JP2012228733A - スカラ型ロボット - Google Patents

Abstract

【課題】 防塵防滴性に優れるとともに、モータの過熱を防止できるスカラ型ロボットを提供すること。
【解決手段】 作動軸３２を水平方向に移動するスカラ型ロボットＡに、作動軸３２の側方を覆うカバー部材３１，５８と、作動軸３２を駆動するモータ３４と、カバー部材３１，５８の上部に配置され、作動軸３２と連動し上下する上部ジャバラ状部材５０と、カバー部材の下部に配置され、作動軸３２と連動し上下する下部ジャバラ状部材６０とを設けた。また、カバー部材３１と上部ジャバラ状部材５０とを挿通穴部３１ａを介して連通させ、カバー部材５８と下部ジャバラ状部材６０とを連結部５８ｃを介して連通させた。そして、モータ３４を、上部ジャバラ状部材５０と下部ジャバラ状部材６０との間に配置した。
【選択図】 図３

Description

本発明は、水平方向に回転可能に設けられたアームの先端で、上下動するとともに軸周り方向に回転する作動軸の上下に、クリーンルーム用、または防塵防滴用のジャバラ状部材を設けたスカラ型ロボットに関する。

従来から、電子部品の実装にスカラ型ロボットが用いられており、このようなスカラ型ロボットの中に、外部の粉塵や水滴などが内部に入ることを防止したり、逆に、内部の粉塵や油滴などが外部に飛散したりすることを防止するために、作動軸の上部や下部とロボット本体のカバーとの間にジャバラ状のカバー部材を設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。このスカラ型ロボットは、本体アーム、本体アームに対して水平回転可能な第１アームおよび第１アームに対して水平回転可能な第２アームを備えており、第２アームの先端には、上下動および回転動が可能になったボールねじスプラインが設置されている。また、ボールねじスプラインの上部と下部には、それぞれ帯電防止型ジャバラが設けられており、この帯電防止型ジャバラによって、スカラ型ロボット内または、スカラ型ロボットが設置されるクリーンルーム内のクリーン度が確保される。

特開平１１−１３８４８８号公報

このようなスカラ型ロボットではボールねじスプラインを上下動および回転動させるために、モータが用いられており、このモータは作動により発熱する。そして、この発熱が過剰になると、モータの作動効率が悪くなったり、モータが破損し易くなったりするという問題が生じる。前述した従来のスカラ型ロボットでは、ボールねじスプラインの上下にそれぞれジャバラが設けられており、ボールねじスプラインが上下に移動する際に、第２アームを挟んで上部側と下部側との間で空気が移動する。しかしながら、前述したスカラ型ロボットでは、ボールねじスプラインはタイミングベルトを介してモータの作動により移動するため、モータは上下のジャバラ間から離れた位置に設置されている。このため、モータを上下のジャバラ間で移動する空気で効率的に冷却することはできない。

本発明は、このような問題に対処するためになされたもので、その目的は、防塵防滴性に優れるとともに、モータの過熱を防止できるスカラ型ロボットを提供することである。なお、下記本発明の各構成要件の記載においては、本発明の理解を容易にするために、実施形態の対応箇所の符号を括弧内に記載しているが、本発明の構成要件は、実施形態の符号によって示された対応箇所の構成に限定解釈されるべきものではない。

前述した目的を達成するため、本発明に係るスカラ型ロボットの構成上の特徴は、作動軸（３２）を水平方向に移動するスカラ型ロボット（Ａ，Ｃ）であって、作動軸の側方を覆うカバー部材（３１，５８）と、作動軸を駆動するモータ（３４，４４）と、カバー部材の上部に配置され、作動軸と連動し上下する上部ジャバラ状部材（５０）と、カバー部材の下部に配置され、作動軸と連動し上下する下部ジャバラ状部材（６０）とを有し、カバー部材と上部ジャバラ状部材、及び、カバー部材と下部ジャバラ状部材は、それぞれ連通し、モータは、上部ジャバラ状部材と下部ジャバラ状部材の間に配置されることにある。

本発明に係るスカラ型ロボットでは、作動軸の側方を覆うカバー部材の上部に上部ジャバラ状部材を配置して、カバー部材の下部に下部ジャバラ状部材を配置し、上部ジャバラ状部材と下部ジャバラ状部材との間をカバー部材を介して連通している。そして、モータを上部ジャバラ状部材と下部ジャバラ状部材との間に配置している。このため、作動軸が上昇するときには、上部ジャバラ状部材が伸長して下部ジャバラ状部材が収縮するため、下部ジャバラ状部材内の空気は、上部ジャバラ状部材側に移動する。また、作動軸が下降するときには、上部ジャバラ状部材が収縮して下部ジャバラ状部材が伸長するため、上部ジャバラ状部材内の空気は、下部ジャバラ状部材側に移動する。

これによって、上部ジャバラ状部材と下部ジャバラ状部材との間で空気の流れが生じ、モータはその流れの中に位置するため効率よく冷却される。このため、モータが過熱されて作動効率が低下したり破損しやすくなったりすることが防止される。また、作動軸の上下に上部ジャバラ状部材と下部ジャバラ状部材とを設けたため、作動軸が昇降しても上部ジャバラ状部材と下部ジャバラ状部材との内部全体での体積変化が生じないため、圧力変動も生じなくなる。これによって、上部ジャバラ状部材と下部ジャバラ状部材とに破損や劣化が生じにくくなる。

本発明に係るスカラ型ロボットの他の構成上の特徴は、モータを、作動軸を回転させる回転用モータ（３４）で構成し、上部ジャバラ状部材と下部ジャバラ状部材との間で、かつ回転用モータと作動軸との間に、回転用モータの回転速度を減速して作動軸に伝達する減速機（３５）を設置したことにある。本発明によると、回転用モータに加えて、回転用モータの回転速度を減速する減速機も上部ジャバラ状部材と下部ジャバラ状部材との間に生じる空気の流れで冷却することができる。

本発明に係るスカラ型ロボットのさらに他の構成上の特徴は、上部ジャバラ状部材を作動軸の外周に配置して、上部ジャバラ状部材の上端部と作動軸の上端部との間に、上部ジャバラ状部材に対して作動軸を回転可能にして上部ジャバラ状部材の上端部と作動軸の上端部との間をシールする回転シール機構（５１，５２，５３，５３ｄ）を設けたことにある。本発明によると、作動軸が軸周り方向に回転しても上部ジャバラ状部材が回転することを防止できるため、ねじれが繰り返し生じることによって上部ジャバラ状部材に破損が生じることを防止できる。また、上部ジャバラ状部材の上端部と作動軸の上端部との間を確実にシールできる。

本発明に係るスカラ型ロボットのさらに他の構成上の特徴は、下部ジャバラ状部材を作動軸の外周に配置して、下部ジャバラ状部材の下端部と作動軸の下端部との間に、下部ジャバラ状部材に対して作動軸を回転可能にして下部ジャバラ状部材の下端部と作動軸の下端部との間をシールする回転シール機構（６１，６２，６３，６３ｅ）を設けたことにある。本発明によると、作動軸が軸周り方向に回転しても下部ジャバラ状部材が回転することを防止できるため、ねじれが繰り返し生じることによって下部ジャバラ状部材に破損が生じることを防止できる。また、下部ジャバラ状部材の下端部と作動軸の下端部との間を確実にシールできる。

本発明に係るスカラ型ロボットのさらに他の構成上の特徴は、モータを、作動軸を回転させる回転用モータで構成して、作動軸を、回転用モータによって駆動されるスプラインシャフト（３２ａ）と、スプラインシャフトの上端に着脱可能に連結されてカバー部材の外部に突出する延長シャフト（３２ｂ，３２ｃ）とで構成したことにある。

本発明によると、作動軸を上下移動可能にしながら回転させることができる。また、本発明では、作動軸における上下移動および軸周り方向に回転するため加工精度が要求され高価につく部分をスプラインシャフトで構成し、作動軸におけるカバー部材の外部に突出する部分を延長シャフトで構成している。このため、スプラインシャフトを延長させてカバー部材の外部に突出させる必要がなくなる。また、延長シャフトとしては、簡単な構成の安価なものを用いることができる。また、延長シャフトはスプラインシャフトに対して着脱可能になっているため、簡単に交換することができる。

本発明に係るスカラ型ロボットのさらに他の構成上の特徴は、作動軸を筒状に形成したことにある。本発明によると、作動軸を中空の筒状に形成しているため、作動軸の内部を配線や配管を収容するために利用することができる。

本発明に係るスカラ型ロボットのさらに他の構成上の特徴は、作動軸を移動可能に支持するとともに、カバー部材との間に空間部を形成するアーム（２０）を備え、カバー部材とアームとからなる空間形成部の上部に上部挿通穴（３１ａ）を形成して下部に下部挿通穴（５８ｃ）を形成し、作動軸を上部挿通穴と下部挿通穴とに挿通させたことにある。本発明によると、作動軸を支持するアームとカバー部材とで空間形成部を構成し、作動軸を挿通させるために、空間形成部に設けた上部挿通穴と下部挿通穴とで、上部ジャバラ状部材と下部ジャバラ状部材との間を連通することができる。

本発明に係るスカラ型ロボットのさらに他の構成上の特徴は、アームに上下に貫通する取付用穴（２５）と連通孔（６９，６９ａ）とを形成して、カバー部材を取付用穴と連通孔とを挟んでアームの上下に配置し、作動軸を取付用穴に挿通させるとともに、連通孔を介してカバー部材の上部と下部との間で空気が流れるようにしたことにある。

この場合、上部挿通穴はカバー部材の上部に位置し、下部挿通穴はカバー部材の下部に位置するようになる。そして、カバー部材の上部と下部との間にアームが位置するようになるが、アームに取付用穴を形成することによって、作動軸をカバー部材の上下に貫通させることができる。また、アームの上下にカバー部材を配置することによって、カバー部材の上部と下部との間にアームが位置しても、アームに連通孔を形成することによって、カバー部材の上部と下部とを連通させて空気が流れるようにすることができる。

本発明に係るスカラ型ロボットのさらに他の構成上の特徴は、連通孔における空気が流れる部分の断面積を、上部挿通穴の内周面と作動軸の外周面との間の空気が流れる部分の断面積および下部挿通穴の内周面と作動軸の外周面との間の空気が流れる部分の断面積よりも大きくしたことにある。この場合、上部挿通穴の内周面と作動軸の外周面との間の空気が流れる部分の断面積と、下部挿通穴の内周面と作動軸の外周面との間の空気が流れる部分の断面積とは同じか、または連通孔の断面積の方が大きくなるようにしておく。本発明によると、作動軸の昇降に伴う、上部ジャバラ状部材内、カバー部材内および下部ジャバラ状部材内の全体の内部圧力の変化を低減することができる。

本発明の第１実施形態に係るスカラ型ロボットを示した斜視図である。 標準仕様のスカラ型ロボットを示した斜視図である。 作動軸が上昇したときのスカラ型ロボットを示した断面図である。 作動軸が下降したときのスカラ型ロボットを示した断面図である。 上部ジャバラ状部材の取付構造を示した断面図である。 スプラインシャフトと中継シャフトとの連結部を示した断面図である。 上部ジャバラ状部材と連結用シャフトとの連結部を示した断面図である。 下部ジャバラ状部材の取付構造を示した断面図である。 下部ジャバラ状部材と筒状部材との連結部を示した断面図である。 下部ジャバラ状部材と連結用シャフトとの連結部を示した断面図である。 第２アームに設けた連通孔を示した斜視図である。 本発明の第２実施形態に係るスカラ型ロボットの作動軸が上昇した状態を示した斜視図である。 本発明の第２実施形態に係るスカラ型ロボットの作動軸が下降した状態を示した斜視図である。 配線等を作動軸の上端のハウジングに固定した状態を示した斜視図である。 配線等を作動軸の下端から引き出して各装置に接続した状態を示した斜視図である。

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態に係るスカラ型ロボットを図面を用いて説明する。図１は、同実施形態に係るスカラ型ロボットＡを示している。このスカラ型ロボットＡは、ベース部１０と、第１アーム１８と、第２アーム２０と、第２アーム２０に設けられた昇降回転駆動装置３０と、昇降回転駆動装置３０の上下に設けられた上部ジャバラ状部材５０と下部ジャバラ状部材６０とを備えている。このスカラ型ロボットＡは、例えば、図２に示した標準仕様のスカラ型ロボットＢに、上部ジャバラ状部材５０と下部ジャバラ状部材６０とを設けて防塵防滴仕様にするとともに、多少の変更を加えたものである。

ベース部１０は床や台等に固定設置されており、図３および図４に示したように、矩形箱形のケース１１と、ケース１１内の上部に固定設置されたモータ１２と、モータ１２の上部に組み付けられケース１１の上面部１１ａに設置された減速機１３とを備えている。以下の説明において、上下方向および左右方向は、図３および図４に基づいて記載する。

ケース１１の上面部１１ａにおける左側部分に取付用穴１１ｂが形成されており、モータ１２と減速機１３とは、この取付用穴１１ｂを介して上面部１１ａに取り付けられている。モータ１２は、モータケース１２ａに軸受を介して回転自在に支持された回転軸１２ｂ、回転軸１２ｂの外周に設けられたロータ、ロータの外周に対向して配置されたステータおよび回転検出用レゾルバなどで構成されている。このモータ１２は、回転軸１２ｂを上方に向けて突出させるとともに、取付用穴１１ｂ内を下方から上方に向かって貫通させて、減速機１３の入力部１３ａに連結されており、モータケース１２ａを上面部１１ａの下面に固定することにより、ケース１１に組み付けられている。

減速機１３は、ハーモニックドライブ（登録商標）として知られているもので、詳細は省略するが、モータ１２の回転軸１２ｂに連結された入力部１３ａと、第１アーム１８に連結された出力部１３ｂとを備えている。そして、出力部１３ｂの外周にはベアリング１４が設けられており、このベアリング１４によって、第１アーム１８は、ケース１１に対して水平面上で回転可能に支持されている。また、モータ１２の回転速度は、回転軸１２ｂ、入力部１３ａおよび出力部１３ｂを介して減速されて第１アーム１８に伝達される。

ケース１１の上面部１１ａの右側部分には、後述するカバー３１に向かって延びるフレキシブルチューブ１５の一端部が取付部材１５ａによって固定されている。フレキシブルチューブ１５の内部には、各種の配線や吸引用の配管等（以下、配線等１６とする。）が収容されている。また、ケース１１の右側面部１１ｃの下部には、ケース１１内の各種の配線や吸引用の配管等の各端部を、ケース１１の外側の配線および配管（以下、配線等１７とする。）に接続するための排気継手１７ａが設けられている。この排気継手１７ａと、フレキシブルチューブ１５内の配線等１６は、ケース１１内で接続されている。また、右側面部１１ｃにおける排気継手１７ａの上方部分には、ユーザ配線コネクタ１７ｂが設けられている。

第１アーム１８は、長円形の板状に形成されている。第１アーム１８の下面における右側部分には天井面の高さが低い取付用凹部が形成されており、この取付用凹部に減速機１３の出力部１３ｂが固定されている。そして、第１アーム１８の上面における左側部分には深さが浅い取付用凹部が形成され、その取付用凹部に、後述する減速機２３が固定設置され、この減速機２３とモータ２２とを介して第２アーム２０が取り付けられている。

第２アーム２０は、第１アーム１８よりも長軸方向に長く、厚みが薄い長円形の板状に形成されており、その右側部分には、上下に貫通する取付用穴２１が形成されている。そして、モータ２２は、回転軸２２ｂを下方に向けて突出させて、取付用穴２１内を上方から下方に向かって貫通させ、モータケース２２ａを第２アーム２０の上面に固定させて、第２アーム２０に組み付けられている。このモータ２２は、前述したモータ１２と上下方向の位置が逆になっているが、同機種のもので構成されている。なお、本実施形態においては、第２アーム２０で本発明に係るアームが構成される。

減速機２３も、前述した減速機１３と上下方向の位置が逆になっているが、同機種のもので構成されており、モータ２２の回転軸２２ｂに連結された入力部２３ａと第１アーム１８に連結された出力部２３ｂとを備えている。減速機２３は、モータ２２の回転軸２２ｂの回転速度を減速して第１アーム１８に伝達する。そして、出力部２３ｂの外周にベアリング２４が設けられている。このベアリング２４を介して、第２アーム２０は、第１アーム１８に対して回転可能に支持される。また、モータ２２の駆動力は回転軸２２ｂ、入力部２３ａおよび出力部２３ｂを介して第１アーム１８に伝達される。第２アーム２０の左側部分には、後述する作動軸３２を挿通させる取付用穴２５が形成されている。

昇降回転駆動装置３０は、第２アーム２０の左側に設けられており、カバー３１と、取付用穴２５を挿通して垂直に配置された中空の作動軸３２と、作動軸３２を軸周り方向に回転させる回転装置３３と、作動軸３２を上下方向に移動させる昇降装置４０とを備えている。また、作動軸３２は、本体部分を構成するスプラインシャフト３２ａと、スプラインシャフト３２ａの上端に連結され、カバー３１の上面に形成された円筒形の挿通穴部３１ａを貫通して外部上方に延びる中継シャフト３２ｂと、中継シャフト３２ｂの上端に連結された連結用シャフト３２ｃと、スプラインシャフト３２ａの下端に連結された連結用シャフト３２ｄとで構成されている。中継シャフト３２ｂと連結用シャフト３２ｃとで本発明に係る延長シャフトが構成される。また、挿通穴部３１ａで本発明に係る上部挿通穴が構成される。

カバー３１は、左側部分が右側部分よりも高くなった段違いの箱状に形成されており、第２アーム２０の上面の略全面にわたって設けられている。このカバー３１は、スプラインシャフト３２ａ、回転装置３３および昇降装置４０の第２アーム２０よりも上方に位置する部分を左側の高さの高い部分の内部に位置させた状態で、これらのものを周囲と上方から囲っている。また、カバー３１の上面における右側部分には上方に突出する有天筒状の突出収容部３１ｂが形成されている。

回転装置３３は、スプラインシャフト３２ａが貫通するモータ３４と減速機３５とを備えている。モータ３４は、取付用穴２５を貫通して第２アーム２０に固定設置されており、モータケース３４ａ内に回転自在に支持された円筒状の回転軸３４ｂ、回転軸３４ｂの外周に設けられたロータ、ロータの外周に対向して配置されたステータおよび回転検出用レゾルバなどで構成されている。減速機３５は、前述した減速機１３，２３と同機種のもので構成されており、入力部３５ａおよび出力部３５ｂを備えている。そして、出力部３５ｂの外周にはベアリング３６が設けられている。

ベアリング３６の外輪には、取付部材３７ａを介してボールスプラインナット３７が連結されている。このボールスプラインナット３７の内周面には複数の縦溝が周方向に一定間隔で形成されている。また、スプラインシャフト３２ａは、外周面に複数の縦溝３２ｅ（図１１参照）が形成された鋼製の円筒軸からなっており、縦溝３２ｅをボールスプラインナット３７の縦溝に噛み合わせて、モータ３４、減速機３５およびボールスプラインナット３７に対して上下移動可能な状態で設置されている。また、スプラインシャフト３２ａは、下部がボールスプラインナット３７、取付部材３７ａおよびベアリング３６を介して第２アーム２０に回転自在に支持されており、モータ３４の作動により生じる回転を減速機３５によって減速されてボールスプラインナット３７とともに回転する。

スプラインシャフト３２ａの上端部は、図５に示したように、上下に配置されたベアリング３８ａ，３８ｂによって軸回り方向に回転可能で、かつ上下方向には固定された状態で、昇降装置４０に備わった連結部材４１に支持されている。昇降装置４０は、連結部材４１、ボールねじナット４２、ボールねじ軸４３およびモータ４４を備えている。モータ４４は、第２アーム２０におけるモータ３４が取り付けられた部分の右側に固定設置されている。ボールねじ軸４３は、モータ４４の回転軸に連結され、モータ４４の作動により軸周り方向に回転する。

そして、ボールねじナット４２は、ボールねじ軸４３に螺合しており、連結部材４１は、ボールねじナット４２とスプラインシャフト３２ａの上端部とを連結している。このため、モータ４４の作動により、ボールねじ軸４３が軸周り方向に回転すると、ボールねじナット４２は、ボールねじ軸４３に沿って上下移動し、これによって、スプラインシャフト３２ａも連結部材４１を介して上下移動する。なお、ボールねじ軸４３の上端側部分は、カバー３１の突出収容部３１ｂ内に突出している。

スプラインシャフト３２ａの上端には、ベアリングナット４５を介して中継シャフト３２ｂが連結されている。中継シャフト３２ｂは、外径および内径が、スプラインシャフト３２ａと略同じに設定されたアルミニウム製の筒状部材で構成されており、表面にはアルマイト処理が施されている。これによって、耐食性および耐摩耗性を向上させている。また、図６に示したように、中継シャフト３２ｂの下端部には外部側に突出する連結用のフランジ部４６が形成されており、このフランジ部４６の下面外周には下方に突出するリング状の突起４６ａがフランジ部４６の周縁部に沿って形成されている。そして、フランジ部４６における中継シャフト３２ｂの本体部分と突起４６ａとの間には、上下に貫通する複数のねじ挿通穴（図示せず）が形成されている。

ベアリングナット４５は、円筒状のベアリングナット本体４５ａと、ベアリングナット本体４５ａの外周上部から円周に沿って外部側に延びるフランジ部４５ｂとからなっている。ベアリングナット本体４５ａは、内周側にスプラインシャフト３２ａの上端外周を位置させてねじどうしの螺合によりスプラインシャフト３２ａに固定されている。フランジ部４５ｂは、フランジ部４６の突起４６ａの内部に嵌め込める大きさに形成されており、上下に貫通する複数のねじ穴（図示せず）がフランジ部４６のねじ挿通穴と同じ間隔で形成されている。そして、中継シャフト３２ｂは、突起４６ａの内部にフランジ部４５ｂを入れ、フランジ部４６のねじ挿通穴の上部からねじ４７を挿入してそのねじ４７をフランジ部４５ｂのねじ穴に螺合させることにより、スプラインシャフト３２ａに連結されている。また、ベアリングナット４５の上端面と、中継シャフト３２ｂの下面との間はＯリング４７ａによってシールされている。

中継シャフト３２ｂの上端には、筒状の連結用シャフト３２ｃが連結されており、カバー３１の挿通穴部３１ａと連結用シャフト３２ｃの上部との間に上部ジャバラ状部材５０が取り付けられている。図７に示したように、中継シャフト３２ｂの上端部には外部側に突出する連結用のフランジ部４８が形成されており、このフランジ部４８には、上下に貫通する複数のねじ穴（図示せず）が円周に沿って形成されている。また、連結用シャフト３２ｃは、中継シャフト３２ｂよりも軸方向の長さが短く外径および内径が中継シャフト３２ｂと同じに設定された鋼製の筒状部材で構成されており、表面にはメッキが施されている。

この連結用シャフト３２ｃの下端部には外部側に突出する連結用のフランジ部４９が形成されており、このフランジ部４９の下面外周には下方に突出するリング状の突起４９ａがフランジ部４９の周縁部に沿って形成されている。そして、フランジ部４９における連結用シャフト３２ｃの本体部分と突起４９ａとの間には、上下に貫通する複数のねじ挿通穴が、フランジ部４８のねじ穴と同じ間隔で形成されている。連結用シャフト３２ｃは、突起４９ａの内部にフランジ部４８を入れ、フランジ部４９のねじ挿通穴の上部からねじ４８ａを挿入してそのねじ４８ａをフランジ部４８のねじ穴に螺合させることにより、中継シャフト３２ｂに連結されている。また、フランジ部４８の上面と、フランジ部４９の下面との間はＯリング４８ｂによってシールされている。

連結用シャフト３２ｃの上部外周には、ベアリング５１を介してハウジング５２が取り付けられており、連結用シャフト３２ｃの上部外周におけるベアリング５１およびハウジング５２の上方にはハウジング５３が取り付けられている。ベアリング５１は、内輪５１ａを連結用シャフト３２ｃの外周に固定し、外輪５１ｂをハウジング５２に固定することによって、連結用シャフト３２ｃに対してハウジング５２を上下方向には移動できなく軸周り方向には回転可能にして連結している。ハウジング５２は、ベアリング５１の上方で、連結用シャフト３２ｃの外周面と間隔をおいた部分から外周側に広がるフランジ状の水平部５２ａと、水平部５２ａの下面外周側からベアリング５１の外周面に沿って下方に延びるベアリング収納部５２ｂと、水平部５２ａの上面内周側から上方に延びる固定部５２ｃ（後述する端面シール５３ｄが縮んで固定される）とで構成されている。

そして、連結用シャフト３２ｃとベアリング５１の内輪５１ａとの間およびベアリング５１の外輪５１ｂとハウジング５２のベアリング収納部５２ｂとの間は、それぞれＯリング５１ｃ，５１ｄによってシールされている。また、ベアリング収納部５２ｂの内周面下部には、円周に沿って溝部が形成され、この溝部にサークリップ５２ｄが設置されている。このサークリップ５２ｄによって、ベアリング収納部５２ｂ内からベアリング５１が抜け出ることが防止される。

ハウジング５３は、連結用シャフト３２ｃの外周面上端から外周側に広がるフランジ状の水平部５３ａと、水平部５３ａの下面内周側から連結用シャフト３２ｃの外周面とハウジング５２の固定部５２ｃとの間を下方に延びる摺動支持部５３ｂと、水平部５３ａの下面外周側からハウジング５２の上面外周に向かって下方に延びるシール収納部５３ｃとで構成されている。ハウジング５３の内周面はねじどうしの螺合によって、連結用シャフト３２ｃの外周面に固定されており、その双方の境界面にはシール剤が塗布されている。また、水平部５３ａの下面、シール収納部５３ｃ、固定部５２ｃの外周面および水平部５２ａの上面で囲まれる空間には端面シール５３ｄが設置されている。

このため、ベアリング５１の内輪５１ａとハウジング５３とは、連結用シャフト３２ｃに固定され、ベアリング５１の外輪５１ｂとハウジング５２とは、連結用シャフト３２ｃに対して回転可能になっている。そして、ハウジング５２が回転する際、端面シール５３ｄは、水平部５３ａの下面に対して摺動する。また、連結用シャフト３２ｃ、ベアリング５１、ハウジング５２およびハウジング５３のそれぞれ接触する部分は、Ｏリング５１ｃ，５１ｄ、シール剤および端面シール５３ｄでシールされている。なお、端面シール５３ｄは、接触シールで構成されており、粉塵等が通過することを防止する。

上部ジャバラ状部材５０は、ウレタン樹脂をジャバラ状に形成した伸縮可能な部材で構成されており、下端部と上端部とにそれぞれ円筒形の固定部５０ａ，５０ｂが形成されている。固定部５０ａは、図６に示したように、カバー３１の挿通穴部３１ａの外周面を覆っており、その外周にウレタンシート５４を介してクランプ部材５５が取り付けられている。クランプ部材５５は、帯状部５５ａとねじを備えた締結部５５ｂとで構成されており、ウレタンシート５４を介して固定部５０ａの周囲に帯状部５５ａを巻き付け、締結部５５ｂで帯状部５５ａを締め付けることにより、固定部５０ａを挿通穴部３１ａの外周面に固定している。

固定部５０ｂは、図７に示したように、ハウジング５２の外周面を覆っており、その外周にウレタンシート５４ａを介してクランプ部材５６が取り付けられている。クランプ部材５６は、クランプ部材５５と同様、帯状部５６ａとねじを備えた締結部５６ｂとで構成されており、ウレタンシート５４ａを介して固定部５０ｂの周囲に帯状部５６ａを巻き付け、締結部５６ｂで帯状部５６ａを締め付けることにより、固定部５０ｂをハウジング５２に固定している。また、ウレタンシート５４ａとハウジング５２との間は、上下に間隔をおいて配置されたＯリング５７ａ，５７ｂによってシールされている。

第２アーム２０の下面における左側部分には、図８に示したように、減速機３５やボールスプラインナット３７を覆う筒状部材５８が設けられている。この筒状部材５８は、上部が減速機３５を覆う大径部５８ａで構成され、その下方に、ボールスプラインナット３７を覆い下方に行くほど細径になった傾斜部５８ｂが形成されている。そして、傾斜部５８ｂの下方に、細径で軸方向の長さも短い連結部５８ｃが形成されている。筒状部材５８とカバー３１とで本発明に係るカバー部材が構成され、このカバー部材と第２アーム２０とで本発明に係る空間形成部が構成される。また、連結部５８ｃで本発明に係る下部挿通穴が構成される。

連結部５８ｃの下端開口からは、スプラインシャフト３２ａの下部が下方に向かって突出している。スプラインシャフト３２ａの連結部５８ｃの下端開口から突出した部分の下端には、連結用シャフト３２ｄが連結されており、連結部５８ｃと連結用シャフト３２ｄとの間に下部ジャバラ状部材６０が取り付けられている。

連結用シャフト３２ｄは、上部がスプラインシャフト３２ａの下端側部分を覆う大径筒状に形成され、下部がスプラインシャフト３２ａと同程度の外径と内径を備えた小径筒状に形成された段違いの筒状に形成されている。そして、連結用シャフト３２ｄの上端には、図９に示したすり割り締め付け部５９が形成されており、このすり割り締め付け部５９をボルト５９ａで締め付けることにより、連結用シャフト３２ｄはスプラインシャフト３２ａに固定されている。また、連結用シャフト３２ｄの小径筒状部分の上部外周には、図１０に示したように、ベアリング６１を介してハウジング６２が取り付けられており、連結用シャフト３２ｄの外周におけるベアリング６１およびハウジング６２の下方にはハウジング６３が取り付けられている。

ベアリング６１は、内輪６１ａを連結用シャフト３２ｄの外周に固定し、外輪６１ｂをハウジング６２に固定することによって、連結用シャフト３２ｄに対してハウジング６２を上下方向には移動できなく軸周り方向には回転可能にして連結している。ハウジング６２は、ベアリング６１の下方で、連結用シャフト３２ｄの外周面と間隔をおいた部分から外周側に広がるフランジ状の水平部６２ａ、水平部６２ａの上面外周側からベアリング６１の外周面に沿って上方に延びるベアリング収納部６２ｂ、水平部６２ａの下面内周縁部と下面外周縁部とから一定間隔を保って下方に延びる固定部６２ｃ（後述する端面シール６３ｅが縮んで固定される）およびシール収納部６２ｄで構成されている。

そして、連結用シャフト３２ｄとベアリング６１の内輪６１ａとの間およびベアリング６１の外輪６１ｂとハウジング６２のベアリング収納部６２ｂとの間は、それぞれＯリング６１ｃ，６１ｄによってシールされている。また、ベアリング収納部６２ｂの内周面上部には、円周に沿って溝部が形成され、この溝部にサークリップ６２ｅが設置されている。このサークリップ６２ｅによって、ベアリング収納部６２ｂ内からベアリング６１が抜け出ることが防止される。

ハウジング６３は、固定部６２ｃとシール収納部６２ｄとの下端開口を塞ぐようにして連結用シャフト３２ｄの外周面から外周側に広がるフランジ状の水平部６３ａと、水平部６３ａの上面内周側から連結用シャフト３２ｄの外周面とハウジング６２の固定部６２ｃとの間を上方に延びるベアリング内輪固定部６３ｂと、ベアリング内輪固定部６３ｂの下面の一方から下方に延びたのちに連結用シャフト３２ｄの外周面に沿って両側から円周方向に延びるＣ形のすり割り締め付け部６３ｃとで構成されている。ハウジング６３は、すり割り締め付け部６３ｃをボルト６３ｄで締め付けることにより、連結用シャフト３２ｄに固定されている。また、水平部６２ａの下面、固定部６２ｃ、シール収納部６２ｄおよび水平部６３ａの上面で囲まれる空間に端面シール６３ｅが設置され、連結用シャフト３２ｄとハウジング６３のベアリング内輪固定部６３ｂとの間は、Ｏリング６３ｆによってシールされている。

このため、ベアリング６１の内輪６１ａとハウジング６３とは、連結用シャフト３２ｄに固定され、ベアリング６１の外輪６１ｂとハウジング６２とは、連結用シャフト３２ｄに対して回転可能になっている。そして、ハウジング６２が回転する際、端面シール６３ｅは、水平部６３ａに対して摺動する。また、連結用シャフト３２ｄ、ベアリング６１、ハウジング６２およびハウジング６３のそれぞれ接触する部分は、Ｏリング６１ｃ，６１ｄ，６３ｆおよび端面シール６３ｅでシールされている。なお、端面シール６３ｅは、前述した端面シール５３ｄと同じ構成をしている。

下部ジャバラ状部材６０は、上部ジャバラ状部材５０と同じ構成をしており、ジャバラ状部分の上端と下端にそれぞれ円筒形の固定部６０ａ，６０ｂが形成されている。固定部６０ａは、図９に示したように、連結部５８ｃの外周面を覆っており、その外周にウレタンシート６４を介してクランプ部材６５が取り付けられている。クランプ部材６５は、帯状部６５ａとねじを備えた締結部６５ｂとで構成されており、ウレタンシート６４を介して連結部５８ｃの周囲に帯状部６５ａを巻き付け、締結部６５ｂで帯状部６５ａを締め付けることにより、固定部６０ａを連結部５８ｃに固定している。また、ウレタンシート６４と連結部５８ｃとの間は、上下に間隔をおいて配置されたＯリング６６ａ，６６ｂによってシールされている。

固定部６０ｂは、ハウジング６２のベアリング収納部６２ｂの外周面を覆っており、その外周にウレタンシート６４ａを介してクランプ部材６７が取り付けられている。クランプ部材６７は、クランプ部材６５と同様、帯状部６７ａとねじを備えた締結部６７ｂとで構成されており、ウレタンシート６４ａを介して固定部６０ｂの周囲に帯状部６７ａを巻き付け、締結部６７ｂで帯状部６７ａを締め付けることにより、固定部６０ｂをハウジング６２に固定している。また、ウレタンシート６４ａとハウジング６２との間は、上下に間隔をおいて配置されたＯリング６８ａ，６８ｂによってシールされている。

また、図１１に示したように、第２アーム２０におけるモータ３４が設置された部分の前後にはそれぞれ上下に貫通する長円状の連通孔６９が形成され、左側部分には間隔をおいて互いの対向する部分が反対部分よりも幅が大きくなった略楕円形の連通孔６９ａが形成されている。連通孔６９と連通孔６９ａとの平面視による合計面積は、挿通穴部３１ａの内周面と中継シャフト３２ｂの外周面との間の部分の平面視による面積および連結部５８ｃの内周面とスプラインシャフト３２ａの外周面との間の部分の平面視による面積と同じか、それよりもやや大きくなるように設定されている。

このため、作動軸３２が上昇したときには、下部ジャバラ状部材６０が収縮して下部ジャバラ状部材６０内の空気は、筒状部材５８から連通孔６９，６９ａを通過してカバー３１内に入る。同時に、上部ジャバラ状部材５０が伸長してカバー３１内の空気の一部は、挿通穴部３１ａの内部を通過して上部ジャバラ状部材５０内に入る。また、作動軸３２が下降したときには、上部ジャバラ状部材５０が収縮して上部ジャバラ状部材５０内の空気は、挿通穴部３１ａの内部を通過してカバー３１内に入る。同時に、下部ジャバラ状部材６０が伸長してカバー３１内の空気の一部は、連通孔６９，６９ａを通過して筒状部材５８内に入り、さらに、筒状部材５８から下部ジャバラ状部材６０内に入る。このように、作動軸３２が昇降するときに、下部ジャバラ状部材６０、筒状部材５８およびカバー３１の内部を流れる空気は、モータ３４と減速機３５との周囲を通過して、モータ３４と減速機３５を冷却する。

なお、図示は省略しているが、連結用シャフト３２ｄの下部には、アダプタを介してハンドが取り付けられる。ハンドには、工具等の作業用具や、チャック、作業アーム、吸引装置等の作業装置や、センサなどが取り付けられる。また、ケース１１内の配線等１７やフレキシブルチューブ１５内を通る配線等１６の一部は、モータ１２，２２，３４，４４等に接続され、残りの配線等１６は、さらに他の接続配線や接続配管を介してハンドに取り付けられる作業装置やセンサに接続される。フレキシブルチューブ１５の先端は取付部材１５ｂによってカバー３１の右側部分の上面に固定されており、配線等１６は、カバー３１内で他の接続配線や接続配管に接続されている。

また、配線等１６，１７等の一部は、制御装置（図示せず）や電源に接続されており、スカラ型ロボットＡに備わった各装置は、制御装置の制御にしたがって作動する。さらに、ベース部１０の排気継手１７ａには、フレキシブルチューブ１５内を通り、カバー３１内に連通する配管が接続されており、カバー３１内に圧力変動が生じたときには、排気継手１７ａから空気を放出することにより、カバー３１内の圧力が一定になるようにする。なお、カバー３１内に圧力変動が生じる場合には、フレキシブルチューブ１５内を空気が通過することにより、その圧力変動は解消される。

このように構成されたスカラ型ロボットＡを、例えば基板等に電子部品を実装する部品実装機として作動させる際には、基板等、電子部品が装着される部材を所定の場所に設置するとともに、電子部品を所定の場所に準備しておく。また、作動軸３２の下部のハンドに、吸引装置やセンサ等の装置を装着し、これらの装置に、対応する配線や配管を接続しておく。そして、スイッチ等の操作により、スカラ型ロボットＡの作動を開始させる。これによって、ベース部１０に対して、第１アーム１８がモータ１２の回転軸１２ｂを中心として水平面上で回転するとともに、第１アーム１８に対して、第２アーム２０がモータ２２の回転軸２２ｂを中心として水平面上で回転して作動軸３２を電子部品の設置場所に移動させる。

ついで、モータ３４，４４の作動により、作動軸３２の下端の吸引装置が下降するとともに、軸周り方向に回転して電子部品を所定方向から吸着できるようにする。その状態で、吸引装置の作動により、吸引装置に電子部品が吸着される。つぎに、モータ４４の作動により吸引装置が上昇し、モータ１２，２２の作動により第１アーム１８がベース部１０に対して、第２アーム２０が第１アーム１８に対してそれぞれ回転し、吸引装置は基板の所定位置の上方に移動する。ついで、モータ３４，４４の作動により、吸引装置が下降するとともに、軸周り方向に回転して電子部品を基板の設定位置に位置させる。その状態で、吸引装置による電子部品の吸引を解除して、電子部品を基板上に実装する。この操作を繰り返すことにより、複数の電子部品が順次基板に装着される。

このスカラ型ロボットＡが作動する際、上部ジャバラ状部材５０と下部ジャバラ状部材６０とは、作動軸３２のカバー３１や筒状部材５８から外部に突出する部分の周囲を密閉した状態で、作動軸３２の昇降にしたがって伸縮する。このため、外部の塵や埃がスカラ型ロボットＡ内に入ることを防止するとともに、スカラ型ロボットＡ内の油滴や埃が外部に飛散することを防止する。また、モータ３４と減速機３５は、作動軸３２の昇降によって上部ジャバラ状部材５０から下部ジャバラ状部材６０の間に生じる空気の流れによって冷却されて、適正な作動状態を維持する。

以上のように、本実施形態に係るスカラ型ロボットＡでは、作動軸３２の上部に上部ジャバラ状部材５０を設けるとともに、作動軸３２の下部に下部ジャバラ状部材６０を設けて、カバー３１および筒状部材５８の内部を外部から密閉している。そして、カバー３１の挿通穴部３１ａで上部ジャバラ状部材５０の内部とカバー３１の内部とを連通し、筒状部材５８の連結部５８ｃで下部ジャバラ状部材６０の内部と筒状部材５８の内部とを連通している。さらに、第２アーム２０に設けた連通孔６９，６９ａで、カバー３１の内部と筒状部材５８の内部とを連通している。このため、スカラ型ロボットＡの内部と外部との間で粉塵等が出入りすることを防止した状態で作動軸３２を昇降させることができる。

また、回転装置３３のモータ３４と減速機３５は、上部ジャバラ状部材５０と下部ジャバラ状部材６０との間に配置されており、この部分には、作動軸３２が昇降する際に特に大きな空気の流れが生じる。この空気の流れによって、モータ３４と減速機３５は効率よく冷却されるため、過熱されて作動効率が低下したり破損しやすくなったりすることが防止される。また、作動軸３２の上下に上部ジャバラ状部材５０と下部ジャバラ状部材６０とを設けるとともに、上部ジャバラ状部材５０と下部ジャバラ状部材６０を、それぞれカバー３１と筒状部材５８の内部に連通させたため、作動軸３２が昇降してもスカラ型ロボットＡの内部全体での体積変化が生じず、圧力変動も生じなくなる。これによって、上部ジャバラ状部材５０と下部ジャバラ状部材６０とに破損や劣化が生じにくくなる。

また、上部ジャバラ状部材５０の固定部５０ａと作動軸３２の上端部を構成する連結用シャフト３２ｃとの間に、ベアリング５１、ハウジング５２，５３および端面シール５３ｄ等からなる回転シール機構を設けて、作動軸３２が軸周り方向に回転しても上部ジャバラ状部材５０が回転することを防止している。同様に、下部ジャバラ状部材６０の固定部６０ｂと作動軸３２の下端部を構成する連結用シャフト３２ｃとの間に、ベアリング６１、ハウジング６２，６３および端面シール６３ｅ等からなる回転シール機構を設けている。このため、上部ジャバラ状部材５０や下部ジャバラ状部材６０に、ねじれが生じることが防止され、ねじれが繰り返し生じて上部ジャバラ状部材５０や下部ジャバラ状部材６０が破損するといったことを防止できる。

さらに、作動軸３２におけるカバー３１と筒状部材５８から突出する部分をアルミ製の中継シャフト３２ｂ、鋼製の連結用シャフト３２ｃ，３２ｄで構成しているため、加工精度が要求され高価につくスプラインシャフト３２ａを短くすることができる。また、中継シャフト３２ｂおよび連結用シャフト３２ｄはスプラインシャフト３２ａに対して着脱可能になり、連結用シャフト３２ｃは、中継シャフト３２ｂに対して着脱可能になっているため、これらの各部材が破損した場合には作動軸３２全体を取り替えることなく、破損した部材だけを交換できる。なお、図２に示したスカラ型ロボットＢの上部ジャバラ状部材５０や下部ジャバラ状部材６０を除いた部分の構成については、スカラ型ロボットＡと多少異なる部分もあるが、対応する部分に同一符号を記して説明は省略する。また、スカラ型ロボットＢでは、カバー３１の挿通穴部３１ａはシール７８によって塞がれている。

（第２実施形態）
図１２および図１３は、本発明の第２実施形態に係るスカラ型ロボットＣを示している。このスカラ型ロボットＣは、前述したスカラ型ロボットＡにおけるフレキシブルチューブ１５を介して延ばした配線等１６に接続される配線および配管７０（以下配線等７０と記す。）の配置を変更したもので、配線等７０の取付構造以外の部分は、スカラ型ロボットＡと同じものである。したがって、同一部分には同一符号を記して説明する。

このスカラ型ロボットＣでは、カバー３１の上面が低くなった右側部分から、配線等７０が連結用シャフト３２ｃの上端に向かって延びており、この配線等７０の基端側部分は、カバー３１の上面に設けられた配線コネクタと配管継手とからなる接続部材７１によって固定されている。配線等７０の基端部は、カバー３１内で、フレキシブルチューブ１５を介して延びてきた配線等１６の対応するものにそれぞれ接続されている。

また、第２アーム２０の前後の側部の左右方向の中央部分には、カバー３１の上面が高くなった部分の右側縁部に沿って延び、上部がカバー３１の上面よりもさらに高くなったコ字状のステー７２が設けられている。このステー７２の上部側部分には、所定間隔をおいて複数のねじ挿通穴７２ａが形成されている。そして、配線等７０は、このステー７２の前部の上下に延びる部分に沿って配置され、間隔をおいて複数のナイロンクランプ７３とねじ７３ａとによってステー７２のねじ挿通穴７２ａに固定されている。

配線等７０の先端側部分は、作動軸３２の内部を通って、作動軸３２の下端から下方に延びている。また、作動軸３２の上端に設けられたハウジング５３の上面には、図１４に示したように、固定用のステー７４が取り付けられており、配線等７０は、このステー７４によってハウジング５３の上面に固定されている。ステー７４は、それぞれ間隔をおいて複数のねじ挿通穴が形成された水平片７４ａと垂直片７４ｂとからなるＬ形の部材で構成されている。また、ハウジング５３の上面には、複数のねじ穴が形成されている。ステー７４は、水平片７４ａをハウジング５３上面に位置させて配置され、ねじ７４ｃによってハウジング５３に固定されている。

そして、配線等７０は、２個のナイロンクランプ７５とそれぞれ２個のねじ７５ａとによって垂直片７４ｂに固定されている。また、配線等７０における接続部材７１とステー７４との間の部分の長さは、ハウジング５３が、図１２に示した移動範囲の上端に位置しているときと、図１３に示した移動範囲の下端に位置しているときとの間のストロークと、作動軸３２が軸回り方向に回転する際の捻じれを考慮して、作動軸３２に追従でき、かつたるみが生じない長さに設定されている。

また、作動軸３２の下部を構成する連結用シャフト３２ｄには、図１５に示したように、アダプタ７６を介してハンド７６ａが取り付けられている。ハンド７６ａには、工具等の作業用具や、チャック、作業アーム、吸引装置等の作業装置や、センサ７６ｂが取り付けられる。作動軸３２内を延びてきた配線等７０は、ハンド７６ａに取り付けられる作業装置やセンサ７６ｂに接続される。なお、配線等７０における連結用シャフト３２ｄの下端部とハンド７６ａやセンサ７６ｂとの間の部分の長さは余裕を持たせる必要がないため、最小限の長さにしておく。また、配線等７０は、カバー３１内で配線等１６に接続されている。このスカラ型ロボットＣのそれ以外の部分の構成は前述したスカラ型ロボットＡと同一である。

このように構成されたスカラ型ロボットＣでは、作動軸３２内に配線等７０を配置しているため、スカラ型ロボットＣの作動中に第２アーム２０が激しく搖動しても配線等７０が第２アーム２０の移動の邪魔になることがない。このスカラ型ロボットＢのそれ以外の作用効果は、前述したスカラ型ロボットＡの作用効果と同様である。

また、本発明に係るスカラ型ロボットは、前述した各実施形態に限定するものでなく、適宜変更して実施することができる。例えば、前述した実施形態では、スカラ型ロボットＡ，Ｃを、端面シール５３ｄ、６３ｅを用いた防塵防滴仕様のスカラ型ロボットで構成しているが、端面シール５３ｄ、６３ｅを除いてクリーン仕様のスカラ型ロボットにすることもできる。クリーン仕様のスカラ型ロボットにした場合には、発塵の可能性がある端面シール５３ｄ、６３ｅを除くことにより、通路をつづら折れになるように形成してその抵抗で漏れを防止するいわゆるラビリンス構造になり、塵が外部に放出されることが防止される。

さらに、発塵を少なくする場合には、ベアリングの内輪と外輪との間に備わっているシールを非接触にするかこのシールを除くこともできる。この場合でも、カバー３１、筒状部材５８、上部ジャバラ状部材５０および下部ジャバラ状部材６０の内部は、吸引により負圧になっているため、塵が外部に放出されることは防止される。また、端面シール５３ｄ，６３ｅを省略することによって、ハウジング５２，６２が回転するときの摩擦を小さくすることができる。

さらに、前述した実施形態では、カバー部材をカバー３１と筒状部材５８とで構成しているが、これらのうちの一方を省略することができる。この場合、カバー３１または筒状部材５８からなるカバー部材の内部に回転装置３３や昇降装置４０を設置する。また、カバー３１を省略した場合には、取付用穴２５で上部挿通穴が構成され、筒状部材５８を省略した場合には、取付用穴２５で下部挿通穴が構成される。また、第２アーム２０に設けた連通孔６９，６９ａを省略して、取付用穴２５とモータ３４との間に、空気が通過できる隙間を設けてこの隙間で連通孔を構成してもよい。さらに、本発明に係るスカラ型ロボットのそれ以外の部分の構成についても、本発明の技術的範囲内で適宜変更することができる。

２０…第２アーム、２５…取付用穴、３１…カバー、３１ａ…挿通穴部、３２…作動軸、３２ａ…スプラインシャフト、３２ｂ…中継シャフト、３２ｃ…連結用シャフト、３４，４４…モータ、３５…減速機、５０…上部ジャバラ状部材、５１，６１…ベアリング、５２，５３，６２，６３…ハウジング、５３ｄ，６３ｅ…端面シール、５８…筒状部材、５８ｃ…連結部、６０…下部ジャバラ状部材、６９，６９ａ…連通孔、Ａ，Ｃ…スカラ型ロボット。

Claims (9)

1. 作動軸を水平方向に移動するスカラ型ロボットであって、
   前記作動軸の側方を覆うカバー部材と、
   前記作動軸を駆動するモータと、
   前記カバー部材の上部に配置され、前記作動軸と連動し上下する上部ジャバラ状部材と、
   前記カバー部材の下部に配置され、前記作動軸と連動し上下する下部ジャバラ状部材とを有し、
   前記カバー部材と前記上部ジャバラ状部材、及び、前記カバー部材と前記下部ジャバラ状部材は、それぞれ連通し、
   前記モータは、前記上部ジャバラ状部材と前記下部ジャバラ状部材の間に配置されることを特徴とするスカラ型ロボット。
2. 前記モータを前記作動軸を回転させる回転用モータで構成し、前記上部ジャバラ状部材と前記下部ジャバラ状部材との間で、かつ前記回転用モータと前記作動軸との間に、前記回転用モータの回転速度を減速して前記作動軸に伝達する減速機を設置した請求項１に記載のスカラ型ロボット。
3. 前記上部ジャバラ状部材を前記作動軸の外周に配置して、前記上部ジャバラ状部材の上端部と前記作動軸の上端部との間に、前記上部ジャバラ状部材に対して前記作動軸を回転可能にして前記上部ジャバラ状部材の上端部と前記作動軸の上端部との間をシールする回転シール機構を設けた請求項１または２に記載のスカラ型ロボット。
4. 前記下部ジャバラ状部材を前記作動軸の外周に配置して、前記下部ジャバラ状部材の下端部と前記作動軸の下端部との間に、前記下部ジャバラ状部材に対して前記作動軸を回転可能にして前記下部ジャバラ状部材の下端部と前記作動軸の下端部との間をシールする回転シール機構を設けた請求項１ないし３のうちのいずれか一つに記載のスカラ型ロボット。
5. 前記モータを、前記作動軸を回転させる回転用モータで構成して、前記作動軸を、前記回転用モータによって駆動されるスプラインシャフトと、前記スプラインシャフトの上端に着脱可能に連結されて前記カバー部材の外部に突出する延長シャフトとで構成した請求項１ないし４のうちのいずれか一つに記載のスカラ型ロボット。
6. 前記作動軸を筒状に形成した請求項１ないし５のうちのいずれか一つに記載のスカラ型ロボット。
7. 前記作動軸を移動可能に支持するとともに、前記カバー部材との間に空間部を形成するアームを備え、前記カバー部材と前記アームとからなる空間形成部の上部に上部挿通穴を形成して下部に下部挿通穴を形成し、前記作動軸を前記上部挿通穴と前記下部挿通穴とに挿通させた請求項１ないし６のうちのいずれか一つに記載のスカラ型ロボット。
8. 前記アームに上下に貫通する取付用穴と連通孔とを形成して、前記カバー部材を前記取付用穴と前記連通孔とを挟んで前記アームの上下に配置し、前記作動軸を前記取付用穴に挿通させるとともに、前記連通孔を介して前記カバー部材の上部と下部との間で空気が流れるようにした請求項７に記載のスカラ型ロボット。
9. 前記連通孔における空気が流れる部分の断面積を、前記上部挿通穴の内周面と前記作動軸の外周面との間の空気が流れる部分の断面積および前記下部挿通穴の内周面と前記作動軸の外周面との間の空気が流れる部分の断面積よりも大きくした請求項８に記載のスカラ型ロボット。