JPS61190602A - 調節装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はプロセス制御に用いられ目標値変化と外乱と
の双方への同時の最適化を図った調節装置に関する。

［技術的背景とその問題点］ 近年、プロセス制御においては、省資源・省エネルギー
化、省力化・省人化、均質化・高品質化、安全化、フレ
キシブル化等の要請の高度化に伴ない、増々高い制御性
を有する調節装置が求められて来ている。このため、特
に連続プロセスなどでは、個々の制御系が生産母の変化
、各種外乱、目標変更などの変動要因に乱れを生ぜずに
最適応答づるよう調節装置の制御性を極限まで向上さ「
ることが基本となる。

従来、このような制御性の向上はＰ（比例）、Ｉ（積分
）、Ｄ（微分）の各制ｔａ要素の構造、組合せを変える
ことにより行なわれて来た。このような調節Ｖｅ置とし
て従来知られている代表例には、いわゆる標準型ＰＩＤ
調節装置、目標値フィルタ付ＰＩＤ調節装置、Ｉ−ＰＤ
調節装置、などがあり、そのブロック図を第９〜１１図
に示す。

第９図に示す標準型ＰＩＤ調節装置１０１は、［Ｔ１標
値Ｓ■と測定値Ｐ■との偏差をＰ■Ｄ演算部１０３に入
力して「比例モ積分十微分」演算し、その出）ｊを操作
信号ＭＶとして制御対象１０５に印加して、測定１ｍＰ
Ｖが目標値ＳＶに等しくなるよう調節するものである。

第１０図に示す目標値フィルタ付ＰＩＤ調節装賃１１１
は、標準型ＰＩＤ調節装置において目標＋訂ｓｖを一次
遅れフィルタ１１３を介して入力するようにしたもので
ある。

第１１図に示すＩ−ＰＤ調節装置１２１は、目標値Ｓ■
と測定値Ｐ■との偏差を積分演算部１２３に入力して積
分演算し、その出力と測定値ＰＶを比例・微分演算部１
２５に入力して「比例＋微分ｊ演算した出力との差を求
め、この差に比例部１２７により比例ゲインＫｐを乗じ
た出力を操作信号ＭＶとして制御対象１０５に印加して
、測定値ＰＶが目標値ＳＶに等しくなるよう調節するも
のである。

しかしながら、このような従来の装置はいずれもそれな
りの制御性の改善があるものの、大きな欠陥も併有して
いる。

即ち、標準型ＰＩＤ調節装置１０１では、目標値追従に
最適なＰＩＤパラメータ（以下、対目標値最適パラメー
タという）と外乱抑制に最適なＰ１０パラメータ（以下
、対外乱最適パラメータという）とが別値で存在するた
めに、追従制御の場合、対目標値と対外乱の両最適パラ
メータの中間的値にＰＩＤパラメータを設定して妥協し
ているのが実情である。

このことを、対外乱最適パラメータと封目標値ワ適パラ
メータの特色が顕著に表われるレベル制’＊Ｉ’３どの
無定位プロセスについて説明する。

ここで、無定位プロレスのモデルＧｏ　　（Ｓ）として
。

Ｇ　ｐ（Ｓ　）　−ａ−”）’　（Ｓ・　＜１＋Ｓ＞１
−・（１）をとりあげる。

第３図はこのモデルにおける、ＰＩＤパラメータ、つま
り比例ゲインＫｐ、積分時間Ｔｉ、微分時間Ｔｄについ
ての対外乱最適パラメータＫｌ）ｄ、Ｔ　ｉｄ、　Ｔｄ
ｄ及び対目標値最適パラメータＫｐｓ、Ｔｉｓ、　Ｔｄ
ｓの値を示したものである。また、これら各最適パラメ
ータを使用した時の、ステップ外乱に対する応答を第４
図に、目標ｉｓｖの単位ステップ変化に対する応答を第
５図に示す。

第４図に示すように、ステップ外乱に対しては、対外乱
最適パラメータＫＤｄ、　Ｔｉｄ、　Ｔｄｄを設定した
場合にはグラフ（Ａ＞に示すごとく良好な応答がｉＩ７
られるが、ヌ・ｊ目標値最適パラメータＫｐｓ、Ｔｉｓ
、Ｔｃ１ｓを設定した場合にはグラフ（Ｃ）に示すごと
く定常偏差が生じてしまう。

その逆に、第５図に示ずように、目標値ＳＶのステップ
変化に対しては、対目標値最適パラメータＫｐｓ、　Ｔ
ｉｓ、　Ｔｄｓを設定した場合にはグラフ＜Ｃ＞に示す
ごとく良好な応答であるが、対外乱最適パラメータＫｐ
ｄ、　Ｔｉｄ、　Ｔｄｄを設定した場合にはグラフ（Ａ
）に示すごとくオーバーダンピングを生じ振動的となる
。

そこで、この点を解決すべく考えられたのが第１０図に
示した目櫟値フィルタ付Ｐ（０１節装置１１１で、これ
は前記標準型ＰＩＤ調節装置に対して対外乱最適パラメ
ータＫＤｄ、　Ｔｉｄ、　Ｔｄｄを設定しておき、上述
したような目標値Ｓｖの変化に対するオーバーダンピン
グを防止するため、目標値Ｓｖに一次遅れフィルタ１１
３を介して変化を遅らせてその影響をゆるやかにしよう
とするものである。しかし、これとても全体の応答を遅
らせたのみで目標値追従に最適化させたわけではない。

また、第１１図に示したＩ−ＰＤ調節装置１２１は、前
記の対外乱最適パラメータＫＤｄ、Ｔｉｄ、丁ｄｄを設
定しておけば、外乱に対しては第４図のグラフ（Ｂ）で
示すように良好な応答となるが、目標値追従については
、目標値Ｓｖの変化に対し積分演算部１２３のみで修正
を行なっているので第５図のグラフ（Ｂ）で示すごとく
応答が非常に遅いという致命的な欠陥がある。

このように、従来の調節装置はいずれも「目標値追従」
と「外乱抑制」との双方に対し同時に最適化ざゼること
ができないため、プラントの個々の制御系の制御性を極
限まで向上させることができず、また、制御系ごとにそ
のプロセス特性に応じた制御特性を有する調節装置を適
用しなければならないので多種多様の構造の調節装置を
用息しなげはならないという問題があった。

［発明の目的］ この発明は、上記問題を除去し、「目標値追従」と「外
乱抑制」の両目的に対して同時に最適化することができ
る調節装置を提供することを目的とづる。

［発明の概要］ 上記目的を達成するため、第１の発明は、比例演算を行
なう比例演算手段と、積分演算を行なう積分演算手段と
を有する調節装置において、比例演算手段の目標値入力
経路に目標値の大きさを調節する調節手段を設けて測定
値と調節手段を介した目標値との比較結果を比例演算手
段に入力するとともに、積分演算手段の目標値入力経路
に遅れ要素を設けて測定値と遅れ要素を介した目標値と
の比較結果を積分演算手段に入力するようにしたことを
要旨とする。

また、第２の発明は、比例演算を行なう比例演算手段と
、積分演算を行なう積分演算手段と、微分演算を行なう
微分演算手段とを有する調節装置において、比例演算手
段の目標値入力経路に目標値の大きさを調節する第１の
調節手段を設けて測定値と第１の調節手段を介した目標
値との比較結果を比例演算手段に入力し、微分演算手段
の目標値入力経路に目標値の大きさを調節する第２の調
節手段を設けて測定値と第２の調節手段を介した目標値
との比較結果を微分演算手段に入力するとともに、積分
演算手段の目標値入力経路に遅れ要素を設けて測定値と
遅れ要素を介した目標値との比較結果を積分演算手段に
入力するようにしたことを要旨とする。

［発明の実施例］ 以下、図面に従い実施例を説明する。

第１図は、この発明の第一実施例に係る調節装置のブロ
ック図を示す。

図示のように、当該調節装置１は、目標値ＳＶの比例、
積分、微分の各制御要素への入力経路に夫々第１係数部
３、第２係数部５及び−次遅れフィルタ７を設けたとこ
ろが前述の標準型ＰＩＤ調節装置と異なる特徴である。

つまり、まず、目標値ＳＶは並列的に第１係数部３、第
２係数部５、−次遅れフィルタ７に入力される。第１係
数部３では目標値Ｓｖに係数αが乗じられ、その出力α
Ｓｖは第１減算部９に入力されて制御対象１１から検出
された測定値ＰＶとの偏差Ｄ１が演算される。第２係数
部５では目標値ＳＶに係数βが乗じられ、その出力βＳ
Ｖは第２減算部１３に入力されて測定値ＰＶとの偏差Ｄ
２が演算され、偏差Ｄ２は微分演算部１５により微分時
間Ｔｄで微分演算が施される。−次遅れフィルタ７は目
標値ＳＶをその変化に時間遅れを与えて出力するもので
、その出力ＤＳＶは第３減算部１７に入力されて測定値
ＰＶとの偏差Ｄ３が演算され、偏差Ｄ３は積分演算部１
９より積分時間Ｔｉで積分演算が施される。

そして、偏差Ｄ＋　、微分演算部１５による偏差Ｄ２の
微分値ＤＤ２及び積分演算部１９による偏差Ｄ３の積分
値ＩＤ３は加算部２１に入力されて加算合成された後、
比例部２３に入力されて比例ゲインＫｐを乗じられ、操
作信号ＭＶとして制御対象１１に印加される。これによ
り、測定値ＰＶが目標値ＳＶに等しくなるように制御さ
れる。

このような構成において、Ｐ■ＤパラメータＫｐ、Ｔｉ
、Ｔｄ及び係数α、β並びに−次遅れフィルタ７の時定
数ＴＯを次のように設定することにより、「目標値追従
」と「外乱抑制」の双方に同時に最適化させることがで
きるようになっている。

（Ｉ）まず、ＰＩＤパラメータＫＯ、Ｔｉ　、　Ｔｄの
夫々につき標準ＰＩＤ調節装置の対外乱最適パラメータ
ＫＤｄ、　Ｔ　１ｄ１Ｔｄｄを設定する。

即ら、 Ｋｐ＝Ｋｐｄ 「１＝Ｔｉｄ Ｔｄ＝Ｔｄｄ と設定する。

この調節Ｈ置１はその構成から判るように測定値ＰＶに
対しては標準型ＰＩＤ調節装置と同一の作用を為すので
、上記のような設定により測定値Ｐｖに対しては対外乱
最適パラメータＫ　ｐｄ、　Ｔ　ｉｄ。

Ｔｄｄに従う動作が得られ外乱に対する応答は良好なも
のとなる。

（１）次に、係数α、βにつき、標準ＰＭＤ調節装置の
対外乱、対目標値最適パラメータのうらの対外乱最適比
例ゲインＫｐｄ、対外乱最適微分時間Ｔｄｄ、対目標値
最適比例ゲインＫｐｓ、対目標値最適微分時間Ｔｄｓに
基づき、 α＝　Ｋ　ｐｓ／　Ｋ　ｐｄ・・・・・・（２）β＝α
ｘＴｄｓ／Ｔｄｄ・・・・・・（３）と設定する。

この調節装置１では係数α、βの作用により目１１ｔｌ
！ＳＶに対する実質比例ゲインはα×Ｋｐ、実質微分時
間はβｘＫｐＸＴｄである。従って、上記のような係数
α、βの設定をすれば、Ｋｌ）　、　ＴｄはすでにＫ　
ｐｄ、　Ｔ　ｄａに設定されているので、目標値Ｓｖに
対する実質比例ゲインはＫｐｓ、実質微分時間はＫ　ｌ
ｌ５Ｘ　Ｔｄｓとなる。即ち、目標値ＳＶに対しては、
標準型ＰＩＤ調節装置に対目標値最適パラメータＫｌ）
Ｓ、　Ｔｉｓ、　７ｄｓを設定したのと同様の比例、微
分動作が得られる。

（Ｉ［［）　　次に、時定数Ｔｏを調整して、目標値Ｓ
Ｖに対する実質積分時間が、標準型ＰＩＤ調節装置に対
目標値最適パラメータｆｌｓ、　Ｔｉｓ、　Ｔｄｓを設
定したときの積分時間Ｔ　ｉｓ／　Ｋ　ｌ）Ｓに等しく
なるようにする。

この時定数Ｔｏの調整は例えば次のようにして行なう。

ステップ（Ｉ）により、積分演算部１９の積分時間Ｔｉ
は対外乱最適積分時間Ｔ　１ｃ１１．：設定されている
。よって、目標値Ｓｖに対する積分動作の伝達関数Ｇｉ
　　（Ｓ）は、 Ｇｉ　　（Ｓ）＝１／（Ｔｉｄ−８・（１＋Ｔｏ　−８
））となる。

この伝達関数Ｇｉ　　（Ｓ）の単位ステップ入力に対り
る出力ＩＤ３の応答特性を第２図に示す。

同図において、グラフ（Ａ＞は時定数Ｔｏ＝０にしたと
き、つまり一次遅れフィルタ７が無いときの特性を示す
。

時定ｒｉｌＴｏを大きくしていくと、グラフ（８）→（
Ｃ）→（Ｄ）→（Ｅ）に示すように出力の時間遅れが大
きくなっていく。

ここで、一般に入力変化に対しては時間の小さいｆＪ１
域、例えば図示した時刻ｔ１以下の領域で使用するので
、時定数Ｔｏを大きくすることは立ち上がりの傾斜を小
さくすることになり、目標値ＳＶに対し積分時間Ｔ１を
大きくすることと略等価であることになる。従って、時
定数Ｔｏを′０゛。

から次第に大きくして行き、目標値ＳＶに対する実質積
分時間が、比例ゲインＫｐに対目標値最適比例ゲインＫ
ｐｓを、積分時間Ｔｉに対目標値最適積分時間Ｔｉｓを
設定した場合と等価になるように時定数Ｔｏを設定すれ
ばよい。

上記ステップ（ＩＩ）、（ＩＩＩ）における係数α、β
及び時定数ＴＯの設定により、目標値Ｓｖに対しては対
目標値最適パラメータＫｐｓ、　Ｔｉｓ、　Ｔｄｓに従
った制御動作が得られるので良好な目標値追従の応答が
得られることになる。

以下、上記ステップ（Ｉ）、（■）、（Ｉ［［）につき
、前述した（１）式の無定位プロセスのモデルを取り上
げオペレータの操作手順及びパラメータの設定方法を具
体的に説明する。

（Ｉ）まず、オペレータはＰＩＤパラメータＫｐ。

Ｔｉ　、Ｔｄの対外乱最適パラメータを設定するために
、対目標値最適化の係数α、βを変化させる以前の状態
で、目標値を所定量だけステップ状に変化させる。する
とこの変化はプロセスにおいて外乱変化と同様に測定口
ＰＶに変動が生じ、この変動を最適化するように対外乱
最適パラメータを調整する。その例としては第３図に示
ツ如く、Ｋｐｄ＝ｏ、１８８、Ｔｉｄ＝１４．６（分）
、７’ｄｄ＝１．９８　（分）となる。

（Ｉ［）　　（Ｉ）により対外乱パラメータが設定され
ると、次にオペレータは対目標値変化を最適化すべく係
数α、βを設定する。

即ち、第３図により対外乱最適比例ゲインＫｐｄ、対目
標値最適比例ゲインＫ　Ｉ）Ｓ、対外乱最適微分時間Ｔ
ｄｄ及び封目標値最適微分Ｆｎ間Ｔｄｓは、Ｋｐｄ＝０
．１８８．　Ｋｐｓ＝０．１２６Ｔｄｄ＝１．’９８（
分）　、　Ｔｄｓ＝２．０４　＜分）である。

これを前記（２）、（３）式に代入して、α＝　Ｋ　ｐ
ｓ／　Ｋ　ｐｄ −〇、１２６１０．１８８ ＝０．６７ β＝αｘ　Ｔ　ｄｓ／　Ｔ　ｄｄ −〇、６７Ｘ２．０４／１．９８ ＝０．６９ と設定される。

（ＩＩＩ）次に、時定数Ｔｏを設定する。

即ら、すでに積分時間Ｔｉは対外乱最適積分時間Ｔｉｄ
＝１４．６（分）に設定されているが、目標ｉｓｖに対
しては、あたかも封目標値Ｒ適積分時間Ｔｉ５＝■に設
定されているかのごとく作用するように時定数Ｔｏを調
整すればよい。しかし、実際には■゛′になるようには
出来ないので、実質的にＴｉ″：Ｔｉ５−■とみなゼる
ように、時定数Ｔｏに十分大ぎい値を設定する。例えば
、時定数Ｔｏ　＝Ｔｉｄ＝　１４．６　（分）とすれば
、実用上は十分である。

以上の各ステップ（Ｉ）、　　（Ｉ［）、（Ｉ［ｌ）の
設定により、この調節装置１の応答は、ステップ外乱に
対しては第４図のグラフ（Ａ）で示すような標準型ＰＩ
ＤＵＡｆｆｉ５装置に対外乱最過パラメータＫｐｄ、　
Ｔｉｄ、　Ｔｄｄを設定した場合と同様の応答が、また
目標値ＳＶの単位ステップ変化に対しては第５図のグラ
フ（Ｃ）で示すような標準型ＰＩＤ調節装置に対目標値
最適パラメータＫｌ）Ｓ、　Ｔｉｓ、　Ｔｄｓを設定し
た場合に極めて近い応答が得られ、「外乱抑制」と「目
標値追従」との双方に最適化されたことになる。

この結果、制御しようとするプロセス１１が例えば［−
次遅れ＋ムダ時間」の要素で構成されている場合の単位
ステップ応答としては、第６図の（Ａ）、（Ｂ）に示す
ようになる。ヅなわら、外乱変化に対する制御性として
は時定数Ｔｏが大きくなってもオフセットを生じること
なく良好である（第６図（Ａ））一方、目標値変化に対
する制御性についても第６図（Ｂ）に示す如くオーバシ
ュートが小さく高い追従性を得ることができる。

また、この調節装置にあっては、対外乱および対目標の
応答を最適化するため、制ｗＪ装置全体に渡って対外乱
および対目標の応答性を同時に考慮しつつ各制御パラメ
ータを決定するという複雑な処理を行なう必要がなく、
それぞれの制御ループについて別個独立に前述したステ
ップ（Ｉ）〜（Ｉ［［）に示した如き簡単な設定処理を
行なうだけでよいので調整が極めて容易になり、結局オ
ペレータのコンソール上での調整のみで足りる。

尚、今まで説明した無定位プロセスの最適化が最も難し
く、［−次遅れ士むだ時間」プロセス（ｅ−夛（１＋Ｔ
＋　　・Ｓ＞＞や［二次遅れ＋むだ時間」プロセス（ｅ
−Ｌ／　（１＋Ｔ＋　　−Ｓ）　／　（１＋Ｔ２　・Ｓ
））などであれば、対目標値最適積分時間Ｔｉｓが無限
大になることがないので、最適化が一層容易となる。

また、係数α、βを“１°゛又は０゛に設定することに
より、従来の各種の制御方式を選択することもできる。

例えば、時定数Ｔｏ＝Ｏとすれば　　　゛以下のように
なる。

（Ｉ）α＝β＝１のとき 第１、第２係数部３．５を無くしたことになり、標準型
ＰＩＤ調節装置と等価になる。

（ＩＩ）α＝１．β＝Ｏのとき 微分動作を測定値ＰＶのみに作用させたことになり、い
わゆるＰｖ微分先行型ＰＩＤ調節装置と等価になる。

（Ｉｆ）α＝Ｏ０β＝Ｏのとぎ 比例、微分動作を測定値Ｐｖのみに作用させたことにな
り、Ｉ−ＰＤ調節装置と等価になる。

このように、本実施例に係る調節装＠１は従来技術の欠
陥を解消するとともに、各種の従来の制御方式も自由に
選択でき、高い制御性と広い汎用性とを右するものであ
る。

従って、この調節装置１をプラント内にちりばめて適用
することにより、プラントの各制御が外乱と目標変更の
双方に対して最適化され、前述したような近年の厳しい
要請にこれまでよりもより一層応えることができ、産業
界への貢献は極めて大ぎいと言える。

尚、上記実施例において、微分動作については完全微分
（Ｔｏ−８）で説明したが、実際の場合は不完全微分（
ＴＤ／（１＋γ・７ｏ−８）。

γ＝０．２〜０．３）を用いる。

第７図は、この発明の第２実施例に係る調節装置のブロ
ック図を示す。

図示するように、この調節装置３１は、第１実施例から
微分動作に係わる第２係数部５、第２減算部１３及び微
分演算部１５を削除したもので、プロセスによってはＰ
Ｉ副制御十分な場合に適用されるものである。

本実施例においても、ＰＩ副制御範囲内で、第１実施例
と同様にして「目標値追従」と「外乱抑制」の双方に同
時に最適化することができる。

尚、以上の各実施例の変形例として次のようなものが考
えられる。

（Ｉ＞−次遅れフィルタ７は次のように変形できる。

１／　（１＋Ｔｏ　−３）＝１−Ｔｏ　・Ｓ／　（１＋
Ｔｏ　−８） 従って、積分動作の部分を第８図に示すように、目標値
Ｓ■と測定値ＰＶとの偏差Ｄ４を演算し、この偏差Ｄ４
と目標ＳＶを上式の第２項に係るフィルタ３３を介した
値との偏差Ｄ３を演算し、この偏差Ｄ３を積分演算部１
９に加えるようにしても等価である。

（ＩＦ）実質比例ゲインの調整を微分、積分動作から独
立して行なえるようにするために、第１減算部つと加算
部２１との間の位置に、新たに係数部を＋Ｊ加したり、
或いはこの位置に比例部２３を移してもよい。

（ＩＩＩ）第１、第２、第３減算部９．１３．１７の測
定値ＰＶ入力経路に夫々新たに係数部を付加してもよい
。このようにすれば、より一層最適調整が容易になる。

（ｉＶ　）今まで説明した位置形演算方式だけではなく
、ＤＤＣで多用される速度形演算方式においても本発明
は適用可能である。・ ［発明の効果１ 以上説明したように、第１の発明は比例及び積分演算手
段を有する調節装置において、比例演算手段の目標値入
力経路に目標値の大きさを調節する調節手段を設けると
ともに、積分演算手段の目標値入力経路に遅れ要素を設
け、また、第２の発明は比例、積分及び微分演算手段を
有する調節装置において、比例及び微分演算手段の各目
標値入力経路に目標値の大きさを夫々調節する第１及び
第２の調節手段を各々設（プるとともに、積分演算手段
の目標値入力経路に遅れ要素を設け、目標値と測定値の
夫々に対する実質比例ゲイン実質積分時間、及び第２の
発明にあっては更に実質微分時間を夫々独立に調整する
ことができるようにしているので、「目標値追従」と「
外乱抑制」の両目的に対し同時に最適化を図ることがで
きる調節装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例に係る調節装置のブロッ
ク図、第２図は積分動作の応答特性を示す図、第３図は
対外乱及び対目標値最適パラメータの値を示す図、第４
図は外乱に対する応答特性を示す図、第５図は目標値変
更に対する応答特性を示す図、第６図は第１図の調節装
置における単位ステップ応答を示す図、第７図は第２実
施例に係る調節装置のブロック図、第８図は第１、第２
実施例の変形例の要部のブロック図、第９〜第１１図は
従来例のブロック図である。 １．３１・・・調節装置 ３・・・第１係数部 ５・・・第２係数部 ７・・・−次遅れフィルタ ９・・・第１減算部 １３・・・第２減算部 １５・・・微分０８部 １７・・・第３減算部 １９・・・積分演算部 ２３・・・比例部 ＳＶ・・・目標値 ｐｖ・・・測定値 第１図 １　　　　　　　　　　　　　　　　ビ■Ｌ−一−−−
−−−−−−−−−−−−−一一−−−−−。 ｗＬ２図 第３図 第４図 ＴＩＭＥ 第５図 ＴＩＭＥ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）比例演算を行なう比例演算手段と、積分演算を行
   なう積分演算手段とを有する調節装置において、比例演
   算手段の目標値入力経路に目標値の大きさを調節する調
   節手段を設けて測定値と調節手段を介した目標値との比
   較結果を比例演算手段に入力するとともに、積分演算手
   段の目標値入力経路に遅れ要素を設けて測定値と遅れ要
   素を介した目標値との比較結果を積分演算手段に入力す
   るようにしたことを特徴とする調節装置。
2. （２）比例演算を行なう比例演算手段と、積分演算を行
   なう積分演算手段と、微分演算を行なう微分演算手段と
   を有する調節装置において、比例演算手段の目標値入力
   経路に目標値の大きさを調節する第１の調節手段を設け
   て測定値と第１の調節手段を介した目標値との比較結果
   を比例演算手段に入力し、微分演算手段の目標値入力経
   路に目標値の大きさを調節する第２の調節手段を設けて
   測定値と第２の調節手段を介した目標値との比較結果を
   微分演算手段に入力するとともに、積分演算手段の目標
   値入力経路に遅れ要素を設けて測定値と遅れ要素を介し
   た目標値との比較結果を積分演算手段に入力するように
   したことを特徴とする調節装置。