JP2000161937A - 円柱状物体の表面検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 正反射光を利用した表面検査技術では、円柱
状のワークの全表面を検査するには、両端面と外周面と
を同時に検査することが可能なように光学系を工夫する
か、または何らかの機構を利用してワークを回転させ、
または表裏を入れ換えることにより各面を個別に検査す
る必要がある。 【解決手段】 円柱状のワーク１がその外周面で転動す
る傾斜面21を有する検査台２と、傾斜面21上をワーク１
が通過したことを検出する通過センサ４と、ワーク１が
通過センサ４の検出位置を通過した時点から所定時間後
に、ワーク１が通過すべき領域を両側から照明するスト
ロボ光源51と、ストロボ光源51が照明したワーク１の両
端面からの反射光を撮像装置６が１画面に撮像出来るよ
うに案内する光学ユニット５と、撮像装置６により撮像
されたワーク１の両端面の画像の明るさからワーク１の
両端面の表面欠陥を検出し、ワーク１の両端面の画像の
位置からワーク１の外周面の表面欠陥を検出するコンピ
ュータ７とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は円柱状物体の表面形
状を画像処理により検査する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】画像処理により種々の物体、たとえば工
業製品，農産物の表面を検査する技術が広く普及してい
る。特に、検査対象物体（ワーク）の表面の微妙な凹
凸，傷等を検査する場合には、正反射画像が利用され
る。具体的には、ワークの検査対象の表面に対して光源
から光を照射し、その正反射光をカメラのレンズ中心に
入射するように設計された光学系を利用して撮像する
と、ワークの検査対象表面が理想的な状態である場合に
は全域が明るい画像が得られるが、凹凸，傷等がある場
合にはその部分からの正反射光がカメラレンズに達しな
いため、理想的な状態に比して若干暗くなった画像が得
られる。このような正反射画像の特性を利用することに
より、得られた画像の明暗の分布状態及びその比率、暗
い部分の絶対量等から欠陥の有無または許容範囲内であ
るか否かを判定することが可能になる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な正反射光を利用した表面検査技術では、ワークの全表
面を検査するためにはワークの面数だけ検査を反復する
か、またはワークの面数全てを同時に検査することが可
能な光学系を用意する必要がある。たとえば円柱状のワ
ークの全表面を検査するには、両端面と外周面とを同時
に検査することが可能なように光学系を工夫するか、ま
たは何らかの機構を利用してワークを回転させ、または
表裏を入れ換えることにより各面を個別に検査する必要
がある。しかし、前者では装置構成に別途コストを要
し、またそのメンテナンスも必要になり、後者ではワー
ク一個当たりの検査に必要な時間がより長くなると共に
ワークを回転させ、または表裏を入れ換える機械的な機
構が余分に必要になるという問題が生じる。

【０００４】本発明は以上のような事情に鑑みてなされ
たものであり、円柱状のワークの両端面を、また外周面
をも含めた全表面をワークを回転させる必要なしに、ま
た表裏を入れ換えるための特別な機構を用いることもな
しに、高効率で検査することが可能な装置の提供を目的
とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の円柱状物体の表
面検査装置は、円柱状物体の検査対象物体の表面欠陥を
検査するための検査装置であって、検査対象物体を転動
させる傾斜面を有する検査台と、前記傾斜面の中途の位
置で前記傾斜面上を通過する検査対象物体の端面を撮像
する撮像装置と、該撮像装置により撮像された検査対象
物体の端面の画像の明るさを検出することにより検査対
象物体の端面の表面欠陥を検出する欠陥検出装置とを備
えたことを特徴とする。

【０００６】このような本発明の円柱状物体の表面検査
装置では、検査台の傾斜面を転動する検査対象物体の端
面が撮像装置により撮像され、この撮像された検査対象
物体の端面の画像の明るさが検出されることにより検査
対象物体の端面の表面欠陥が検査される。

【０００７】また本発明の円柱状物体の表面検査装置
は、円柱状物体の検査対象物体の表面欠陥を検査するた
めの検査装置であって、検査対象物体を転動させる傾斜
面を有する検査台と、前記傾斜面の中途の第１の位置で
前記傾斜面上を検査対象物体が通過したことを検出する
センサと、前記傾斜面の前記第１の位置よりも下側の第
２の位置で前記傾斜面上を通過すべき検査対象物体の端
面を、前記センサにより検査対象物体の通過が検出され
た時点から所定時間経過後に撮像する撮像装置と、該撮
像装置により撮像された画像中における検査対象物体の
端面の画像の位置を検出することにより検査対象物体の
外周面の表面欠陥を検出する欠陥検出装置とを備えたこ
とを特徴とする。

【０００８】このような本発明の円柱状物体の表面検査
装置では、検査台の傾斜面を転動する検査対象物体の通
過が傾斜面の中途の第１の位置でセンサにより検出さ
れ、傾斜面の第１の位置よりも下側の第２の位置で傾斜
面上を通過すべき検査対象物体の端面がセンサにより検
査対象物体の通過が検出された時点から所定時間経過後
に撮像装置により撮像されるので、撮像された画像中に
おける検査対象物体の端面の画像の位置、換言すれば第
１の位置から第２の位置まで転動するに要した時間を検
出することにより検査対象物体の外周面の表面欠陥が検
査される。

【０００９】更に本発明の円柱状物体の表面検査装置
は、円柱状物体の検査対象物体の表面欠陥を検査するた
めの検査装置であって、検査対象物体を転動させる傾斜
面を有する検査台と、前記傾斜面の中途の第１の位置で
前記傾斜面上を検査対象物体が通過したことを検出する
センサと、前記傾斜面の前記第１の位置よりも下側の第
２の位置で前記傾斜面上を通過すべき検査対象物体の端
面を、前記センサにより検査対象物体の通過が検出され
た時点から所定時間経過後に撮像する撮像装置と、該撮
像装置により撮像された検査対象物体の端面の画像の明
るさを検出することにより検査対象物体の端面の表面欠
陥を検出し、撮像された画像中における検査対象物体の
端面の画像の位置を検出することにより検査対象物体の
外周面の表面欠陥を検出する欠陥検出装置とを備えたこ
とを特徴とする。

【００１０】このような本発明の円柱状物体の表面検査
装置では、検査対象物体の端面の表面欠陥及び外周面の
表面欠陥を同時に検査することが可能になる。

【００１１】また更に本発明の円柱状物体の表面検査装
置は、上述の各発明において、前記第２の位置において
前記検査台を挟んで対向して配置された二つの照明装置
と、各照明装置側からの照明光を透過し、照明された検
査対象物体の両端面からの反射光をそれぞれ所定の方向
へ反射する二つのビームスプリッタと、これらの二つの
ビームスプリッタからの反射光を両者が交差するような
方向へ反射する二つの反射鏡と、これらの二つの反射鏡
からの反射光をその交差位置において同一方向へ反射す
る光学装置とを含む光学ユニットを更に備え、前記撮像
装置は、前記光学装置からの反射光を撮像することによ
り検査対象物体の両端面を１画面に撮像すべくなしてあ
ることを特徴とする。

【００１２】このような本発明の円柱状物体の表面検査
装置では、第２の位置において検査対象物体の両端面が
二つの照明装置によりそれぞれ照明され、その反射光光
学ユニットにより案内されることにより、撮像装置は検
査対象物体の両端面を１画面に撮像することが可能にな
る。従って、本発明を上述の各発明と組み合わせること
により、検査対象物体の両端面を同時に、また更に外周
面も同時に検査することが可能になる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施の形態を
示す図面に基づいて詳述する。以下の実施の形態におい
ては、中実の円柱状物体を検査対象物体（ワーク）とし
ているが、中空の円筒状の物体、更には蓮根状の断面を
有する物体であってもよい。

【００１４】図１は本発明に係る円柱状物体の表面検査
装置により検査対象とされる円柱状のワーク（検査対象
物体）を示す模式図である。このような円柱状のワーク
１の表面は、両端面S1及びS2と外周面S3とで構成されて
いる。

【００１５】図２は本発明に係る円柱状物体の表面検査
装置 (以下、本発明装置と言う) の一構成例を示す模式
図である。検査台２は一定勾配の平坦な傾斜面21を有
し、この傾斜面21の上流部分にワーク１がその外周面S3
を接する状態で、換言すれば傾斜面21を転動し得る状態
で切り出し部３によりせき止められている。切り出し部
３はコンピュータ７から与えられる指示に応じてそのピ
ストン30を上下動させることにより、ワーク１を一つず
つ解放する。切り出し部３により解放されたワーク１は
白抜き矢符に示されているように検査台２の傾斜面21上
を下流部分へ向けて転動する。

【００１６】検査台２の傾斜面21の下流部分には、ワー
ク１の通過を検出するための通過センサ４と、更にその
下流部分に光学ユニット５とが設置されており、更に光
学ユニット５に対して適宜の位置に撮像装置（ＣＣＤカ
メラ）６が配置されている。通過センサ４はたとえば、
検査台２の傾斜面21上のワーク１が転動する領域を挟ん
で発光素子と受光素子とを対向配置し、傾斜面21上を上
流側から下側へ転動するワーク１により両素子間での光
線の送受が遮断されるような形式のセンサであり、その
検出結果はコンピュータ７に与えられている。コンピュ
ータ７は、ワーク１がこの通過センサ４の位置を通過し
た場合にそのタイミングから計時を開始し、外周形状が
正常なワーク１が撮像装置６による最適の撮像位置を通
過するべき時間が経過したタイミングにおいて光学ユニ
ット５のストロボ光源51R, 51Lを発光させる。そしてこ
のタイミングに同期してコンピュータ７は撮像装置６に
撮像を行なわせる。

【００１７】なお、撮像装置６により得られた画像はた
とえば８ビット階調のデジタルデータとしてコンピュー
タ７に与えられる。

【００１８】図３は光学ユニット５の詳細な構成例を示
す模式図である。光学ユニット５は、適宜の距離をおい
て対向配置された二つのストロボ光源51R, 51Lと、ビー
ムスプリッタ52R, 52L及び反射鏡53R, 53L, 54等で構成
されている。

【００１９】両ストロボ光源51R, 51Lは共にワーク１の
両端面の形状に一致した円形の発光部分を有している。
両ストロボ光源51R, 51Lを結ぶ直線上にはまた、ストロ
ボ光源51R 側からの光は通過させるがストロボ光源51R
側へ向かう光は45度方向へ反射するビームスプリッタ52
L がストロボ光源51L に近い位置に、ストロボ光源51R
側からの光は通過させるがストロボ光源51R 側へ向かう
光はビームスプリッタ52L での反射光と平行になるよう
に45度方向へ反射するビームスプリッタ52R がストロボ
光源51L に近い位置にそれぞれ配置されている。

【００２０】両ビームスプリッタ52L, 52Rは、ビームス
プリッタ52L により反射された光の光路とビームスプリ
ッタ52R により反射された光の光路とが平行になるよう
に配置されており、それぞれの反射方向には反射鏡53L,
53Rが配置されている。これらの反射鏡53L, 53Rはそれ
ぞれビームスプリッタ52L, 52R側からの反射光を両者が
交差するような方向へそれぞれ反射する。両反射鏡53L,
53Rの反射光が交差する位置には二つの反射面を有する
光学装置、具体的にはプリズムミラー54が配置されてお
り、その二つの反射面は、それぞれへ入射した光を同一
方向へ反射するように角度が設定されている。そして、
撮像装置６はこのプリズムミラー54の二つの反射面での
反射光がレンズ中心に入射するように配置されている。

【００２１】そして、このような構成の光学ユニット５
が、両ストロボ光源51R, 51Lの発光部の中心を結ぶ直線
が、検査台２の傾斜面21上を転動するワーク１の中心に
一致するように、且つワーク１の両端面と直交するよう
に、通過センサ４の検出位置よりは下流の検査台２の適
宜の位置に配置されている。

【００２２】このような光学ユニット５によると、検査
台２の傾斜面21上の両ストロボ光源51R, 51Lを結ぶ直線
上の中央にワーク１が存在する場合に、両ストロボ光源
51R,51Lが発光するとその光は、ビームスプリッタ52L,
52Rを透過してワーク１の両端面でそれぞれの発光源で
ある両ストロボ光源51R, 51Lの方向へ反射し、ビームス
プリッタ52L, 52Rでそれぞれ反射鏡53L, 53Rの方向へ平
行に反射し、更に反射鏡53L, 53Rでそれぞれプリズムミ
ラー54方向へ反射し、最後にプリズムミラー54の二つの
反射面で撮像装置６のレンズ方向へ平行に反射される。
従って、撮像装置６はワーク１の両端面からの反射光を
一つのレンズで捉えることが出来るので、ワーク１の両
端面の画像を１画面に撮像することが出来る。

【００２３】図４は上述のような光学ユニット５を通し
て正常なワーク１を撮像装置６で撮像した場合の画像60
を示す模式図である。上述のような構成の光学ユニット
５では、ワーク１の両端面を同時に１画面に撮像するこ
とが出来るので、撮像装置６で得られた画像60には左右
対称にワーク１の左側端面の画像61L 及び右側端面の画
像61R が撮像されている。そして、図４に示されている
正常なワーク１の画像では、両端面の画像61L, 61Rは共
にそれぞれからの正反射光により均一な明るさに撮像さ
れている。なお、この図４及び後述する図５において、
参照符号CLは画像60の中心線を、矢符D1は画像60におけ
るワーク１の移動方向をそれぞれ示している。

【００２４】図５は右側端面に欠陥があるワーク１を上
述のような光学ユニット５を通して撮像装置６で撮像し
た場合の画像60を示す模式図である。この図５に示され
ている欠陥があるワーク１の画像では欠陥がない左側端
面の画像61L は上述の図４に示されている両端面61L, 6
1Rの画像と同様に均一な明るさであるが、欠陥がある右
側端面の画像61R には欠陥部分からの正反射光が撮像装
置６には到達しないため、欠陥部分に対応する部分Ｆが
暗い（明度が低い）状態に撮像されている。

【００２５】図６は上述のようなワーク１の欠陥を有す
る端面から得られた画像をコンピュータ７により解析す
る手法を説明するための画像の濃度（明るさ）波形を示
すグラフである。図５に示されているワーク１の欠陥を
有する右端面の画像61R を検査円DCにおいてたとえば 2
56階調（８ビット）でサンプリングした場合、図６に示
されているように、欠陥がない部分に比して欠陥部分Ｆ
は大きく明るさが低下している。従って、コンピュータ
７はこのような検出欠陥を適宜のしきい値THでスライス
することにより、容易に欠陥の有無を検出することが可
能になる。

【００２６】ところで、ワーク１の外周面に欠陥がある
か否かは上述のような手法では検査することは出来な
い。しかし、通過センサ４をワーク１が通過したタイミ
ングを基準としてそのワーク１の撮像装置６が撮像した
画像60上での位置を検出することにより、ワーク１の外
周面の欠陥の有無を検出することが可能である。具体的
には、ワーク１の外周面に何らかの欠陥が存在する場合
には、欠陥が存在しない場合に比して転がり摩擦がわず
かではあっても、増大する方向に変化する。

【００２７】図７は外周面に欠陥があるワーク１を上述
のような光学ユニット５を通して撮像装置６で撮像した
場合の画像60を示す模式図である。ワーク１が通過セン
サ４の位置を通過したタイミングから所定時間後に撮像
装置６により撮像した場合に、外周面に欠陥がないワー
ク１を撮像した場合にはたとえば図４に示されている画
像60と同様の位置P0にワーク１の両端面の画像61L, 61R
の中心が撮像されるが、外周面に欠陥があるワーク１を
撮像した画像60では図７に示されているようにそれとは
異なる位置P1にワーク１の両端面の画像61L, 61Rの中心
が撮像される。このように、撮像装置６により撮像され
た画像60中においてワーク１の両端面の画像61L, 61Rの
中心の位置を検出し、両者の偏差Ｄを求めることによ
り、コンピュータ７はワーク１の外周面の欠陥の有無を
検出することが可能になる。

【００２８】図８は本発明装置によりワーク１を検査す
る際のコンピュータ７による制御手順を示すフローチャ
ートである。以下、このフローチャートを参照してコン
ピュータ７により実行される検査手順を説明する。

【００２９】まず、コンピュータ７は切り出し部３に制
御信号を与えて１個のワーク１を解放させ (ステップS1
1)、通過センサ４から検出信号が与えられるまで待機す
る (ステップS12)。切り出し部３により解放されたワー
ク１は検査台２の傾斜面21を下側へ向かって転動を開始
し、やがて通過センサ４の検出位置を通過する。この時
点において、通過センサ４からコンピュータ７へ検出信
号が与えられるので (ステップS12 で"YES")、コンピュ
ータ７は計時を開始する (ステップS13)。

【００３０】所定時間T1の計時が終了すると、換言すれ
ばワーク１が通過センサ４により検出された時点から所
定時間T1が経過すると (ステップS13 で"YES")、コンピ
ュータ７はストロボ光源51を発光させ (ステップS14)、
また同時に撮像装置６に同調して撮像を行なわせ、その
結果得られた画像のデータを取り込む (ステップS15)。

【００３１】撮像装置６から画像を取り込んだコンピュ
ータ７は、前述の図６に示されているような手法で濃度
波形を求め、適宜のしきい値でスライスすることにより
ワーク１の両端面の表面欠陥の有無，程度を判断する
(ステップS16)。また、コンピュータ７は撮像装置７か
ら取り込んだ画像中でのワーク１の両端面が撮像されて
いる位置を検出することにより、ワーク１の外周面の表
面欠陥の有無，程度を判断し (ステップS17)、必要に応
じてディスプレイに出力したり、または欠陥を有するワ
ークを図示されていない装置によりリジェクトする等の
処理を行なう (ステップS18)。

【００３２】以上のような手順を実行することにより、
コンピュータ７は１個のワークの両端面及び外周面の表
面欠陥の有無，程度を判断し、その結果を適宜の出力装
置、たとえば CRTディスプレイ等に出力して一順の手順
を終了するが、引き続きステップS11 へ処理を戻して次
のワーク１の検査を行なうことも勿論可能である。

【００３３】なお、上述の実施の形態においては、ワー
ク１の両端面と外周面とを同時に検査するようにしてい
るが、たとえばワーク１の外周面を検査する必要がない
場合には通過センサ４は必要ではなく、撮像装置６によ
り最適な画像が得られる位置でワーク１が撮像出来るよ
うにすればよく、またたとえばワーク１の外周面のみを
検査する場合には光学ユニット５及び撮像装置６は必要
ではなく、通過センサ４と同様のセンサを適宜の間隔で
二組配置し、両センサ間をワーク１が通過する時間を計
測するような構成をとることも勿論可能である。更に、
光学ユニットを使用せず、検査台２の両側に撮像装置６
を対向配置してワーク１の両端面の画像を同時に撮像す
るような構成も勿論可能である。

【００３４】

【発明の効果】以上に詳述したように本発明に係る円柱
状物体の表面検査装置によれば、円柱状の検査対象物体
が斜面を転動している間にその端面を撮像することによ
り、外部から特別なエネルギーを加えることなしに、円
柱状の検査対象物体の端面の表面検査を行なうことが可
能になる。

【００３５】また本発明に係る円柱状物体の表面検査装
置によれば、円柱状の検査対象物体が斜面を転動してい
る間において第１の位置を通過した時点から所定時間経
過後に第２の位置でその端面を撮像することにより、第
１の位置から第２の位置まで転動するに要した時間が検
出され、結果的に検査対象物体の外周面の表面欠陥の検
査が行なわれる。

【００３６】更に本発明に係る円柱状物体の表面検査装
置によれば、上述のような円柱状の検査対象物体の端面
及び外周面の表面検査を組み合わせることにより検査対
象物体の全表面の欠陥検査が行なえるため、検査対象物
体を回転させたり、または表裏を入れ換えるための特別
な機構も不要になるため、低コストで、メンテナンスも
不要になる。

【００３７】また更に、本発明に係る円柱状物体の表面
検査装置によれば、第２の位置において検査対象物体の
両端面を照明装置により両側からそれぞれ照明し、その
反射を光学ユニットにより１台の撮像装置へ案内するこ
とにより、撮像装置は検査対象物体の両端面を１画面に
撮像することが可能になる。従って、本発明を上述の各
発明と組み合わせることにより、１台の撮像装置にて検
査対象物体の両端面を同時に、また更に外周面も同時に
検査することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る円柱状物体の表面検査装置により
検査対象とされる円柱状の検査対象物体を示す模式図で
ある。

【図２】本発明に係る円柱状物体の表面検査装置の一構
成例を示す模式図である。

【図３】本発明に係る円柱状物体の表面検査装置の光学
ユニットの詳細な構成例を示す模式図である。

【図４】本発明に係る円柱状物体の表面検査装置により
正常な検査対象物体を撮像した場合の画像を示す模式図
である。

【図５】本発明に係る円柱状物体の表面検査装置により
右側端面に欠陥がある検査対象物体を撮像した場合の画
像を示す模式図である。

【図６】本発明に係る円柱状物体の表面検査装置により
右側端面に欠陥がある検査対象物体を撮像した画像を解
析する手法を説明するための画像の濃度波形を示すグラ
フである。

【図７】本発明に係る円柱状物体の表面検査装置により
外周面に欠陥がある検査対象物体を撮像した場合の画像
を示す模式図である。

【図８】本発明に係る円柱状物体の表面検査装置により
検査対象物体を検査する際の手順を示すフローチャート
である。

【符号の説明】

１ 検査対象物体 ２ 検査台 ４ 通過センサ ５ 光学ユニット ６ 撮像装置 ７ コンピュータ ２１ 検査台の傾斜面 ５１Ｌ，５１Ｒ ストロボ光源 ５２Ｌ，５２Ｒ ビームスプリッタ ５３Ｌ，５３Ｒ 反射鏡 ５４ プリズムミラー

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円柱状物体の検査対象物体の表面欠陥を
   検査するための検査装置において、 検査対象物体を転動させる傾斜面を有する検査台と、 前記傾斜面の中途の位置で前記傾斜面上を通過する検査
   対象物体の端面を撮像する撮像装置と、 該撮像装置により撮像された検査対象物体の端面の画像
   の明るさを検出することにより検査対象物体の端面の表
   面欠陥を検出する欠陥検出装置とを備えたことを特徴と
   する円柱状物体の表面検査装置。
2. 【請求項２】 円柱状物体の検査対象物体の表面欠陥を
   検査するための検査装置において、 検査対象物体を転動させる傾斜面を有する検査台と、 前記傾斜面の中途の第１の位置で前記傾斜面上を検査対
   象物体が通過したことを検出するセンサと、 前記傾斜面の前記第１の位置よりも下側の第２の位置で
   前記傾斜面上を通過すべき検査対象物体の端面を、前記
   センサにより検査対象物体の通過が検出された時点から
   所定時間経過後に撮像する撮像装置と、 該撮像装置により撮像された画像中における検査対象物
   体の端面の画像の位置を検出することにより検査対象物
   体の外周面の表面欠陥を検出する欠陥検出装置とを備え
   たことを特徴とする円柱状物体の表面検査装置。
3. 【請求項３】 円柱状物体の検査対象物体の表面欠陥を
   検査するための検査装置において、 検査対象物体を転動させる傾斜面を有する検査台と、 前記傾斜面の中途の第１の位置で前記傾斜面上を検査対
   象物体が通過したことを検出するセンサと、 前記傾斜面の前記第１の位置よりも下側の第２の位置で
   前記傾斜面上を通過すべき検査対象物体の端面を、前記
   センサにより検査対象物体の通過が検出された時点から
   所定時間経過後に撮像する撮像装置と、 該撮像装置により撮像された検査対象物体の端面の画像
   の明るさを検出することにより検査対象物体の端面の表
   面欠陥を検出し、撮像された画像中における検査対象物
   体の端面の画像の位置を検出することにより検査対象物
   体の外周面の表面欠陥を検出する欠陥検出装置とを備え
   たことを特徴とする円柱状物体の表面検査装置。
4. 【請求項４】 前記第２の位置において前記検査台を挟
   んで対向して配置された二つの照明装置と、 各照明装置側からの照明光を透過し、照明された検査対
   象物体の両端面からの反射光をそれぞれ所定の方向へ反
   射する二つのビームスプリッタと、 これらの二つのビームスプリッタからの反射光を両者が
   交差するような方向へ反射する二つの反射鏡と、 これらの二つの反射鏡からの反射光をその交差位置にお
   いて同一方向へ反射する光学装置とを含む光学ユニット
   を更に備え、 前記撮像装置は、前記光学装置からの反射光を撮像する
   ことにより検査対象物体の両端面を１画面に撮像すべく
   なしてあることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
   に記載の円柱状物体の表面検査装置。