設けているので、表面改質層と電荷発生層との
接着性が向上する。 また、表面改質層と中間層とを電荷発生層上に設けてい
るので、上記に加えて、繰返し使用時の耐光疲労に優れ
、また画像流れもなく、残留電位も低下し、電気的・光
学的特性が常時安定化して使用環境に影響を受けないこ
とが確認されている。 ホ、実施例 以下、本発明を実施例について詳細に説明する。 第１図は、本実施例による正帯電用のａ−３ｉ系電子写
真感光体３９を示すものである。この感光体３９はＡ２
等のドラム状導電性支持基板４１上に、周期表第ｍａ族
元素（例えばホウ素）がヘビードープされかつＣ，Ｎ及
び０の少な（とも１つを含有するａ−３ｉ：）（（これ
をａ　−Ｓ　ｔ　　（Ｃ）（Ｎ）（０）：Ｈと表わす。 ）からなるＰ中型電荷ブロッキングＮ４４と、周期表第
ｍａ族元素（例えばホウ素）がライトドープされて真性
化されかっＮ及び０を含有するａ−３ｔ：Ｈ（これをａ
−３ｉＮＯ：Ｈと表わす。）からなる電荷輸送層４２と
、ａ−３ｉ：Ｈからなる電荷発生Ｎ（不純物ドーピング
なし又は真性化されたもの）４３と、周期表第ｍａ族又
は第Ｖａ族元素がヘビードープされたＰ＋型又はＮ＋型
アモルファス水素化シリコンからなる中間層４６と、周
期表第ｍａ族又は第Ｖａ族元素がドープされてＰ型又は
Ｎ型或いは真性化（若しくは不純物ドーピングなしの）
されかつＮ、Ｃ及び０の少なくとも１つを含有するアモ
ルファス水素化シリコン（これをａ　−Ｓ　ｉ　　（Ｃ
）（Ｎ）（０）：Ｈと表わす。）からなる表面改質層４
５とが積層された構造からなっている。電荷発生Ｎ４３
は暗所抵抗率ρ。と光照射時の抵抗率ρ、との比が電子
写真感光体として充分大きく光感度（特に可視及び赤外
領域の光に対するもの）が良好である。 なお、上記の各層の炭素原子含有量は０〜７０％の範囲
では、第２図に示す如くに光学的エネルギーギヤ、プ（
Ｅ　ｇ、　ｏｐｔ　）とほぼ直線的な関係があるので、
炭素原子含有量を光学的エネルギーギャップに置き換え
て規定することができる。 また、ａ−３ｉＣ：Ｈは、炭素原子含有量を適切に選択
すれば、第３図の曲線ａのように比抵抗の上昇、帯電電
位保持能の向上という顕著な作用効果が得られる。即ち
、第３図に曲線ａで示すように、炭素原子含有量が３０
〜９０％のａ−３ｉＣ：Ｈを用いた場合、その比抵抗は
炭素含有量に従って変化し、１０１２Ω−ロ以上になる
。 上記の傾向は、炭素に代えてＮ又はＯを含むａ−３ｉＮ
：Ｈ，、ａ−３ｉＯ：Ｈについても同様である。 上記の層４５は感光体の表面を改質してａ−３ｉ系悪感
光を実用的に優れたものとするために必須不可欠なもの
である。即ち、表面での電荷保持と、光照射による表面
電位の減衰という電子写真感光体としての基本的な動作
を可能とするものである。 従って、帯電、光減衰の繰返し特性が非常に安定となり
、長期間（例えば１力月以上）放置しておいても良好な
電位特性を再現できる。これに反し、ａ−３ｉ：Ｈを表
面とした感光体の場合には、湿気、大気、オゾン雰囲気
等の影響を受は易く、電位特性の経時変化が著しくなる
。 また、層４５は表面硬度が高いために、現像、転写、ク
リーニング等の工程における耐摩耗性があり、更に耐熱
性も良いことから粘着転写等の如（熱を付与するプロセ
スを適用することができる。 上記のような優れた効果を総合的に奏するためには、層
４５の組成を選択することが重要である。 即ち、炭素原子を含有する場合、Ｓｉ＋Ｃ＝１００ａｔ
ｏｍｉｃ％（以下、ａｔｏｍｉｃ％を単・に％で表わす
。）としたとき１％く〔０３５９０％、更には１０％≦
（Ｃ）５７０％であることが望ましい。このＣ含有量に
よって上記した比抵抗が所望の値となり、かつ光学的エ
ネルギーギャップがほぼ２．５８■以上となり、可視及
び赤外光に対しいわゆる光学的に透明な窓効果により照
射光はａ−３ｔｓＨ層（電荷発生層）４３に到達し易く
なる。しかし、Ｃ含有量が１％以下では、機械的損傷等
の欠点が生じ、かつ比抵抗が所望の値以下となり易く、
かつ一部分の光は表面層４５に吸収され、感光体の光感
度が低下し易くなる。また、Ｃ含有量が９０％を越える
と層の炭素量が多くなり、半導体特性が失われ易い上に
ａ−３ｉＣ：Ｈ膜をグロー放電法で形成するときの堆積
速度が低下し易いので、Ｃ含有量は９０％以下とするの
がよい。 同様に、窒素又は酸素を含有する層４５の場合、１％く
　〔Ｎ３５９０％、（更には１０％≦（Ｎ）５７０％）
がよく、０％≦

〔０〕≦７０％（更には５％≦

〔０〕≦
３０％）がよい。 帯電能を向上させる為には、表面改質層４５を高抵抗化
してもよい。その為には表面改質層を真性化しても良い
。 正又は負帯電使用に於いて、中間層から表面改質層中へ
の電子又は正孔の注入を容易にし、残留電位を極小化す
る為には、表面改質層をＰ又はＮ型としてもよい。 各場合の不純物ドープ量（後述のグロー放電分解時）は
次の通りであってよい。 真性化：　Ｂｔ　Ｈ＆　／　ｓ　ｉ　Ｈ４Ｆ　型：　Ｂ
ｚ　Ｈｂ　／　Ｓ　１Ｈ４Ｎ　型：ＰＨ３／５ｉＨ４ １〜１０００〃（好ましくは５０〜５００）（ＳｉＮＯ
：Ｈ（Ｆ）　、５ｉＣＯ：Ｈ（Ｆ）共通）また、層４５
はａ−３ｉｃｏ、ａ−３１ＮＯｓａ−３ｉＯ１ａ−３ｉ
Ｑ２等からなっていてよく、その膜厚を４００人≦ｔ≦
５０００人の範囲内（特に４００人≦ｔ＜２０００人に
選択することも重要である。 即ち、その膜厚が５０００人を越える場合には、残留電
位■６が高くなりすぎかつ光感度の低下も生じ、ａ−５
ｔ系悪感光としての良好な特性を失い易い。 また、膜厚を４００人未満とした場合には、トンネル効
果によって電荷が表面上に帯電されなくなるため、暗減
衰の増大や光感度の低下が生じてしまう。 中間層４６については、残留電位低下の為には、電荷発
生層からの電荷の注入の可能とするのに中間層をＰ又は
Ｎ型としてもよい。４電型制御の為のドーピング量は、
表面改質層と同じでよい。 この中間層の膜厚は５０〜５０００人とするのがよいが
、５０００人を越えると上記したと同様の現象が生じ易
＜、５０人未満では中間層としての効果が乏し（なる。 好ましくは、１００Å以上、１０００Å以下とするのが
よい。 電荷発生Ｎ４３については、帯電能を向上する為には、
電荷発生層の高抵抗化を図ってもよい。その為には、電
荷発生層を真性化しても良い。この真性化には、Ｂｚ　
Ｈｂ　／Ｓ　ｉＨ＊　＝１〜２０容ｔ　ｐ　ｐ　ｍとす
るのがよい。 また、電荷発生層は１〜１０μｍ、好ましくは、５〜７
μｍとするのがよい。電荷発生層４３が１μｍ未満であ
ると光感度が充分でなく、また１０μｍを越えると残留
電位が上昇し、実用上不充分である。 電荷輸送層４２については、帯電能、感度を最適化する
為には、真性化する必要がある。真性化の為のドープ量
は、 ＣＢＺ　Ｈｂ　）　／　（Ｓ　ｉ　Ｈ４）　＝　１〜２
０００容量ｐｐｍが最適である。但し、上記値はＮ濃度
に依存する為、必ずしも上記値に限定されるものではな
い。 電荷輸送層の膜厚は１０〜３０μｍとするのがよい。 また、電荷輸送層の組成は、１％〈〔８３５３０％、好
ましくは１０％≦（Ｎ）５３０％がよく、０％く　〔Ｏ
〕　５１０％、好ましくは０％〈　〔Ｏ〕　６１％がよ
い。 また、上記電荷プロ・７キング層４４は、基板４１から
の電子の注入を充分に防ぎ、感度、帯電能の向上のため
には、周期表第ｍａ族元素（例えばポロン）をグロー放
電分解でドープして、Ｐ型（更にはＰ＋型）化する。ブ
ロッキング層の組成によって、次のようにドーピング量
を制御する。 ａ−３ｉＣ又はａ−３ｉＣＯ： Ｐ型（Ｐ”　）　；　Ｂｚ　Ｈｂ　／　Ｓ　ｉ　Ｈ４２
０〜５０００容量ｐｐｍ ａ−３ｉＮ又はａ−３ｉＮＯ： Ｐ型（Ｐ　＋）　；　Ｂｔ　Ｈ６／　Ｓ　Ｉ　Ｈ４１０
００〜５０００容量ｐｐｍ プロフ先ング層はＳ　ｉＯｓ　Ｓ　ｉ　Ｏｚ等の化合物
でもよい。 また、ブロッキング層４４は膜厚５００人〜２μｍがよ
い。５００人未満であるとブロッキング効果が弱く、ま
た２μｍを越えると電荷輸送能が悪くなり易い。 ブロッキングＦＪ４４の組成については、次のようにす
るのが望ましい。即ち、１％〈〔０３５９０％、好まし
くは１０％≦（Ｃ）５７０％とし、１％〈　〔Ｎ〕　５
９０％、好ましくは１０％く　〔Ｎ３５７０％とし、θ
％≦（０）５７０％、好ましくは０％≦（０）５３０％
とするのがよい。 なお、上記の各層は水素を含有することが必要である。 特に、電荷発生ＪＷ４３中の水素含有量は、ダングリン
グボンドを補償して光導電性及び電荷保持性を向上させ
るために必須不可欠であって、１０〜３０％であるのが
望ましい。この含有量範囲は表面改質層４５、ブロッキ
ングＭ４４及び電荷輸送層４２も同様である。また、ブ
ロッキング層４４の導電型を制御するための不純物とし
て、Ｐ型化のためにボロン以外にもＡｌ、Ｇａ、Ｉｎ、
ＴＪ等の周期表ｍａ族元素を使用できる。Ｎ型化のため
にはリン以外にもＡ　Ｓ　％　Ｓ　ｂ等の周期表第Ｖａ
族元素を使用できる。 次に、上記した感光体（例えばドラム状）の製造方法及
びその装置（グロー放電装置）を第４図について説明す
る。 この装置５１の真空槽５２内ではドラム状の基板４１が
垂直に回転可能にセットされ、ヒーター５５で基板４１
を内側から所定温度に加熱し得るようになっている。基
板４１に対向してその周囲に、ガス導出口５３付きの円
筒状高周波電極５７が配され、基板４１との間に高周波
電源５６によりグロー放電が生ぜしめられる。なお、図
中の６２はＳ　ｉ　Ｈ４又はガス状シリコン化合物の供
給源、６３はＣＨ４等の炭化水素ガスの供給源、６４は
Ｎ２等の窒素化合物ガスの供給源、６５は０ｆｆｉ等の
酸素化合物ガスの供給源、６６はＡｒ等のキャリアガス
供給源、６７は不純物ガス（例えばＢｚ　Ｈｂ　）供給
源、６８は各流量計である。このグロー放電装置におい
て、まず支持体である例えばＡｊ！基板４１の表面を清
浄化した後に真空槽５２内に配置し、真空槽５２内のガ
ス圧が１Ｏ−６Ｔ　ｏｒｒとなるように調節して排気し
、かつ基板４１を所定温度、特に１００〜３５０℃（望
ましくは１５０〜３００℃）に加熱保持する。次いで、
高純度の不活性ガスをキャリアガスとして、Ｓ　ｉ　Ｈ
ａ又はガス状シリコン化合物、ＣＨａ　、Ｎｔ　、Ｏｘ
等を適宜真空槽５２内に導入し、例えばｏ、ｏｉ〜１０
Ｔｏｒｒの反応圧下で高周波電源５６により高周波電圧
（例えば１３．５６　ＭＨｚ）を印加する。これによっ
て、上記各反応ガスを電極５７と基板４１との間でグロ
ー放電分解し、ｐＰ型ａ−３ｉＣ：Ｈ，ｉ型５ｔＮＯ：
Ｈ。 ａ　　Ｓ　ｉ　：　Ｈ％　Ｐ＋又はＮｔ型ａ−３ｔ：Ｈ
。 ａ−５ｉＣ：Ｈを上記の層４４．４２．４３．４６．４
５として基板上に連続的に（即ち、例えば第１図の例に
対応して）堆積させる。 上記製造方法においては、支持体上にａ−３ｔ系の層を
製膜する工程で支持体温度を１００〜３５０℃としてい
るので、感光体の膜質（特に電気的特性）を良（するこ
とができる。 なお、上記ａ−３ｉ系感光体感光層の形成時において、
ダングリングボンドを補償するためには、上記したＨの
かわりに、或いはＨと併用してフッ素をＳ　ｉ　Ｆａ等
の形で導入し、ａ−８ｉ：Ｆ。 ａ−３ｉ　：Ｈ：Ｆ％　ａ−５ｉＮ：Ｆ。 ａ−３ｉＮ：Ｈ：Ｆ、ａ−３ｉＣ：Ｆ。 ａ−３ｉＣ：Ｈ：Ｆとすることもできる。この場合のフ
ッ素量は０．５〜１０％が望ましい。 なお、上記の製造方法はグロー放電分解法によるもので
あるが、これ以外にもスパッタリング法、イオンブレー
ティング法や、水素放電管で活性化又はイオン化された
水素導入下でＳｉを蒸発させる方法（特に、本出願人に
よる特開昭５６−７８４１３号（特願昭５４−１５２４
５５号）の方法）等によっても上記感光体の製造が可能
である。 以下、本発明を具体的な実施例について説明する。 グロー放電分解法により、ドラム状、ｌ支持体上に第１
図の構造の電子写真感光体を作製した。 即ち、まず支持体である、例えば平滑な表面を持つドラ
ム状Ａｌ基板４１の表面を清浄化した後に、第４図の真
空槽５２内に配置し、真空槽５２内のガス圧が１０−’
Ｔｏｒｒとなるように調節して排気し、かつ基板４１を
所定温度、特に１００〜３５０℃（望ましくは１５０〜
３００℃）に加熱保持する。次いで、高純度のＡｒガス
をキャリアガスとして導入し、Ｑ、５　Ｔ　ｏｒｒの背
圧のもとて周波数１３．５６　ＭＨｚの高周波電力を印
加し、１０分間の予備放電を行った。 次いで、５ｉＨ，とＢｔＨ，からなる反応ガスを導入し
、流量比１　：　１　：　１　：　　（１，５ｘｌＯ−
’）の（Ａ　ｒ　＋　Ｓ　ｉ　Ｈ４＋　ＣＨ４又はＮ　
ｚ　＋　Ｂ　ｚ　Ｈｂ　）混合ガスをグロー放電分解す
ることにより、電荷ブロッキング機能を担うＰ＋型のａ
−３ｉＣ：Ｈ層４４とａ−３ｔＮＯ：Ｈ電荷輸送層（但
、Ｂ　ｚ　Ｈｂ　／　Ｓ　ｉ　Ｈａ　＝５００容量％、
（Ｎ）＝１２％、（０）　＝１０００　ｐｐｍ　（Ｓ　
ｉに対し））４２とを６ｐｍ／　ｈ　ｒの堆積速度で順
次所定厚さに製膜した。引き続き、Ｂｚ　Ｈ，及びＣＨ
４を供給停止し、Ｓ　ｉ　Ｈ，を放電分解し、厚さ５μ
ｍのａ−３ｉ：）１層４３を形成した。引続いて、不純
物ガスの流量比を変化させてグロー放電分解し、膜厚も
変化させた中間層４６を形成し、更に Ｂ、　Ｈ，／ｓ　ｔ　Ｈ４＝１００容量ｐｐｍとしてａ
−５ｉＣＯ：Ｈ又はａ−３ｉＮＯ：Ｈ表面保護層４５を
更に設け、電子写真感光体を完成させた。 比較例として、中間層のない感光体を作成した。 こうして作成された感光体の構成をまとめると次の通り
であった。 （１）０表面改質層： ａ−３ｉＮＯ：Ｈ又はａ−３ｉＣＯ：Ｈ（Ｂｚ　Ｈ＆　
／　Ｓ　ｉ　Ｈｓ　−１００容ｉＪｐｐｍ　）（２）、
中間層： ドープ量、膜厚変化（第５図参照） （３）、　　ａ−３ｉ　：　Ｈ電荷発生層：膜厚＝５μ
ｍ （４）、　ａ−３ｉＮｏ　：　Ｈ電荷輸送層：膜厚＝１
５μｍ Ｎ含有量＝１２％ Ｏ含有量＝　１１０００ｐｐ 正帯電用−Ｂドープ有り グロー放電分解法で （５）、ａ−３ｉ　Ｃ：　Ｈ又は ａ−５ｉＮ：Ｈ電荷ブロッキング層： 膜厚＝１μｍ 炭素含有量＝１２％ 正帯電用：Ｂドープ有り （６）、支持体：Ａｌシリンダー（鏡面研磨仕上げ）次
に上記の各感光体を使用して各種のテストを次のように
行なった。 ■二か工荒皮 第６図に示すように、感光体３９面に垂直に当てた０、
３Ｒダイヤ針７０に荷重Ｗを加え、感光体をモーフ７１
で回転させ、傷をつける０次に、電子写真複写機Ｕ　−
Ｂ　１ｘ１６００　（小西六写真工業社製）改造機にて
画像出しを行ない、何ｇの荷重から画像に白スジが現わ
れるかで、その感光体の引っかき強度（ｇ）とする。 ＩＬ流並 温度３３℃、相対湿度８０％の環境下で、感光体を電子
写真複写機Ｕ　−Ｂ　１ｘ４５００　（小西六写真工業
社製）改造機内に２４時間順応させた後、現像剤、紙、
ブレードとは非接触で１０００コピーの空回しを行った
後、画像出しを行ない、以下の基準で画像流れの程度を
判定した。 ◎：画像流れが全くなく、５．５ポイントの英字や細線
の再現性が良い。 ○：５．５ポイントの英字がやや太くなる。 △：５．５ポイントの英字がつぶれて読みづらい。 Ｘ：５，５ポイントの英字判読不能。 −立Ｖｌ　（ｖ） Ｕ　−Ｂ　１ｘ２５００改造機を使った電位測定で、４
００ｎｍにピークをもつ除電光３０１！　ｕｘ−ｓｅｃ
を照射した後も残っている感光体表面電位。 Ｖｏ（ｖ） Ｕ　−Ｂ　１ｘ２５００改造機（小西六写真工業■製）
を用い、感光体流れ込み電流２００μＡ、露光なしの条
件で３６０ＳＸ型電位計（トレック社製）で測定した現
像直前の表面電位。 ’　　　　　Ｅ　ｌ１ｚｃ　ｌ　ｕｘ　０ｓｅｅ）上記
の装置を用い、グイクロイックミラー（光伸光学社製）
により像露光波長のうち６２０ｎｍ以上の長波長成分を
シャープカットし、表面電位を５００ｖから２５０ｖに
半減するのに必要な露光量。 （露光量は５５０−１型光量計（ＥＧａｎｄＧ社製）に
て測定） 結果を第７図にまとめて示した。この結果から、本発明
に基いて感光体を作成すれば、電子写真用として各性能
に優れた感光体が得られることが分る。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第７図は本発明の実施例を示すものであって、 第１図はａ−３ｔ系悪感光の各断面図、第２図はａ−３
ｉＣの光学的エネルギーギャップを示すグラフ、 第３図はａ−３ｉＣＯ比抵抗を示すグラフ、第４図はグ
ロー放電装置の概略断面図、第５図は各感光体の層構成
を示す表、 第６図は引っかき強度試験機の概略図、第７図は各感光
体の特性を示す表 である。 第８図は従来の電子写真複写機の概略断面図である。 なお、図面に示された符号において、 ３９・・・・ａ−３Ｌ系悪感光 ４１・・・・支持体（基板） ４２・・・・電荷輸送層 ４３・・・・電荷発生層 ４４・・・・電荷ブロッキング層 ４５・・・・表面改質層 ４６・・・・中間層 である。 代理人　弁理士　逢　坂　　　宏 第１図 第２図 ａ−５ｉｒ−ｘＣｘ　：　Ｈｘ 第３図 炭毫含葺量　（ａｔ□ｍ１Ｃｏ／、） 第６図 第４図 第７図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、周期表第IIIａ族元素がドープされかつ炭素原子、
   窒素原子及び酸素原子のうちの少なくとも１つを含有す
   るアモルファス水素化及び／又はフッ素化シリコンから
   なる電荷ブロッキング層と；真性化されかつ窒素原子及
   び酸素原子を含有するアモルファス水素化及び／又はフ
   ッ素化シリコンからなる電荷輸送層と；アモルファス水
   素化及び／フッ素化シリコンからなる電荷発生層と；周
   期表第IIIａ族又は第Ｖａ族元素がドープされかつアモ
   ルファス水素化及び／又はフッ素化シリコンからなる中
   間層と；炭素原子、窒素原子及び酸素原子のうちの少な
   くとも１つを含有しかつアモルファス水素化及び／又は
   フッ素化シリコンからなる表面改質層とが順次積層され
   てなる感光体。