JPS61223605A - 表面形状検査方法 - Google Patents
表面形状検査方法Info
- Publication number
- JPS61223605A JPS61223605A JP6394985A JP6394985A JPS61223605A JP S61223605 A JPS61223605 A JP S61223605A JP 6394985 A JP6394985 A JP 6394985A JP 6394985 A JP6394985 A JP 6394985A JP S61223605 A JPS61223605 A JP S61223605A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- plate
- image
- inspection
- inspecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、表面が鏡面状をした被検査物体を検査するた
めの表面形状検査方法に関するものである。
めの表面形状検査方法に関するものである。
被検査物体の表面形状を検査する方法としては、例えば
「光技術ハンドブッ°り」 （昭和５４年：朝倉書店発
行）の第９０５頁〜９０６頁に記載されているように、
被検査物体の表面をライン状に照明し、その反射光をス
クリーンに投影して表面の凹凸を検査する光切断法が知
られている。この光切断法は、細長のスリットを形成し
たスリット板の背後に光源を配置し、このスリット板を
透過したスリット光をスリット投影レンズで被検査物体
上に結像させてこれをライン状に照明するものである。
「光技術ハンドブッ°り」 （昭和５４年：朝倉書店発
行）の第９０５頁〜９０６頁に記載されているように、
被検査物体の表面をライン状に照明し、その反射光をス
クリーンに投影して表面の凹凸を検査する光切断法が知
られている。この光切断法は、細長のスリットを形成し
たスリット板の背後に光源を配置し、このスリット板を
透過したスリット光をスリット投影レンズで被検査物体
上に結像させてこれをライン状に照明するものである。
ライン状に照明された被検査物体からの反射光は、投影
レンズによりスクリーン上に拡大投影される。被検査物
体の表面が平坦である場合には、スクリーンに投影され
たスリット像が直線になっており、表面に凹凸がある場
合にはその程度に応じてスリット像が曲線となる。
レンズによりスクリーン上に拡大投影される。被検査物
体の表面が平坦である場合には、スクリーンに投影され
たスリット像が直線になっており、表面に凹凸がある場
合にはその程度に応じてスリット像が曲線となる。
前述した従来の表面検査方法では、被検査物体をライン
状に照明するために、収差補正が良好な高精度のスリッ
ト投影レンズ等が必要になり、そのために検査システム
の構造が複雑になり、コストがかかるという問題があっ
た。また、被検査物体が大きい場合には、これに応じて
大きなスリット投影レンズを用いなければならず、装置
が大型化する原因となる。
状に照明するために、収差補正が良好な高精度のスリッ
ト投影レンズ等が必要になり、そのために検査システム
の構造が複雑になり、コストがかかるという問題があっ
た。また、被検査物体が大きい場合には、これに応じて
大きなスリット投影レンズを用いなければならず、装置
が大型化する原因となる。
本発明は、スリット投影レンズが不要な表面形状検査方
法を提供することを目的とするものである。
法を提供することを目的とするものである。
本発明のもう１つの目的は、検査システムの構成を簡単
にし、コストを安くすることができるようにした表面形
状検査方法を提供することにある。
にし、コストを安くすることができるようにした表面形
状検査方法を提供することにある。
被検査物体としては、表面が鏡面状をしたものがあるが
、本発明はこの鏡面状表面を利用して検査を行うように
したものである。すなわち、模様を一定ピッチで設けた
検査プレートと、テレビカメラ等の撮像装置とを用い、
被検査物体の鏡面状表面を介して検査プレートを撮像す
るものである。
、本発明はこの鏡面状表面を利用して検査を行うように
したものである。すなわち、模様を一定ピッチで設けた
検査プレートと、テレビカメラ等の撮像装置とを用い、
被検査物体の鏡面状表面を介して検査プレートを撮像す
るものである。
被検査物体の表面に凹凸がある場合には、検査プレート
の模様の像が変形するから、この変形の度合を調べるこ
とにより、鏡面状表面の状態を検査することができる。
の模様の像が変形するから、この変形の度合を調べるこ
とにより、鏡面状表面の状態を検査することができる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例について詳細に
説明する。
説明する。
第１図において、被検査物体１０は、その表面１０ａが
鏡面状をしており、矢線方向に連続的に移送されている
。この被検査物体１０の上方には、光源１）で照明され
る検査プレート１２が配置されている。この検査プレー
ト１２は、被検査物体１０の表面１０ａの凹凸に応じた
縞目模様を持ったものが用いられる。この実施例の検査
プレート１２は、その下面にライン１２ａが例えば黒色
塗料で一定ピッチで記録されている。テレビカメラ１３
は、被検査物体１０の表面１０ａを介して、検査プレー
ト１２を撮像するように傾けて配置されている。このテ
レビカメラ１３は、周知のように、カメラボディ１４の
内部に撮像装置１５を備え、また前面にレンズ１６が取
り付けられている。
鏡面状をしており、矢線方向に連続的に移送されている
。この被検査物体１０の上方には、光源１）で照明され
る検査プレート１２が配置されている。この検査プレー
ト１２は、被検査物体１０の表面１０ａの凹凸に応じた
縞目模様を持ったものが用いられる。この実施例の検査
プレート１２は、その下面にライン１２ａが例えば黒色
塗料で一定ピッチで記録されている。テレビカメラ１３
は、被検査物体１０の表面１０ａを介して、検査プレー
ト１２を撮像するように傾けて配置されている。このテ
レビカメラ１３は、周知のように、カメラボディ１４の
内部に撮像装置１５を備え、また前面にレンズ１６が取
り付けられている。
前記被検査物体１０の検査時には、レンズ１６が物点距
離（Ａ＋Ｂ）にある検査プレート１２にピントが合うよ
うに焦点調節がなされている。検査プレート１２からの
光は、光路Ａを通って入射角αで被検査物体１０の表面
１０ａに入射する。
離（Ａ＋Ｂ）にある検査プレート１２にピントが合うよ
うに焦点調節がなされている。検査プレート１２からの
光は、光路Ａを通って入射角αで被検査物体１０の表面
１０ａに入射する。
ここで、光路Ａの長さを長くすれば、撮像装置１５に結
像された縞目模様の像のピッチが小さくなり、それに応
じて検出感度も低下する。この被検査物体１０は、その
表面１０ａが鏡面状をしているため、検査プレート１２
からの光は、その表面１０ａで反射角αで反射され、光
路Ｂを通ってレンズ１６に達する。このレンズ１６は、
検査プレート１２に記録された縞目模様を撮像装置１５
の受像面に結像する。なお、角度αは、検出感度が最も
良好となる値に設定される。
像された縞目模様の像のピッチが小さくなり、それに応
じて検出感度も低下する。この被検査物体１０は、その
表面１０ａが鏡面状をしているため、検査プレート１２
からの光は、その表面１０ａで反射角αで反射され、光
路Ｂを通ってレンズ１６に達する。このレンズ１６は、
検査プレート１２に記録された縞目模様を撮像装置１５
の受像面に結像する。なお、角度αは、検出感度が最も
良好となる値に設定される。
前記撮像装置１５は、縞目模様の像をビデオ信号に変換
して出力し、これを画像表示装置１７及び画像処理装置
１８に送る。この画像表示装置１７は、ビデオ信号を再
生してＣＲＴの画面に縞目模様を表示する。前記画像処
理装置１８は、表面１０ａが平坦な正常な場合の縞目模
様が記憶されており、入力された縞目模様と比較し、そ
の差の有無を検出して出力する。この差がある場合には
、表面１０ａに凹凸がある時である。
して出力し、これを画像表示装置１７及び画像処理装置
１８に送る。この画像表示装置１７は、ビデオ信号を再
生してＣＲＴの画面に縞目模様を表示する。前記画像処
理装置１８は、表面１０ａが平坦な正常な場合の縞目模
様が記憶されており、入力された縞目模様と比較し、そ
の差の有無を検出して出力する。この差がある場合には
、表面１０ａに凹凸がある時である。
第２図は鏡面状表面１０ａに凸部１０ｂがある被検査物
体１０を示すものである。このような被検査物体１０を
テレビカメラ１３で撮像すると、第３図に示すように、
画像表示部１７のＣＲＴの表示面には乱れた縞目模様２
０が表示される。この縞目模様２０の変化から、表面１
０ａの形状を検査することができる。そして、この縞目
模様２０の乱れの程度から、表面１０ａの凹凸の程度を
知ることができる。なお、検査システムにもよるが、約
３μ程度の凹凸を検査することができる。
体１０を示すものである。このような被検査物体１０を
テレビカメラ１３で撮像すると、第３図に示すように、
画像表示部１７のＣＲＴの表示面には乱れた縞目模様２
０が表示される。この縞目模様２０の変化から、表面１
０ａの形状を検査することができる。そして、この縞目
模様２０の乱れの程度から、表面１０ａの凹凸の程度を
知ることができる。なお、検査システムにもよるが、約
３μ程度の凹凸を検査することができる。
本発明は、規則的な模様を記録した検査プレートを鏡面
状表面を介して撮像するようにしたから、従来の表面形
状検査方法に比べてスリット板及びスリット投影レンズ
等が不要とな、す、したがって検査システムの構造が簡
単となり、コストを安くすることができる。
状表面を介して撮像するようにしたから、従来の表面形
状検査方法に比べてスリット板及びスリット投影レンズ
等が不要とな、す、したがって検査システムの構造が簡
単となり、コストを安くすることができる。
第１図は本発明を実施する検査システムの概略図である
。 第２図は表面に凸部が形成された被検査物体と検査プレ
ートとを示す斜視図である。 第３図は第２図に示す被検査物体を撮像してＣＲＴに表
示した状態を示す説明図である。 １０・・・被検査物体 １０ａ・・鏡面状表面 １０ｂ・・凸部 １２・・・検査プレート １２ａ・・縞目模様 １３・・・テレビカメラ Ｉ５・・・撮像装置 ２０・・・ＣＲＴに表示された縞目模様。 第２図 第３図
。 第２図は表面に凸部が形成された被検査物体と検査プレ
ートとを示す斜視図である。 第３図は第２図に示す被検査物体を撮像してＣＲＴに表
示した状態を示す説明図である。 １０・・・被検査物体 １０ａ・・鏡面状表面 １０ｂ・・凸部 １２・・・検査プレート １２ａ・・縞目模様 １３・・・テレビカメラ Ｉ５・・・撮像装置 ２０・・・ＣＲＴに表示された縞目模様。 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）鏡面状をした被検査物体の表面形状を検査する方
法において、 被検査物体の上方に、規則的な模様が記録された検査プ
レートと撮像装置とを配置し、被検査物体の表面を介し
て検査プレートを撮像することにより、模様の形状変化
から被検査物体の表面形状を検査することを特徴とする
表面形状検査方法。 - （２）前記検査プレートには、所定のピッチで縞模様が
記録されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の表面形状検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6394985A JPS61223605A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 表面形状検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6394985A JPS61223605A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 表面形状検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61223605A true JPS61223605A (ja) | 1986-10-04 |
Family
ID=13244094
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6394985A Pending JPS61223605A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 表面形状検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61223605A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63100308A (ja) * | 1986-10-16 | 1988-05-02 | Tokai Rika Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
| JPH01120606U (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-16 | ||
| JPH0372206A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-03-27 | Asahi Glass Co Ltd | 湾曲板状体の形状検査装置 |
| US5533139A (en) * | 1992-05-29 | 1996-07-02 | Eastman Kodak Company | Coating density analyzer and method using image processing |
| WO1998017971A1 (de) * | 1996-10-18 | 1998-04-30 | Innomess Gesellschaft Für Messtechnik Mbh | Verfahren und vorrichtung zum messen des verlaufs reflektierender oberflächen |
| CN102022985A (zh) * | 2009-09-18 | 2011-04-20 | 学校法人福冈工业大学 | 三维信息测量装置和三维信息测量方法 |
| CN102507594A (zh) * | 2011-11-15 | 2012-06-20 | 奇瑞汽车股份有限公司 | 一种汽车车身覆盖件表面质量检测装置及其检测方法 |
| CN102928429A (zh) * | 2012-11-08 | 2013-02-13 | 中国建材检验认证集团秦皇岛有限公司 | 玻璃发霉观测装置及利用该装置观测玻璃发霉的试验方法 |
| US9846689B2 (en) | 2008-01-29 | 2017-12-19 | Adobe Systems Incorporated | Method and system to provide portable database functionality in an electronic form |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58206908A (ja) * | 1982-05-28 | 1983-12-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 仕上げ面の凹凸の検知方法 |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP6394985A patent/JPS61223605A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58206908A (ja) * | 1982-05-28 | 1983-12-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 仕上げ面の凹凸の検知方法 |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63100308A (ja) * | 1986-10-16 | 1988-05-02 | Tokai Rika Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
| JPH01120606U (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-16 | ||
| JPH0544725Y2 (ja) * | 1988-02-05 | 1993-11-15 | ||
| JPH0372206A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-03-27 | Asahi Glass Co Ltd | 湾曲板状体の形状検査装置 |
| US5533139A (en) * | 1992-05-29 | 1996-07-02 | Eastman Kodak Company | Coating density analyzer and method using image processing |
| WO1998017971A1 (de) * | 1996-10-18 | 1998-04-30 | Innomess Gesellschaft Für Messtechnik Mbh | Verfahren und vorrichtung zum messen des verlaufs reflektierender oberflächen |
| US9846689B2 (en) | 2008-01-29 | 2017-12-19 | Adobe Systems Incorporated | Method and system to provide portable database functionality in an electronic form |
| CN102022985A (zh) * | 2009-09-18 | 2011-04-20 | 学校法人福冈工业大学 | 三维信息测量装置和三维信息测量方法 |
| CN102507594A (zh) * | 2011-11-15 | 2012-06-20 | 奇瑞汽车股份有限公司 | 一种汽车车身覆盖件表面质量检测装置及其检测方法 |
| CN102928429A (zh) * | 2012-11-08 | 2013-02-13 | 中国建材检验认证集团秦皇岛有限公司 | 玻璃发霉观测装置及利用该装置观测玻璃发霉的试验方法 |
| CN102928429B (zh) * | 2012-11-08 | 2015-04-22 | 中国建材检验认证集团秦皇岛有限公司 | 玻璃发霉观测装置及利用该装置观测玻璃发霉的试验方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5309222A (en) | Surface undulation inspection apparatus | |
| EP0856728B1 (en) | Optical method and apparatus for detecting defects | |
| JPS62239005A (ja) | 表面形状検査装置 | |
| US5078496A (en) | Machine vision surface characterization system | |
| JPH0923385A (ja) | 高解像度視覚システム | |
| JP3105702B2 (ja) | 光学式欠陥検査装置 | |
| JPS61223605A (ja) | 表面形状検査方法 | |
| JPH11271038A (ja) | 塗装欠陥検査装置 | |
| JPH0711490B2 (ja) | 透明物体の欠陥検出方法とその装置 | |
| JP3185599B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPH05118830A (ja) | 光コネクタの端面検査装置 | |
| JP2681745B2 (ja) | レーザ光を利用したスペックルパターンによる被計測物の上下および横移動量の測定方法。 | |
| JP3007849B2 (ja) | 物体表面の形状検出方法及び形状検出装置 | |
| JP2000161937A (ja) | 円柱状物体の表面検査装置 | |
| JPH0914914A (ja) | レーザスペックルパターンによる移動量の測定装置におけるレーザ光の照射方法ならびにその装置 | |
| JPH10115514A (ja) | 表面平滑性の検査方法及びその装置 | |
| JPH03276005A (ja) | 形状測定装置 | |
| JPH0949706A (ja) | レーザ光を用いた被計測物の前後方向の移動量測定方法 | |
| JP3224624B2 (ja) | フィッシュアイ検査装置 | |
| JPH05118831A (ja) | 光コネクタの端面検査装置 | |
| JP2906745B2 (ja) | 表面うねり検査装置 | |
| JPH0781849B2 (ja) | 電子部品のリード形状検査装置 | |
| JP3038718B2 (ja) | リード部品の半田ブリッジ検査方法およびその装置 | |
| JP3168864B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPH0868767A (ja) | 壜胴部の欠陥検査装置 |